JPH0712540A - 透明膜を有するリードフレームの形状測定方法および測定機 - Google Patents
透明膜を有するリードフレームの形状測定方法および測定機Info
- Publication number
- JPH0712540A JPH0712540A JP5156899A JP15689993A JPH0712540A JP H0712540 A JPH0712540 A JP H0712540A JP 5156899 A JP5156899 A JP 5156899A JP 15689993 A JP15689993 A JP 15689993A JP H0712540 A JPH0712540 A JP H0712540A
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- Japan
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- light
- lead frame
- reflected
- light emitting
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】透明膜を貼り付けたリードフレームの透明膜表
面を検出すると共に、リードフレームの形状測定ができ
る形状測定方法および測定機を提供すること。 【構成】透明膜を有するリードフレームの表面に測定機
の発光部Ａから散乱光を照射し、測定機の別の発光部Ｂ
から平行光を入射させ透明膜表面で反射した表面反射光
Ｒ、および透明膜表面で屈折し透明膜内に入射し金属表
面で反射した屈折反射光Ｓを受光し、これら二段の反射
光を分離して検出することにより、光切断法を用いて透
明膜を有するリードフレームの形状を測定する透明膜を
有するリードフレームの形状測定方法、および、散乱光
を照射する発光部Ａと、平行光を投射する発光部Ｂとを
有し、透明膜を有するリードフレームに発光部Ｂから該
透明膜を有するリードフレームに平行光を投射し、表面
反射光Ｒおよび屈折反射光Ｓを分離して検出し得るセン
サーを有するリードフレームの形状測定機。
面を検出すると共に、リードフレームの形状測定ができ
る形状測定方法および測定機を提供すること。 【構成】透明膜を有するリードフレームの表面に測定機
の発光部Ａから散乱光を照射し、測定機の別の発光部Ｂ
から平行光を入射させ透明膜表面で反射した表面反射光
Ｒ、および透明膜表面で屈折し透明膜内に入射し金属表
面で反射した屈折反射光Ｓを受光し、これら二段の反射
光を分離して検出することにより、光切断法を用いて透
明膜を有するリードフレームの形状を測定する透明膜を
有するリードフレームの形状測定方法、および、散乱光
を照射する発光部Ａと、平行光を投射する発光部Ｂとを
有し、透明膜を有するリードフレームに発光部Ｂから該
透明膜を有するリードフレームに平行光を投射し、表面
反射光Ｒおよび屈折反射光Ｓを分離して検出し得るセン
サーを有するリードフレームの形状測定機。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属面に貼り付けた透
明膜を有するリードフレームの形状測定方法および形状
測定機に関するものである。
明膜を有するリードフレームの形状測定方法および形状
測定機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】リードフレームは、プレスまたはエッチ
ング加工により成型する。成型加工後、材料の内部歪み
や加工上の内部歪みにより、成型後の形状、特にインナ
ーリードにＺ方向の段差が発生する。その段差は光切断
法という原理を応用したリード段差測定機により測定し
ている。上記段差を測定する光切断法とはすなわち、加
工したインナーリードの表面にある角度から光をあて、
その反射光を受光し、インナーリードの位置を変えた時
の反射光の基準位置に対してのＺ方向の位置の変化を測
定している。反射光の位置が基準位置に対してＺ方向に
移動すればそこにインナーリードの段差が存在すること
になる。
ング加工により成型する。成型加工後、材料の内部歪み
や加工上の内部歪みにより、成型後の形状、特にインナ
ーリードにＺ方向の段差が発生する。その段差は光切断
法という原理を応用したリード段差測定機により測定し
ている。上記段差を測定する光切断法とはすなわち、加
工したインナーリードの表面にある角度から光をあて、
その反射光を受光し、インナーリードの位置を変えた時
の反射光の基準位置に対してのＺ方向の位置の変化を測
定している。反射光の位置が基準位置に対してＺ方向に
移動すればそこにインナーリードの段差が存在すること
になる。
【０００３】この光切断法は、上記のインナーリードの
段差測定以外の測定にも利用されており、物体の表面形
状を非破壊的に測定する測定原理として採用されてい
る。
段差測定以外の測定にも利用されており、物体の表面形
状を非破壊的に測定する測定原理として採用されてい
る。
【０００４】光切断法による物体の表面形状測定は、被
測定物が表面で光を反射するものである場合に有効であ
り、被測定物の表面に透明皮膜などが存在する表面にお
ける光の反射状態が複雑になり従来の測定機で表面形状
測定ができるとはいえなくなる。
測定物が表面で光を反射するものである場合に有効であ
り、被測定物の表面に透明皮膜などが存在する表面にお
ける光の反射状態が複雑になり従来の測定機で表面形状
測定ができるとはいえなくなる。
【０００５】最近、リードフレームには多様化、複合化
が進み、金属リードフレームの表面に透明のフイルムを
貼り付ける構造のものがでてきた。よって、このような
リードフレームでは、貼り付けたフイルムの表面反射の
Ｚ方向の位置を測定して表面形状測定をしなければなら
なくなった。
が進み、金属リードフレームの表面に透明のフイルムを
貼り付ける構造のものがでてきた。よって、このような
リードフレームでは、貼り付けたフイルムの表面反射の
Ｚ方向の位置を測定して表面形状測定をしなければなら
なくなった。
【０００６】一方、リードフレームは多ピン化が進み、
インナーリードの隣接するリードとの間隔はますます狭
くなり、従来の規定の光投射角度から光を投射する方式
の光切断方式にも精度上に限界がでてきた。
インナーリードの隣接するリードとの間隔はますます狭
くなり、従来の規定の光投射角度から光を投射する方式
の光切断方式にも精度上に限界がでてきた。
【０００７】よって、解決しなければならない問題とし
て、透明膜の存在を検出すること、透明膜が存在して
も、その表面からの反射光の測定から表面形状測定をし
なければならないこと、角度をつけないで入射する、す
なわち、検出面に垂直に入射する構造の検出器が必要に
なってきたこと等である。
て、透明膜の存在を検出すること、透明膜が存在して
も、その表面からの反射光の測定から表面形状測定をし
なければならないこと、角度をつけないで入射する、す
なわち、検出面に垂直に入射する構造の検出器が必要に
なってきたこと等である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、上記
した従来技術の欠点を解消し、透明膜を貼り付けたリー
ドフレームの透明膜表面を検出すると共に、リードフレ
ームの形状測定ができる形状測定方法および測定機を提
供することにある。
した従来技術の欠点を解消し、透明膜を貼り付けたリー
ドフレームの透明膜表面を検出すると共に、リードフレ
ームの形状測定ができる形状測定方法および測定機を提
供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題は本発明のリー
ドフレームの形状測定方法および測定機によって達成さ
れる。
ドフレームの形状測定方法および測定機によって達成さ
れる。
【００１０】すなわち、（１）透明膜を有するリードフ
レームの表面に測定機の発光部Ａからある角度で散乱光
を照射して透明膜の存在を明らかにし、該測定機の別の
発光部Ｂから、投射光の一部が屈折して透明膜に入射し
得る角度で該リードフレームに平行光を入射させ前記透
明膜表面で反射した表面反射光Ｒ、および透明膜表面で
屈折し透明膜内に入射し金属表面で反射した屈折反射光
Ｓのそれぞれ二段の反射光を受光し、前記二段の反射光
を分離して検出することにより、光切断法を用いて透明
膜を有するリードフレームの形状を測定することを特徴
とする透明膜を有するリードフレームの形状測定方法、
および、（２）ある角度から散乱光を照射する発光部Ａ
と、別の角度から平行光を投射する発光部Ｂとを有し、
透明膜を有するリードフレームに発光部Ａから散乱光を
照射して透明膜の存在を明らかにし、前記発光部Ｂから
該透明膜を有するリードフレームに平行光を投射し、前
記透明膜を有するリードフレームからの表面反射光Ｒお
よび屈折反射光Ｓの二段の反射光を分離して検出し得る
センサーを有することを特徴とする透明膜を有するリー
ドフレームの形状測定機である。
レームの表面に測定機の発光部Ａからある角度で散乱光
を照射して透明膜の存在を明らかにし、該測定機の別の
発光部Ｂから、投射光の一部が屈折して透明膜に入射し
得る角度で該リードフレームに平行光を入射させ前記透
明膜表面で反射した表面反射光Ｒ、および透明膜表面で
屈折し透明膜内に入射し金属表面で反射した屈折反射光
Ｓのそれぞれ二段の反射光を受光し、前記二段の反射光
を分離して検出することにより、光切断法を用いて透明
膜を有するリードフレームの形状を測定することを特徴
とする透明膜を有するリードフレームの形状測定方法、
および、（２）ある角度から散乱光を照射する発光部Ａ
と、別の角度から平行光を投射する発光部Ｂとを有し、
透明膜を有するリードフレームに発光部Ａから散乱光を
照射して透明膜の存在を明らかにし、前記発光部Ｂから
該透明膜を有するリードフレームに平行光を投射し、前
記透明膜を有するリードフレームからの表面反射光Ｒお
よび屈折反射光Ｓの二段の反射光を分離して検出し得る
センサーを有することを特徴とする透明膜を有するリー
ドフレームの形状測定機である。
【００１１】本発明の骨子は、光切断法を利用した表面
形状測定法に則り、かつ光の散乱を利用して透明膜の存
在を検出し、透明膜が存在しても光の直進、屈折および
反射を巧みに応用して新規な測定機を開発し、それによ
り従来測定が困難であった透明膜の存在する表面形状測
定を大幅に向上させたことである。
形状測定法に則り、かつ光の散乱を利用して透明膜の存
在を検出し、透明膜が存在しても光の直進、屈折および
反射を巧みに応用して新規な測定機を開発し、それによ
り従来測定が困難であった透明膜の存在する表面形状測
定を大幅に向上させたことである。
【００１２】ここで、測定機を開発するにあたり、透明
膜表面からの表面反射光Ｒと金属表面からの屈折反射光
Ｓの二段の反射光をそれぞれ別に分離してセンサーによ
り受光・検出できる様にしたこと。および同時に別の角
度から散乱孔、好ましくは色のついた散乱光を透明膜に
あて、膜表面の存在を明らかにする機能を配備したこと
が本発明の測定機の特徴である。
膜表面からの表面反射光Ｒと金属表面からの屈折反射光
Ｓの二段の反射光をそれぞれ別に分離してセンサーによ
り受光・検出できる様にしたこと。および同時に別の角
度から散乱孔、好ましくは色のついた散乱光を透明膜に
あて、膜表面の存在を明らかにする機能を配備したこと
が本発明の測定機の特徴である。
【００１３】
【実施例】図１および図２を用いて本発明の実施例につ
いて以下に説明する。ただし、本発明は以下の説明によ
って制限されるものではない。
いて以下に説明する。ただし、本発明は以下の説明によ
って制限されるものではない。
【００１４】図１は、透明のフイルムを貼り付けたリー
ドフレーム２に平行光を投射した時の光の反射の状況、
および反射光を検出する方法を示すブロック図である。
図１において、測定機の発光部Ａ（ランプ）より光を投
射する。光はスリット光、スポット光のいずれでもよ
い。光の投射角度は何度でもよいが範囲として２５°〜
４５°を選ぶ。リードフレーム２に貼り付けた透明膜３
により反射した光を受光するため、反対側に受光センサ
ー１を設置する。反射光は表面反射光Ｒと透明膜３を通
過した後裏面（金属表面）で反射する反射光（以下屈折
反射光Ｓという）に分けられ、それぞれの反射光をセン
サー１で分離受光する。受光した光を信号処理器５によ
り電気信号に変換し、デジタルカウンター６に表示す
る。また結果をプリンタ７により印刷する。
ドフレーム２に平行光を投射した時の光の反射の状況、
および反射光を検出する方法を示すブロック図である。
図１において、測定機の発光部Ａ（ランプ）より光を投
射する。光はスリット光、スポット光のいずれでもよ
い。光の投射角度は何度でもよいが範囲として２５°〜
４５°を選ぶ。リードフレーム２に貼り付けた透明膜３
により反射した光を受光するため、反対側に受光センサ
ー１を設置する。反射光は表面反射光Ｒと透明膜３を通
過した後裏面（金属表面）で反射する反射光（以下屈折
反射光Ｓという）に分けられ、それぞれの反射光をセン
サー１で分離受光する。受光した光を信号処理器５によ
り電気信号に変換し、デジタルカウンター６に表示す
る。また結果をプリンタ７により印刷する。
【００１５】図２は本発明の測定機の構造の概略を説明
する説明図である。
する説明図である。
【００１６】図２において、Ｂは発光部（ランプ）、２
は透明膜３を有するリードフレーム、１は受光センサ
ー、Ａは散乱光用ランプである。散乱光用ランプＡは、
透明膜３の表面の存在を明確にするため散乱光を側面か
ら照射する方が好ましいため中央部に設置した。散乱光
は白色光でもよいが、色調をもった光の方がよい。必要
に応じてフィルターを使用するためである。
は透明膜３を有するリードフレーム、１は受光センサ
ー、Ａは散乱光用ランプである。散乱光用ランプＡは、
透明膜３の表面の存在を明確にするため散乱光を側面か
ら照射する方が好ましいため中央部に設置した。散乱光
は白色光でもよいが、色調をもった光の方がよい。必要
に応じてフィルターを使用するためである。
【００１７】受光センサー１にはフォトセンサーを用
い、透明膜３の表面反射光Ｒを先ず検出し、次に屈折反
射光Ｓを検出する方式とする。
い、透明膜３の表面反射光Ｒを先ず検出し、次に屈折反
射光Ｓを検出する方式とする。
【００１８】ここで、重要なことは、表面反射光Ｒと屈
折反射光Ｓが分離できることであり、透明膜３が薄い場
合は入射角度を大きくする。
折反射光Ｓが分離できることであり、透明膜３が薄い場
合は入射角度を大きくする。
【００１９】図３に発光部Ｂから投射した平行光がリー
ドフレーム２の透明膜３の表面と、透明膜３の中を通っ
て金属部４の表面からと二段に、表面反射光Ｒおよび屈
折反射光Ｓとして反射し、受光センサー１に入る状況を
示した。
ドフレーム２の透明膜３の表面と、透明膜３の中を通っ
て金属部４の表面からと二段に、表面反射光Ｒおよび屈
折反射光Ｓとして反射し、受光センサー１に入る状況を
示した。
【００２０】
（１）本発明のリードフレーム形状測定機により、従来
困難であった透明膜を有するリードフレームの形状測定
が可能となった。
困難であった透明膜を有するリードフレームの形状測定
が可能となった。
【００２１】（２）リードフレームの表面における透明
膜の存在の有無が判別できる。
膜の存在の有無が判別できる。
【図１】透明膜を貼り付けたリードフレームからの反射
光を検出する本考案の測定方法を示すブロック図であ
る。
光を検出する本考案の測定方法を示すブロック図であ
る。
【図２】本発明のリードフレーム巻取り装置の巻取り機
と層間機スタンドを示す鳥瞰図である。
と層間機スタンドを示す鳥瞰図である。
【図３】本発明の測定の原理を説明する説明図である。
１ センサー（フォトセンサー） ２ リードフレーム ３ 透明膜 ４ リードフレーム（金属部） ５ 信号処理器 ６ デジタルカウンター ７ プリンター
Claims (2)
- 【請求項１】透明膜を有するリードフレームの表面に測
定機の発光部Ａからある角度で散乱光を照射して透明膜
の存在を明らかにし、該測定機の別の発光部Ｂから、投
射光の一部が屈折して透明膜に入射し得る角度で該リー
ドフレームに平行光を入射させ前記透明膜表面で反射し
た表面反射光Ｒ、および透明膜表面で屈折し透明膜内に
入射し金属表面で反射した屈折反射光Ｓのそれぞれ二段
の反射光を受光し、前記二段の反射光を分離して検出す
ることにより、光切断法を用いて透明膜を有するリード
フレームの形状を測定することを特徴とする透明膜を有
するリードフレームの形状測定方法。 - 【請求項２】ある角度から散乱光を照射する発光部Ａ
と、別の角度から平行光を投射する発光部Ｂとを有し、
透明膜を有するリードフレームに発光部Ａから散乱光を
照射して透明膜の存在を明らかにし、前記発光部Ｂから
該透明膜を有するリードフレームに平行光を投射し、前
記透明膜を有するリードフレームからの表面反射光Ｒお
よび屈折反射光Ｓの二段の反射光を分離して検出し得る
センサーを有することを特徴とする透明膜を有するリー
ドフレームの形状測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5156899A JPH0712540A (ja) | 1993-06-28 | 1993-06-28 | 透明膜を有するリードフレームの形状測定方法および測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5156899A JPH0712540A (ja) | 1993-06-28 | 1993-06-28 | 透明膜を有するリードフレームの形状測定方法および測定機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0712540A true JPH0712540A (ja) | 1995-01-17 |
Family
ID=15637834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5156899A Pending JPH0712540A (ja) | 1993-06-28 | 1993-06-28 | 透明膜を有するリードフレームの形状測定方法および測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0712540A (ja) |
-
1993
- 1993-06-28 JP JP5156899A patent/JPH0712540A/ja active Pending
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