JPH07120423A - ガス識別装置 - Google Patents
ガス識別装置Info
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- JPH07120423A JPH07120423A JP9351994A JP9351994A JPH07120423A JP H07120423 A JPH07120423 A JP H07120423A JP 9351994 A JP9351994 A JP 9351994A JP 9351994 A JP9351994 A JP 9351994A JP H07120423 A JPH07120423 A JP H07120423A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 単一のガスセンサで数種類のガス種の識別を
可能とすることにより、全体を小型化するとともに、省
エネルギー化を図る。 【構成】 動作温度によって特性が変化する単一のガス
センサ１と、このガスセンサ１の動作温度を任意の温度
に設定可能な制御手段５と、ガスセンサ１の出力変化を
パターン認識する情報処理手段４とを具え、ガスセンサ
１の動作温度を連続的または段階的に変化させ、これに
応じた出力変化を情報処理手段４で認識することで被検
出ガスのガス種を識別する。
可能とすることにより、全体を小型化するとともに、省
エネルギー化を図る。 【構成】 動作温度によって特性が変化する単一のガス
センサ１と、このガスセンサ１の動作温度を任意の温度
に設定可能な制御手段５と、ガスセンサ１の出力変化を
パターン認識する情報処理手段４とを具え、ガスセンサ
１の動作温度を連続的または段階的に変化させ、これに
応じた出力変化を情報処理手段４で認識することで被検
出ガスのガス種を識別する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はガス識別装置に関し、
特に、ガスセンサの出力変化をパターン認識することで
被検出ガスのガス種を識別するようにしたガス識別装置
に関するものである。
特に、ガスセンサの出力変化をパターン認識することで
被検出ガスのガス種を識別するようにしたガス識別装置
に関するものである。
【０００２】
【従来技術およびその問題点】近年、様々な分野でガス
やにおいを選択性良く検出したいという要望が高まって
おり、これに答えるため、安定性、感度性に優れる種々
のガスセンサが開発されている。しかし、これらのいず
れのガスセンサにあっても特定のガス等に対する選択性
といった面では、充分な性能が得られていない。
やにおいを選択性良く検出したいという要望が高まって
おり、これに答えるため、安定性、感度性に優れる種々
のガスセンサが開発されている。しかし、これらのいず
れのガスセンサにあっても特定のガス等に対する選択性
といった面では、充分な性能が得られていない。
【０００３】そこで、特性の異なるガスセンサを複数個
用意し、これらのガスセンサからの出力信号の組合わせ
を一つの出力パターンとしてとらえ、これをニューラル
ネットワーク等のような情報処理手段でパターン認識す
ることでガス種を識別しようとする試みが一般に行われ
ている。
用意し、これらのガスセンサからの出力信号の組合わせ
を一つの出力パターンとしてとらえ、これをニューラル
ネットワーク等のような情報処理手段でパターン認識す
ることでガス種を識別しようとする試みが一般に行われ
ている。
【０００４】すなわち、識別しようとする全てのガス種
について、予め、各々標準ガスを用いて各ガスセンサか
らの出力信号の組合わせによる出力パターンを求め、こ
れをニューラルネットワーク等のような情報処理手段で
パターン認識して記憶しておき、実際に測定した被検出
ガスの出力パターンと、情報処理手段に記憶しておいた
標準ガスの出力パターンとを比較し、類似性があるか否
かにより被検出ガスのガス種を判定するようにしたもの
である。
について、予め、各々標準ガスを用いて各ガスセンサか
らの出力信号の組合わせによる出力パターンを求め、こ
れをニューラルネットワーク等のような情報処理手段で
パターン認識して記憶しておき、実際に測定した被検出
ガスの出力パターンと、情報処理手段に記憶しておいた
標準ガスの出力パターンとを比較し、類似性があるか否
かにより被検出ガスのガス種を判定するようにしたもの
である。
【０００５】しかしながら、このような複数のガスセン
サとニューラルネットワーク等のような情報処理手段と
を具えたガス識別装置にあっては、複数個のガスセンサ
を同時に作動させなければならないため多大な消費電力
を必要とするとともに、ガス検出部が大きくなるため装
置全体が大型化してしまうという問題点があった。
サとニューラルネットワーク等のような情報処理手段と
を具えたガス識別装置にあっては、複数個のガスセンサ
を同時に作動させなければならないため多大な消費電力
を必要とするとともに、ガス検出部が大きくなるため装
置全体が大型化してしまうという問題点があった。
【０００６】この発明は、前記のような従来のもののも
つ問題点を解決したものであって、消費電力を低減させ
ることができるとともに、全体を小型化させることがで
きるガス識別装置を提供することを目的とするものであ
る。
つ問題点を解決したものであって、消費電力を低減させ
ることができるとともに、全体を小型化させることがで
きるガス識別装置を提供することを目的とするものであ
る。
【０００７】
【問題点を解決するための手段】上記の問題点を解決す
るためにこの発明は、動作温度によって特性が変化する
単一のガスセンサと、このガスセンサの動作温度を任意
の温度に設定可能な制御手段と、ガスセンサの出力変化
をパターン認識する情報処理手段とを具え、ガスセンサ
の動作温度を連続的または段階的に変化させ、これに応
じた出力変化を前記情報処理手段で認識することで被検
出ガスのガス種を識別する手段を採用したものである。
るためにこの発明は、動作温度によって特性が変化する
単一のガスセンサと、このガスセンサの動作温度を任意
の温度に設定可能な制御手段と、ガスセンサの出力変化
をパターン認識する情報処理手段とを具え、ガスセンサ
の動作温度を連続的または段階的に変化させ、これに応
じた出力変化を前記情報処理手段で認識することで被検
出ガスのガス種を識別する手段を採用したものである。
【０００８】
【作用】この発明は前記のような手段を採用したことに
より、単一のガスセンサの動作温度を制御手段により連
続的に又は段階的に変化させ、これに応じた出力変化を
情報処理手段でパターン認識することで被検出ガスのガ
ス種が識別されることになる。
より、単一のガスセンサの動作温度を制御手段により連
続的に又は段階的に変化させ、これに応じた出力変化を
情報処理手段でパターン認識することで被検出ガスのガ
ス種が識別されることになる。
【０００９】
【実施例】以下、図面に示すこの発明によるガス識別装
置の実施例について説明する。図１には、この発明によ
るガス識別装置の第１の実施例の概略図が示されてい
て、このガス識別装置は、動作温度によって特性が変化
する単一のガスセンサ１と、このガスセンサ１の動作温
度を任意の温度に設定可能な制御手段５と、ガスセンサ
１の出力変化をパターン認識する情報処理手段４と、ガ
スセンサ１と情報処理手段４との間に設けられるインタ
ーフェース６とを具えている。
置の実施例について説明する。図１には、この発明によ
るガス識別装置の第１の実施例の概略図が示されてい
て、このガス識別装置は、動作温度によって特性が変化
する単一のガスセンサ１と、このガスセンサ１の動作温
度を任意の温度に設定可能な制御手段５と、ガスセンサ
１の出力変化をパターン認識する情報処理手段４と、ガ
スセンサ１と情報処理手段４との間に設けられるインタ
ーフェース６とを具えている。
【００１０】前記ガスセンサ１としては、ガス感度が動
作温度や雰囲気温度に応じて変化するもの、例えば、金
属酸化物半導体型ガスセンサ、接触燃焼式ガスセンサ、
熱伝導式ガスセンサ、熱線半導体式ガスセンサ、水晶振
動式においセンサ等が好ましいが、これに限定すること
なく、同様の特性を有するものであればよいものであ
る。
作温度や雰囲気温度に応じて変化するもの、例えば、金
属酸化物半導体型ガスセンサ、接触燃焼式ガスセンサ、
熱伝導式ガスセンサ、熱線半導体式ガスセンサ、水晶振
動式においセンサ等が好ましいが、これに限定すること
なく、同様の特性を有するものであればよいものであ
る。
【００１１】また、前記情報処理手段４としては、たと
えば、ニューラルネットワークによるパターン認識法、
多変量解析の一種である主成分分析法等が好ましいが、
これに限定することなく、同様の効果が得られるもので
あればよいものである。
えば、ニューラルネットワークによるパターン認識法、
多変量解析の一種である主成分分析法等が好ましいが、
これに限定することなく、同様の効果が得られるもので
あればよいものである。
【００１２】そして、上記のように構成したガス識別装
置を用いて被検出ガスの識別を行うには、まず、識別し
ようとするガス種の標準ガスを用い、ガスセンサ１の各
動作温度に対応する各標準ガスの出力を求め、それらを
情報処理手段４でパターン認識して記憶する。
置を用いて被検出ガスの識別を行うには、まず、識別し
ようとするガス種の標準ガスを用い、ガスセンサ１の各
動作温度に対応する各標準ガスの出力を求め、それらを
情報処理手段４でパターン認識して記憶する。
【００１３】すなわち、例えば、ガスセンサ１として金
属酸化物半導体型ガスセンサ（市販品）を用い、情報処
理手段４として多変量主成分分析法を用い、被検出ガス
としてイソブタン、エタノール、メタンの３種類のガス
およびそれらの混合ガスを用い、制御手段５によりガス
センサ１の動作温度を、ヒータ２への印加電圧を制御す
ることで７段階（ＤＣ４Ｖ〜７Ｖの範囲で０．５Ｖ刻
み）に変化させ、各動作温度に対応する前記３種類のガ
スおよびそれらの混合ガスの出力を求め、それらを情報
処理手段４でパターン認識して記憶し、これを各標準ガ
スの基準パターンとする。
属酸化物半導体型ガスセンサ（市販品）を用い、情報処
理手段４として多変量主成分分析法を用い、被検出ガス
としてイソブタン、エタノール、メタンの３種類のガス
およびそれらの混合ガスを用い、制御手段５によりガス
センサ１の動作温度を、ヒータ２への印加電圧を制御す
ることで７段階（ＤＣ４Ｖ〜７Ｖの範囲で０．５Ｖ刻
み）に変化させ、各動作温度に対応する前記３種類のガ
スおよびそれらの混合ガスの出力を求め、それらを情報
処理手段４でパターン認識して記憶し、これを各標準ガ
スの基準パターンとする。
【００１４】このようにして求めた各標準ガスの各動作
温度に対応する出力が図２に示してあり、この図におい
て縦軸はガスセンサ１の出力（感度）を示し、横軸はガ
スセンサ１のヒータ２電圧（動作温度）を示している。
この図から、各標準ガスのガス感度が動作温度（ヒータ
電圧）に依存すること、および「ガス感度−動作温度曲
線」がガス種によって異なることが分かる。なお、混合
ガスについてのデータは省略する。
温度に対応する出力が図２に示してあり、この図におい
て縦軸はガスセンサ１の出力（感度）を示し、横軸はガ
スセンサ１のヒータ２電圧（動作温度）を示している。
この図から、各標準ガスのガス感度が動作温度（ヒータ
電圧）に依存すること、および「ガス感度−動作温度曲
線」がガス種によって異なることが分かる。なお、混合
ガスについてのデータは省略する。
【００１５】そして、上記のようにして求めた各標準ガ
スおよび混合ガスの「ガス感度−動作温度曲線」を出力
パターンとしてとらえ、それを基にして主成分分析を行
った結果が図３に示してある。ここで、図中Ａはイソブ
タン、Ｂはメタン、Ｃはエタノールを示し、Ａ＋Ｂはイ
ソブタンとメタンの混合ガス、Ｃ＋Ａはエタノールとイ
ソブタンの混合ガス、Ｂ＋Ｃはメタンとエタノールの混
合ガス、Ａ＋Ｂ＋Ｃはイソブタンとメタンとエタノール
の混合ガスを示している。この図から、各標準ガスおよ
び混合ガスの出力パターンが主成分得点分布図上で識別
可能なことが明らかである。
スおよび混合ガスの「ガス感度−動作温度曲線」を出力
パターンとしてとらえ、それを基にして主成分分析を行
った結果が図３に示してある。ここで、図中Ａはイソブ
タン、Ｂはメタン、Ｃはエタノールを示し、Ａ＋Ｂはイ
ソブタンとメタンの混合ガス、Ｃ＋Ａはエタノールとイ
ソブタンの混合ガス、Ｂ＋Ｃはメタンとエタノールの混
合ガス、Ａ＋Ｂ＋Ｃはイソブタンとメタンとエタノール
の混合ガスを示している。この図から、各標準ガスおよ
び混合ガスの出力パターンが主成分得点分布図上で識別
可能なことが明らかである。
【００１６】次に、実際のガスの識別に際しては、前述
した標準ガスの場合と同様の方法で被検出ガスに対する
ガスセンサ１の「ガス感度−動作温度曲線」を求め、こ
れを出力パターンとしてとらえ、情報処理手段４でパタ
ーン認識して主成分得点分布図を作成し、これと予め作
成しておいた標準ガスによる主成分得点分布図と照合
し、類似性があるか否かにより被検出ガスのガス種を識
別する。この実施例によるガス識別装置では、図３に示
すように、１個のガスセンサ１で３成分・７種類のガス
種を識別することができた。
した標準ガスの場合と同様の方法で被検出ガスに対する
ガスセンサ１の「ガス感度−動作温度曲線」を求め、こ
れを出力パターンとしてとらえ、情報処理手段４でパタ
ーン認識して主成分得点分布図を作成し、これと予め作
成しておいた標準ガスによる主成分得点分布図と照合
し、類似性があるか否かにより被検出ガスのガス種を識
別する。この実施例によるガス識別装置では、図３に示
すように、１個のガスセンサ１で３成分・７種類のガス
種を識別することができた。
【００１７】上記のようにこの実施例によるガス識別装
置にあっては、特性の異なる複数のガスセンサを用いた
従来のガス識別装置と同様な効果が単一のガスセンサで
得られるので、ガスセンサへの供給電力を従来のものに
比べて大幅に削減することができるとともに、使用する
ガスセンサの個数を少なくすることができるので、被検
出ガスの検出部を従来のものに比べて大幅に小さくする
ことができる。なお、前記の説明においては、情報処理
手段４として主成分分析法を用いたが、ニューラルネッ
トワークによるパターン認識法でも同様の効果を得るこ
とができた。
置にあっては、特性の異なる複数のガスセンサを用いた
従来のガス識別装置と同様な効果が単一のガスセンサで
得られるので、ガスセンサへの供給電力を従来のものに
比べて大幅に削減することができるとともに、使用する
ガスセンサの個数を少なくすることができるので、被検
出ガスの検出部を従来のものに比べて大幅に小さくする
ことができる。なお、前記の説明においては、情報処理
手段４として主成分分析法を用いたが、ニューラルネッ
トワークによるパターン認識法でも同様の効果を得るこ
とができた。
【００１８】第４図には、この発明によるガス識別装置
の第２の実施例の概略図が示されていて、このガス識別
装置は、動作温度によって特性が変化する単一のガスセ
ンサ１１と、このガスセンサ１１の動作温度を任意の温
度に設定可能な制御手段１５と、ガスセンサ１１の出力
変化をパターン認識する情報処理手段１４と、制御手段
１５と情報処理手段１４との間およびガスセンサ１１と
情報処理手段１４との間に設けられるインターフェース
１６とを具えている。
の第２の実施例の概略図が示されていて、このガス識別
装置は、動作温度によって特性が変化する単一のガスセ
ンサ１１と、このガスセンサ１１の動作温度を任意の温
度に設定可能な制御手段１５と、ガスセンサ１１の出力
変化をパターン認識する情報処理手段１４と、制御手段
１５と情報処理手段１４との間およびガスセンサ１１と
情報処理手段１４との間に設けられるインターフェース
１６とを具えている。
【００１９】前記ガスセンサ１１としては、前記第１の
実施例に示すものと同様に、ガス感度が動作温度や雰囲
気温度に応じて変化するもの、例えば、金属酸化物半導
体型ガスセンサ、接触燃焼式ガスセンサ、熱伝導式ガス
センサ、熱線半導体式ガスセンサ、水晶振動式においセ
ンサ等が好ましいが、これに限定することなく、同様の
特性を有するものであればよいものである。
実施例に示すものと同様に、ガス感度が動作温度や雰囲
気温度に応じて変化するもの、例えば、金属酸化物半導
体型ガスセンサ、接触燃焼式ガスセンサ、熱伝導式ガス
センサ、熱線半導体式ガスセンサ、水晶振動式においセ
ンサ等が好ましいが、これに限定することなく、同様の
特性を有するものであればよいものである。
【００２０】また、前記情報処理手段１４としては、前
記第１の実施例に示すものと同様に、ニューラルネット
ワークによるパターン認識法、多変量解析の一種である
主成分分析法等が好ましいが、これに限定することな
く、同様の効果が得られるものであればよいものであ
る。
記第１の実施例に示すものと同様に、ニューラルネット
ワークによるパターン認識法、多変量解析の一種である
主成分分析法等が好ましいが、これに限定することな
く、同様の効果が得られるものであればよいものであ
る。
【００２１】そして、上記のように構成したガス識別装
置を用いて被検出ガスの識別を行うには、まず、識別し
ようとするガス種の標準ガスを用い、ガスセンサ１１の
各動作温度に対応する各標準ガスの出力を求め、それら
を情報処理手段１４でパターン認識して記憶する。
置を用いて被検出ガスの識別を行うには、まず、識別し
ようとするガス種の標準ガスを用い、ガスセンサ１１の
各動作温度に対応する各標準ガスの出力を求め、それら
を情報処理手段１４でパターン認識して記憶する。
【００２２】すなわち、例えば、ガスセンサ１１として
熱伝導型ガスセンサを用い、情報処理手段１４として多
変量解析の一種である主成分分析法を用い、被検出ガス
として一般有機溶剤数種類の蒸気成分（アセトン、エタ
ノール、トルエン）を用い、制御手段１５によりヒータ
１２への印加電流を制御することでガスセンサ１１の動
作温度を１０段階（ＤＣ１ｍＡ〜ＤＣ１０ｍＡ）に変化
させ、各動作温度に対応する前記被検出ガスの出力を求
め、それらを情報処理手段１４でパターン認識して記憶
し、これを各標準ガスの基準パターンとする。
熱伝導型ガスセンサを用い、情報処理手段１４として多
変量解析の一種である主成分分析法を用い、被検出ガス
として一般有機溶剤数種類の蒸気成分（アセトン、エタ
ノール、トルエン）を用い、制御手段１５によりヒータ
１２への印加電流を制御することでガスセンサ１１の動
作温度を１０段階（ＤＣ１ｍＡ〜ＤＣ１０ｍＡ）に変化
させ、各動作温度に対応する前記被検出ガスの出力を求
め、それらを情報処理手段１４でパターン認識して記憶
し、これを各標準ガスの基準パターンとする。
【００２３】このようにして求めた各標準ガスの各動作
温度に対応する出力が図５に示してあり、この図におい
て縦軸はガスセンサ１１の出力（感度）を示し、横軸は
ガスセンサ１１のヒータ１２駆動電流（動作温度）を示
している。この図から、各標準ガスのガス感度が動作温
度（ヒータ駆動電流）に依存すること、および「ガス感
度−動作温度」曲線がガス種によって異なることが分か
る。
温度に対応する出力が図５に示してあり、この図におい
て縦軸はガスセンサ１１の出力（感度）を示し、横軸は
ガスセンサ１１のヒータ１２駆動電流（動作温度）を示
している。この図から、各標準ガスのガス感度が動作温
度（ヒータ駆動電流）に依存すること、および「ガス感
度−動作温度」曲線がガス種によって異なることが分か
る。
【００２４】そして、このようにして求めた各標準ガス
の「ガス感度−動作温度曲線」を出力パターンとしてと
らえ、それを基にして主成分分析を行った結果および他
の種類の被検出ガスの主成分分析の結果が図６に示して
ある。ここで、ａはアセトン、ｂはエタノール、ｃはト
ルエン、ｄはメタノール、ｅはメチルエチルケトン、ｆ
はｎ−ヘキサン、ｇはジエチルエーテル、ｈはｎ−ペン
タンを示している。この図から、各標準ガスの出力パタ
ーンが主成分得点分布図上で識別可能なことが分かる。
の「ガス感度−動作温度曲線」を出力パターンとしてと
らえ、それを基にして主成分分析を行った結果および他
の種類の被検出ガスの主成分分析の結果が図６に示して
ある。ここで、ａはアセトン、ｂはエタノール、ｃはト
ルエン、ｄはメタノール、ｅはメチルエチルケトン、ｆ
はｎ−ヘキサン、ｇはジエチルエーテル、ｈはｎ−ペン
タンを示している。この図から、各標準ガスの出力パタ
ーンが主成分得点分布図上で識別可能なことが分かる。
【００２５】実際のガスの識別に際しては、前記標準ガ
スの場合と同様の方法で被検出ガスに対するガスセンサ
１１の「ガス感度−動作温度曲線」を求め、これを出力
パターンとしてとらえ、情報処理手段１４でパターン認
識して主成分得点分布図を作成し、これと予め作成して
おいた標準ガスによる主成分得点分布図と照合し、類似
性があるか否かにより被検出ガスのガス種を識別する。
この実施例によるガス識別装置では、１個のガスセンサ
１１で８種類のガス種を識別することができた。
スの場合と同様の方法で被検出ガスに対するガスセンサ
１１の「ガス感度−動作温度曲線」を求め、これを出力
パターンとしてとらえ、情報処理手段１４でパターン認
識して主成分得点分布図を作成し、これと予め作成して
おいた標準ガスによる主成分得点分布図と照合し、類似
性があるか否かにより被検出ガスのガス種を識別する。
この実施例によるガス識別装置では、１個のガスセンサ
１１で８種類のガス種を識別することができた。
【００２６】上記のようにこの実施例によるガス識別装
置にあっても、前記第１の実施例に示すものと同様に、
特性の異なる複数のガスセンサを用いた従来のガス識別
装置と同様な効果が単一のガスセンサで得られるので、
ガスセンサへの供給電力を従来のものに比べて大幅に削
減することができる。また、使用するガスセンサの個数
を少なくすることができるので、被検出ガスの検出部を
従来のものに比べて大幅に小さくすることができること
になる。さらに、この実施例で用いた熱伝導型ガスセン
サは、前記第１の実施例で用いた半導体型ガスセンサに
比べて高濃度のガスに対して安定した出力が得られるの
で、これを熱容量の小さな微小基板上に形成すれば、高
速応答性に優れたセンサ出力が得られることになる。
置にあっても、前記第１の実施例に示すものと同様に、
特性の異なる複数のガスセンサを用いた従来のガス識別
装置と同様な効果が単一のガスセンサで得られるので、
ガスセンサへの供給電力を従来のものに比べて大幅に削
減することができる。また、使用するガスセンサの個数
を少なくすることができるので、被検出ガスの検出部を
従来のものに比べて大幅に小さくすることができること
になる。さらに、この実施例で用いた熱伝導型ガスセン
サは、前記第１の実施例で用いた半導体型ガスセンサに
比べて高濃度のガスに対して安定した出力が得られるの
で、これを熱容量の小さな微小基板上に形成すれば、高
速応答性に優れたセンサ出力が得られることになる。
【００２７】なお、前記の説明においては、情報処理手
段として主成分分析法を用いたが、ニューラルネットワ
ークによるパターン認識法でも同様の効果を得ることが
できた。
段として主成分分析法を用いたが、ニューラルネットワ
ークによるパターン認識法でも同様の効果を得ることが
できた。
【００２８】
【発明の効果】この発明は前記のように構成したことに
より、単一のガスセンサの動作温度を制御手段で段階的
または連続的に変化させ、各動作温度に対応するガスセ
ンサの被検出ガスに対する出力変化を出力パターンとし
て情報処理手段で認識することで、被検出ガスのガス種
を識別することができることになる。したがって、従来
のガス識別装置のように特性の異なる複数のガスセンサ
を用いる必要がなくなり、単一のガスセンサで従来のも
のと同様の効果が得られることになるので、ガスセンサ
への供給電力を大幅に削減することができるとともに、
被検出ガスの検出部を大幅に小さくすることができ、全
体を小型化することができるとともに、省エネルギー化
を図ることもできることになる等の優れた効果を有する
ものである。
より、単一のガスセンサの動作温度を制御手段で段階的
または連続的に変化させ、各動作温度に対応するガスセ
ンサの被検出ガスに対する出力変化を出力パターンとし
て情報処理手段で認識することで、被検出ガスのガス種
を識別することができることになる。したがって、従来
のガス識別装置のように特性の異なる複数のガスセンサ
を用いる必要がなくなり、単一のガスセンサで従来のも
のと同様の効果が得られることになるので、ガスセンサ
への供給電力を大幅に削減することができるとともに、
被検出ガスの検出部を大幅に小さくすることができ、全
体を小型化することができるとともに、省エネルギー化
を図ることもできることになる等の優れた効果を有する
ものである。
【図１】この発明によるガス識別装置の第１の実施例の
全体を示した概略図である。
全体を示した概略図である。
【図２】図１に示すもののガスセンサ応答の温度特性を
示した説明図である。
示した説明図である。
【図３】図１に示すものの主成分分析結果を示した説明
図である。
図である。
【図４】この発明によるガス識別装置の第２の実施例の
全体を示した概略図である。
全体を示した概略図である。
【図５】図４に示すもののガスセンサ応答の温度特性を
示した説明図である。
示した説明図である。
【図６】図４に示すものの主成分分析結果を示した説明
図である。
図である。
１、１１……ガスセンサ ２、１２……ヒータ ３、１３……電極 ４、１４……情報処理手段 ５、１５……制御手段 ６、１６……インターフェース
Claims (1)
- 【請求項１】 動作温度によって特性が変化する単一の
ガスセンサ（１）（１１）と、このガスセンサ（１）
（１１）の動作温度を任意の温度に設定可能な制御手段
（５）（１５）と、ガスセンサ（１）（１１）の出力変
化をパターン認識する情報処理手段（４）（１４）とを
具え、ガスセンサ（１）（１１）の動作温度を連続的ま
たは段階的に変化させ、これに応じた出力変化を前記情
報処理手段（４）（１４）で認識することで被検出ガス
のガス種を識別することを特徴とするガス識別装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9351994A JPH07120423A (ja) | 1993-08-31 | 1994-05-02 | ガス識別装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5-47305 | 1993-08-31 | ||
| JP4730593 | 1993-08-31 | ||
| JP9351994A JPH07120423A (ja) | 1993-08-31 | 1994-05-02 | ガス識別装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07120423A true JPH07120423A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=26387474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9351994A Pending JPH07120423A (ja) | 1993-08-31 | 1994-05-02 | ガス識別装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07120423A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0806655A3 (de) * | 1996-05-09 | 2001-11-07 | Epcos Ag | Verfahren zur Detektion von CH4 mit einem Ga2O3-Sensor und Verfahren zur Messung der CH4-Konzentration mit einem Ga2O3-Sensor |
| KR20160004783A (ko) * | 2014-07-04 | 2016-01-13 | 김한수 | 복수개의 동일한 반도체식 가스센서를 이용한 가스 종류 판별장치 및 방법 |
| US9536122B2 (en) | 2014-11-04 | 2017-01-03 | General Electric Company | Disposable multivariable sensing devices having radio frequency based sensors |
| US9538657B2 (en) | 2012-06-29 | 2017-01-03 | General Electric Company | Resonant sensor and an associated sensing method |
| US9638653B2 (en) | 2010-11-09 | 2017-05-02 | General Electricity Company | Highly selective chemical and biological sensors |
| US9658178B2 (en) | 2012-09-28 | 2017-05-23 | General Electric Company | Sensor systems for measuring an interface level in a multi-phase fluid composition |
| US9746452B2 (en) | 2012-08-22 | 2017-08-29 | General Electric Company | Wireless system and method for measuring an operative condition of a machine |
| JP2019524337A (ja) * | 2016-08-15 | 2019-09-05 | ロイヤル・メルボルン・インスティテュート・オブ・テクノロジーＲｏｙａｌ Ｍｅｌｂｏｕｒｎｅ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ Ｏｆ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ | ガスセンサカプセル |
| US10598650B2 (en) | 2012-08-22 | 2020-03-24 | General Electric Company | System and method for measuring an operative condition of a machine |
| US10684268B2 (en) | 2012-09-28 | 2020-06-16 | Bl Technologies, Inc. | Sensor systems for measuring an interface level in a multi-phase fluid composition |
| US10914698B2 (en) | 2006-11-16 | 2021-02-09 | General Electric Company | Sensing method and system |
-
1994
- 1994-05-02 JP JP9351994A patent/JPH07120423A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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