JPH07140004A - 分光分析装置 - Google Patents
分光分析装置Info
- Publication number
- JPH07140004A JPH07140004A JP5314395A JP31439593A JPH07140004A JP H07140004 A JPH07140004 A JP H07140004A JP 5314395 A JP5314395 A JP 5314395A JP 31439593 A JP31439593 A JP 31439593A JP H07140004 A JPH07140004 A JP H07140004A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- grating
- spectroscope
- incident light
- limiting means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 分光器の状態に応じて変化する不要な光を予
め分光器室内に入らないようにし、高精度の分析を可能
とする。 【構成】 発光源と分光器室１１の入口スリット１９と
の間に、グレーティング１６の角度に応じて、グレーテ
ィング１６の回転軸１７に垂直な方向の開口部幅が変化
する入射光制限板２３を設ける。
め分光器室内に入らないようにし、高精度の分析を可能
とする。 【構成】 発光源と分光器室１１の入口スリット１９と
の間に、グレーティング１６の角度に応じて、グレーテ
ィング１６の回転軸１７に垂直な方向の開口部幅が変化
する入射光制限板２３を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、発光分光分析装置及び
吸光分光分析装置に関する。
吸光分光分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】分光分析装置は、高温に加熱された試料
が発生する光、或いは試料により特定の吸収線で吸収を
受けた光を分光器により分光し、各波長毎の強度を検出
することにより試料の分析を行なう装置である。従来の
分光分析装置の一例として、発光分光分析装置を図５に
より説明する。加熱された試料等の発光源２１で生成さ
れた光は、集光レンズ２０により分光分析装置の入口ス
リット１９に集光される。入口スリット１９を通過して
分光器室１１内に入った光は、第１反射鏡（凹面鏡）１
８により平行光とされ、グレーティング１６に送られ
る。グレーティング１６は入射した光を波長毎に分解し
て反射する。反射された光のうち、出口スリット１３の
位置、第２反射鏡（凹面鏡）１２の角度及びグレーティ
ング１６の角度により定まる特定の波長成分のみが出口
スリット１３に集光される。出口スリット１３を通過し
た光は、光検出器１４によりその強度が検出される。従
って、グレーティング１６の表面中心を通る軸１７を中
心にしてグレーティング１６を回転させることにより、
出口スリット１３を通過する光の波長を走査することが
でき、これにより、発光源２１で生成される光の波長強
度分布を測定することができる。
が発生する光、或いは試料により特定の吸収線で吸収を
受けた光を分光器により分光し、各波長毎の強度を検出
することにより試料の分析を行なう装置である。従来の
分光分析装置の一例として、発光分光分析装置を図５に
より説明する。加熱された試料等の発光源２１で生成さ
れた光は、集光レンズ２０により分光分析装置の入口ス
リット１９に集光される。入口スリット１９を通過して
分光器室１１内に入った光は、第１反射鏡（凹面鏡）１
８により平行光とされ、グレーティング１６に送られ
る。グレーティング１６は入射した光を波長毎に分解し
て反射する。反射された光のうち、出口スリット１３の
位置、第２反射鏡（凹面鏡）１２の角度及びグレーティ
ング１６の角度により定まる特定の波長成分のみが出口
スリット１３に集光される。出口スリット１３を通過し
た光は、光検出器１４によりその強度が検出される。従
って、グレーティング１６の表面中心を通る軸１７を中
心にしてグレーティング１６を回転させることにより、
出口スリット１３を通過する光の波長を走査することが
でき、これにより、発光源２１で生成される光の波長強
度分布を測定することができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】分析を高精度で行なう
ためには、発光源２１からの光をできるだけ多く利用す
ることが望ましい。そのため、従来の分光分析装置で
は、第１反射鏡１８から見たときのグレーティング１６
の見込み角が最も大きくなるときに、発光源２１からの
光がグレーティング１６の全面よりやや広い範囲を照射
するように光学系を構成していた。すなわち、それ以外
の不要な光は第１、第２各反射鏡１８、１２及びグレー
ティング１６の保持板１５に照射されたときに吸収され
るように、それらの必要範囲外の部分には光吸収剤を塗
布していた。
ためには、発光源２１からの光をできるだけ多く利用す
ることが望ましい。そのため、従来の分光分析装置で
は、第１反射鏡１８から見たときのグレーティング１６
の見込み角が最も大きくなるときに、発光源２１からの
光がグレーティング１６の全面よりやや広い範囲を照射
するように光学系を構成していた。すなわち、それ以外
の不要な光は第１、第２各反射鏡１８、１２及びグレー
ティング１６の保持板１５に照射されたときに吸収され
るように、それらの必要範囲外の部分には光吸収剤を塗
布していた。
【０００４】ここで、第１、第２反射鏡１８、１２は固
定されているが、グレーティング１６は測定波長により
その角度を変えなければならない。従って、図５（ａ）
に示すように、グレーティング１６の全面よりもやや広
い範囲の光を照射するようにしておくと、グレーティン
グ１６が回転して、図５（ｂ）に示すように、その見込
み角が小さくなったときには、多くの光がグレーティン
グ１６の外を照射することになる。もちろん、保持板１
５のグレーティング１６の周囲の表面には光吸収剤が塗
布されているが、光吸収剤は完全に光を吸収するもので
はないため、一旦分光器室１１内に入ってしまった光は
内部で散乱し、一部が迷光として出口スリット１３を通
過して光検出器１４により検出されてしまう。
定されているが、グレーティング１６は測定波長により
その角度を変えなければならない。従って、図５（ａ）
に示すように、グレーティング１６の全面よりもやや広
い範囲の光を照射するようにしておくと、グレーティン
グ１６が回転して、図５（ｂ）に示すように、その見込
み角が小さくなったときには、多くの光がグレーティン
グ１６の外を照射することになる。もちろん、保持板１
５のグレーティング１６の周囲の表面には光吸収剤が塗
布されているが、光吸収剤は完全に光を吸収するもので
はないため、一旦分光器室１１内に入ってしまった光は
内部で散乱し、一部が迷光として出口スリット１３を通
過して光検出器１４により検出されてしまう。
【０００５】本発明はこのような課題を解決するために
成されたものであり、その目的とするところは、分光器
の状態に応じて変化する不要な光を予め分光器室１１の
内部に入らないようにしておくことにより、高精度な分
析を行なうことのできる分光分析装置を提供することに
ある。
成されたものであり、その目的とするところは、分光器
の状態に応じて変化する不要な光を予め分光器室１１の
内部に入らないようにしておくことにより、高精度な分
析を行なうことのできる分光分析装置を提供することに
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明では、発光源からの光を入口スリット
を通して分光器室内に導入し、分光器室内でグレーティ
ングを所定の軸の回りに回転させ、その角度を変化させ
ることにより波長走査を行ない、該光の波長強度分布を
測定する分光分析装置において、発光源と上記入口スリ
ットとの間に配置され、グレーティングの角度に応じ
て、グレーティングの回転軸に垂直な方向の幅が変化す
る開口部を有する入射光制限手段を備えることを特徴と
している。
に成された本発明では、発光源からの光を入口スリット
を通して分光器室内に導入し、分光器室内でグレーティ
ングを所定の軸の回りに回転させ、その角度を変化させ
ることにより波長走査を行ない、該光の波長強度分布を
測定する分光分析装置において、発光源と上記入口スリ
ットとの間に配置され、グレーティングの角度に応じ
て、グレーティングの回転軸に垂直な方向の幅が変化す
る開口部を有する入射光制限手段を備えることを特徴と
している。
【０００７】
【作用】入射光制限手段の開口部の幅とグレーティング
の角度との関係は、入射光制限手段の開口部を通過した
光が常にグレーティングの全幅よりもやや広い範囲を照
射するように、予め定めておく。これにより、不要な光
が分光器室内に入ることが防止され、迷光による分析精
度の低下が防止される。
の角度との関係は、入射光制限手段の開口部を通過した
光が常にグレーティングの全幅よりもやや広い範囲を照
射するように、予め定めておく。これにより、不要な光
が分光器室内に入ることが防止され、迷光による分析精
度の低下が防止される。
【０００８】
【実施例】本発明の一実施例である発光分光分析装置を
図１及び図２により説明する。本実施例の発光分光分析
装置の基本的構成は図５に示した従来の装置と同様であ
るが、本実施例の装置では、発光源２１と集光レンズ２
０との間に入射光制限手段２３を配置する。本実施例で
用いる入射光制限手段２３は、図２に示すように、４枚
の枠板３１、３２、３３、３４により構成され、上下の
枠板３１、３２は固定、左右の枠板３３、３４のみがス
クリュー３６、３７により左右に移動可能となってい
る。スクリュー３６、３７は互いに逆ネジとなってお
り、モータ３８でスクリュー３６、３７を回転すること
により、左右の枠板３３、３４は同期して逆方向に移動
する。
図１及び図２により説明する。本実施例の発光分光分析
装置の基本的構成は図５に示した従来の装置と同様であ
るが、本実施例の装置では、発光源２１と集光レンズ２
０との間に入射光制限手段２３を配置する。本実施例で
用いる入射光制限手段２３は、図２に示すように、４枚
の枠板３１、３２、３３、３４により構成され、上下の
枠板３１、３２は固定、左右の枠板３３、３４のみがス
クリュー３６、３７により左右に移動可能となってい
る。スクリュー３６、３７は互いに逆ネジとなってお
り、モータ３８でスクリュー３６、３７を回転すること
により、左右の枠板３３、３４は同期して逆方向に移動
する。
【０００９】モータ３８は本発光分光分析装置の制御部
４０に接続されており、その指令により回転する。制御
部４０はグレーティング１６を回転させるためのモータ
３９とも接続されており、制御部４０は、これら枠板移
動用モータ３８及びグレーティング回転用モータ３９の
双方を同期して駆動する。
４０に接続されており、その指令により回転する。制御
部４０はグレーティング１６を回転させるためのモータ
３９とも接続されており、制御部４０は、これら枠板移
動用モータ３８及びグレーティング回転用モータ３９の
双方を同期して駆動する。
【００１０】本発光分光分析装置の電源スイッチが投入
されると、制御部４０は所定の初期化処理を行ない、そ
の中で、グレーティング１６を所定の初期角度位置に設
定すると共に、左右枠板３３、３４を所定の初期位置に
置く。このとき、入射光制限手段の上下左右枠板３１、
３２、３３、３４により形成される開口部３５を通過し
た発光源２１からの測定光は、初期角度位置にあるグレ
ーティング１６よりも僅かに広い範囲を照射するように
なっている。制御部４０に接続された測定開始ボタン４
１が操作されると、制御部４０はグレーティング回転用
モータ３９及び左右枠板移動用モータ３８を所定のプロ
グラム通りに駆動する。このプログラムは、入射光制限
手段２３の開口部３５を通過した光が常に、その時点に
おける、傾斜したグレーティング１６の全面よりも僅か
に広い範囲を照射するように、レンズ２０を含む光学系
の設計時点で計算され、予め設定されている。これによ
り、図１に点線で示すように、入射光制限手段２３が無
い場合には分光器室１１の内部に入る光が、本実施例で
は入射光制限手段２３により分光器室１１に入る前に
（入射光制限手段２３は、集光レンズ２０と入口スリッ
ト１９の間に置いてもよい）阻止され、実線で示すよう
に、グレーティング１６を照射するに必要な光だけが分
光器室１１に入る。従って、分光器室１１内の迷光が減
り、測定の精度が上昇する。
されると、制御部４０は所定の初期化処理を行ない、そ
の中で、グレーティング１６を所定の初期角度位置に設
定すると共に、左右枠板３３、３４を所定の初期位置に
置く。このとき、入射光制限手段の上下左右枠板３１、
３２、３３、３４により形成される開口部３５を通過し
た発光源２１からの測定光は、初期角度位置にあるグレ
ーティング１６よりも僅かに広い範囲を照射するように
なっている。制御部４０に接続された測定開始ボタン４
１が操作されると、制御部４０はグレーティング回転用
モータ３９及び左右枠板移動用モータ３８を所定のプロ
グラム通りに駆動する。このプログラムは、入射光制限
手段２３の開口部３５を通過した光が常に、その時点に
おける、傾斜したグレーティング１６の全面よりも僅か
に広い範囲を照射するように、レンズ２０を含む光学系
の設計時点で計算され、予め設定されている。これによ
り、図１に点線で示すように、入射光制限手段２３が無
い場合には分光器室１１の内部に入る光が、本実施例で
は入射光制限手段２３により分光器室１１に入る前に
（入射光制限手段２３は、集光レンズ２０と入口スリッ
ト１９の間に置いてもよい）阻止され、実線で示すよう
に、グレーティング１６を照射するに必要な光だけが分
光器室１１に入る。従って、分光器室１１内の迷光が減
り、測定の精度が上昇する。
【００１１】入射光制限手段の別の例を図３（ａ）に示
す。この例では、入射光制限手段２４は、モータ４４で
回転可能な、開口４３を設けた枠４２で構成される。枠
４２をモータ４４で回転させることにより、発光源（又
は吸光源）から見たときの開口部の幅（すなわち、開口
４３の光軸に垂直な面への投影幅）を変化させる（図３
（ｂ））。
す。この例では、入射光制限手段２４は、モータ４４で
回転可能な、開口４３を設けた枠４２で構成される。枠
４２をモータ４４で回転させることにより、発光源（又
は吸光源）から見たときの開口部の幅（すなわち、開口
４３の光軸に垂直な面への投影幅）を変化させる（図３
（ｂ））。
【００１２】測定の精度を更に高めるためには、波長に
よりレンズ２０の焦点距離が変化することを考慮するこ
とが望ましい。すなわち、入射光制限手段２３の開口部
の大きさを波長に無関係に定めると、焦点距離の変化に
よりグレーティング１６を照射する光束の範囲が変化す
る。この場合、光束の大きさは左右方向（グレーティン
グの回転軸に垂直な方向）のみならず上下方向（グレー
ティングの回転軸に平行な方向）にも変化させる必要が
ある。従って、波長によるレンズ２０の焦点距離の変化
を考慮に入れる場合、入射光制限手段としては、上下及
び左右の幅を変化することができるものを使用する。そ
の一例を図４に示す。この入射光制限手段２５は、モー
タ４８及びモータ４９により２軸で回転可能な枠４６で
あり、その開口４７の光軸に垂直な面への投影幅を両モ
ータ４８、４９により変化させる。すなわち、グレーテ
ィングの回転角に応じて、グレーティング回転軸に垂直
な方向の開口部の幅をモータ４８で、また、それに応じ
て変化する測定波長の焦点距離の変化に応じて、グレー
ティング回転軸に平行な方向の開口部の幅をモータ４９
で変化させる。もちろん、図２に示した例と同様、上限
枠板もモータとスクリューにより変化させるようにして
もよい。
よりレンズ２０の焦点距離が変化することを考慮するこ
とが望ましい。すなわち、入射光制限手段２３の開口部
の大きさを波長に無関係に定めると、焦点距離の変化に
よりグレーティング１６を照射する光束の範囲が変化す
る。この場合、光束の大きさは左右方向（グレーティン
グの回転軸に垂直な方向）のみならず上下方向（グレー
ティングの回転軸に平行な方向）にも変化させる必要が
ある。従って、波長によるレンズ２０の焦点距離の変化
を考慮に入れる場合、入射光制限手段としては、上下及
び左右の幅を変化することができるものを使用する。そ
の一例を図４に示す。この入射光制限手段２５は、モー
タ４８及びモータ４９により２軸で回転可能な枠４６で
あり、その開口４７の光軸に垂直な面への投影幅を両モ
ータ４８、４９により変化させる。すなわち、グレーテ
ィングの回転角に応じて、グレーティング回転軸に垂直
な方向の開口部の幅をモータ４８で、また、それに応じ
て変化する測定波長の焦点距離の変化に応じて、グレー
ティング回転軸に平行な方向の開口部の幅をモータ４９
で変化させる。もちろん、図２に示した例と同様、上限
枠板もモータとスクリューにより変化させるようにして
もよい。
【００１３】
【発明の効果】本発明に係る分光分析装置では、入射光
制限手段の開口部を通過した光が常にグレーティングの
全幅よりもやや広い範囲を照射するように設定しておく
ことができる。これにより、不要な光が分光器室内に入
ることが防止され、迷光による分析精度の低下が防止さ
れる。
制限手段の開口部を通過した光が常にグレーティングの
全幅よりもやや広い範囲を照射するように設定しておく
ことができる。これにより、不要な光が分光器室内に入
ることが防止され、迷光による分析精度の低下が防止さ
れる。
【図１】 本発明の一実施例である発光分光分析装置の
概略構成を示す平面図。
概略構成を示す平面図。
【図２】 入射光制限手段の第１の例である平行移動式
制限板の構成を示す側面図。
制限板の構成を示す側面図。
【図３】 入射光制限手段の第２の例である回転式制限
板の構成を示す正面図（ａ）、及び、その動作を示す平
面図（ｂ）。
板の構成を示す正面図（ａ）、及び、その動作を示す平
面図（ｂ）。
【図４】 入射光制限手段の第３の例である２軸回転式
制限板の構成を示す正面図。
制限板の構成を示す正面図。
【図５】 従来の発光分光分析装置の概略構成及び動作
を示す平面図。
を示す平面図。
１１…分光器室 １２…第２反射鏡 １３…出口スリット １４…光検出器 １５…グレーティング保持板 １６…グレーティング １７…グレーティング回転軸 １８…第１反射鏡 １９…入口スリット ２０…集光レンズ ２１…発光源 ２３、２４、２５…入
射光制限手段 ３１、３２…上下枠板 ３３、３４…左右枠板 ３５…開口部 ３６、３７…スクリュ
ー ３８…左右枠板移動用モータ ４０…制御部 ４１…測定開始ボタン
射光制限手段 ３１、３２…上下枠板 ３３、３４…左右枠板 ３５…開口部 ３６、３７…スクリュ
ー ３８…左右枠板移動用モータ ４０…制御部 ４１…測定開始ボタン
Claims (1)
- 【請求項１】 発光源からの光を入口スリットを通して
分光器室内に導入し、分光器室内でグレーティングを所
定の軸の回りに回転させ、その角度を変化させることに
より波長走査を行ない、該光の波長強度分布を測定する
分光分析装置において、 発光源と上記入口スリットとの間に配置され、グレーテ
ィングの角度に応じて、グレーティングの回転軸に垂直
な方向の幅が変化する開口部を有する入射光制限手段を
備えることを特徴とする分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5314395A JPH07140004A (ja) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | 分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5314395A JPH07140004A (ja) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | 分光分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07140004A true JPH07140004A (ja) | 1995-06-02 |
Family
ID=18052836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5314395A Pending JPH07140004A (ja) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | 分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07140004A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19639939A1 (de) * | 1995-09-27 | 1997-04-10 | Ando Electric | Optische Spektralmeßvorrichtung |
| DE19651677A1 (de) * | 1996-12-12 | 1998-06-18 | Spectro Analytical Instr | Optisches Emmissionsspektrometer mit steuerbarer Blende |
| JP2006234681A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 立体双楕円型光学装置 |
| JP2008514944A (ja) * | 2004-10-01 | 2008-05-08 | サントル ナショナル ドゥ ラ ルシェルシュ スィヤンティフィック（セーエヌエルエス） | レーザ誘起蛍光放射の検出 |
| CN110285883A (zh) * | 2019-06-27 | 2019-09-27 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种可旋转电动狭缝 |
| JP2020516916A (ja) * | 2017-04-10 | 2020-06-11 | アンヴァジョ ゲーエムベーハーＡｎｖａｊｏ ＧｍｂＨ | 分光計 |
-
1993
- 1993-11-18 JP JP5314395A patent/JPH07140004A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19639939A1 (de) * | 1995-09-27 | 1997-04-10 | Ando Electric | Optische Spektralmeßvorrichtung |
| DE19651677A1 (de) * | 1996-12-12 | 1998-06-18 | Spectro Analytical Instr | Optisches Emmissionsspektrometer mit steuerbarer Blende |
| JP2008514944A (ja) * | 2004-10-01 | 2008-05-08 | サントル ナショナル ドゥ ラ ルシェルシュ スィヤンティフィック（セーエヌエルエス） | レーザ誘起蛍光放射の検出 |
| JP2006234681A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 立体双楕円型光学装置 |
| JP2020516916A (ja) * | 2017-04-10 | 2020-06-11 | アンヴァジョ ゲーエムベーハーＡｎｖａｊｏ ＧｍｂＨ | 分光計 |
| CN110285883A (zh) * | 2019-06-27 | 2019-09-27 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种可旋转电动狭缝 |
| CN110285883B (zh) * | 2019-06-27 | 2020-09-01 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种可旋转电动狭缝 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6621578B1 (en) | Elliposometer, sample positioning mechanism, and polarization angular adjusting mechanism, used in the elliposometer | |
| JPH11316344A (ja) | 共焦点の顕微分光計システム | |
| GB2128359A (en) | Double-beam spectrophotometer | |
| US4285597A (en) | Goniophotometer for measuring the gloss and/or light diffusion of surfaces | |
| JPH0797078B2 (ja) | 赤外線顕微分光測定装置 | |
| JP2720131B2 (ja) | Ｘ線反射プロファイル測定方法及び装置 | |
| US7224460B2 (en) | Mapping-measurement apparatus | |
| JP3405250B2 (ja) | 分光測光器 | |
| GB2154019A (en) | Double-beam interferometer arrangement particularly for fourier-transform spectrometers | |
| JP4120050B2 (ja) | 光学特性検出装置 | |
| JP2002372456A (ja) | 赤外分光光度計 | |
| JPH0795040B2 (ja) | 微小異物検査装置 | |
| JPH0518686Y2 (ja) | ||
| JPH04138341A (ja) | 顕微分光装置 | |
| JP2943236B2 (ja) | 全反射吸収スペクトル測定装置 | |
| JPH0416753A (ja) | エキザフス装置 | |
| JP3119622U (ja) | 分光光度計 | |
| KR910007629Y1 (ko) | 렌즈 초점거리 측정장치 | |
| JP3309537B2 (ja) | フーリエ変換分光光度計 | |
| JPH087331B2 (ja) | 赤外吸収スペクトル測定顕微鏡装置 | |
| JPH05180654A (ja) | 顕微測定装置の自動焦点調整装置 | |
| JP3314416B2 (ja) | 比較光分析装置 | |
| JPH0653960U (ja) | 分光装置 | |
| JPH109955A (ja) | 分光器 | |
| JPH07120217A (ja) | 距離測定方法および装置 |