JPH07146130A - 三次元位置制御システム - Google Patents
三次元位置制御システムInfo
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- JPH07146130A JPH07146130A JP31595593A JP31595593A JPH07146130A JP H07146130 A JPH07146130 A JP H07146130A JP 31595593 A JP31595593 A JP 31595593A JP 31595593 A JP31595593 A JP 31595593A JP H07146130 A JPH07146130 A JP H07146130A
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 95
- 239000013598 vector Substances 0.000 claims abstract description 62
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 17
- 238000013208 measuring procedure Methods 0.000 abstract 1
- RZBCCAZHJQZKLL-UHFFFAOYSA-N 5-methoxy-12-methyl-11h-indolo[2,3-a]carbazole-6-carbonitrile Chemical compound N1C2=C3N(C)C4=CC=C[CH]C4=C3C(OC)=C(C#N)C2=C2[C]1C=CC=C2 RZBCCAZHJQZKLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基準球測定手順を簡略化したプローブベクト
ル指定手段を持つ三次元位置制御システムを提供する。 【構成】 プローブ２２の先端誤差補正のために、測定
機の基準位置Ｂで測定した基準球中心座標からプローブ
先端位置Ａで測定した基準球中心座標を減算してプロー
ブベクトルＰを求め、これを予備登録する三次元位置制
御システムにおいて、プローブベクトルＰの予備登録の
ために、プローブ先端位置Ａで測定した基準球中心座標
を求める際に使用したデータに対して、旧プローブベク
トルで逆補正演算を行って補正前の値を求め、新プロー
ブベクトルで補正演算を行い、得られたデータで再度球
演算処理を行って基準球中心座標を決定する演算手段を
有する。
ル指定手段を持つ三次元位置制御システムを提供する。 【構成】 プローブ２２の先端誤差補正のために、測定
機の基準位置Ｂで測定した基準球中心座標からプローブ
先端位置Ａで測定した基準球中心座標を減算してプロー
ブベクトルＰを求め、これを予備登録する三次元位置制
御システムにおいて、プローブベクトルＰの予備登録の
ために、プローブ先端位置Ａで測定した基準球中心座標
を求める際に使用したデータに対して、旧プローブベク
トルで逆補正演算を行って補正前の値を求め、新プロー
ブベクトルで補正演算を行い、得られたデータで再度球
演算処理を行って基準球中心座標を決定する演算手段を
有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、三次元測定機を用いた
位置制御システムに係り、特に空間誤差補正のためのプ
ローブベクトルの予備登録処理を改良した三次元位置制
御システムに関する。
位置制御システムに係り、特に空間誤差補正のためのプ
ローブベクトルの予備登録処理を改良した三次元位置制
御システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】三次元測定機の空間誤差（幾何学的誤
差）には、図４中の直交座標系における各軸スケール誤
差や真直度誤差等の平行誤差、及びピッチング誤差やヨ
ーイング誤差等の回転誤差がある。これらの空間誤差の
種類と数を示せば、次の通りである。 ［平行誤差］ 各軸スケール誤差：３ 各軸水平方向真直度誤差：３ 各軸垂直方向真直度誤差：３ ［回転誤差］ 各軸ピッチング誤差：３ 各軸ヨーイング誤差：３ 各軸ローリング誤差：３ 各軸間直角誤差：３
差）には、図４中の直交座標系における各軸スケール誤
差や真直度誤差等の平行誤差、及びピッチング誤差やヨ
ーイング誤差等の回転誤差がある。これらの空間誤差の
種類と数を示せば、次の通りである。 ［平行誤差］ 各軸スケール誤差：３ 各軸水平方向真直度誤差：３ 各軸垂直方向真直度誤差：３ ［回転誤差］ 各軸ピッチング誤差：３ 各軸ヨーイング誤差：３ 各軸ローリング誤差：３ 各軸間直角誤差：３
【０００３】誤差補正量δｘの計算は、次の数１に基づ
いて行われる。但し数１において、アンダーラインはベ
クトル表現を意味し、ｅi は各軸支点（回転中心でもあ
る）における平行誤差、θi は各軸支点における回転誤
差、Ｃi Ａは各軸支点Ｃi からプローブ先端Ａに向かう
ベクトル、Ｃi Ｂは各軸支点Ｃi からＺ軸スピンドル下
端中心Ｂに向かうベクトル、ＰはＢからＡに向かうプロ
ーブベクトル、ｎは支点の数であり、”×”はベクトル
外積である。
いて行われる。但し数１において、アンダーラインはベ
クトル表現を意味し、ｅi は各軸支点（回転中心でもあ
る）における平行誤差、θi は各軸支点における回転誤
差、Ｃi Ａは各軸支点Ｃi からプローブ先端Ａに向かう
ベクトル、Ｃi Ｂは各軸支点Ｃi からＺ軸スピンドル下
端中心Ｂに向かうベクトル、ＰはＢからＡに向かうプロ
ーブベクトル、ｎは支点の数であり、”×”はベクトル
外積である。
【０００４】
【数１】 Ｃi Ａ＝Ｃi Ｂ＋Ｐ
【０００５】この空間誤差補正のための基準位置は、実
際に使用されるプローブの種類や取付状態が不定である
ため、例えば図２に示すように、ｚ軸スピンドル２１の
下端中心位置Ｂが選ばれる。従って実際に測定するプロ
ーブを決定した時点で、その都度基準球を用いた測定に
よりプローブ姿勢変更前後の位置関係を補正すると同時
に、新しい姿勢に対するプローブベクトルを指定する手
順が必要になる。プローブの姿勢変更による位置関係の
補正は、プローブを垂直姿勢とした場合と水平姿勢とし
た場合とをあたかも同じプローブを用いて測定したと同
様に扱うために必要なものである。即ち、予めプローブ
が垂直姿勢の状態で基準球の中心位置測定を行い、姿勢
変更時にも基準球の中心位置測定を行って、両者の差を
補正量とすることにより、同じプローブで測定したと同
じ結果が得られることになる。一方、プローブベクトル
は、図２に示すように基準位置Ｂからプローブ２２の先
端位置ＡまでのベクトルＰで表されるが、これは先に数
１で示したように、空間誤差補正処理のために予め指定
することが必要である。
際に使用されるプローブの種類や取付状態が不定である
ため、例えば図２に示すように、ｚ軸スピンドル２１の
下端中心位置Ｂが選ばれる。従って実際に測定するプロ
ーブを決定した時点で、その都度基準球を用いた測定に
よりプローブ姿勢変更前後の位置関係を補正すると同時
に、新しい姿勢に対するプローブベクトルを指定する手
順が必要になる。プローブの姿勢変更による位置関係の
補正は、プローブを垂直姿勢とした場合と水平姿勢とし
た場合とをあたかも同じプローブを用いて測定したと同
様に扱うために必要なものである。即ち、予めプローブ
が垂直姿勢の状態で基準球の中心位置測定を行い、姿勢
変更時にも基準球の中心位置測定を行って、両者の差を
補正量とすることにより、同じプローブで測定したと同
じ結果が得られることになる。一方、プローブベクトル
は、図２に示すように基準位置Ｂからプローブ２２の先
端位置ＡまでのベクトルＰで表されるが、これは先に数
１で示したように、空間誤差補正処理のために予め指定
することが必要である。
【０００６】プローブベクトル指定については、例えば
プローブの姿勢変更時に３軸分のプローブベクトルをそ
の都度人がモノサシで計り、手でキー入力することは勿
論可能であるが、これでは測定の完全自動化ができな
い。そこで、通常の測定でも必要である基準球２３を用
いたプローブ先端位置測定時に同時にプローブベクトル
を自動算出して、これを予備登録することが望まれる。
プローブの姿勢変更時に３軸分のプローブベクトルをそ
の都度人がモノサシで計り、手でキー入力することは勿
論可能であるが、これでは測定の完全自動化ができな
い。そこで、通常の測定でも必要である基準球２３を用
いたプローブ先端位置測定時に同時にプローブベクトル
を自動算出して、これを予備登録することが望まれる。
【０００７】プローブベクトルＰは、 Ｐ＝［Ｂ点で測定した基準球中心座標］−［Ａ点で測定
した基準球中心座標］…（１） という減算式が基本式である。基準球中心座標は通常４
点以上の測定による球演算処理により求められる。予め
種類，向き，測定子，角度等の標準状態がわかっている
プローブ（これをプローブ初期構成という）を使用する
と、そのプローブベクトルをＰ0 として、上の（１）式
は、次のように変形される。 ［Ｂ点で測定した基準球中心座標］＝Ｐ0 ＋［Ａ点で測
定した基準球中心座標］…（２） 従って、プローブ初期構成により１回だけ基準球測定を
行えば、Ｂ点で測定した基準球中心座標が登録可能であ
る。以後、どのようなプローブに変えた場合でも、Ａ点
での基準球測定を行えば、（１）式に基づいてプローブ
ベクトルの自動算出が可能である。
した基準球中心座標］…（１） という減算式が基本式である。基準球中心座標は通常４
点以上の測定による球演算処理により求められる。予め
種類，向き，測定子，角度等の標準状態がわかっている
プローブ（これをプローブ初期構成という）を使用する
と、そのプローブベクトルをＰ0 として、上の（１）式
は、次のように変形される。 ［Ｂ点で測定した基準球中心座標］＝Ｐ0 ＋［Ａ点で測
定した基準球中心座標］…（２） 従って、プローブ初期構成により１回だけ基準球測定を
行えば、Ｂ点で測定した基準球中心座標が登録可能であ
る。以後、どのようなプローブに変えた場合でも、Ａ点
での基準球測定を行えば、（１）式に基づいてプローブ
ベクトルの自動算出が可能である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】プローブを変更したと
きに、（１）式でプローブベクトルを自動算出する場
合、Ａ点で基準球を４点測定する際に用いられるプロー
ブベクトルは、新プローブベクトルがまだ決定されてい
ないために、直前の旧プローブベクトルが用いられるこ
とになり、このままでは誤差の原因となる。これを解決
するには、新プローブベクトルが決定した後にその新プ
ローブベクトルを用いた再度の基準球測定を行えばよ
い。しかしこれでは、プローブ変更の度に２回ずつ基準
球測定を行わなければならない。
きに、（１）式でプローブベクトルを自動算出する場
合、Ａ点で基準球を４点測定する際に用いられるプロー
ブベクトルは、新プローブベクトルがまだ決定されてい
ないために、直前の旧プローブベクトルが用いられるこ
とになり、このままでは誤差の原因となる。これを解決
するには、新プローブベクトルが決定した後にその新プ
ローブベクトルを用いた再度の基準球測定を行えばよ
い。しかしこれでは、プローブ変更の度に２回ずつ基準
球測定を行わなければならない。
【０００９】本発明は、基準球測定手順を簡略化したプ
ローブベクトル指定手段を持つ三次元位置制御システム
を提供することを目的としている。
ローブベクトル指定手段を持つ三次元位置制御システム
を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、交換可能で回
転自在なプローブが取り付けられる三次元測定機を有
し、空間誤差補正のために、測定機の基準位置で測定し
た基準球中心座標からプローブ先端位置で測定した基準
球中心座標を減算してプローブベクトルを求め、これを
予備登録する三次元位置制御システムにおいて、前記プ
ローブベクトルの予備登録のために、プローブ先端位置
で測定した基準球中心座標を求める際に使用したデータ
に対して、旧プローブベクトルを用いた反復法による逆
補正演算（例えば本発明者による特願平５−２５１１３
０号）を行って補正前の値を求め、新プローブベクトル
で補正演算を行い、得られたデータで再度球演算処理を
行って基準球中心座標を決定する演算手段を有すること
を特徴としている。本発明のシステムにおいて、空間誤
差補正は、例えば前述の数１に基づいて行われる。
転自在なプローブが取り付けられる三次元測定機を有
し、空間誤差補正のために、測定機の基準位置で測定し
た基準球中心座標からプローブ先端位置で測定した基準
球中心座標を減算してプローブベクトルを求め、これを
予備登録する三次元位置制御システムにおいて、前記プ
ローブベクトルの予備登録のために、プローブ先端位置
で測定した基準球中心座標を求める際に使用したデータ
に対して、旧プローブベクトルを用いた反復法による逆
補正演算（例えば本発明者による特願平５−２５１１３
０号）を行って補正前の値を求め、新プローブベクトル
で補正演算を行い、得られたデータで再度球演算処理を
行って基準球中心座標を決定する演算手段を有すること
を特徴としている。本発明のシステムにおいて、空間誤
差補正は、例えば前述の数１に基づいて行われる。
【００１１】
【作用】本発明によれば、プローブ交換時、プローブベ
クトルの予備登録に当たって、新プローブベクトルによ
る基準球中心座標を簡易逆補正演算を利用して自動算出
することにより、基準球測定を１回省略することができ
る。言い換えれば、従来より必要であるプローブ姿勢変
更前後の位置補正のための基準球測定処理の中に、従来
と同じ手数で空間誤差補正に必要なプローブベクトル指
定処理を組み込むことができる。そしてこのプローブベ
クトル指定により、プローブ先端での誤差補正が可能に
なる。
クトルの予備登録に当たって、新プローブベクトルによ
る基準球中心座標を簡易逆補正演算を利用して自動算出
することにより、基準球測定を１回省略することができ
る。言い換えれば、従来より必要であるプローブ姿勢変
更前後の位置補正のための基準球測定処理の中に、従来
と同じ手数で空間誤差補正に必要なプローブベクトル指
定処理を組み込むことができる。そしてこのプローブベ
クトル指定により、プローブ先端での誤差補正が可能に
なる。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を説
明する。図１は、一実施例のシステム構成を示す。三次
元測定機１１は測定機制御装置１２に接続され、制御装
置１２はホストコンピュータ１３に接続されている。三
次元測定機１１の先端部は、図２に示すように、ｚ軸ス
ピンドル２１の下端に回転自在なプローブ２２が取りけ
られるようになっている。前述のように空間誤差補正の
パラメータは基準位置Ｂにおける値であり、プローブ先
端位置Ａでの補正量を求めるためにはプローブベクトル
Ｐが必要である。
明する。図１は、一実施例のシステム構成を示す。三次
元測定機１１は測定機制御装置１２に接続され、制御装
置１２はホストコンピュータ１３に接続されている。三
次元測定機１１の先端部は、図２に示すように、ｚ軸ス
ピンドル２１の下端に回転自在なプローブ２２が取りけ
られるようになっている。前述のように空間誤差補正の
パラメータは基準位置Ｂにおける値であり、プローブ先
端位置Ａでの補正量を求めるためにはプローブベクトル
Ｐが必要である。
【００１３】この実施例では、使用するプローブを決定
したとき、プローブベクトルＰがキー入力ではなく基準
球２３を用いた４点測定により自動的に指定され予備登
録される。その基本原理は前述した通りであり、基準球
測定による点の情報はホストコンピュータ１３に送られ
てここで中心座標を求める計算（球演算）及びプローブ
ベクトル計算が行われる。更にこの場合、この実施例で
は、旧プローブベクトルを用いてプローブ先端位置Ａで
測定される基準球中心座標から、新プローブベクトルを
用いた基準球測定を行うことなく、新プローブベクトル
による正しい基準球中心座標位置を自動的に決定する演
算手段が組み込まれている。
したとき、プローブベクトルＰがキー入力ではなく基準
球２３を用いた４点測定により自動的に指定され予備登
録される。その基本原理は前述した通りであり、基準球
測定による点の情報はホストコンピュータ１３に送られ
てここで中心座標を求める計算（球演算）及びプローブ
ベクトル計算が行われる。更にこの場合、この実施例で
は、旧プローブベクトルを用いてプローブ先端位置Ａで
測定される基準球中心座標から、新プローブベクトルを
用いた基準球測定を行うことなく、新プローブベクトル
による正しい基準球中心座標位置を自動的に決定する演
算手段が組み込まれている。
【００１４】この演算手段は具体的には、プローブベク
トルＰを変数として含む空間誤差補正関数δ（ｘ）＝ｆ
（ｘ′，Ｐ）を用いて、図３のようなアルゴリズムで実
現される。図３で用いているｘｔ，ｘ′，Ｐ，δｘ，ｘ
ｃ，Δｘは全てベクトルである。なお、空間誤差補正処
理は、移動制御時の軌道精度に対しても適用する必要が
あるため、ＣＭＭＣ１２で行う必要がありそのため、図
３の主要な逆補正演算もＣＭＭＣで実行する必要があ
る。プローブ先端位置Ａで測定した基準球中心位置座標
を求める際に使用した入力４点位置データｘt を新しい
プローブベクトル（新Ｐ）と共にホストコンピュータか
らＣＭＭＣへ転送する（Ｓ0 ）。そして位置変数ｘ′の
初期近似解として４点位置データｘt を用い（Ｓ1 ）、
これと旧プローブベクトル（旧Ｐ）を用いて空間誤差分
ｆ（ｘ′，旧Ｐ）を計算する（Ｓ2）。次いで、この誤
差分を補正前の値に加えて、補正値ｘc ＝ｘ′＋δｘを
演算する（Ｓ3 ）。次にこの補正値ｘc を初期近似解ｘ
t から減算してΔｘを求める（Ｓ4 ）、このΔｘが収束
判定定数Ｋより小さいか否かの収束判定を行う（Ｓ
5）。より具体的には、ｘ，ｙ，ｚの３軸について、｜
Δｘ｜≦ｋ，且つ｜Δｙ｜≦ｋ，且つ｜Δｚ｜≦ｋがこ
こでの収束条件となる。
トルＰを変数として含む空間誤差補正関数δ（ｘ）＝ｆ
（ｘ′，Ｐ）を用いて、図３のようなアルゴリズムで実
現される。図３で用いているｘｔ，ｘ′，Ｐ，δｘ，ｘ
ｃ，Δｘは全てベクトルである。なお、空間誤差補正処
理は、移動制御時の軌道精度に対しても適用する必要が
あるため、ＣＭＭＣ１２で行う必要がありそのため、図
３の主要な逆補正演算もＣＭＭＣで実行する必要があ
る。プローブ先端位置Ａで測定した基準球中心位置座標
を求める際に使用した入力４点位置データｘt を新しい
プローブベクトル（新Ｐ）と共にホストコンピュータか
らＣＭＭＣへ転送する（Ｓ0 ）。そして位置変数ｘ′の
初期近似解として４点位置データｘt を用い（Ｓ1 ）、
これと旧プローブベクトル（旧Ｐ）を用いて空間誤差分
ｆ（ｘ′，旧Ｐ）を計算する（Ｓ2）。次いで、この誤
差分を補正前の値に加えて、補正値ｘc ＝ｘ′＋δｘを
演算する（Ｓ3 ）。次にこの補正値ｘc を初期近似解ｘ
t から減算してΔｘを求める（Ｓ4 ）、このΔｘが収束
判定定数Ｋより小さいか否かの収束判定を行う（Ｓ
5）。より具体的には、ｘ，ｙ，ｚの３軸について、｜
Δｘ｜≦ｋ，且つ｜Δｙ｜≦ｋ，且つ｜Δｚ｜≦ｋがこ
こでの収束条件となる。
【００１５】収束条件を満たさない場合には、初期近似
解にΔｘを加算して（Ｓ6 ）、再度ステップＳ2 に戻っ
て、収束条件を満たすまで同じ演算を繰り返す。このよ
うな反復法による簡易逆補正を行い、補正前の値を求め
た後、新プローブベクトルを用いて空間誤差分δｘを演
算し（Ｓ7 ）、補正値ｘc を求めるという演算を行う
（Ｓ8 ）。そしてホストコンピュータは、ＣＭＭＣから
４点データを受信し、４点での球演算を行う（Ｓ9 ）。
これにより、基準球測定を行うことなく、新しいプロー
ブベクトルを用いて測定したと等価なプローブ先端位置
Ａでの正しい基準球中心座標が求められる。
解にΔｘを加算して（Ｓ6 ）、再度ステップＳ2 に戻っ
て、収束条件を満たすまで同じ演算を繰り返す。このよ
うな反復法による簡易逆補正を行い、補正前の値を求め
た後、新プローブベクトルを用いて空間誤差分δｘを演
算し（Ｓ7 ）、補正値ｘc を求めるという演算を行う
（Ｓ8 ）。そしてホストコンピュータは、ＣＭＭＣから
４点データを受信し、４点での球演算を行う（Ｓ9 ）。
これにより、基準球測定を行うことなく、新しいプロー
ブベクトルを用いて測定したと等価なプローブ先端位置
Ａでの正しい基準球中心座標が求められる。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、プロ
ーブベクトルの予備登録に当たって、新プローブベクト
ルによる基準球中心座標を簡易逆補正演算を利用して自
動算出することにより、基準球測定を１回省略して従来
の手順のなかで自動的にプローブベクトル指定を可能と
し、プローブ先端での誤差補正を可能とした三次元位置
制御システムが得られる。
ーブベクトルの予備登録に当たって、新プローブベクト
ルによる基準球中心座標を簡易逆補正演算を利用して自
動算出することにより、基準球測定を１回省略して従来
の手順のなかで自動的にプローブベクトル指定を可能と
し、プローブ先端での誤差補正を可能とした三次元位置
制御システムが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施例のシステム構成を示す。
【図２】 プローブ先端誤差補正を説明するための図で
ある。
ある。
【図３】 実施例のプローブベクトル予備登録のための
アルゴリズムを示す。
アルゴリズムを示す。
【図４】 三次元測定機の運動学的連鎖表現を示す。
１１…三次元測定機、１２…制御装置、１３…ホストコ
ンピュータ、２１…スピンドル、２２…プローブ、２３
…基準球、Ａ…プローブ先端位置、Ｂ…基準位置。
ンピュータ、２１…スピンドル、２２…プローブ、２３
…基準球、Ａ…プローブ先端位置、Ｂ…基準位置。
Claims (2)
- 【請求項１】 交換可能で回転自在なプローブが取り付
けられる三次元測定機を有し、空間誤差補正のために、
測定機の基準位置で測定した基準球中心座標からプロー
ブ先端位置で測定した基準球中心座標を減算してプロー
ブベクトルを求め、これを予備登録する三次元位置制御
システムにおいて、 前記プローブベクトルの予備登録のために、プローブ先
端位置で測定した基準球中心座標を求める際に使用した
データに対して、旧プローブベクトルを用いた反復法に
よる逆補正演算を行って補正前の値を求め、新プローブ
ベクトルで補正演算を行い、得られたデータで再度球演
算処理を行って基準球中心座標を決定する演算手段を有
することを特徴とする三次元位置制御システム。 - 【請求項２】 前記空間誤差補正のための誤差補正量δ
ｘの計算は、下記式に基づいて行われることを特徴とす
る請求項１に記載の三次元位置制御システム。記 Ｃi Ａ＝Ｃi Ｂ＋Ｐ但し、アンダーラインはベクトル表
現を意味し、ｅi は各軸支点における平行誤差、θi は
各軸支点における回転誤差、Ｃi Ａは各軸支点Ｃi から
プローブ先端Ａに向かうベクトル、Ｃi Ｂは各軸支点Ｃ
i からＺ軸スピンドル下端中心Ｂに向かうベクトル、Ｐ
はＢからＡに向かうプローブベクトル、ｎは支点の数で
あり、”×”はベクトル外積である。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31595593A JP2902285B2 (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | 三次元位置制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31595593A JP2902285B2 (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | 三次元位置制御システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07146130A true JPH07146130A (ja) | 1995-06-06 |
| JP2902285B2 JP2902285B2 (ja) | 1999-06-07 |
Family
ID=18071612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31595593A Expired - Lifetime JP2902285B2 (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | 三次元位置制御システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2902285B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6701267B2 (en) | 2001-10-04 | 2004-03-02 | Mitutoyo Corporation | Method for calibrating probe and computer-readable medium |
| JP2004093191A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 形状測定装置及び形状測定方法 |
| US7099008B2 (en) | 2001-08-08 | 2006-08-29 | Mitutoyo Corporation | Alignment adjuster of probe, measuring instrument and alignment adjusting method of probe |
| US7142313B2 (en) * | 2005-03-17 | 2006-11-28 | Mitutoyo Corporation | Interaxis angle correction method |
| US7171320B2 (en) | 2004-02-02 | 2007-01-30 | Mitutoyo Corporation | Coordinate measuring system and method of correcting coordinates measured in coordinate measuring machine |
| JP2011002317A (ja) * | 2009-06-18 | 2011-01-06 | Mitsutoyo Corp | 画像プローブの校正方法および形状測定機 |
| DE102011082057A1 (de) | 2010-09-17 | 2012-03-22 | Mitutoyo Corporation | Verfahren zum korrigieren von Messdaten einer Koordinaten-Messmaschine sowie Koordinatenmessmaschine |
| CN114260757A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-04-01 | 中国航发西安动力控制科技有限公司 | 卧式加工中心零点找正工装及找正方法 |
-
1993
- 1993-11-22 JP JP31595593A patent/JP2902285B2/ja not_active Expired - Lifetime
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