JPH0711779Y2 - 清浄送風装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、クリーンな空気が要求される作業環境を作り
出す清浄送風装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、半導体製造工程やバイオテクノロジー関連産業に
おいては、クリーンな空気内で行われなければならない
作業があり、このような場合の多くはクリーンルーム内
で行われるのが普通であった。しかしながら、クリーン
ルームのような大掛かりな装置を作るには莫大な費用が
かかるだけでなく、作業に携わる人は不自由な無塵服を
着用しなければならない等不便や無駄が多い。また、ク
リーンルームのような設備は中小企業や個人にとっては
負担が大き過ぎるとともに、作業によってはごく一部分
の領域だけをクリーン状態にすれば済むものもあること
等の見地から、第14図に示すように、簡易型の送風装置
１により外気と遮断したフードケース３の内部をクリー
ン状態にするものが従来からある。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかしながら、このような従来の清浄送風装置にあって
は、フードケース３内は高クリーン度にすることができ
るとしても、その高クリーン度の場所を少し移動したい
という要求には十分応えられず、また限られたフードケ
ース３内での作業は、逆にそれが邪魔になってかなり不
便で制約されたものとなってしまう。さらに、送風装置
１には高価な遠心式ファン装置が用いられているため
に、装置全体が高価なものとなってしまうという問題が
ある。そこで本考案は、このような問題点を解決するこ
とを課題としている。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決するために本考案は、筒状のハウジング
と、このハウジングの一端部に設けられハウジング内に
吸入する空気が通過する第１フィルタと、前記ハウジン
グの他端部に設けられ外部に排出する空気が通過する前
記第１フィルタより微細な第２フィルタと、前記第１フ
ィルタと第２フィルタとの間に設けられる圧力室と、前
記第１フィルタと圧力室との間に収納され空気を吸入し
て高圧にして空気を前記圧力室に供給する軸流式のファ
ン装置と、前記ハウジングを静止部に対して首振り可能
に支持するスタンド支持部材とを備えた構成としたもの
である。

〔作用〕

このような構成の清浄送風装置によれば、軸流式のファ
ン装置を駆動することにより、ハウジングの外側の空気
が第１フィルタを通って比較的大きな塵を除去されてハ
ウジング内に吸入される。この空気は軸流式のファン装
置により圧力室に送られ、第２フィルタを通過できる圧
力になるまで圧力室で貯留され、所定の圧力（高圧）に
なると、この高圧の空気は第２フィルタを通って微細な
塵を除去されて外部に吹出される。このため第２フィル
タの外側近傍の領域をクリーン状態にすることができ、
その領域内においてクリーンな空気が要求される所望の
作業を行うことができる。

このような本考案による清浄送風装置は、スタンド支持
部材によりハウジングが首振り可能に支持されているた
め、ハウジングの位置をその首振り調整により容易に変
えることが可能であり、クリーン状態の場所を自由に変
更することができる。また、従来のようなフードケース
を用いずにクリーン状態を作り出すことにより、フード
ケースに邪魔されることなく自由に作業を行うことがで
きる。さらにファン装置には、安価で、しかもファン中
心にモータが内蔵された構造の軸流式ファン装置を用い
ることにより、小型、薄型の構造とすることができ、装
置全体のコストアップ防止や、コンパクト化を図ること
ができる。

〔実施例〕

以下、本考案の実施例について図面に基づいて説明す
る。第１図ないし第８図は本考案による清浄送風装置の
一実施例を示す図である。

第１図および第２図において、符号10は清浄送風装置の
外装部材であり、この外装部材10の側部には外装部材10
を支持するスタンド支持部材12の一端部が固結されてい
る。スタンド支持部材12の他端部にはセット部14が設け
られており、このセット部14を机等の図示しない静止部
に固定することにより清浄送風装置を静止部に支持させ
ることができる。またスタンド支持部材12は自在パイプ
で構成され可撓性を有しているため、清浄送風装置を静
止部に対して上下、左右方向等に首振り可能に支持する
ことができる。

第3A図に示すように、外装部材10の内部には送風ユニッ
ト16がシーリングパッキン11でシールされて固定して設
けられており、この送風ユニット16の外側は断面が四角
の筒状のハウジング18により構成されている。すなわち
ハウジング18の図中上下端には四角い開口が形成されて
おり、その上端開口部にはハウジング18内に吸入する空
気が通過する粗フィルター20（第１フィルター）が設け
られている。この粗フィルター20は空気を通過させる際
に10〜100μｍ以上の塵や粒子を除去することができ
る。粗フィルター20の図中下部には空気貯留室22が設け
られており、この空気貯留室22の図中下部にはファン装
置24が設けられている。この空気貯留室22の空間を設け
ることにより、第１フィルターのほぼ全表面より偏流す
ることなく空気を吸入することができる。ファン装置24
は第４図に示すような軸流式のファン装置が用いられて
おり、このファン装置24のファン24aの中心部には駆動
モータ（図示せず）が内蔵されている。この駆動モータ
は、第１図に示すようにスタンド支持部材12の軸孔に沿
って収納された配線25を通って電源が供給される。

ファン装置24の第3A図中下部には、第５図に示すような
静翼26が周辺の取付板部26aを介して設けられている
が、この静翼26の代りに第６図に示すようなハニカム構
造27を用いてもよい。静翼26の第3A図中下方には、ファ
ン装置24と同じ形式のファン装置28が設けられている。
このように２重の軸流ファン構造をとることにより静圧
を上げることができ、より微細なフィルターでも対応で
き、クリーン度の向上を図ることができる。ファン装置
28の同図中下部には、静翼26と同じ構造の静翼30が設け
られているとともに、ファン装置28から吹出される空気
が供給される圧力室31が設けられている。圧力室31の図
中下部、すなわちハウジング18の下端部にはクッション
33を介して微細フィルター35（第２フィルター）が設け
られ、この微細フィルター35は空気を通過させる際に約
0.3μｍ以上の塵や粒子を除去することができる。微細
フィルター35の周部は第７図に示すようにアルミ等のシ
ール部材36により被覆されて保持されている。

ハウジング18の微細フィルター35よりさらに第3A図中下
方の下端部には、開口が下向きでコの字状の断面を有す
るリテーナ37が止めネジ39により設けられ、このリテー
ナ37の下向き開口部には筒状のスカート部材41が止めネ
ジ43により取付けられている（第７図および第８図参
照）。なおこのスカート部材41は、第3B図のように外装
部材10の下部に設置するようにしてもよい。

第3A図に示すように、外装部材10の内側でハウジング18
の外側にはフレーム45を介してランプ47が設けられ、こ
のランプ47の光が外装部材10の下方にあけられた照射孔
10aから照射されて外装部材10の下方の作業場等を照ら
すようになっている。

このような清浄送風装置においては、配線25を通してフ
ァン装置24,28のそれぞれの駆動モータに電源を供給す
ると、ファン装置24,28のファンが回転してハウジング1
8の第3A図中上方の空気が粗フィルター20を通って空気
貯留室22内に吸入され、このとき空気中の10〜100μｍ
以上の塵や粒子が粗フィルター20により除去される。空
気貯留室22内の空気はファン装置24によりハウジング18
内の図中下方に送られ、ファン装置24から吹出される際
に静翼26により空気はそのらせん運動を矯正されて略直
線方向に流れる。このため空気は効果的に送られるとと
もに騒音が防止される。この吹出された空気はファン装
置28により圧力室31内に供給され、このときも静翼30に
より空気は略直線方向に流れるよう矯正される。空気は
圧力室31内において高圧にされ、この高圧の空気は微細
フィルター35を通って送風ユニット16の図中下方に吹出
される。このとき空気中の約0.3μｍ以上の塵や粒子が
微細フィルター35により除去される。このため、微細フ
ィルター35の下方近傍の領域をクリーン状態にすること
ができる。

また、外装部材10がスタンド支持部材12により首振り可
能に支持されているため、送風ユニット16の位置をその
首振り調整により容易に変えることが可能であり、クリ
ーン状態の場所を自由に変更することができる。また、
従来のようなフードケースを用いずにクリーン状態を作
り出すことにより、そのようなフードケースに邪魔され
ることなく自由に作業を行うことができる。また、ファ
ン装置には、安価で、しかもファン中心にモータが内蔵
された構造の軸流式ファン装置が用いられているため、
小型、薄型の構造とすることができ、装置全体のコスト
アップ防止や、コンパクト化を図ることができる。

また、清浄送風装置の吹出し口にはスカート部材41が設
けられているため、吹出された空気は流れが側方に拡散
せず、風量が維持されて下方に強く吹き出されるので外
乱の影響を受け難く、所定領域に清浄な空気を送ること
ができ、従来のようなフードケースを用いなくともクリ
ーン状態を維持することができる。また、ファン装置2
4,28の吹出し口には静翼26,30、あるいはハニカム構造2
7等を設けるため、空気のらせん運動を伴う流れによる
騒音を防止することができる。さらに、ランプ47を設け
たために別個の証明器具を用いることなく、クリーン状
態の場所を明るくして作業をし易くすることができる。

第９図ないし第13図には本考案の他の実施例を示す。前
記実施例においては、リテーナ37を止めネジ39により締
ける際に微細フィルター35側にリテーナ37を押圧するよ
うにしているが、この実施例（他の実施例）は第９図に
示すような偏心円板50aを有する取付部材50を用いて、
リテーナ37を微細フィルター35側に押圧するようにした
ものである（第10図参照）。

すなわち、リテーナ37のハウジング18に接触する側の壁
板には第11図に示すような横長の長方形の孔52が形成さ
れ，ハウジング18には第12図に示すような、偏心円板50
aよりわずかに大きい丸孔54と、それに続いて横に伸
び、取付部材50の小径軸部50bの径よりわずかに広い幅
を有するスリット55が形成されている。このため、取付
部材50の偏心円板50aをまずハウジング18の内側に丸孔5
4から嵌入させ、それから取付部材50を水平方向に移動
させてその小径軸部50bをスリット55に嵌合させる（第1
3図参照）。この状態で取付部材50を回転させると、偏
心円板50aが小径軸部50bの回りに回転することにより、
偏心円板50aの長径部が孔52の上方を押圧してリテーナ3
7を微細フィルター35側に押圧させることができる。こ
のため、シール部材36が弾性変形して微細フィルター35
の周部を確実にシールすることができ、ハウジング18の
微細フィルター35より内側と外側とを遮断して圧力室31
の高圧を保持することができる。

なお、上記実施例においてはハウジング18の下端部にス
カート部材41を設けたものについて説明したが、作業場
周囲の外乱が少ない場合にはスカート部材41を付けなく
ともクリーン状態を維持することができる。また、上記
実施例においてはファン装置を複数個設けたが、圧力損
失の小さい微細フィルターの場合は１個でもよい。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案によれば、ハウジングの位置
をその首振り調整により容易に変えることが可能であ
り、クリーン状態の場所を自由に変更することができ
る。また、従来のようなフードケースを用いずにクリー
ン状態を作り出すことにより、フードケースに邪魔され
ることなく自由に作業を行うことができる。さらにファ
ン装置には、安価で、しかもファン中心にモータが内蔵
された構造の軸流式ファン装置を用いることにより、小
型、薄型の構造とすることができ、装置全体のコストア
ップ防止や、コンパクト化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第８図は本考案による清浄送風装置の一実
施例を示す図であり、第１図はその外観側面図、第２図
は第１図におけるII矢視の外観正面図、第3A図は第１図
におけるIII−III矢視断面図、第3B図は外装部材にスカ
ート部材を取り付けた場合の断面図、第４図はファン装
置の斜視図、第５図は静翼の斜視図、第６図はハニカム
構造の斜視図、第７図はスカート部材の取付部の拡大断
面図、第８図はスカート部材の下面図、第９図ないし第
13図は本考案の他の実施例を示す図であり、第９図は取
付部材の斜視図、第10図はスカート部材の取付部の拡大
断面図、第11図はリテーナの孔の正面図、第12図はハウ
ジングの丸孔とスリットの正面図、第13図は取付部材
と、ハウジングの丸孔とスリットと、リテーナの孔との
組合せ状態を示す正面図、第14図は従来の清浄送風装置
を示す外観斜視図である。 12……スタンド支持部材、18……ハウジング 20……粗フィルター 24,28……ファン装置、31……圧力室 35……微細フィルター

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】筒状のハウジングと、このハウジングの一
   端部に設けられハウジング内に吸入する空気が通過する
   第１フィルタと、前記ハウジングの他端部に設けられ外
   部に排出する空気が通過する前記第１フィルタより微細
   な第２フィルタと、前記第１フィルタと第２フィルタと
   の間に設けられる圧力室と、前記第１フィルタと圧力室
   との間に収納され空気を吸入して高圧にして空気を前記
   圧力室に供給する軸流式のファン装置と、前記ハウジン
   グを静止部に対して首振り可能に支持するスタンド支持
   部材とを備えたことを特徴とする清浄送風装置。
2. 【請求項２】前記軸流式のファン装置が複数装着されて
   いることを特徴とする請求項（１）に記載の清浄送風装
   置。
3. 【請求項３】前記ハウジングまたは前記ハウジングを覆
   う外装部材の吹出し側に筒状のスカート部材を設けたこ
   とを特徴とする請求項（１）または（２）に記載の清浄
   送風装置。