JPH0714334A - Head flying height measuring device for hard disk - Google Patents

Head flying height measuring device for hard disk

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JPH0714334A
JPH0714334A JP15075493A JP15075493A JPH0714334A JP H0714334 A JPH0714334 A JP H0714334A JP 15075493 A JP15075493 A JP 15075493A JP 15075493 A JP15075493 A JP 15075493A JP H0714334 A JPH0714334 A JP H0714334A
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light
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洋次郎 大川
Shuichi Onishi
修一 大西
Makoto Maeda
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 干渉光のずれによる光量変化なくなるように
してヘッドの浮上量を高精度にて測定できるようにす
る。 【構成】 ハードディスク1からの反射光とハードディ
スク1に対して情報を読み書きするヘッド2からの反射
光とを、別々の光路で一点に導いて干渉させ、その干渉
光の強度変化を計測して、ヘッド2のハードディスク1
に対する浮上量を測定するようにしたハードディスク用
ヘッドの浮上量測定装置において、ハードディスク1か
らの反射光Aの光路とヘッド2からの反射光Bの光路と
の少なくとも一方に、反射光A,Bの一方の光線束が他
方の光線束内に収まるように、反射光の光線束を拡収さ
せる光学系が設けられている。
(57) [Abstract] [Purpose] It is possible to measure the flying height of the head with high accuracy by eliminating the change in the light amount due to the shift of the interference light. [Structure] The reflected light from the hard disk 1 and the reflected light from the head 2 that reads and writes information from the hard disk 1 are guided to separate points on different optical paths to cause interference, and the intensity change of the interference light is measured, Hard disk 1 of head 2
In a flying height measuring apparatus for a hard disk head, which measures the flying height of the reflected light A and B, at least one of the optical path of the reflected light A from the hard disk 1 and the optical path of the reflected light B from the head 2 is measured. An optical system is provided for expanding the bundle of reflected light so that one bundle of rays falls within the other bundle of rays.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、パソコン等のコンピュ
ータに使用されるハードディスクに対して情報を読み書
きするヘッドの浮上量を測定するためのハードディスク
用ヘッドの浮上量測定装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flying height measuring device for a hard disk head for measuring the flying height of a head for reading and writing information from a hard disk used in a computer such as a personal computer.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4に示すようにパソコン等のコンピュ
ータに記憶装置として使用されるハードディスク51に
対してはヘッド52によって情報を読み書きする。この
場合、ハードディスク51を高速回転することによ
り、.図4(ロ)(ハ)に示す如くヘッド52は浮上
し、ハードディスク51とヘッド52との間に隙間(浮
上量)ができる。この浮上量を小さくするほどハードデ
ィスク51の記憶容量は増加する。しかし、ハードディ
スク51表面には微小な突起が存在するために、あまり
浮上量を小さくすると、ヘッド52と突起が接触し、ヘ
ッド52がクラシュしてしまう。従って、突起の少ない
ハードディスク51を開発する必要がある。
2. Description of the Related Art As shown in FIG. 4, a head 52 reads / writes information from / in a hard disk 51 used as a storage device in a computer such as a personal computer. In this case, by rotating the hard disk 51 at high speed ,. As shown in FIGS. 4B and 4C, the head 52 floats, and a gap (flying height) is formed between the hard disk 51 and the head 52. The smaller the flying height, the larger the storage capacity of the hard disk 51. However, since there are minute protrusions on the surface of the hard disk 51, if the flying height is made too small, the head 52 and the protrusion will contact, and the head 52 will crash. Therefore, it is necessary to develop a hard disk 51 with few protrusions.

【0003】突起が少なく浮上量を小さくできるハード
ディスク51を開発する(ハードディスクが一定回転の
場合、ハードディスクの位置によって浮上量が変化しな
いような、安定した表面を持ったハードディスクを開発
する)には、ハードディスク51とヘッド52との距離
(浮上量)を測定する必要がある。上記のようなヘッド
52の浮上量を測定するための浮上量測定装置には、レ
ーザの干渉光を利用したものがある。
To develop a hard disk 51 with few protrusions and a small flying height (developing a hard disk having a stable surface so that the flying height does not change depending on the position of the hard disk when the hard disk rotates at a constant speed) It is necessary to measure the distance (flying height) between the hard disk 51 and the head 52. As a flying height measuring device for measuring the flying height of the head 52 as described above, there is one using the interference light of a laser.

【0004】図5はこの種の従来のハードディスク用ヘ
ッドの浮上量測定装置を示し、レーザ53は、ハードデ
ィスク51及びヘッド52に向けてレーザ光を照射す
る。ヘッド52には1/4波長板59が搭載されてお
り、更にその入射面にはハーフミラー膜がコーティング
されているのでレーザ光の半分はハーフミラー表面で反
射し、ヘッド52からの反射光となり、残り半分はハー
フミラーと1/4波長板59内を透過しディスク51の
表面に到り反射する。このディスク51からの反射光は
入射時と同じ経路で1/4波長板59から出ていくが、
1/4波長板の作用により、その内部を往復する間に偏
光面が45度ずつ2回、回転を受け入射する前の偏光面
に対し、90度ずれた光となる。従ってディスク51か
らの反射光は、ヘッド52からの反射光はこの時点で重
なりを持っても互いに干渉せず、また偏光角度の違いを
利用して、光路の分離が容易に出来る。偏光ビームスプ
リッタ54はハードディスク51で反射したレーザ光を
ビームスプリッタ56に向けて送出し、ビームスプリッ
タ55はヘッド52で反射したレーザ光を偏光ビームス
プリッタ57に向けて送出する。偏光ビームスプリッタ
54,55で分かれたハードディスク51からの反射光
とヘッド52からの反射光とは、別々の光路で光軸の調
整を受け、ビームスプリッタ57に導かれ、重ね合わさ
れる。ビームスプリッタ57の後には1/4波長板60
が配置されており、その光軸は、各々の反射光線束の偏
光角に対し45度になるように設置されているので、こ
れ等2光線束は1/4波長板60を通過した直後に互に
逆回転する円偏光に変換され、直ちに互いに干渉する。
フォトディテクタ58でその干渉光の強度変化を計測し
て、ヘッド52の浮上量を換算する。
FIG. 5 shows a conventional flying height measuring apparatus for a hard disk head of this type. A laser 53 irradiates the hard disk 51 and the head 52 with laser light. Since the head 52 is equipped with a quarter-wave plate 59 and the incident surface thereof is coated with a half mirror film, half of the laser light is reflected by the half mirror surface and becomes reflected light from the head 52. The other half is transmitted through the half mirror and the quarter wavelength plate 59, reaches the surface of the disk 51, and is reflected. The reflected light from the disk 51 exits from the quarter-wave plate 59 along the same path as when it was incident.
Due to the action of the quarter-wave plate, the polarization plane is rotated by 45 degrees twice while reciprocating in the interior thereof, and the light is shifted by 90 degrees with respect to the polarization plane before incidence. Therefore, the reflected light from the disk 51 does not interfere with the reflected light from the head 52 even if they overlap at this point, and the optical paths can be easily separated by utilizing the difference in polarization angle. The polarization beam splitter 54 sends the laser light reflected by the hard disk 51 toward the beam splitter 56, and the beam splitter 55 sends the laser light reflected by the head 52 toward the polarization beam splitter 57. The reflected light from the hard disk 51 and the reflected light from the head 52, which are split by the polarization beam splitters 54 and 55, have their optical axes adjusted in different optical paths, are guided to a beam splitter 57, and are superimposed. After the beam splitter 57, a quarter wave plate 60
Are arranged so that the optical axis thereof is 45 degrees with respect to the polarization angle of each reflected ray bundle, and thus these two ray bundles are immediately after passing through the quarter-wave plate 60. They are converted into circularly polarized lights that rotate in opposite directions, and immediately interfere with each other.
The photodetector 58 measures the intensity change of the interference light to convert the flying height of the head 52.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のハード
ディスク用ヘッドの浮上量測定装置では、図6に示す如
くハードディスク51からの反射光Aとヘッド52から
の反射光Bとを、ハードディスク51の制止状態で完璧
に一致させて干渉させても、図4(ロ)(ハ)に示すよ
うにハードディスク51の回転によってヘッド52が浮
上している状態になれば、図7に示す如く原理的にハー
ドディスク51からの反射光Aとヘッド52からの反射
光Bとは干渉点で大きなずれが生じる。従って、ヘッド
52の浮上量変化による光量変化と、干渉光のずれによ
る光量変化が混在し、ヘッド52の浮上量の測定精度を
損ねてしまうという問題があった。
However, in the conventional flying height measuring apparatus for a hard disk head, as shown in FIG. 6, the reflected light A from the hard disk 51 and the reflected light B from the head 52 are stopped by the hard disk 51. Even if the heads 52 are floated by the rotation of the hard disk 51 as shown in FIGS. 4 (b) and 4 (c) even if the heads 52 are perfectly matched and interfere with each other, in principle, the hard disk may be replaced as shown in FIG. A large deviation occurs at the interference point between the reflected light A from 51 and the reflected light B from the head 52. Therefore, there is a problem that the change in the light amount due to the change in the flying amount of the head 52 and the change in the light amount due to the shift of the interference light are mixed, and the measurement accuracy of the flying amount of the head 52 is impaired.

【0006】本発明は、上記問題点に鑑み、干渉光のず
れによる光量変化なくなるようにしてヘッドの浮上量を
高精度にて測定できるようにしたものである。
In view of the above problems, the present invention makes it possible to measure the flying height of the head with high accuracy by eliminating the change in the light amount due to the shift of the interference light.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この技術的課題を解決す
るための本発明の技術的手段は、ハードディスク1から
の反射光とハードディスク1に対して情報を読み書きす
るヘッド2からの反射光とを、別々の光路で一点に導い
て干渉させ、その干渉光の強度変化を計測して、ヘッド
2のハードディスク1に対する浮上量を測定するように
したハードディスク用ヘッドの浮上量測定装置におい
て、ハードディスク1からの反射光Aの光路とヘッド2
からの反射光Bの光路との少なくとも一方に、反射光
A,Bの一方の光線束が他方の光線束内に収まるよう
に、反射光の光線束を拡収させる光学系が設けられてい
る点にある。
The technical means of the present invention for solving this technical problem is to provide the reflected light from the hard disk 1 and the reflected light from the head 2 for reading / writing information to / from the hard disk 1. In a flying height measuring device for a head for a hard disk, the flying height of the head 2 with respect to the hard disk 1 is measured by measuring the change in the intensity of the interference light by guiding them to different points on different optical paths to cause interference. Path of reflected light A and head 2
An optical system that expands the bundle of reflected light rays so that one bundle of reflected light rays A and B falls within the other bundle of rays is provided on at least one of the optical paths of the reflected light rays B from. In point.

【0008】[0008]

【作用】ハードディスク1の回転によってヘッド2が浮
上しても、図2に示す如くハードディスク1からの反射
光Aとヘッド2からの反射光Bとは一方の光線束内を他
方の光線束が移動するのみである。従って、ハードディ
スク1からの反射光Aとヘッド2からの反射光Bとの重
なり部分の面積は一定であり、干渉光のずれによる光量
変化をキャンセルすることができる。
Even if the head 2 floats due to the rotation of the hard disk 1, the reflected light A from the hard disk 1 and the reflected light B from the head 2 are moved in one light beam bundle and the other light beam bundle as shown in FIG. Only to do. Therefore, the area of the overlapping portion of the reflected light A from the hard disk 1 and the reflected light B from the head 2 is constant, and it is possible to cancel the light amount change due to the shift of the interference light.

【0009】[0009]

【実施例】以下、本発明を図示の実施例に従って説明す
る。図1において、1はハードディスク、2はハードデ
ィスク1に対して情報を読み書きするヘッドであり、浮
上量測定の為ハーフミラー膜を持つ1/4波長板が搭載
されている。3はレーザで、ハードディスク1及びヘッ
ド2に向けてレーザ光を照射する。ただし、このレーザ
光は光線束断面内の強度分布が予め均一になるような処
理がなされているか又は、実用上均一とみなせる光線束
である。
The present invention will be described below with reference to the illustrated embodiments. In FIG. 1, reference numeral 1 is a hard disk, 2 is a head for reading and writing information from the hard disk 1, and a 1/4 wavelength plate having a half mirror film is mounted for measuring the flying height. A laser 3 irradiates the hard disk 1 and the head 2 with laser light. However, this laser light is a light flux that has been processed so that the intensity distribution in the cross section of the light flux is uniform in advance, or is considered to be uniform in practice.

【0010】4,7は偏光ビームスプリッタ、6,5は
ビームスプリッタであり、偏光ビームスプリッタ4はハ
ードディスク1で反射したレーザ光をビームスプリッタ
6に向けて送出し、ビームスプリッタ5はヘッド2で反
射したレーザ光を偏光ビームスプリッタ7に向けて送出
するようになっている。また、偏光ビームスプリッタ及
びビームスプリッタ4,5で分かれたハードディスク2
からの反射光とヘッド2からの反射光とを、別々の光路
でビームスプリッタ7及び1/4波長板10の干渉点に
導いて互いに干渉させるようになっている。
Reference numerals 4 and 7 denote polarization beam splitters, and 6 and 5 denote beam splitters. The polarization beam splitter 4 sends the laser light reflected by the hard disk 1 toward the beam splitter 6, and the beam splitter 5 reflects it by the head 2. The laser beam is sent to the polarization beam splitter 7. Further, the hard disk 2 divided by the polarization beam splitter and the beam splitters 4 and 5
The reflected light from the head and the reflected light from the head 2 are guided to the interference points of the beam splitter 7 and the quarter-wave plate 10 through separate optical paths to interfere with each other.

【0011】8はフォトディテクタで、1/4波長板1
0から送出された干渉光の強度変化を計測して、ヘッド
2の浮上量を換算する。11はビームエキスパンダー
で、偏光ビームスプリッタ4とビームスプリッタ6との
間のハードディスク1からの反射光Aの光路に設けられ
ている。このビームエキスパンダー11はハードディス
ク1からの反射光Aを細い平行光線束から太い平行光線
束に変換して、図2に示す如くヘッド2からの反射光B
の細い平行光線束がハードディスク1からの反射光Aの
太い平行光線束内に収まるようになっている。これによ
り、ハードディスク1の回転によってヘッド2が浮上し
ても、図2に示す如くとヘッド2からの反射光Bはハー
ドディスク1からの反射光A内を移動するのみで、ヘッ
ド2からの反射光Bの細い平行光線束はハードディスク
1からの反射光Aの太い平行光線束内に収まった状態を
維持するようになっている。
Reference numeral 8 is a photodetector, which is a quarter-wave plate 1
The flying height of the head 2 is converted by measuring the intensity change of the interference light transmitted from 0. A beam expander 11 is provided on the optical path of the reflected light A from the hard disk 1 between the polarization beam splitter 4 and the beam splitter 6. The beam expander 11 converts the reflected light A from the hard disk 1 from a thin parallel light flux to a thick parallel light flux, and as shown in FIG.
The thin parallel light beam bundle of is contained in the thick parallel light beam bundle of the reflected light A from the hard disk 1. As a result, even if the head 2 floats due to the rotation of the hard disk 1, the reflected light B from the head 2 only moves within the reflected light A from the hard disk 1 as shown in FIG. The thin parallel light flux of B is kept within the thick parallel light flux of the reflected light A from the hard disk 1.

【0012】図3は他の実施例を示し、前記実施例と同
様に偏光ビームスプリッタ4とビームスプリッタ6との
間のハードディスク1からの反射光Aの光路にビームエ
キスパンダー11が設けられると共に、ビームスプリッ
タ5と偏光ビームスプリッタ7との間のヘッド2からの
反射光Bの光路に集光レンズ12が設けられている。こ
の場合、ビームエキスパンダー11はハードディスク1
からの反射光Aを細い平行光線束を太い平行光線束に変
換し、集光レンズ12はヘッド2からの反射光Bをより
細い平行光線束に変換し、ヘッド2からの反射光Bの細
い平行光線束がハードディスク1からの反射光Aの太い
平行光線束内に収まるようになっている。その他の点は
前記実施例と同様の構成である。
FIG. 3 shows another embodiment. Like the above embodiment, a beam expander 11 is provided in the optical path of the reflected light A from the hard disk 1 between the polarization beam splitter 4 and the beam splitter 6, and the beam expander 11 is provided. A condenser lens 12 is provided in the optical path of the reflected light B from the head 2 between the splitter 5 and the polarization beam splitter 7. In this case, the beam expander 11 is the hard disk 1
The reflected light A from is converted into a thin parallel light bundle by converting the thin parallel light bundle into a thick parallel light bundle, and the condenser lens 12 converts the reflected light B from the head 2 into a thinner parallel light bundle, and the reflected light B from the head 2 is thin. The bundle of parallel rays falls within the thick bundle of parallel rays of the reflected light A from the hard disk 1. The other points are the same as those of the above-mentioned embodiment.

【0013】なお、前記実施例では、ハードディスク1
からの反射光Aの光路にビームエキスパンダー11が設
けられ、又はハードディスク1からの反射光Aの光路に
ビームエキスパンダー11が設けられと共に、ヘッド2
からの反射光Bの光路に集光レンズ12が設けられてい
るが、これに代え、ヘッド2からの反射光Bの光路にビ
ームエキスパンダー11のみを設けるようにしてもよい
し、またハードディスク1からの反射光Aの光路に集光
レンズ12を設けると共に、ヘッド2からの反射光Bの
光路にビームエキスパンダー11を設けるようにしても
よく、このようにすれば、ハードディスク1からの反射
光Aの光線束がヘッド2からの反射光Bの光線束内に収
まるようになる。
In the above embodiment, the hard disk 1
The beam expander 11 is provided in the optical path of the reflected light A from the head, or the beam expander 11 is provided in the optical path of the reflected light A from the hard disk 1 together with the head 2
Although the condenser lens 12 is provided in the optical path of the reflected light B from the head, instead of this, only the beam expander 11 may be provided in the optical path of the reflected light B from the head 2, or from the hard disk 1. The condensing lens 12 may be provided in the optical path of the reflected light A and the beam expander 11 may be provided in the optical path of the reflected light B from the head 2. By doing so, the reflected light A from the hard disk 1 The bundle of rays comes to fall within the bundle of rays of the reflected light B from the head 2.

【0014】[0014]

【発明の効果】本発明によれば、ハードディスク1から
の反射光Aの光路とヘッド2からの反射光Bの光路との
少なくとも一方に、反射光A,Bとの一方の光線束が他
方の光線束内に収まるように、反射光の光線束を拡収さ
せる光学系が設けられているので、ハードディスク1の
回転によってヘッド2が浮上しても、ヘッド2からの反
射光Bとハードディスク1からの反射光Aとは一方の光
線束内を他方の光線束が移動するのみで、一方の光線束
内に他方の光線束が収まった状態を維持するため、光線
束が移動によってハードディスク1からの反射光Aとヘ
ッド2からの反射光Bとの重なり部分の面積は一定であ
り、従って、干渉光のずれによる光量変化なくなり、ヘ
ッド2の浮上量を高精度にて測定できる。
According to the present invention, in at least one of the optical path of the reflected light A from the hard disk 1 and the optical path of the reflected light B from the head 2, one light beam bundle of the reflected light A and the other light beam of the reflected light B is provided. Since the optical system for converging the light beam bundle of the reflected light so as to be contained in the light beam bundle is provided, even if the head 2 floats due to the rotation of the hard disk 1, the reflected light B from the head 2 and the hard disk 1 With the reflected light A, the other light beam bundle only moves within the one light beam bundle, and the other light beam bundle is maintained within the one light beam bundle. The area of the overlapping portion of the reflected light A and the reflected light B from the head 2 is constant, so that the light quantity does not change due to the deviation of the interference light, and the flying height of the head 2 can be measured with high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of the present invention.

【図2】作用効果説明用の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining operational effects.

【図3】他の実施例を示す構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram showing another embodiment.

【図4】従来例説明用の断面図である。FIG. 4 is a sectional view for explaining a conventional example.

【図5】従来例を示す構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram showing a conventional example.

【図6】従来の問題点説明用の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining a conventional problem.

【図7】従来の問題点説明用の説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining a conventional problem.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ハードディスク 2 ヘッド 3 レーザ 4 偏光ビームスプリッタ 5 ビームスプリッタ 6 ビームスプリッタ 7 偏光ビームスプリッタ 8 フォトディテクタ 11 ビームエキスパンダ 12 集光レンズ 1 Hard Disk 2 Head 3 Laser 4 Polarization Beam Splitter 5 Beam Splitter 6 Beam Splitter 7 Polarization Beam Splitter 8 Photodetector 11 Beam Expander 12 Condenser Lens

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ハードディスク(1)からの反射光とハ
ードディスク(1)に対して情報を読み書きするヘッド
(2)からの反射光とを、別々の光路で一点に導いて干
渉させ、その干渉光の強度変化を計測して、ヘッド
(2)のハードディスク(1)に対する浮上量を測定す
るようにしたハードディスク用ヘッドの浮上量測定装置
において、 ハードディスク(1)からの反射光(A)の光路とヘッ
ド(2)からの反射光(B)の光路との少なくとも一方
に、反射光(A),(B)の一方の光線束が他方の光線
束内に収まるように、反射光の光線束を拡収させる光学
系が設けられていることを特徴とするハードディスク用
ヘッドの浮上量測定装置。
1. Reflected light from a hard disk (1) and reflected light from a head (2) for reading / writing information from / to the hard disk (1) are guided to different points to interfere with each other, and the interference light is generated. Of the reflected light (A) from the hard disk (1) in a flying height measuring device for a hard disk head, in which the flying height of the head (2) with respect to the hard disk (1) is measured. The ray bundle of the reflected light is so arranged that at least one of the ray bundles of the reflected rays (A) and (B) falls within the other ray bundle in at least one of the optical paths of the reflected ray (B) from the head (2). A flying height measuring device for a hard disk head, which is provided with an optical system for expanding.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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