JPH07147265A - 洗浄方法および洗浄装置 - Google Patents
洗浄方法および洗浄装置Info
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- JPH07147265A JPH07147265A JP32139893A JP32139893A JPH07147265A JP H07147265 A JPH07147265 A JP H07147265A JP 32139893 A JP32139893 A JP 32139893A JP 32139893 A JP32139893 A JP 32139893A JP H07147265 A JPH07147265 A JP H07147265A
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- cleaning liquid
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 アルコール水溶液を洗浄液とする洗浄方法に
おいて、洗浄液中の水分濃度を適正レベルに維持する。 【構成】 洗浄装置は、ＩＰＡ水溶液を洗浄液Ｗとして
用い、キャリア５洗浄後、洗浄チャンバ４の洗浄液Ｗは
回収過程において比重測定装置１０に供給される。比重
測定装置１０は洗浄液Ｗの比重に応じて作動するもので
あり、制御回路１５を介して警報器１６の作動を掌る。
アルコール分の蒸発により洗浄液中の水分濃度がしきい
値以上となり比重が大となった時、警報器１６は作動し
て、洗浄液の交換時期を外部に知らせる。
おいて、洗浄液中の水分濃度を適正レベルに維持する。 【構成】 洗浄装置は、ＩＰＡ水溶液を洗浄液Ｗとして
用い、キャリア５洗浄後、洗浄チャンバ４の洗浄液Ｗは
回収過程において比重測定装置１０に供給される。比重
測定装置１０は洗浄液Ｗの比重に応じて作動するもので
あり、制御回路１５を介して警報器１６の作動を掌る。
アルコール分の蒸発により洗浄液中の水分濃度がしきい
値以上となり比重が大となった時、警報器１６は作動し
て、洗浄液の交換時期を外部に知らせる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、アルコール水溶液を洗
浄液として用いた洗浄方法およびこの洗浄方法を利用し
た洗浄装置に関し、特に静電気を帯びやすい被洗浄物の
洗浄時に適用可能な洗浄方法および洗浄装置に関する。
浄液として用いた洗浄方法およびこの洗浄方法を利用し
た洗浄装置に関し、特に静電気を帯びやすい被洗浄物の
洗浄時に適用可能な洗浄方法および洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体集積回路の製造工程にお
いては、半導体ウェーハを収納保持するためにウェーハ
キャリアが用いられる。このうち、エッチングなどのウ
ェット工程においては、耐薬品性と耐熱性に優れたパー
フルオロアルコキシー（ＰＦＡ）などのテフロン（商品
名：デュポン社）系材料からなるウェーハキャリアが用
いられている。
いては、半導体ウェーハを収納保持するためにウェーハ
キャリアが用いられる。このうち、エッチングなどのウ
ェット工程においては、耐薬品性と耐熱性に優れたパー
フルオロアルコキシー（ＰＦＡ）などのテフロン（商品
名：デュポン社）系材料からなるウェーハキャリアが用
いられている。
【０００３】従来、このテフロン系ウェーハキャリアの
洗浄方法としては、超純水を用いたブラシ洗浄やスプレ
ー洗浄などがあるが、ウェーハキャリアに静電気を発生
させてしまい、洗浄そのものによってパーティクルや汚
染物質が付着する恐れもある。このような問題に対し、
イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）などのアルコール水
溶液を洗浄液として用いたジェットスプレー・スピンド
ライ洗浄方法が既に知られている。アルコール洗浄液
は、一般に、水に比べて表面張力が小さく、ＰＦＡキャ
リアに対して良い“ぬれ性”を示すため、キャリアに付
着したパーティクルを効果的に除去することが確認され
ている。尚、上述した洗浄方法で使用されているアルコ
ール洗浄液は、洗浄能力の向上、安全性、アルコール使
用量の削減などの観点から、ＩＰＡ洗浄液を例にとると
ＩＰＡ中に超純水を約４０％（ｗｔ％）混合したものが
使用されている。
洗浄方法としては、超純水を用いたブラシ洗浄やスプレ
ー洗浄などがあるが、ウェーハキャリアに静電気を発生
させてしまい、洗浄そのものによってパーティクルや汚
染物質が付着する恐れもある。このような問題に対し、
イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）などのアルコール水
溶液を洗浄液として用いたジェットスプレー・スピンド
ライ洗浄方法が既に知られている。アルコール洗浄液
は、一般に、水に比べて表面張力が小さく、ＰＦＡキャ
リアに対して良い“ぬれ性”を示すため、キャリアに付
着したパーティクルを効果的に除去することが確認され
ている。尚、上述した洗浄方法で使用されているアルコ
ール洗浄液は、洗浄能力の向上、安全性、アルコール使
用量の削減などの観点から、ＩＰＡ洗浄液を例にとると
ＩＰＡ中に超純水を約４０％（ｗｔ％）混合したものが
使用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うにアルコール水溶液を洗浄液として用いる洗浄法にお
いては、仮に同じ洗浄液を繰り返し使用していると、ア
ルコール分の蒸発によって洗浄液中の水分濃度が徐々に
増加することになる。図４は、ＩＰＡ水溶液中の水分濃
度（ｗｔ％）と、洗浄後のＰＦＡキャリアの表面電位
（ｋＶ）との関係を示したものである。図は、ＩＰＡ洗
浄液の場合、水分濃度が約６０％を超えると、急激にＰ
ＦＡキャリアの表面電位が増加することを示している。
また図５は、帯電および除電キャリア内のウェーハ内に
付着したパーティクルの数を示したものであり、図は帯
電キャリアによってウェーハに多くのパーティクルが吸
着されることを示している。
うにアルコール水溶液を洗浄液として用いる洗浄法にお
いては、仮に同じ洗浄液を繰り返し使用していると、ア
ルコール分の蒸発によって洗浄液中の水分濃度が徐々に
増加することになる。図４は、ＩＰＡ水溶液中の水分濃
度（ｗｔ％）と、洗浄後のＰＦＡキャリアの表面電位
（ｋＶ）との関係を示したものである。図は、ＩＰＡ洗
浄液の場合、水分濃度が約６０％を超えると、急激にＰ
ＦＡキャリアの表面電位が増加することを示している。
また図５は、帯電および除電キャリア内のウェーハ内に
付着したパーティクルの数を示したものであり、図は帯
電キャリアによってウェーハに多くのパーティクルが吸
着されることを示している。
【０００５】これらの図４、５から明らかなように、ア
ルコール水溶液を洗浄液として被洗浄物を洗浄する場合
には、洗浄液中の水分濃度変化に充分留意する必要があ
り、ＩＰＡ水溶液の場合、水分濃度が６０ｗｔ％以上と
ならないうちに新しい洗浄液に交換したり、あるいは蒸
発したＩＰＡ分を補充する必要がある。
ルコール水溶液を洗浄液として被洗浄物を洗浄する場合
には、洗浄液中の水分濃度変化に充分留意する必要があ
り、ＩＰＡ水溶液の場合、水分濃度が６０ｗｔ％以上と
ならないうちに新しい洗浄液に交換したり、あるいは蒸
発したＩＰＡ分を補充する必要がある。
【０００６】本発明は、かかる現状に鑑み、アルコール
水溶液を用いた洗浄方法において、その洗浄液中の水分
濃度を、パーティクル付着数を急増させないような適正
レベルに維持することができるような洗浄方法および洗
浄装置を提供するものである。
水溶液を用いた洗浄方法において、その洗浄液中の水分
濃度を、パーティクル付着数を急増させないような適正
レベルに維持することができるような洗浄方法および洗
浄装置を提供するものである。
【０００７】尚、本願出願人はこれより先に、洗浄液の
比抵抗を測定することにより洗浄液中の水分濃度を適正
レベルに維持させる洗浄方法および洗浄液を出願してい
るが（特開平２−５３８９９号公報）、この洗浄方法は
ＩＰＡ用の連続比抵抗計を使用するため、洗浄装置自体
が高価格になる問題がある。
比抵抗を測定することにより洗浄液中の水分濃度を適正
レベルに維持させる洗浄方法および洗浄液を出願してい
るが（特開平２−５３８９９号公報）、この洗浄方法は
ＩＰＡ用の連続比抵抗計を使用するため、洗浄装置自体
が高価格になる問題がある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明による洗浄方法は、アルコール水溶液からな
る洗浄液を用いて被洗浄物を洗浄するようにした洗浄方
法において、被洗浄物を洗浄した後の前記洗浄液の比重
を測定することにより、洗浄液中の水分濃度変化を検知
し、以て前記洗浄液の交換時期を検知することを特徴と
している。
め、本発明による洗浄方法は、アルコール水溶液からな
る洗浄液を用いて被洗浄物を洗浄するようにした洗浄方
法において、被洗浄物を洗浄した後の前記洗浄液の比重
を測定することにより、洗浄液中の水分濃度変化を検知
し、以て前記洗浄液の交換時期を検知することを特徴と
している。
【０００９】また、更に洗浄装置として、アルコール水
溶液からなる洗浄液により被洗浄物を洗浄する洗浄手段
と、洗浄後の前記洗浄液の比重を検出する比重検出手段
と、検出された洗浄液の比重に応じて外部に洗浄液の交
換を指示する指示手段とを有する洗浄装置を提供する。
溶液からなる洗浄液により被洗浄物を洗浄する洗浄手段
と、洗浄後の前記洗浄液の比重を検出する比重検出手段
と、検出された洗浄液の比重に応じて外部に洗浄液の交
換を指示する指示手段とを有する洗浄装置を提供する。
【００１０】
【作用】図６はＩＰＡ水溶液中のＩＰＡ濃度（ｗｔ％）
と比重の関係を示したものである。この図は、ＩＰＡ含
有量が多ければそれだけ水溶液の比重は小さくなること
を示しており、換言すれば、アルコール水溶液を洗浄液
として使用する洗浄法において、洗浄液中のアルコール
分が蒸発して水分濃度が高くなると洗浄液自体の比重増
加することを意味している。本発明は、このＩＰＡ水溶
液に代表されるようなアルコール水溶液特有の性質を利
用し、洗浄液の比重を測定することにより洗浄液中の水
分濃度を検知し、これにより洗浄液の交換時期を検知す
る。
と比重の関係を示したものである。この図は、ＩＰＡ含
有量が多ければそれだけ水溶液の比重は小さくなること
を示しており、換言すれば、アルコール水溶液を洗浄液
として使用する洗浄法において、洗浄液中のアルコール
分が蒸発して水分濃度が高くなると洗浄液自体の比重増
加することを意味している。本発明は、このＩＰＡ水溶
液に代表されるようなアルコール水溶液特有の性質を利
用し、洗浄液の比重を測定することにより洗浄液中の水
分濃度を検知し、これにより洗浄液の交換時期を検知す
る。
【００１１】
【実施例】図面を参照しながら本発明の一実施例を以
下、説明する。図１は、本発明による洗浄方法を具体化
する洗浄装置の構成を示している。図１において、洗浄
液（ＩＰＡ水溶液）Ｗは、洗浄液供給タンク（サプライ
タンク）１よりポンプ２およびフィルタ３を通して洗浄
チャンバ４に供給される。洗浄チャンバ４の内部には、
供給された洗浄液ＷをＰＦＡウェーハキャリア（以下、
キャリアと呼ぶ）５に向けて勢いよく噴射するスプレー
ノズル６が設けられる。キャリア５は、洗浄チャンバ４
内に回転可能に収納されたキャリアホルダ７に保持さ
れ、キャリアホルダ７はエアーモーター８によって回転
駆動される。洗浄チャンバ４内に噴射され、キャリア５
を洗浄した後の洗浄液Ｗは、リターンパイプ９を介して
再度、サプライタンク１に回収される。そして再度、ポ
ンプ２、フィルタ３によって循環濾過され、洗浄チャン
バ４に供給される。
下、説明する。図１は、本発明による洗浄方法を具体化
する洗浄装置の構成を示している。図１において、洗浄
液（ＩＰＡ水溶液）Ｗは、洗浄液供給タンク（サプライ
タンク）１よりポンプ２およびフィルタ３を通して洗浄
チャンバ４に供給される。洗浄チャンバ４の内部には、
供給された洗浄液ＷをＰＦＡウェーハキャリア（以下、
キャリアと呼ぶ）５に向けて勢いよく噴射するスプレー
ノズル６が設けられる。キャリア５は、洗浄チャンバ４
内に回転可能に収納されたキャリアホルダ７に保持さ
れ、キャリアホルダ７はエアーモーター８によって回転
駆動される。洗浄チャンバ４内に噴射され、キャリア５
を洗浄した後の洗浄液Ｗは、リターンパイプ９を介して
再度、サプライタンク１に回収される。そして再度、ポ
ンプ２、フィルタ３によって循環濾過され、洗浄チャン
バ４に供給される。
【００１２】洗浄チャンバ４とサプライタンク１を接続
するリターンパイプ９には、キャリア５洗浄後の洗浄液
Ｗの比重を測定するための比重測定装置１０が設けられ
る。図２はこの比重測定装置１０の内部構造を示す図で
ある。この比重測定装置１０は、通常知られている“ボ
ーメ比重計”より構成され、外側シリンダ１１と内側シ
リンダ１２とを備えている。ここで、洗浄チャンバ４か
らのリターンパイプ９ａは内側シリンダ１２の底部に連
通し、サプライタンク１につながるリターンパイプ９ｂ
は外側シリンダ１１の底部に連通している。これによ
り、洗浄チャンバ４から回収された洗浄液Ｗは、内側シ
リンダ１２の内容積部分をオーバーフローし、外側シリ
ンダ１１からリターンパイプ９ｂを介してサプライタン
ク１へと戻ることになる。
するリターンパイプ９には、キャリア５洗浄後の洗浄液
Ｗの比重を測定するための比重測定装置１０が設けられ
る。図２はこの比重測定装置１０の内部構造を示す図で
ある。この比重測定装置１０は、通常知られている“ボ
ーメ比重計”より構成され、外側シリンダ１１と内側シ
リンダ１２とを備えている。ここで、洗浄チャンバ４か
らのリターンパイプ９ａは内側シリンダ１２の底部に連
通し、サプライタンク１につながるリターンパイプ９ｂ
は外側シリンダ１１の底部に連通している。これによ
り、洗浄チャンバ４から回収された洗浄液Ｗは、内側シ
リンダ１２の内容積部分をオーバーフローし、外側シリ
ンダ１１からリターンパイプ９ｂを介してサプライタン
ク１へと戻ることになる。
【００１３】内側シリンダ１２の中には比重測定用浮き
秤１３が配置される。この浮き秤１３は、内側シリンダ
１２内の洗浄液Ｗにその一部を没し、洗浄液Ｗの比重に
応じて洗浄液Ｗ中に没する容積が変化するものであり、
その先端部には遮光板１３ａが取り付けられる。
秤１３が配置される。この浮き秤１３は、内側シリンダ
１２内の洗浄液Ｗにその一部を没し、洗浄液Ｗの比重に
応じて洗浄液Ｗ中に没する容積が変化するものであり、
その先端部には遮光板１３ａが取り付けられる。
【００１４】浮き秤１３よりも上方にあって外側シリン
ダ１１の内壁面直径方向には透過型センサ１４が設けら
れる。この透過型センサ１４は発光部１４ａと受光部１
４ｂからなり、受光部１４ｂは発光部１４ａから照射さ
れた光を受けることにより、図１に示す制御回路（ＥＣ
Ｕ）１５に受光信号Ｓを出力するようになっている。な
お、このセンサ１４の外側シリンダ１１への取り付けに
関しては、その時の洗浄液Ｗ中の水分濃度Ｄが、それ以
上大きくなるとキャリア５の表面電位を急激に上昇させ
てしまうような濃度しきい値ａ（例えば、図３の水分濃
度４０〜５０ｗｔ％に含まれる所定濃度）にあるとき、
浮き秤１３の遮光板１３ａによって発光部１４ａからの
光が遮られてしまうような相対位置関係を以て取り付け
られる。
ダ１１の内壁面直径方向には透過型センサ１４が設けら
れる。この透過型センサ１４は発光部１４ａと受光部１
４ｂからなり、受光部１４ｂは発光部１４ａから照射さ
れた光を受けることにより、図１に示す制御回路（ＥＣ
Ｕ）１５に受光信号Ｓを出力するようになっている。な
お、このセンサ１４の外側シリンダ１１への取り付けに
関しては、その時の洗浄液Ｗ中の水分濃度Ｄが、それ以
上大きくなるとキャリア５の表面電位を急激に上昇させ
てしまうような濃度しきい値ａ（例えば、図３の水分濃
度４０〜５０ｗｔ％に含まれる所定濃度）にあるとき、
浮き秤１３の遮光板１３ａによって発光部１４ａからの
光が遮られてしまうような相対位置関係を以て取り付け
られる。
【００１５】再び図１に戻り、本実施例によれば洗浄装
置は、洗浄液Ｗの交換を指示するための警報器１６と、
未使用の洗浄液Ｗを貯蔵する貯蔵タンク１７とを備え
る。この警報器１６は、透過型センサ１４からの受光信
号が途絶えた時、制御回路１５からの駆動信号によって
作動されるようになっており、作業者に対して新しい洗
浄液Ｗの交換を促すものである。
置は、洗浄液Ｗの交換を指示するための警報器１６と、
未使用の洗浄液Ｗを貯蔵する貯蔵タンク１７とを備え
る。この警報器１６は、透過型センサ１４からの受光信
号が途絶えた時、制御回路１５からの駆動信号によって
作動されるようになっており、作業者に対して新しい洗
浄液Ｗの交換を促すものである。
【００１６】図３（ａ）、（ｂ）は洗浄液Ｗの水分濃度
Ｄによって上下動する比重測定装置１０の浮き秤１３を
示したものである。以下、本図および図１を参照しなが
ら以上の構成なる洗浄装置の作動を説明する。
Ｄによって上下動する比重測定装置１０の浮き秤１３を
示したものである。以下、本図および図１を参照しなが
ら以上の構成なる洗浄装置の作動を説明する。
【００１７】洗浄液Ｗ中の水分濃度Ｄが前記しきい値ａ
よりも小さい時（Ｄ＜ａ）、これはＤ＝ａやＤ＞ａの時
と比較して洗浄液Ｗ中のＩＰＡ分（アルコール分）がそ
れだけ多く、洗浄液Ｗの比重は小さいことを意味するた
め、浮き秤１３はその大部分が洗浄液面下に没し、図３
（ａ）のように遮光板１３ａは透過型センサ１４の光路
を遮るに至らない状態にある。したがって、このような
場合には比重測定装置１０から引き続き受光信号Ｓが出
力され、この結果警報器１６は作動されない状態にあ
る。
よりも小さい時（Ｄ＜ａ）、これはＤ＝ａやＤ＞ａの時
と比較して洗浄液Ｗ中のＩＰＡ分（アルコール分）がそ
れだけ多く、洗浄液Ｗの比重は小さいことを意味するた
め、浮き秤１３はその大部分が洗浄液面下に没し、図３
（ａ）のように遮光板１３ａは透過型センサ１４の光路
を遮るに至らない状態にある。したがって、このような
場合には比重測定装置１０から引き続き受光信号Ｓが出
力され、この結果警報器１６は作動されない状態にあ
る。
【００１８】これに対し、洗浄液Ｗの使用に伴って次第
に洗浄液中のアルコール分が蒸発し、洗浄液中の水分濃
度Ｄが上昇して最終的にしきい値ａに達した場合（Ｄ＝
ａ）、浮き秤１３の遮光板１３ａは、図３（ｂ）に示し
たように、発光部１４ａから受光部１４ｂへの光を遮断
するようになる。この結果、制御回路１５にはそれまで
入力されていた比重測定装置１０からの受光信号Ｓが途
絶えることとなり、制御回路１５は直ちに警報器駆動信
号ｄを出力して警報器１６を作動することになる。この
結果、作業者はこの警報に基づいて、サプライタンク１
に回収された洗浄液Ｗをドレンし、その後貯蔵タンク１
７から適正水分濃度の洗浄液Ｗをサプライタンク１に供
給するのである。
に洗浄液中のアルコール分が蒸発し、洗浄液中の水分濃
度Ｄが上昇して最終的にしきい値ａに達した場合（Ｄ＝
ａ）、浮き秤１３の遮光板１３ａは、図３（ｂ）に示し
たように、発光部１４ａから受光部１４ｂへの光を遮断
するようになる。この結果、制御回路１５にはそれまで
入力されていた比重測定装置１０からの受光信号Ｓが途
絶えることとなり、制御回路１５は直ちに警報器駆動信
号ｄを出力して警報器１６を作動することになる。この
結果、作業者はこの警報に基づいて、サプライタンク１
に回収された洗浄液Ｗをドレンし、その後貯蔵タンク１
７から適正水分濃度の洗浄液Ｗをサプライタンク１に供
給するのである。
【００１９】このように、本実施例によれば、洗浄液中
水分濃度と一義的に変化する比重に着目し、予め水分濃
度しきい値に設定された比重測定装置１０の浮き秤１３
の浮遊状態によって、洗浄液Ｗ（ＩＰＡ水溶液）の水分
濃度を間接的に検知するようにしたため、洗浄液の比抵
抗や水分濃度を直接測定するものに比較して簡単に洗浄
液交換の適正時期を知ることができる。また、これに伴
い洗浄液の水分濃度を常時適正レベルに保持することが
でき、被洗浄物であるウェーハキャリアの静電気を抑え
ることができ、パーティクル付着量を激減することがで
きる。
水分濃度と一義的に変化する比重に着目し、予め水分濃
度しきい値に設定された比重測定装置１０の浮き秤１３
の浮遊状態によって、洗浄液Ｗ（ＩＰＡ水溶液）の水分
濃度を間接的に検知するようにしたため、洗浄液の比抵
抗や水分濃度を直接測定するものに比較して簡単に洗浄
液交換の適正時期を知ることができる。また、これに伴
い洗浄液の水分濃度を常時適正レベルに保持することが
でき、被洗浄物であるウェーハキャリアの静電気を抑え
ることができ、パーティクル付着量を激減することがで
きる。
【００２０】尚、上述した実施例では、警報器１６を作
動させて作業者に洗浄液交換を促すものであったが、そ
の変形例としては、貯蔵タンク１７からの洗浄液供給系
やサプライタンク１からのドレン系に、制御回路１５に
よって開閉制御される制御弁（図示せず）をそれぞれ設
け、洗浄液Ｗが自動的に交換されるようにしても良い。
動させて作業者に洗浄液交換を促すものであったが、そ
の変形例としては、貯蔵タンク１７からの洗浄液供給系
やサプライタンク１からのドレン系に、制御回路１５に
よって開閉制御される制御弁（図示せず）をそれぞれ設
け、洗浄液Ｗが自動的に交換されるようにしても良い。
【００２１】また、上記実施例では警報発生時、洗浄液
Ｗ全体が新しいものと交換されるものであったが、貯蔵
タンク１７にＩＰＡなどのアルコール分を充填させ、警
報発生毎に所定量のアルコールが補給されるようにして
も良い。当然、本発明による洗浄装置は、その対象をウ
ェーハキャリアに限定されるものではなく、アルコール
水溶液を洗浄液として用いる洗浄システム全般に亙り適
用可能である。
Ｗ全体が新しいものと交換されるものであったが、貯蔵
タンク１７にＩＰＡなどのアルコール分を充填させ、警
報発生毎に所定量のアルコールが補給されるようにして
も良い。当然、本発明による洗浄装置は、その対象をウ
ェーハキャリアに限定されるものではなく、アルコール
水溶液を洗浄液として用いる洗浄システム全般に亙り適
用可能である。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
洗浄液自体の比重を測定することにより洗浄液中の水分
濃度を管理することができ、洗浄液交換の適正時期を知
ることができる。また、これに伴い、水分濃度が上昇し
た洗浄液の被洗浄物への悪影響を防ぐことができる。
洗浄液自体の比重を測定することにより洗浄液中の水分
濃度を管理することができ、洗浄液交換の適正時期を知
ることができる。また、これに伴い、水分濃度が上昇し
た洗浄液の被洗浄物への悪影響を防ぐことができる。
【図１】本発明の一実施例による洗浄装置を示したブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】図１の比重測定装置の構造を示す概略図であ
る。
る。
【図３】図２に示す比重測定装置の作動状態を示し、
（ａ）は洗浄液中水分濃度がしきい値以下の場合、
（ｂ）は水分濃度がしきい値に達した時の浮き秤位置を
それぞれ示す図である。
（ａ）は洗浄液中水分濃度がしきい値以下の場合、
（ｂ）は水分濃度がしきい値に達した時の浮き秤位置を
それぞれ示す図である。
【図４】ＩＰＡ水溶液中の水分濃度と洗浄後のＰＦＡキ
ャリアの表面電位との関係を示す図である。
ャリアの表面電位との関係を示す図である。
【図５】帯電キャリアと除電キャリアに付着する空気中
パーティクル数を示す図である。
パーティクル数を示す図である。
【図６】ＩＰＡ水溶液中のＩＰＡ濃度と比重の関係を示
す図である。
す図である。
１…サプライタンク ４…洗浄チャンバ ５…ウェーハキャリア ８…エアーモーター １０…比重測定装置 １５…制御回路 １６…警報器 Ｗ…洗浄液
Claims (8)
- 【請求項１】 アルコール水溶液からなる洗浄液を用い
て被洗浄物を洗浄するようにした洗浄方法において、 被洗浄物を洗浄した後の前記洗浄液の比重を測定するこ
とにより、洗浄液中の水分濃度変化を検知し、以て前記
洗浄液の交換時期を検知することを特徴とする洗浄方
法。 - 【請求項２】 前記アルコール水溶液は、イソプロピル
アルコール水溶液であることを特徴とする請求項１に記
載の洗浄方法。 - 【請求項３】 前記被洗浄物がウェーハキャリアである
ことを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄方法。 - 【請求項４】 アルコール水溶液からなる洗浄液により
被洗浄物を洗浄する洗浄手段と、洗浄後の前記洗浄液の
比重を検出する比重検出手段と、検出された洗浄液の比
重に応じて外部に洗浄液の交換を指示する指示手段とを
有する洗浄装置。 - 【請求項５】 前記アルコール水溶液は、イソプロピル
アルコール水溶液であることを特徴とする請求項４に記
載の洗浄装置。 - 【請求項６】 前記比重検出手段はボーメ比重計を有す
ることを特徴とする請求項４または５に記載の洗浄装
置。 - 【請求項７】 更に、検出された洗浄液の比重に応じて
洗浄液を自動的に交換する洗浄液交換手段を有すること
を特徴とする請求項４に記載の洗浄装置。 - 【請求項８】 前記被洗浄物がウェーハキャリアである
ことを特徴とする請求項４から７までのいづれか１項に
記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32139893A JPH07147265A (ja) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | 洗浄方法および洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32139893A JPH07147265A (ja) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | 洗浄方法および洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07147265A true JPH07147265A (ja) | 1995-06-06 |
Family
ID=18132108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32139893A Pending JPH07147265A (ja) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | 洗浄方法および洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07147265A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003112132A (ja) * | 2001-10-03 | 2003-04-15 | Sumitomonacco Materials Handling Co Ltd | 洗浄水交換方法及びその装置 |
| US8840960B2 (en) * | 2006-11-01 | 2014-09-23 | United Technologies Corporation | Method of cleaning carbon composite prior to application of thermal coating |
| KR102278108B1 (ko) * | 2020-12-31 | 2021-07-14 | 안형일 | Ict 융복합 축산 악취제거장치 |
| JP2022128061A (ja) * | 2021-02-22 | 2022-09-01 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎ Ｓｐｅ テック | 基板処理装置および基板処理方法 |
-
1993
- 1993-11-25 JP JP32139893A patent/JPH07147265A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003112132A (ja) * | 2001-10-03 | 2003-04-15 | Sumitomonacco Materials Handling Co Ltd | 洗浄水交換方法及びその装置 |
| US8840960B2 (en) * | 2006-11-01 | 2014-09-23 | United Technologies Corporation | Method of cleaning carbon composite prior to application of thermal coating |
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| JP2022128061A (ja) * | 2021-02-22 | 2022-09-01 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎ Ｓｐｅ テック | 基板処理装置および基板処理方法 |
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