JPH07123751A - リニア型超音波モータ - Google Patents

リニア型超音波モータ

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Publication number
JPH07123751A
JPH07123751A JP5287753A JP28775393A JPH07123751A JP H07123751 A JPH07123751 A JP H07123751A JP 5287753 A JP5287753 A JP 5287753A JP 28775393 A JP28775393 A JP 28775393A JP H07123751 A JPH07123751 A JP H07123751A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rod
elastic body
shaped elastic
progressive vibration
vibration wave
Prior art date
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Pending
Application number
JP5287753A
Other languages
English (en)
Inventor
Tadao Takagi
忠雄 高木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP5287753A priority Critical patent/JPH07123751A/ja
Publication of JPH07123751A publication Critical patent/JPH07123751A/ja
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 移動体被駆動時に棒状弾性体の長手方向に発
生する反力によって、励振部材が破損しないような構造
を提供する。 【構成】 棒状弾性体1と、棒状弾性体1に波長λの進
行性振動波を発生させる励振部材5と、棒状弾性体1の
端部からnλ/2〔但し、nは整数〕の位置に配置さ
れ、前記進行性振動波を減衰させる減衰部材6と、棒状
弾性体1の端部から(1+2m)λ/4〔但し、mは整
数〕の位置に配置され、棒状弾性体1を支持する支持部
材2,3とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、棒状弾性体に進行性振
動波を発生させて移動体を駆動するリニア型超音波モー
タに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の装置として、例えば、
「圧電/電歪アクチュエータ(内野研二著)p183〜
p184」には、伝播棒の両端部に圧電振動子を設け
て、一方の振動子で駆動を行い、他方の振動子で受波を
行うことにより、伝播棒に進行波を発生する構成が開示
されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した従来
の装置においては、圧電振動子(励振部材)が支持部材
を兼用しているので、移動体の被駆動時に伝播棒(棒状
弾性体)の長手方向に発生する反力を、その圧電振動子
が受けて、破損する可能性がある、という問題点があっ
た。
【0004】そこで、本発明は、移動体被駆動時に棒状
弾性体の長手方向に発生する反力によって、励振部材が
破損しないような構造のリニア型超音波モータを提供す
ることを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明によるリニア型超音波モータの第1の解決手
段は、棒状弾性体(1)と、前記棒状弾性体に進行性振
動波を発生させる励振部材(5)と、前記励振部材とは
分離されて配置され、前記棒状弾性体を支持する支持部
材(2,3)とを有することを特徴とする。
【0006】第2の解決手段は、棒状弾性体(1)と、
前記棒状弾性体の略中央部に配置され、その棒状弾性体
に進行性振動波を発生させる励振部材(5)と、前記棒
状弾性体の前記励振部材の両側であって前記棒状弾性体
の端部よりも内側に配置され、前記棒状弾性体を支持す
る第1及び第2の支持部材(2,3)とを有することを
特徴とする。
【0007】第3の解決手段は、棒状弾性体(1)と、
前記棒状弾性体に波長λの進行性振動波を発生させる励
振部材(5)と、前記棒状弾性体の端部からnλ/2
〔但し、nは整数〕の位置に配置され、前記進行性振動
波を減衰させる減衰部材(6)と、前記棒状弾性体の端
部から(1+2m)λ/4〔但し、mは整数〕の位置に
配置され、前記棒状弾性体を支持する支持部材(2,
3)とを有することを特徴とする。
【0008】
【作用】第1の解決手段においては、励振部材に対し
て、支持部材を構造的に分離したので、移動体の被駆動
時に発生する反力は、励振部材に悪影響を与えることが
なくない。
【0009】第2の解決手段においては、棒状弾性体の
両端付近で支持部材によって支持するので、安定して支
持することができる。
【0010】第3の解決手段においては、励振部材や減
衰部材に対して、分離して配置される支持部材を、振動
の節の位置に配置したので、支持による損失を最小にす
ることが可能となる。
【0011】
【実施例】以下、図面等を参照して、実施例につき、本
発明を詳細に説明する。図1は、本発明によるリニア型
超音波モータの実施例を示す図である。棒状弾性体1
は、2本の支持部材2、3により、固定部4a,4bに
支持されている。また、棒状弾性体1には、進行性振動
波を発生させるための圧電素子群5a〜5fと、進行性
振動波を吸収するための圧電素子6a,6bとが配置さ
れている。
【0012】圧電素子群5a〜5fは、図1に示すよう
に、圧電素子5a,5b,5e,5fが第1の方向に分
極処理され、圧電素子5c,5dが第1の方向とは逆の
方向に分極処理されている。そして、圧電素子5a,5
c,5eには、端子Aから第1の高周波電圧が印加さ
れ、圧電素子5b,5d,5fには、第1の高周波電圧
とはπ/2だけ位相のシフトした第2の高周波電圧が端
子Bから印加される。これにより、棒状振動体1に進行
性振動波が発生し、移動体9が駆動される。
【0013】移動体9は、棒状弾性体1と摺接する摺動
部9aと、棒状弾性体1に摺動部9aを加圧する加圧部
材9bと、加圧部材9bの加圧力を均一化する加圧板9
cと、固定部4c上を転がる車輪9dとから構成されて
いる。
【0014】圧電素子6aは、抵抗7aとコイル8a
を、圧電素子6bは、抵抗7bとコイル8bを介して、
それぞれグランド端子Gに接続されている。棒状弾性体
1に発生した振動エネルギーの一部は、圧電素子6a又
は圧電素子6bによって、電気エネルギーに変換され、
抵抗7(7a,7b)とコイル8(8a,8b)によっ
て消費される。なお、棒状弾性体1もグランド端子Gに
接続されている。
【0015】図2は、本実施例によるリニア型超音波モ
ータの棒状振動体の右端部を示す詳細図であって、棒状
振動体1に設けられる支持部材3と、進行性振動波を吸
収するための圧電素子6bの配置を示している。圧電素
子6bは、棒状弾性体1に発生する進行性振動波の波長
をλとすると、図2に示すように、棒状弾性体1の端面
からnλ/2〔但し、nは整数〕の位置に配置されてい
る。また、支持部材3は、棒状弾性体1の端面から(1
+2m)λ/4〔但し、mは整数〕の位置に配置されて
いる。なお、棒状振動体1の左端部においても、支持部
材2と圧電素子6aとの配置関係は同様である。
【0016】図3は、図2の棒状振動体の右端部におけ
る波動の挙動を示す説明図である。なお、説明を容易に
するために、n=m=1の場合を示しており、また、図
3(A)〜図3(D)は、時系列に並べてある。各図
は、圧電素子群5a〜5fによって起たされた進行性振
動波の原波xを細い実線により示し、端面で反射された
反射波yを細い点線により示し、原波と反射波との合成
波zを太い実線により示してある。
【0017】圧電素子6bの左側の合成波zの挙動に注
目すると、例えば、最大振幅点Aは、時間の経過と共
に、左から右方向に進行していることがわかる。また、
圧電素子6bの右側の合成波zの挙動に注目すると、例
えば、最小振幅点Bは、時間の経過に関係なく端面から
λ/4の定位置に存在することがわかる。この位置に支
持部材3を配置してある。
【0018】従って、本実施例のような構成にすること
により、進行性振動波を吸収するための圧電素子6b
の、左側の合成波zは進行性の振動波になり、右側の合
成波zは端面からλ/4の位置に節を有する定在波にな
る。
【0019】そこで、圧電素子6bの左側に発生する進
行性振動波によって、移動体9を駆動し、右側の定在波
の節の位置において支持することにより、理想的な支持
構造を有するリニア型超音波モータを提供できることに
なる。なお、棒状弾性体1の左端部における挙動も同様
である。
【0020】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、請求項1に
よれば、励振部材に対して、支持部材を構造的に分離し
たので、移動体の被駆動時に発生する反力は、励振部材
に悪影響を与えることがなくなり、励振部材が破損させ
ることを防止できる。
【0021】請求項2によれば、棒状弾性体の両端付近
で支持部材によって支持するので、安定して支持するこ
とができる。
【0022】請求項3によれば、励振部材や減衰部材に
対して、分離して配置される支持部材を、振動の節の位
置に配置したので、支持による損失を最小にすることが
可能となり、駆動効率が向上する、という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるリニア型超音波モータの実施例を
示す図である。
【図2】本実施例によるリニア型超音波モータの棒状振
動体の右端部を示す詳細図である。
【図3】図2の棒状振動体の右端部における波動の挙動
を示す説明図である。
【符号の説明】
1 棒状弾性体 2、3 支持部材 4a,4b 固定部 5a〜5f 圧電素子 6a,6b 圧電素子 9 移動体

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 棒状弾性体と、 前記棒状弾性体に進行性振動波を発生させる励振部材
    と、 前記励振部材とは分離されて配置され、前記棒状弾性体
    を支持する支持部材とを有することを特徴とするリニア
    型超音波モータ。
  2. 【請求項2】 棒状弾性体と、 前記棒状弾性体の略中央部に配置され、その棒状弾性体
    に進行性振動波を発生させる励振部材と、 前記棒状弾性体の前記励振部材の両側であって前記棒状
    弾性体の端部よりも内側に配置され、前記棒状弾性体を
    支持する第1及び第2の支持部材とを有することを特徴
    とするリニア型超音波モータ。
  3. 【請求項3】 棒状弾性体と、 前記棒状弾性体に波長λの進行性振動波を発生させる励
    振部材と、 前記棒状弾性体の端部からnλ/2〔但し、nは整数〕
    の位置に配置され、前記進行性振動波を減衰させる減衰
    部材と、 前記棒状弾性体の端部から(1+2m)λ/4〔但し、
    mは整数〕の位置に配置され、前記棒状弾性体を支持す
    る支持部材とを有することを特徴とするリニア型超音波
    モータ。
JP5287753A 1993-10-22 1993-10-22 リニア型超音波モータ Pending JPH07123751A (ja)

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JP5287753A JPH07123751A (ja) 1993-10-22 1993-10-22 リニア型超音波モータ

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JPH07123751A true JPH07123751A (ja) 1995-05-12

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