JPH0712947Y2 - 部品試験装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案は例えば半導体集積回路素子のような部品の良
否を試験する部品試験装置に関し、特に不良と判定され
た部品の再テストを自動的に行わせることができる機能
を付加した部品試験装置を提供しようとするものであ
る。

「従来の技術」 従来の半導体集積回路素子（以下単にICと称す）を試験
する部品試験装置では被試験ICを筒状のマガジンに整列
させて収納し、このマガジンをIC試験装置の部品供給側
のマガジンストッカに装着し、マガジンから先頭と後尾
の方向の向きが規定された部品を順次試験装置に供給す
る。

試験装置はマガジンから排出されたICを順次試験し、そ
の試験結果によって良品と不良品に選別し、良品と不良
品を別々のマガジンに仕分けして収納し、試験を終了す
る。

「考案が解決しようとする課題」 試験結果において不良品が多量に発生した場合次の２通
りの原因が考えられる。素子の製造工程のミス。試
験装置の不具合。

不良発生原因がかかを判定するには再テストが必要
となる。

従来は不良と判定されたICを収納したマガジンは人手に
よって試験装置の供給側マガジンストッカに移替え再テ
ストを実行している。

このために人手が掛かることと、試験部門における省略
化、強いては無人化の障害となっている。

この考案の目的は不良品が発生すると、その不良品を自
動的に再テストさせることができる機能を付加した部品
試験装置を提供しようとするものである。

「課題を解決するための手段」 この考案では、筒状のマガジンに被試験部品を収納した
マガジンが配置される供給側マガジン支持部と、 このマガジン支持部に配置されたマガジンから被試験部
品を順次取り出して複数の部品を所定位置に整列させる
部品整列装置と、 この部品整列装置によって整列された複数の部品を装置
内で循環するトレーに移載する第１部品移載装置とし
て、 第１部品移載装置によって部品が移載されたトレーが移
送され、搭載された部品の良否を試験する試験装置と、 この試験装置によって試験された部品を搭載して到来す
るトレーから、このトレーに搭載されている部品を直線
搬送装置に移載する第２部品移載装置と、 直線搬送装置に向かって開口部が対向して配置された複
数の空マガジンを支持した受取側マガジン支持部と、 直線搬送装置に搭載されて移送される部品の中の良品を
選択して受取側マガジン支持部に支持された良品収納用
空マガジンに良品と判定された部品を取り込む良品選別
装置と、 直線搬送装置に搭載されて移送される部品の中の不良品
を選択して受取側マガジン支持部を支持された不良品収
納用空マガジンに不良品を取り込む不良品選別装置と 空マガジン支持部に支持された不良品収納用空マガジン
が満杯になった状態で供給側マガジン支持部に移送する
不良マガジン搬送装置と、 によって部品試験装置を構成する。

この考案による部品試験装置によれば試験によって不良
と判定された部品は不良品を収納するために配置したマ
ガジンに収納される。

この不良品を収納した不良品収納マガジンは、このマガ
ジンに不良品が満杯になるまで取り込まれると、搬送装
置が動作を始め、搬送装置によって供給側マガジンスト
ッカに自動的に搬送される。

このようにこの考案によれば、不良品を収納したマガジ
ンが満杯になるごとに、その不良品を収納したマガジン
が供給側マガジンストッカに搬送され、不良と判定され
た部品は自動的に再テストされる。

従って、この考案によれば人手を掛けることなく、不良
と判定された部品を再テストすることができ、その再テ
ストの結果、部品自体の不良か試験装置の誤動作であっ
たのかを判定することができ便利である。

「実施例」 第１図乃至第３図にこの考案による部品試験装置の一例
を示す。第１図はこの考案による部品試験装置の平面図
を示し、第２図は正面から見た図を示す。

第１図に示す100は試験装置を示す。この試験装置100は
テストヘッド101に電気的に接続され、テストヘッド101
に装着される部品10は動作させて正常か否かを試験す
る。

なお、この例ではテストヘッド101を恒温槽102の内部に
設け、部品10を所望の温度環境下で動作させて試験を行
う構造とした場合を示す。

恒温槽102の内部と外部に跨がって部品10を搬送するた
めのトレー搬送路103が設けられる。このトレー搬送路1
03は閉ループを構成し、トレー104がこのトレー搬送路1
03に案内されてＡ−Ｂ−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ｆの順に順次循環
される。

恒温槽102の外側には少なくとも第１部品移載装置200
と、第２部品移載装置300および第１部品移載装置200に
部品10を送り込む供給側マガジン支持部400と、第２部
品移載装置300から排出される試験済みの部品10を取り
込むために空マガジンを配置した空マガジン支持部500
とが設けられる。

供給側マガジン支持部400と、空マガジン支持部500の下
側にはマガジン搬送装置600が設けられる。マガジン搬
送装置600は例えばベルトによる搬送機構を用いること
ができ、ベルトを例えばパルスモータによって駆動して
ベルトに乗せられたマガジンＭを矢印ＰとＱの何れの方
向にも移動させることができるように構成する。

供給側マガジン支持部400と空マガジン支持部500のそれ
ぞれの上部側には第２図に示すように供給側マガジンス
トッカ401と受取側マガジンストッカ501が設けられる。

供給側マガジンストッカ401にはこれから試験を行う部
品10が満杯の状態に収納されたマガジンＭが積み重ねら
れてストックされる。

受取側マガジンストッカ501には試験済みの部品を収納
したマガジンＭが積み重ねられてストックされる。

供給側マガジンストッカ401の底部にはマガシンＭを１
個ずつ送り出すエスケープ機構が設けられ、昇降装置40
2が底部に到来したとき、この昇降装置402に一本のマガ
ジンＭを引き渡す動作を行う。

一方、受取側マガジンストッカ501は底部にラッチ機構
が設けられ、昇降装置502によって試験済みの部品10で
満杯になったマガジンＭが押し込まれると、既に積み重
ねられているマガジンＭが共に押し上げられ、昇降装置
502で押し込まれたマガジンＭを受け取る動作を行う。

昇降装置402と502はそれぞれ、例えばエアシリンダによ
って駆動され、第１図に示すようにマガジン搬送装置60
0を構成するベルトの内側に設けられる。

供給側マガジン支持部400は昇降装置402からマガジンＭ
を受け取って支持する回動アーム403と、部品繰出装置4
04とによって構成される。

回動アーム403は筐体に対してその遊端部が上下方向に
回動自在に取り付けられると共に、水平な姿勢位置にロ
ックするロック機構が設けられ、昇降装置402が供給側
マガジンストッカ401から部品10が満杯に入っている状
態のマガジンＭを受け取って降下して来るとき回動アー
ム403は水平な姿勢にロックされ、マガジンＭを受け取
って支持することができる。

回動アーム403が水平な姿勢にあって、しかも回動アー
ム403の上にマガジンＭが搭載されている状態では昇降
装置402が上昇してきてマガジンＭに近づくとき昇降装
置402の動きに連動してロック機構のロックが外され、
マガジンＭの重量によって回動アーム403は下向きに回
動を始める。このとき昇降装置402がマガジンＭの下側
に位置しており、マガジンＭは昇降装置402に受け止め
られ昇降装置402に乗せ替えが行われる。従って、供給
側マガジン支持部400に支持されて部品10を排出したマ
ガジンは昇降装置402によってマガジン搬送装置600に送
られる。

水平な姿勢にある状態の回動アーム403の延長上に部品
の繰出装置404が設けられる。部品の繰出装置404は床40
5と、床405の下側に第３図に示すように設けたベルト40
6と、ベルト406に植設したピン407とによって構成さ
れ、ベルト406を例えばステッピングモータによって駆
動し、ピン407を床405とマガジンＭの底面に形成したス
リットを通じてマガジンＭの内部に挿入し、ピン407に
よってマガシンＭ内の部品10を最後部から押し、部品10
をマガジンＭの開放部分から１個ずつ排出させる。

供給側マガジン支持部400に支持されたマガジンの開口
部分と対向して部品10を横方向に整列させる整列装置40
9が設けられる。この整列装置409は例えばベルトを用い
た搬送装置を用いることができる。

つまり、一つのマガジンから部品繰出装置404によって
部品10を１個ずつ排出させると、マガジンＭから排出さ
れた部品10は整列装置409を構成するベルトの上に乗せ
られる。整列装置409を構成するベルトは部品10が１個
乗せられると、１ステップ横方向に移動する。部品10の
積込みと整列装置409の移動とを交互に行わせることに
よって部品10を一列に整列させることができる。

一列に整列された部品10は第１部品移載装置200によっ
てトレー104に乗せられる。トレー104には部品10が収納
される凹部104Aが形成され、この凹部104に部品10が落
し込まれて位置決めされる。

トレー104には一度に40〜80個程度の部品10が搭載され
る。

第１部品移載装置200はＹ軸方向に移動できるように支
持された移動台201と、この移動台201に取付けられ部品
を空気の吸引力によって吸着する吸着ベッド202とによ
って構成される。この例では移動台201に８個の吸着ヘ
ッド202を取り付けた場合を示す。従って整列装置409に
よって整列された部品10を８個ずつ吸着してトレー104
上に乗せることができる。第１部品移載装置200が整列
装置409から８個の部品10をトレー104に移すと、整列装
置409は部品10の配列ピッチのピッチ分移動し、第１部
品移載装置200の移載動作に備える。

なお、第１部品移載装置200は原則として整列装置409か
ら部品10を取り込むが、移載が終了し、空のトレー104
が送り込まれて来るまでの空き時間を利用して整列装置
409上の部品10を部品バッファ410に取り込むことも行わ
れる。

トレー104に部品10を所定数移載するとトレー104は恒温
槽102内に送り込まれ、テストヘッド101の位置で停止
し、この位置で部品10は１個ずつテストヘッド101に移
され、試験装置100に電気的に接続されて試験が行われ
る。

トレー104に付された番号と、トレー104上の配列位置に
応じて部品に番号を付され、その番号に試験の結果を表
すデータが付加されて記憶される。

従って、トレー104が第２部品移載装置300の位置に移動
したとき試験済みの部品10をトレー104から直線搬送装
置509に移し替えるとき、直線搬送装置509の上にある部
品10の良否の位置が選別装置700に伝えられる。

選別装置700は良品選別する良品選別装置701と、不良品
を選別する不良品選別装置702とが設けられる。良品選
別装置701は直線搬送装置509によって搬送されて来る部
品の内の良品が直前に到来したときエアシリンダのよう
な駆動装置を起動させて良品と判定された部品を空マガ
ジン支持部500に支持されている良品収納用の空マガジ
ンＭに押し込む。

また、不良品選別装置702と不良と判定された部品10が
直前に到来したとき、その部品を空マガジン支持部500
に支持されている不良品収納用の空マガジンに押し込
む。

良品および不良品をマガジンＭに押し込むことを繰り返
し、良品を収納したマガジンＭが満杯になると、その状
態をマガジンＭの閉塞端側に設けた孔を通じて光学式ス
イッチが検出する。この検出信号によって良品選別装置
701は選別動作を中断し、昇降装置502が上昇を始め、良
品を収納したマガジンＭを受取側マガジンストッカ501
に運ぶ、受取側マガシンストッカ501は先に説明した供
給側マガジンストッカ401とは逆に、下部から押し込ま
れるマガジンＭを取り込む動作を行う機構が底面部に設
けられている。

昇降装置502が受取側マガジンストッカ501に良品を収納
したマガジンＭを納めると、昇降装置502はマガジン搬
送装置600の下側まで移動し、空マガジンストッカ503か
ら空マガジンＭが送られて来るのを待つ。空マガジンス
トッカ503から空マガジンＭが送られて来ると昇降装置5
02はその空マガジンＭを持ち上げ、その空のマガジンＭ
を空マガジン支持部500に支持させる。

ここで、この考案においては不良品を収納したマガジン
Ｍが満杯になり次第、受取側マガジンストッカ501に収
納することなく、昇降装置502によってマガジン搬送装
置600に移し、供給側マガジン支持部400に帰還させる点
を特徴とするものである。

つまり不良と判定された部品10をマガジンＭに収納し、
このマガジンＭをマガジン搬送装置600によって供給側
マガジン支持部400の下側に搬送し、このマガジンＭを
供給側マガジン支持部400の回動アーム403に支持させる
ことによって不良と判定された部品を自動的に再テスト
することができる。

供給側マガジン支持部400において、不良品を収納した
マガジンＭを受け付ける位置を予め決めておくことによ
り、トレー104上に搭載される不良部品の位置を規定す
ることができる。

「考案の効果」 上述したように、この考案によれば不良と判定された部
品を自動的に供給側に帰還させるから、例えばテストヘ
ッド101の部分で接触の不具合によって不良が発生した
ような場合には、そのとき不良と判定された部品は再度
テストが行われる。

従って人手を掛けることなく不良と判定された部品を自
動的に再テストすることができ、再テストを所定回数以
上繰り返したとき、真に不良と判定することができる。

また人手を必要としないから無人にて試験を行うことが
できる利点が得られる。

この結果、人手を掛けることなく多量の部品を試験する
場合にその効果は頗る大である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す平面図、第２図はそ
の正面図、第３図はマガジンから部品を取り出す部分の
構造を説明するための断面図である。 100:試験装置、104:トレー、200:第１部品移載装置、30
0:第２部品移載装置、400:供給側マガジン支持部、409:
部品整列装置、500:空マガジン支持部、600:マガジン搬
送装置、701:良品選別装置、702:不良品選別装置、M:マ
ガジン。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】A.筒状のマガジンに被試験部品を収納した
   マガジンが配置される供給側マガジン支持部と、 B.このマガジン支持部に配置されたマガジンから被試験
   部品を順次取り出して複数の部品を所定位置に整列させ
   る部品整列装置と、 C.この部品整列装置によって整列された複数の部品を装
   置内で循環するトレーに移載する第１部品移載装置と、 D.第１部品移載装置によって部品が移載されたトレーが
   移送され、搭載された部品の良否を試験する試験装置
   と、 E.この試験装置によって試験された部品を搭載して到来
   するトレーから、このトレーに搭載されている部品を直
   線搬送装置に移載する第２部品移載装置と、 F.直線搬送装置に向かって開口部が対向して配置された
   複数の空マガジンを支持した受取側マガジン支持部と、 G.上記直線搬送装置に搭載されて移送される部品の中の
   良品を選択して上記受取側マガジン支持部に支持された
   良品収納用空マガジンに良品と判定された部品を取り込
   む良品選別装置と、 H.上記直線搬送装置に搭載されて移送される部品の中の
   不良品を選択して上記受取側マガジン支持部に支持され
   た不良品収納用空マガジンに不良品を取り込む不良品収
   納装置と、 I.上記受取側マガジン支持部に支持された不良品収納用
   空マガジンが満杯になった状態で上記供給側マガジン支
   持部に移送するマガジン搬送装置と、 を具備した部品試験装置。