JPH07128204A - サンプリング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 サンプリング装置におけるサンプリング流体
の滞留を防止し、サンプリングに際しての流体の廃棄や
配管の清浄化作業を不要にし、コスト及び効率の改善を
図る。 【構成】 サンプリング流体を通流する主配管１に開閉
バルブ５，６を有する取水管３と復水管４を設けてお
き、通常はバイパス管を取水管３と復水管４に接続して
主配管１を通流するサンプリング流体の一部をバイパス
管に通流させ、サンプリング時にはバイパス管をサンプ
リング管１３に取り替えてサンプリング流体がサンプリ
ング管１３を流れるようにし、かつその一部をサンプリ
ング口１５から取り出すことにより、取水管３と復水管
４においてサンプリング流体が滞留することを抑制し、
バクテリアの増殖等を有効に防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は純水等の流体のサンプリ
ングを行うサンプリング装置に関し、特に主配管を流れ
る流体の一部をサンプリングする装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体装置の製造工程で使用さ
れる純水は高い清浄度が要求されるため、半導体製造装
置に純水を供給する主配管から純水の一部をサンプリン
グし、純水中の不純物を検査する必要がある。従来、こ
の種のサンプリング装置として、図４に示す装置が提案
されている。同図において、純水を通流する主配管２１
の一部に試料管２２が連通接続され、この試料管２２に
は開閉操作される取出バルブ２３が設けられる。前記試
料管２２の他端は、純水を取り出すために開放され、或
いは図外の検査装置につながる管路に接続される。この
サンプリング装置では、取出バルブ２３を操作して開く
と、主配管２１内を通流される純水の一部が試料管２２
を通して取り出すことができ、サンプリングを行うこと
ができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような従来のサン
プリング装置は構造が簡易であるが、試料管２２に配設
する取出バルブ２３はその形状や寸法上の制約から試料
管の分岐箇所から所定寸法だけ離して配設しなければな
らない。このため、通常の使用では取出バルブ２３を閉
状態に保っておくため、この間中は分岐箇所とバルブ配
設箇所との間の試料管が盲管状となり、この部分ａで純
水が滞留され易く、バクテリアが増殖する可能性が高く
なる。このため、サンプリング時には、試料管からサン
プリングする純水のうち、始めの部分を所定量だけ流し
てこれを廃棄し、かつその純水の通流によって試料管の
内部を清浄化する必要がある。

【０００４】この清浄化には一定の時間が必要とされる
ため、その間サンプリング及び検査が停止され、作業効
率の低下を生じる。また、試料管を管路により検査装置
に接続している場合には、その純水を廃棄するための管
路やバルブ等を設ける必要があり、構造が複雑化すると
いう問題がある。また、廃棄するための廃棄管を配設す
る必要もある。更に、純水はその製造にコストがかかる
ため、廃棄する純水が無駄になり、コスト削減の点では
好ましくはない。本発明の目的は、主配管における流体
の滞留を防止し、サンプリングに際しての流体の廃棄を
不要にしたサンプリング装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明のサンプリング装
置は、サンプリングされる流体を通流する主配管の一部
に配設されて流体差圧を発生させる手段と、この流体差
圧発生手段の上流側と下流側にそれぞれ配設されて主配
管に連通される取水管および復水管と、これら取水管と
復水管のそれぞれに配設された開閉バルブと、取水管と
復水管とを連通するバイパス管と、取水管と復水管とを
連通しかつその中間一部に前記流体を分岐させて取り出
すサンプリング口を開設したサンプリング管とを有して
おり、バイパス管とサンプリング管とを取水管と復水管
とに選択的に接続し得るように構成する。ここで、流体
差圧を発生する手段は、主配管の内径を小さくさせるオ
リフィスで構成する。また、バイパス管とサンプリング
管はその両端が取水管と復水管とに対向されたＵ型型に
形成され、その両端部に設けた連結手段により取水管と
復水管に着脱可能に構成される。更に、サンプリング管
はその中間一部にＴ字管を介挿し、このＴ字管の分岐管
部をサンプリング口としてサンプリングチューブを接続
する。

【０００６】

【作用】通常はバイパス管を取水管と復水管に接続し、
主配管を通流するサンプリング流体の一部をバイパス管
に通流させる。サンプリング時には、バルブを一旦閉じ
てバイパス管をサンプリング管に取り替え、バルブを開
くことによりサンプリング流体がサンプリング管を流
れ、その一部をサンプリング口から取り出す。このた
め、取水管と復水管ににおいてサンプリング流体が滞留
することは極めて僅かであり、バクテリアの増殖等を有
効に防止する。

【０００７】

【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例の断面図である。サンプリ
ング流体としての純水を通流する主配管１の内部には、
主配管の内面に一体的に固定した環状の板で構成された
オリフィス２が設けられており、このオリフィス２を純
水が通過することにより、その流速が変化され、これに
よりその上流側と下流側との間に微小な流体差圧が発生
される。そして、この流体差圧が生じるオリフィス２の
上流側と下流側のそれぞれの箇所に取水管３と復水管４
を連通接続し、かつこれら取水管３と復水管４のそれぞ
れに各管路を開閉可能なバルブ５，６を配設している。
このバルブ５，６は手操作によって開閉操作されるも
の、或いは電磁力やバネ力等を利用して開閉操作される
もの等、種々のバルブを適用することができる。

【０００８】また、前記取水管３と復水管４の先端部に
は、図２に示すように、雌ネジ筒からなる水栓ソケット
７を一体に設けている。一方、前記取水管３と復水管４
とを連通可能なＵ字型のバイパス管８が設けられてお
り、このバイパス管８の両先端部には、それぞれ前記水
栓ソケット７の雌ネジ部に螺合される雄ネジ筒からなる
ネジ継管９が設けられる。このネジ継管９はバイパス管
８に固定した固定リング１０によってバイパス管８に対
して管軸回りに回転操作可能に設けられており、この回
転操作により前記水栓ソケット７に螺合され、バイパス
管８の各先端部を取水管３と復水管４のそれぞれに一体
に連結することが可能である。なお、図２において、１
１，１２は封止用のパッキンである。

【０００９】したがって、この構成によれば、通常では
バイパス管８の各ネジ継管９はそれぞれ水栓ソケット７
に嵌合され、かつ各バルブ５，６は開放されているた
め、バイパス管８は取水管３と復水管４に連結されて主
配管１に対してバイパス路を形成する。このため、主配
管１を通流される純水がオリフィス２を通過する際に生
じる流体差圧によって、取水管３と復水管４との各接続
箇所においても差圧が生じ、これにより主配管１を通流
される純水の一部は取水管３からバイパス管８を通り、
復水管４を通して主配管に戻される。したがって、取水
管３と復水管４においては常時純水の流れが発生してお
り、これらの管内に純水の滞留が生じることはなく、バ
クテリアの増殖等が防止できる。

【００１０】他方、サンプリングを行う場合には、一旦
各バルブ５，６を閉じた上で、ネジ継管９を水栓ソケッ
ト７から外し、バイパス管８を取水管３と復水管４から
離脱させる。しかる上で、図３のように、今度は取水管
３と復水管４とにわたってサンプリング管１３を取着す
る。このサンプリング管１３は前記バイパス管８と略同
じＵ字型の管として形成され、その両端部には同様に前
記水栓ソケット７に嵌合可能なネジ継管９が設けられ
る。更に、このサンプリング管１３の略中間位置には、
サンプリング管を分岐させるＴ字管１４が介挿されてお
り、その分岐管部はサンプリング口としてサンプリング
チューブ１５が接続され、図外の検査装置等に接続され
ている。

【００１１】このため、この状態でバルブ５，６を開く
と、主配管１を通流する純水の一部はそれまでと同様に
オリフィス２によって生じる流体差圧によってサンプリ
ング管１３を通流するようになり、かつこのサンプリン
グ管１３の途中において更にその一部がＴ字管１４によ
って分岐され、サンプリングチューブ１５から検査装置
に導かれ、サンプリングによる検査を行うことができ
る。或いは、サンプリングチューブ１５が検査装置に接
続されていない場合には、単に純水をサンプリングする
ことが可能となる。

【００１２】したがって、このサンプリングに際して
は、バイパス管８とサンプリング管１３を交換するため
にバルブ５，６を閉じている間に取水管３と復水管４の
一部が盲管状態となり、このとき純水が滞留されるが、
この間は極めて僅かな時間であるためにバクテリアが増
殖されることは殆どない。このため、サンプリング時に
所定量の純水を流して廃棄するとともに、その通流によ
って清浄化する必要がなく、かつそのための処理時間も
必要がない。

【００１３】なお、前記オリフィスに代えて、主配管の
一部を細径に絞ることで流体差圧を生じるように構成し
てもよい。また、前記実施例では純水のサンプリング装
置に適用した例を示しているが、他の流体についても同
様に適用することができる。また、バルブは、バイパス
管やサンプリング管を連結したときに開き、これらを外
したときに閉じる自動開閉式のものを利用してもよく、
この種のバルブを使用すればバルスを開閉するための操
作が不要になり、更に簡単な操作でのサンプリングが実
現できる。

【００１４】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、サンプリ
ング流体を通流する主配管に取水管と復水管を設けてお
き、通常はバイパス管を取水管と復水管に接続して主配
管を通流するサンプリング流体の一部をバイパス管に通
流させ、サンプリング時にはバイパス管をサンプリング
管に取り替えてサンプリング流体がサンプリング管を流
れるようにし、かつその一部をサンプリング口から取り
出すことにより、取水管と復水管においてサンプリング
流体が滞留することは極めて僅かとなり、バクテリアの
増殖等を有効に防止する。したがって、サンプリング時
に所定量のサンプリング流体を流して廃棄し、かつ通流
によって清浄化する必要がなく、かつそのための処理時
間も必要がなく、コスト的にも効率的に有利なサンプリ
ングを行うことができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のサンプリング装置の非サンプリング時
の状態の断面図である。

【図２】連結手段の一例を示す拡大断面図である。

【図３】本発明のサンプリング装置のサンプリング時の
状態の断面図である。

【図４】従来のサンプリング装置の断面図である。

【符号の説明】

１ 主配管 ２ オリフィス ３ 取水管 ４ 復水管 ５，６ バルブ ８ バイバス管 １３ サンプリング管 １４ Ｔ字管 １５ サンプリングチューブ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 サンプリングされる流体を通流する主配
   管の一部に配設されて流体差圧を発生させる手段と、こ
   の流体差圧発生手段の上流側と下流側にそれぞれ配設さ
   れて前記主配管に連通される取水管および復水管と、こ
   れら取水管と復水管のそれぞれに配設された開閉バルブ
   と、前記取水管と復水管とを連通するバイパス管と、前
   記取水管と復水管とを連通しかつその中間一部に前記流
   体を分岐させて取り出すサンプリング口を開設したサン
   プリング管とを有し、前記バイパス管とサンプリング管
   とを前記取水管と復水管とに選択的に接続し得るように
   構成したことを特徴とするサンプリング装置。
2. 【請求項２】 流体差圧を発生する手段が、主配管の内
   径を小さくするオリフィスである請求項１のサンプリン
   グ装置。
3. 【請求項３】 バイパス管とサンプリング管はその両端
   が取水管と復水管とに対向されたＵ型型に形成され、そ
   の両端部に設けた連結手段により取水管と復水管に着脱
   可能に構成される請求項１または２のサンプリング装
   置。
4. 【請求項４】 サンプリング管はその中間一部にＴ字管
   を介挿し、このＴ字管の分岐管部をサンプリング口とし
   てサンプリングチューブを接続してなる請求項１ないし
   ３のいずれかのサンプリング装置。