JPH07122595B2 - 音響・光学的分散フイルタ及び2つ以上の波長の分離方法 - Google Patents

音響・光学的分散フイルタ及び2つ以上の波長の分離方法

Info

Publication number
JPH07122595B2
JPH07122595B2 JP60242594A JP24259485A JPH07122595B2 JP H07122595 B2 JPH07122595 B2 JP H07122595B2 JP 60242594 A JP60242594 A JP 60242594A JP 24259485 A JP24259485 A JP 24259485A JP H07122595 B2 JPH07122595 B2 JP H07122595B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wavelength
crystal
light
optical
incident
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP60242594A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61173122A (ja
Inventor
ミルトン・ゴツトリーブ
フレデリツク・レイター・シヤツフ
Original Assignee
ローズマウント・アナリティカル・インコーポレイテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ローズマウント・アナリティカル・インコーポレイテッド filed Critical ローズマウント・アナリティカル・インコーポレイテッド
Publication of JPS61173122A publication Critical patent/JPS61173122A/ja
Publication of JPH07122595B2 publication Critical patent/JPH07122595B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/1256Generating the spectrum; Monochromators using acousto-optic tunable filter
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/11Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on acousto-optical elements, e.g. using variable diffraction by sound or like mechanical waves
    • G02F1/116Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on acousto-optical elements, e.g. using variable diffraction by sound or like mechanical waves using an optically anisotropic medium, wherein the incident and the diffracted light waves have different polarizations, e.g. acousto-optic tunable filter [AOTF]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、2つ以上の光波長を同時にモニタする方法及
びこの方法を実施するための装置、特に一定の励振周波
数で複数の波長を同時にモニタすることのできる、電子
的に調節可能な分光装置である音響・光学的分散フィル
タに(AODLF)に係わる。本発明はほぼ1オクターブの
光レンジを有し、その中心はRFを変えることにより選択
される。赤外部におけるAODLFの分解能は数千程度であ
り、これも電子的に調節できる。本発明の方法及び装置
は、例えば短い光パルスの検出及び分析に特に有用であ
る。
(従来の技術) 広い帯域幅にわたって光をソリッドステート装置で迅速
に分析する有用な手段としての音響・光学的同調フィル
タ(AOTF)はすでに古くから知られている。AOTFの主な
利点はスペクトル分解能にすぐれた広い開口角を有し、
可視域にも赤外域にも利用できることにある。しかし、
AOTFは本来シングルチャンネル装置である。即ち、典型
的には数十マイクロ秒程度の時間ずれで複数の波長分解
成分にランダムアクセスできるが、一度には唯1つの波
長分解成分しか通せないのが固有な動作モードである。
このランダムアクセス時間は音響波が光学的開口を横切
る移動時間だけにより制限される。即ち、フィルタリン
グされた光を単一の検出素子に入射させ、印加RFの出力
を線形時間掃引することによってスペクトル走査を行な
う。上記AOTFの典型的な応用は1982年2月2日付けの、
特許査定を受けた米国特許第4,490,845号“An Automat
ed Acousto−Optic Infrared Analyzer(自動式音響・光学赤外線アナライ
ザ)”に詳述されている。このようなスペクトル走査は
入射光がRFレンジの全掃引時間にわたって光の組成がほ
ぼ一定であるCWまたは極めて緩慢に変化する光信号であ
る場合には満足すべき成果を示すが、光パルス信号であ
る場合その光パルスの瞬間に光学的開口に適正な音響同
調周波数が存在しない限り検出されないため事が複雑に
なる。従って、到来時間が不明の既知光学波長を検出し
たければ、AOTFを正確にその音響同調周波数のRFで絶え
ず励振しなければならない。この操作は若干数の光波長
に同時に適用できるが、その場合、各光波長に対応する
音響同調周波数を同時にAOTFに作用させねばならない。
この場合、どの波長が検出されたかを確認するためには
数個のパルスにわたって周波数を低下させるという方法
を取らねばならない。デューティサイクルを小さくする
と、その結果として検出の確率が低くなる。このような
種々の問題点に鑑み、波長分解成分のすべてを同時に受
信できるように、多重チャンネル式の音響・光学的方法
を検討することが望まれる。
(発明が解決しようとする課題) そこで、本発明の目的は一定の励振周波数で複数の波長
を同時にモニタできる電子的に調節可能な分光装置であ
る音響・光学的分散フィルタ及びこのような音響・光学
的装置を操作して上記成果を得る方法を提案することに
ある。
AODLFは機能的には固定格子と極めて似ているが、ある
用途に有益ないくつかの重要な相違点ある。2つの主要
な相違点として、AODLFが同調可能であることと、複屈
折作用を行なうことがある。光学的に等方性(回折光の
偏光に変化がない)である従来の格子は回折光をひとつ
の次数だけに集中させるため、プレイジング(blazin
g)処理しなければならないが、AODLFはその複屈折性に
よりひとつの次数だけを発生させる。固定格子は等方性
であるから、ブレイズ(blaze)を含む開口はAODLFの開
口よりも狭く、その分だけ光レンジも制限される。固定
格子の光学的帯域中心を大きく変化させるには入射角を
機械的に変化させる必要があるが、 AODLFの帯域中心は入射角を変化させなくてもRFを変化
させるだけで変化させることができる。即ち、本発明の
AODLFの特徴は格子定数を電子的に同調できることであ
り、これにより、例えばスペクトル範囲を大きく変化さ
せると言うように動作の自由度を大きくとることができ
る。電子的に同調できるから、微分分光分析を行なうた
めに光学信号を周波数変調することは容易であり、これ
によりS/N比を一定信号のS/N比に比較して改善すること
ができる。
走査及び偏向に利用されるような最も簡単なAO・Bragg
回折を利用することによって、原理的には、光スペクト
ル分析を行なうことができることが知られている。しか
し、この極めて簡単なアプローチには厳しい制約があ
る。理想的にはこのような装置は次のように動作するで
あろう。即ち、分析すべき光が全スペクトル範囲にわた
って変化しない一定角度で、かつ適当な開口でセルに入
射し、確実に検出されるように、かつ最大感度となる10
0%に近い効率で音響・光学セルが一定のCW・RFで励振
され、各波長分解成分が異なる回折角でセルから出て、
システムの焦点面に配列した検出素子列が光を空間的に
分析することを可能にし、作用調節のために機械的動作
を必要としないようにスペクトル範囲及び分解能の電子
的制御が可能であるべきである。
低周波またはRaman・Nathモードの回折の最も簡単な形
においては、光波長λ、音響波長Λ=v/f及び干渉長l
の間の関係が 4lλ/Λ≡Q《1 (1) を満たさねばならない。ただし、vは音響波速度、fは
その周波数である。この条件が満たされるなら、音響波
伝播方向と直交する入射光の場合、光は sinθ=nλ/Λ=nλf/v (2) に従ってBragg角θで回折して多数の正及び負の次数
nを生じる。セルの分解能は光学的開口L内の音響波長
の数Nによって簡単に求められるから、 N=L/Λ=Lf/v (3) であり、開口角Aは音響波の回折広がりによって与えら
れる。
A=Λ/l=λ/lsinθ (4) 例えば5μmの光波長で2種類の好ましい赤外線物質Tl
3ASS3(TAS)及びHg2Cl2についていくつかの特性を容易
に評価することができる。条件Q<1を満たすため、TA
Sについてはl=1cm,Hg2Cl2についてはl=0.5cmとする
一方、RFを前者については2.3MHz、後者については1.1M
Hzとする。このような低い周波数においては、音響減衰
が制約要因とはならず、光学的開口結晶サイズを例えば
5cmに制限することができる。この場合、分解成分数はT
ASについては110、Hg2Cl2については158となる。これら
の特性を表Iに要約した。
光学スペクトル分析にRaman・Nath回折をこのように利
用することについてはいくつかの厳しい制約がある。第
1に、干渉長lは小さくなければならないから、長い赤
外線波長の場合、高い効率は望めない。即ち、波長の自
乗に比例してRF出力は高くなければならず、これらの好
ましい物質をもってしても、上記のl値では充分でな
く、その上、回折光が+1以外の次数に浪費されるた
め、単字数における検出効率が高くなり得ないからであ
る。第2に、多くの回折次数が存在するから、第1次と
第2次の間にオーバラップが起こらないようにするため
には光学的帯域幅が1オクターブに制限されざるを得な
い。第3に、Bragg角は開口よりも小さいから、入力光
が高度の平行光線束でなければならない。
このような問題点を回避するため、パラメータQ》1が
必要条件となるBragg回折モードの利用を試みてはどう
かと考えるむきがあるかも知れないが、このアプローチ
から生じる問題点を明らかにするため、同じl値に対し
てRFを10倍に増大させると仮定する。Braggモードで動
作させる場合、分析すべき光をBragg角で音響波に入射
させる必要があるため、入射光角が光波長と共に変化し
なければならない。入射光角が固定しようとすれば、ス
ペクトル範囲が開口によって制限される。このような関
係を表IIに要約する。
表IIから明らかなように、開口が小さいためスペクトル
範囲が極めて狭いという点でこのアプローチは満足なア
プローチとはいえない。光波長の変化に従ってセルを機
械的に回転させBragg角に合わせることによって範囲を
広げることはできるが、この場合、装置はもはや純粋に
電子的とはいえない。
公知の音響・光学的同調フィルタ (AOTF)はトランスジューサ・プレートと、トランスジ
ューサから発生する音響波が伝播する透明な光学的媒体
とから成る。トランスジューサとしては、多くの場合、
ニオブ酸リチウム(LiNbO3)または石英 (SiO2)のような圧電結晶の薄板が使用される。光学媒
体は例えばセレン化タリウム砒素(Tl3AsSe3)のように
結晶性で、しかも適当な対称性を具えるものでなければ
ならない。トランスジューサは音響的に高品質の結合手
段を介して光学媒体に作動的に結合されている。AOTFの
動作については、SPIE第82巻、第106ページ(1976年)
に掲載されたJ.D.Feichtner外の論文“Tunable Accust
o−Optic Filters and Their Application Spectr
oscopy(同調可能な音響・光学フィルタと分光分析への
応用)”に詳述されており、その内容は参照して本願明
細書に引用する。
本発明は、光の2つ以上の波長を同時にモニタする方法
であって、光学的入力面、光学的出力面及び一対の対向
側面を有し、一方の対向側面に音響波を入射させるため
の手段を音響的に結合した光学的に複屈折性の結晶体の
前記光学的入力面に、分析すべき光をその全スペクトル
範囲に亘り1つの偏光で且つ実質的に鉛直に入射させる
ことにより前記結晶体を通過させ、結晶体に所定の一定
周波数の音響波を入射させることにより、音響波との相
互作用の結果結晶体から出る入射光の各波長分解成分の
回折角に差が生じるようにするステップより成り、前記
結晶体の光学的入力面と前記対向側面とが成す所定の角
度は、音響波の前記所定の一定周波数において、入射光
波長が変化すると入射ブラッグ角に最小値が現れるが回
折ブラッグ角は入射光波長と共に実質的に直線的に増加
するように選択されていることを特徴とする光の2つ以
上の波長を同時にモニタする方法を提供する。
本発明の上記及その他の特徴と長所は添付図面に基づく
以下の詳細な説明から明らかになるであろう。
上述した等方性を持つ構成に課せられる制約は結晶の複
屈折性を利用する異方性 Bragg回折モードを採用することでいずれもかなり克服
することができる。このモードでは、入射光が(常光線
でも異常光線でも)必ず偏光し、回折光は直角に偏光す
る。異方性モードは信号処理用の広帯域スキャナに広く
利用されており、その最も代表的な例が二酸化テリリウ
ム・スキャナである。このモードの重要な特徴は(結晶
の屈折率、音響速度、及び光波長に応じた)一定のRF値
において、周波数が変化する過程で最小入射Bragg角が
現われるが、回折Bragg角は周波数に比例して増大する
ことにある。このモードを光の分光分析に利用すると周
波数を一定に維持すれば光波長についても同様の関係が
成り立つことがわかる。異方性Bragg入射角及び回折角
に関して下記の式が公知である。
及び ただし、ni及びndは入射及び回折光に対応する屈折率、
θ及びθは第3図に示すように、音響波の波面に関
して測定した値である。光波長に対してθを微分する
と、 この式から明らかなように、光波長が変化する過程で最
小θ値が現われる。最小θ値が現われる波長は式 に従ってRFの値を選択することで選択することができ
る。この最小θ値の付近で作動することの意義は光波
長が変化する過程においてこの最小値の近傍ではθ
誤差がほとんど問題にならないことである。しかし、回
折角は波長にほぼ比例して変化する。上記式から見られ
る他の重要な特徴は中心波長を電子的に同調できること
であり、光学的帯域中心(即ち、最小θの位置)は式
(8)に基づいてRFによって決定される。また、式
(5)から明らかなように、RF値及び光波長中心が式
(8)に従って変化してもθ値は変化しない。即ち、
光アナライザの帯域中心を電子的に変化させることがで
き、θを変化させるために機械的調節は不要である。
波長が変化しても屈折率の変化は小さいから、波長の違
いによる変化は無視できる程度でしかない。
この概念を量的に説明するため、数値例としてTAS及びH
g2Cl2を利用することができる。典型的な場合として、
アナライザの中心波長を5μmとし、光学的開口サイズ
を2cmとする。RF計算値はTASではf=231MHz,Hg2Cl2
はf=110.6MHzである。この2つの物質について波長に
対する入射角及び回折角を第1図及び第2図にグラフで
示した。TASの場合、3.4μm〜7.2μmの波長範囲で光
入射角は20゜であり2゜のばらつきがある。回折角は18
゜にわたって変化し、Hg2Cl2の場合光入射角は45゜であ
り、3.5μm〜7.6μmの間で2゜変化する間、回折光の
角度は32゜にわたって変化する。装置の分解能は光学的
開口内の音響波長の数で簡単に与えられ、光学的開口窓
を2cmとすれば、TASではN=4400、Hg2Cl2ではN=6300
となる。この値は非共線的なAOTFを利用して赤外線波長
で達成される分解能よりもはるかに大きい。入射及び回
折光の角度が大きく、入射及び回折光線が光学面と直交
するように光学面をカットしなければらない。このよう
な角度となるように面をカットした結晶を第3図に略示
し、 AODLF特性を表IIIに要約する。
第1図及び第2図に例示した2種類の構成ではおそらく
この装置に典型的と考えられるように、スペクトル帯域
幅が約1オクターブである。多重周波数動作で帯域幅を
広げる方法が考えられる。例えば、110.6MHzのRFでHg2C
l2セルを励振させて5μmの帯域中心を、また61.4MHz
のRFで励振させて9μmの帯域中心を得るとする。スペ
クトル範囲3μm〜12μm,帯域幅約2オクターブとした
両者のBragg角を第4図に示した。このように構成した
場合に起こる問題として、それぞれの回折角に対応して
2つの光波長が存在するから、両者を区別するため、な
んらかのコード化方式を使用しなければならなくなる。
最も簡単なものは2つの周波数間の時分割方式である
が、これを採用した場合、検出確率が低下する。ほかに
も種々のコード構成が考えられ、これらは今後の検討を
必要とする。
AODLFを利用する代表的なスペクトラム・アナライザを
第5図に略示した。このアナライザは入力側及び出力偏
光器、収束レンズ、及び測定値を提供する光検出素子を
含む。
2次元検出素子列を組込むことにより、1つの次元が線
走査像の空間的情報を含み、もう1つの次元がスペクト
ル情報を含むスペクトル分析を行うことができる。衛星
を利用した情報処理システムに応用されるAODLFの別の
能力として、微分モード動作によって、高い非コヒーレ
ント・バックグラウンドノイズの存在化において同期検
波のS/N比を求めることができる。これはAODLFに加えら
れるRFに極めて小さい周波数変調を加えることによって
達成される。検出素子信号のそれぞれをFMの基本波及び
第1調波におい位相ロックすることによって、各分解成
分の第1及び第2スペクトル導函数を観察する。AOTFに
対する重要な利点は全スペクトル範囲を連続的にモニタ
できることである。
AODLFを微分モードで作動することで、この装置が機械
的に有用な別の特徴を具えていることが明らかになる。
セルを励振させるCW波にFMを加えると、直ちに音響周波
数帯Δfが光学的開口に現われる。従って、それぞれの
角度分解成分の波長純度が劣化し、各成分の波長広がり
式(8)の微分によって求められる。
分解能の低下はこの“FM広がり”分解能と最大CW分解能
δλ=λv/Lfによって表わすことができる。
CW分解能が大きければ(即ち、Lが大きければ)、所与
のFMの広がりに対応する分解能の低下も大きくなること
はいうまでもない。表IIIに示したパラメータを利用し
て典型例を評価すると、TASの場合、分解能低下比は、 Hg2Cl2の場合には、 即ち、RFに加えるFMの振幅を変化させることにより、光
検出素子列からの直接信号に見られるように、AODLFの
分解能を低下させることができる。当然のことながら、
高い分解能でFMの基本波及び第1調波に同時に微分信号
が観察されることはいうまでもない。
以上に述べたのは分析すべき光が、全スペクトル範囲に
わたって変化しない一定角度で、かつ適当に大きい開口
角でセルに入射する音響・光学的分散フィルタである。
また、この音響・光学セルは分析すべき光の成分が確実
に検知され、ほとんど100%の効率で最大感度を発揮す
るように一定RFで励振される。各波長分解成分は1つの
次元においてそれぞれ異なる回折角でセルを出る一方、
それぞれの角度分解成分は回折角に直角の、それぞれ異
なる屈折角でセルを出るから、2次元検出素子列をシス
テムの焦点面に配列することにより、光をスペクトル的
にも空間的にも分析できる。スペクトル範囲及び分解能
は電子的に制御できるから、動作調節のために機械的に
運動させる必要はない。
【図面の簡単な説明】
第1図は231MHzの周波数で作動されるセレン化タリウム
砒素結晶AODLFにおける異方性Bragg角と波長の関係を示
すグラフ、第2図は110.6MHzの周波数で作動される塩化
水銀結晶AODLFにおける異方性Bragg角と波長との関係を
示すグラフ、第3A図及び第3B図はTAS結晶AODLF及び塩化
水銀結晶AODLFの構成をそれぞれ略示する構成図、第4
図は塩化水銀AODLFの2周波数動作におけるBragg角を示
すグラフ、第5図は本発明の電子的に調節可能な分光分
析システムを略示する構成図、第6図はTAS(セレン化
タリウム砒素)結晶AODLF及び塩化水銀AODLFにおける光
学的帯域中心同調関係を示すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭50−23838(JP,A) 特開 昭50−48943(JP,A) 特開 昭52−33750(JP,A) 特開 昭58−21429(JP,A) 特開 昭59−51314(JP,A)

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光の2つ以上の波長を同時にモニタする方
    法であって、光学的入力面、光学的出力面及び一対の対
    向側面を有し、一方の対向側面に音響波を入射させるた
    めの手段を音響的に結合した光学的に複屈折性の結晶体
    の前記光学的入力面に、分析すべき光をその全スペクト
    ル範囲に亘り1つの偏光で且つ実質的に鉛直に入射させ
    ることにより前記結晶体を通過させ、結晶体に所定の一
    定周波数の音響波を入射させることにより、音響波との
    相互作用の結果結晶体から出る入射光の各波長分解成分
    の回折角に差が生じるようにするステップより成り、前
    記結晶体の光学的入力面と前記対向側面とが成す所定の
    角度は、音響波の前記所定の一定周波数において、入射
    光波長が変化すると入射ブラッグ角に最小値が現れるが
    回折ブラッグ角は入射光波長と共に実質的に直線的に増
    加するように選択されていることを特徴とする光の2つ
    以上の波長を同時にモニタする方法。
  2. 【請求項2】この結晶体は通過する光を近軸異方性ブラ
    ック回折により回折することを特徴とする特許請求の範
    囲第1項の方法。
  3. 【請求項3】結晶体から出る波長分解成分の回折角が異
    なるため波長分解成分が実質的に空間的に分離され、ま
    た空間的に分離された各波長分解成分を同時に検出する
    ステップをさらに含むことを特徴とする特許請求の範囲
    第1又は第2項に記載の方法。
  4. 【請求項4】対向側面が互いに平行であることを特徴と
    する特許請求の範囲第1乃至3項に記載の方法。
  5. 【請求項5】分析すべき光が空間情報とスペクトル情報
    を共に含み、空間的に分離された波長分解成分が結晶体
    に関して配置された二次元検出器により検出されること
    により、1つの次元ではその空間情報が、また第2の次
    元ではスペクトル情報が得られることを特徴とする特許
    請求の範囲第1乃至4項に記載の方法。
  6. 【請求項6】入射させる音響波の周波数は、入射光の光
    学的帯域中心を変化させるように前記所定の一定周波数
    から別の異なる周波数へ同調可能であることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項に記載の方法。
  7. 【請求項7】入射光から光の2つ以上の波長を同時に空
    間的且つスペクトル的に分離する装置であって、入射光
    を実質的に鉛直に入射させる光学的入力面、光学的出力
    面、及び光学的入力面と所定の角度をなす一対の対向側
    面を有する光学的に複屈曲性の結晶体と、光学的出力面
    から出る各波長分解成分の回折角が異なるように結晶体
    に所定の一定周波数の音響波を入射させるため一方の対
    向側面に音響的に結合された手段とよりなり、光学的入
    力面と対向側面とが成す前記所定の角度は、音響波の前
    記所定の一定周波数において、入射光波長が変化すると
    入射ブラッグ角に最小値が現れるが回折ブラッグ角は入
    射光波長と共に実質的に直線的に増加するように選択さ
    れていることを特徴とする装置。
  8. 【請求項8】この結晶体は入射光を近軸異方性ブラッグ
    回折により回折させることを特徴とする特許請求の範囲
    第7項に記載の装置。
  9. 【請求項9】この結晶体は波長分解成分を実質的に空間
    的に分離し、空間的に分離された各波長分解成分を同時
    に検出するため結晶体の光学的出力面に関し配置された
    検出器手段を具備してなることを特徴とする特許請求の
    範囲第7項または第8項に記載の装置。
  10. 【請求項10】結晶体の前記対向側面は互いに平行であ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第7項乃至9項に記
    載の装置。
  11. 【請求項11】分析すべき光は空間情報及びスペクトル
    情報を共に含み、前記検出器手段は1つの次元では空間
    情報を、第2の次元ではスペクトル情報を検出するよう
    に結晶体の光学的出力面に関し配置された二次元検出器
    を含むことを特徴とする特許請求の範囲第7項乃至10項
    に記載の装置。
  12. 【請求項12】前記音響波を入射させる手段は、入射光
    の光学的帯域中心を変化させるべく入射させる音響波の
    周波数を前記所定の一定周波数から別の異なる周波数へ
    変化させるように電子的に同調可能であることを特徴と
    する特許請求の範囲第12項に記載の装置。
JP60242594A 1984-10-30 1985-10-29 音響・光学的分散フイルタ及び2つ以上の波長の分離方法 Expired - Fee Related JPH07122595B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/666,416 US4639092A (en) 1984-10-30 1984-10-30 Acousto-optic dispersive light filter
US666416 1984-10-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61173122A JPS61173122A (ja) 1986-08-04
JPH07122595B2 true JPH07122595B2 (ja) 1995-12-25

Family

ID=24674072

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60242594A Expired - Fee Related JPH07122595B2 (ja) 1984-10-30 1985-10-29 音響・光学的分散フイルタ及び2つ以上の波長の分離方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4639092A (ja)
EP (1) EP0180449A3 (ja)
JP (1) JPH07122595B2 (ja)
CN (1) CN1006826B (ja)
CA (1) CA1241429A (ja)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4663961A (en) * 1985-09-17 1987-05-12 Westinghouse Electric Corp. System for remote chemical analysis
US4722596A (en) * 1986-05-13 1988-02-02 Sperry Corporation Acousto-optic analyzer with dynamic signal compression
EP0286814A3 (de) * 1987-03-31 1990-03-21 Siemens Aktiengesellschaft Ansteuereinrichtung
US4767198A (en) * 1987-06-24 1988-08-30 Unisys Corporation SAW/BAW Bragg cell
JP2564577B2 (ja) * 1987-11-24 1996-12-18 日本電信電話株式会社 波長分割光スイッチ
US4886346A (en) * 1988-02-16 1989-12-12 Westinghouse Electric Corp. Method and apparatus for improving the angular aperture of an aodlf
US4896949A (en) * 1988-04-27 1990-01-30 Westinghouse Electric Corp. Acousto-optic tunable bandpass filter with strong sideband suppression
US5146358A (en) * 1990-01-25 1992-09-08 Pyr Systems, Inc. Optical communications system and method for transmitting information through a single optical waveguide
JP2665995B2 (ja) * 1990-12-26 1997-10-22 浜松ホトニクス株式会社 固体ストリークカメラ
JPH04279827A (ja) * 1990-12-26 1992-10-05 Hamamatsu Photonics Kk 固体ストリークカメラ
US5317379A (en) * 1992-02-11 1994-05-31 Rosemount Analytical Inc. Chemical species optical analyzer with multiple fiber channels
FR2688074B1 (fr) * 1992-02-28 1994-04-15 Thomson Csf Dispositif de deflexion angulaire acousto-optique, et analyseur de spectre utilisant un tel dispositif.
JP2536997B2 (ja) * 1992-05-26 1996-09-25 浜松ホトニクス株式会社 固体ストリ―クカメラ
US5264957A (en) * 1992-07-02 1993-11-23 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Electrically controlled multiple dispersion (zoom) device
US5463493A (en) * 1993-01-19 1995-10-31 Mvm Electronics Acousto-optic polychromatic light modulator
WO1995003563A1 (en) * 1993-07-26 1995-02-02 Monash University Acousto-optical devices for producing tuneable diffraction gratings
JPH07106683A (ja) * 1993-10-07 1995-04-21 Nec Corp 狭帯域化エキシマレーザ装置
US6424451B1 (en) * 1994-04-19 2002-07-23 I-Cheng Chang Phase array acousto-optic tunable filter based on birefringent diffraction
US5652673A (en) * 1994-06-24 1997-07-29 Hinds Instruments, Inc. Elimination of modulated interference effects in photoelastic modulators
JP3825111B2 (ja) * 1996-12-25 2006-09-20 アークレイ株式会社 音響光学可変調フィルタの等価入射光角の決定方法
US5946128A (en) * 1997-08-15 1999-08-31 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Grating assisted acousto-optic tunable filter and method
US6181450B1 (en) 1998-05-12 2001-01-30 Harris Corporation System and method for free space optical communications
US6222658B1 (en) 1998-08-06 2001-04-24 Harris Corporation Method and apparatus for a free space optical non-processing satellite transponder
US6271953B1 (en) 1998-09-02 2001-08-07 Harris Corporation Method and system for optical free space communications using non-mechanical beam steering
US6490075B1 (en) 2001-08-16 2002-12-03 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Acousto-optic tunable filter hyperspectral imaging system
US7102809B2 (en) * 2004-07-22 2006-09-05 Northrop Grumman Corporation Acoustic-optic devices utilizing tellurium crystals
US7321425B2 (en) * 2004-12-20 2008-01-22 Honeywell International Inc. Sensor and methods for measuring select components in sheetmaking systems
FR2921500B1 (fr) * 2007-09-24 2010-03-12 Fastlite Procede et dispositif pour le filtrage acousto-optique programmable de haute resolution dans le domaine infrarouge.
EP2048542A2 (en) * 2007-10-09 2009-04-15 ASML Netherlands B.V. Alignment method and apparatus, lithographic apparatus, metrology apparatus and device manufacturing method

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5340462B2 (ja) * 1973-08-30 1978-10-27
US4052121A (en) * 1975-09-10 1977-10-04 Itek Corporation Noncollinear tunable acousto-optic filter
US4126834A (en) * 1977-06-27 1978-11-21 Gte Sylvania Incorporated Bulk wave bragg cell
US4505550A (en) * 1982-02-02 1985-03-19 Westinghouse Electric Corp. Infrared acousto-optic tunable filter
JPS59183339A (ja) * 1983-04-01 1984-10-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 色分離装置

Also Published As

Publication number Publication date
US4639092A (en) 1987-01-27
EP0180449A2 (en) 1986-05-07
CN1006826B (zh) 1990-02-14
CA1241429A (en) 1988-08-30
EP0180449A3 (en) 1988-06-22
CN85107916A (zh) 1986-06-10
JPS61173122A (ja) 1986-08-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH07122595B2 (ja) 音響・光学的分散フイルタ及び2つ以上の波長の分離方法
US4653869A (en) Acousto-optic dispersive light filter
US5216484A (en) Real-time imaging spectrometer
Chang Acousto-optic tunable filters
Tran Acousto-optic devices
US5737076A (en) Method and apparatus for determining substances and/or the properties thereof
US4602342A (en) Acousto-optic tunable filter
US4505550A (en) Infrared acousto-optic tunable filter
US4490845A (en) Automated acousto-optic infrared analyzer system
Kurtz et al. Rapid scanning fluorescence spectroscopy using an acousto‐optic tunable filter
US3644015A (en) Acousto-optic band reject light filter and apparatus using same
US3667038A (en) Acousto-optic rf spectrum analysis method and apparatus
US3653765A (en) Acousto-optic light spectrum analysis
US3988671A (en) Method and apparatus for colinear acousto-optic RF spectrum analysis
US4705362A (en) Acousto-optic tunable filter with two acoustic channels
JP2003522323A (ja) 蛍光発光測定装置
US4886346A (en) Method and apparatus for improving the angular aperture of an aodlf
Gottlieb et al. Programmable acousto-optic filter-a device for multispectral optical processing
Chang Acousto-optic tunable filter
Feichtner et al. Tunable acoustooptic filters and their applications to spectroscopy
Chang Development of an infrared tunable acousto-optic filter
Polikarpova et al. Frequency Range of Operation of the Piezoelectric Transducer of the Acousto-Optic Filter
CA1261955A (en) Acousto-optic tunable filter with two acoustic channels
Balakshy et al. Application of acousto-optic selectivity for optical image processing
US4299448A (en) Acousto-optic device

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees