JPH0714963A - 半導体装置及びそのリードフレーム - Google Patents

半導体装置及びそのリードフレーム

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JPH0714963A
JPH0714963A JP5156779A JP15677993A JPH0714963A JP H0714963 A JPH0714963 A JP H0714963A JP 5156779 A JP5156779 A JP 5156779A JP 15677993 A JP15677993 A JP 15677993A JP H0714963 A JPH0714963 A JP H0714963A
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JP
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semiconductor device
lead
lead frame
internal
wire
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Masahiko Ichise
理彦 市瀬
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NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体装置用リードフレームの接続部分を立
体化してボンディングワイアとの接触を防止する。 【構成】 リードオンチップ(LOC)構造の半導体装
置のためのリードフレームで、内部リード1a相互の接
続部分1cを立体化して他の内部リード1bと交差する
ように構成する。内部リード1bと接続されるボンディ
ングワイア4と、内部リード1a相互の接続部分1cと
の接触によるショート・断線を防止すると共に、ボンデ
ィングワイア4の頂部よりも接続部分1cの頂部を高く
することで、ボンディングワイア4の封入樹脂表面への
露出により断線を防止する。特に、接続部分1cの頂部
に突起を設けることにより、封入樹脂の上面に露出する
接続部分1cを少く出来る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置及びそのリ
ードフレームに関し、更に詳しくは、半導体素子の機能
面上に内部リードが配置された樹脂封止型半導体装置及
びその半導体装置に使用されるリードフレームに関す
る。
【0002】
【従来の技術】樹脂封止型半導体装置で、内部リードが
半導体素子の機能面上に配置されるLOC(LEAD ON CH
IP)構造であって、半導体素子が搭載される搭載部を有
しない構造のものが知られている。かかるLOC構造の
樹脂封止型半導体装置用リードフレーム(以下、リード
フレームと呼ぶ)では、一般に内部リードは全て同一表
面上に配置されている。
【0003】図4は、上記型式の従来のリードフレーム
を有する半導体装置における内部リード附近の構造を示
す斜視図である。同図に示したように、複数の第一内部
リード1bを挟んで両側の2本の第二内部リード1a相
互を接続する場合には、その接続部を成す内部リード部
分1dは、第一内部リード1bの端部を同一平面上で迂
回する構造が採られる。かかる構造を採用すると、相互
接続された第二内部リード1aに挟まれた第一内部リー
ド1bと接続される、例えばAuから成るボンディング
ワイア4は、内部リード部分1dと交差してその上を跨
がるように配置される。この場合、一般に、封入樹脂を
除けば、Auワイア4の最頂部がこの樹脂封入型半導体
装置において最も高い位置に存在する。
【0004】半導体装置における樹脂封入は、ワイアの
ボンディングが終了した半導体チップ全体を金型内に挿
入し、樹脂が半導体チップ上面及び下面を均一に囲むよ
うに樹脂封入が行われる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のLOC構造
のリードフレームでは、Auワイアが、樹脂封入工程の
際に封入樹脂に押されて変形し、その下側にある内部リ
ードの接続部分1dと接触をしてショート或いは断線を
生ずる危険がある。
【0006】また、封入樹脂を除くと、Auワイアが半
導体装置で最も高い位置に存在する構造のため、樹脂封
入工程において、金型内部への封入樹脂の流入が半導体
チップを挟んで上下不均一に行われる場合には、その封
入工程中に半導体チップが上方に押し上げられて、極め
て細く且つ機械的強度も低いAuワイアを封入樹脂の表
面に露出させてしまう危険がある。かかるAuワイアの
露出は特に断線の危険を増大させる。
【0007】本発明は、前記問題に鑑み、従来のLOC
構造の半導体装置のためのリードフレームの構造を改良
し、もってボンディングワイアの断線が生じ難い樹脂封
止型半導体装置及びそのためのリードフレームを提供す
ることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の半導体装置のためのリードフレームは、半
導体素子の機能面上に複数の内部リードが配置されるリ
ードオンチップ構造の半導体装置のためのリードフレー
ムにおいて、少なくとも1つの第一内部リードと立体交
差する交差部分を有する第二内部リードを備えることを
特徴とする。
【0009】また、本発明の半導体装置は、半導体素子
の機能面上に複数の内部リードが配置されるリードオン
チップ構造の半導体装置において、少なくとも1つの第
一内部リードと立体交差する交差部分を有する第二内部
リードを備えることを特徴とする。
【0010】
【作用】本発明の半導体装置及び本発明のリードフレー
ムを備える半導体装置では、ボンディングワイアが内部
リードを跨いで交差することなく配置できるので、樹脂
封入作業に起因して生ずるおそれがある、ボンディング
ワイアと内部リードとの接触によるボンディングワイア
のショート及び断線を防止することができ、また、内部
リードの接続部分は、強度が低いボンディングワイアが
封入樹脂表面に露出することを防止してその断線のおそ
れを除く。
【0011】
【実施例】図面を参照して本発明を更に詳しく説明す
る。図1は、本発明の第一の実施例のLOC構造の半導
体装置用リードフレームにおける要部構造を、半導体チ
ップの一部と共に示す斜視図である。同図において、多
数の第一及び第二内部リード1b、1aは、チップ2の
上面に貼付された絶縁テープ3の上面に、例えば接着材
により固定される。各内部リード1a、1bは、例えば
Auから成るボンディングワイア4により、半導体チッ
プ2のボンディングパッド部と接続される。
【0012】内部リードの内、両側の2本の第二内部リ
ード1a相互を接続する接続部分1cは、各内部リード
1a、1bの幅に比べてその幅が約1/2を成し、上方
に折り曲げられると共に、その幅方向が上下方向となる
ように配置される。これにより、接続部分1cは、両側
の第二内部リード1aに挟まれる内側の3本の第一内部
リード1bの上部を跨いで、これらと立体交差する交差
部分を構成している。かかる構造のため、各第一内部リ
ード1bと接続される夫々のAuワイア4は、第二内部
リード1a、内部リード接続部分1cの何れをも跨ぐこ
となく配置できる。
【0013】図2は、図1の実施例のリードフレームを
備える本発明の一実施例の半導体装置のチップ全体の構
造を、その樹脂封入工程の途中で示す断面図である。折
り曲げられた内部リード接続部分1cの頂部は、Auワ
イア4の最頂部よりも更に高い位置に在る。従って、た
とえ、封入樹脂5の流れがチップ2を挟んで不均一にな
って半導体チップ2を押し上げる場合にも、接続部分1
cの頂部が、金型6の内面に接触して、それ以上にチッ
プ2が押し上げられることを防止する。このため、Au
ワイア4が封入樹脂5の表面に露出するおそれがない。
【0014】例えば、Auワイア4の最頂部と内部リー
ド接続部分1cの頂部との高さの差は、金型6との接触
時における内部リード接続部分1cの変形を考慮して
も、5μm程度あればAuワイア4の露出を防止するに
は充分である。この実施例の場合、接続部分1cが封入
樹脂の上面に露出するが、リードフレームは、その強度
がAuワイアの強度に比して充分なため、その断線のお
それは極めて小さく、特に障害にはならない。
【0015】図3は、本発明の第二の実施例の樹脂封止
型半導体装置用リードフレームの要部構成を、これと接
続されるボンディングワイアと共に示す斜視図である。
この実施例の場合には、内部リード接続部分1cの頂部
に突起6を設けていることにおいて第一の実施例と異な
り、その他の構成は第一の実施例と同様である。
【0016】第二の実施例の構成によると、樹脂封入工
程の際に、チップ全体が封止樹脂により押し上げられる
場合には、接続部分1cに形成された突起7が金型に接
触する。このため、突起7は、Auワイア4の封止樹脂
表面への露出を防止すると共に、内部リード接続部分1
cが封入樹脂の表面に露出する部分を最小限にする作用
がある。
【0017】上記実施例のリードフレームを採用した本
発明の実施例の半導体装置では、樹脂封入工程に起因し
て生ずる、Auワイアの変形によるショート及び断線、
或いは、Auワイアの封入樹脂表面への露出による断線
が生ずることはなく、また、その樹脂封入工程における
作業性も大きく向上する利点がある。本発明の構成は、
特に、リードフレームがチップ搭載部を有しておらず、
内部リードがチップの機能面上に配置されるLOC構造
の半導体装置に採用することで、その利点が得られるも
のである。
【0018】本発明の構成について、その実施例を参照
して説明したが、本発明の構成は上記実施例から種々に
修正及び変更が可能である。従って、本発明を上記実施
例の構成にのみ限定することを意図するものではない。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体装
置及び本発明のリードフレームを備える半導体装置で
は、内部リードと接続されるボンディングワイアの変形
に起因するショート及び断線、並びに、ワイアの封入樹
脂表面への露出に起因する断線のおそれが防止できると
共に、封入樹脂工程における作業性が向上するという顕
著な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例のリードフレーム及びこれを
備えた本発明の実施例のLOC構造の半導体装置の要部
構成を示す、半導体チップの斜視図。
【図2】図1の実施例の半導体装置の樹脂封入時の様子
を示す断面図。
【図3】本発明の第二の実施例のLOC構造の半導体装
置のリードフレームの要部構成を示す斜視図。
【図4】従来のLOC構造の半導体装置のリードフレー
ムの斜視図。
【符号の説明】
1a、1b 内部リード 1c、1d 内部リード接続部分 2 チップ 3 テープ 4 Auワイア 5 封入樹脂 6 金型 7 突起

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体素子の機能面上に複数の内部リー
    ドが配置されるリードオンチップ構造の半導体装置のた
    めのリードフレームにおいて、 少なくとも1つの第一内部リードと立体交差する交差部
    分を有する第二内部リードを備えることを特徴とするリ
    ードフレーム。
  2. 【請求項2】 前記交差部分の頂部に少なくとも1つの
    突起が形成されることを特徴とする請求項1に記載のリ
    ードフレーム。
  3. 【請求項3】 半導体素子の機能面上に複数の内部リー
    ドが配置されるリードオンチップ構造の半導体装置にお
    いて、 少なくとも1つの第一内部リードと立体交差する交差部
    分を有する第二内部リードを備えることを特徴とする半
    導体装置。
  4. 【請求項4】 前記各内部リードと接続されるボンディ
    ングワイアが前記交差部分の頂部よりも低い位置に配置
    されることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
  5. 【請求項5】 前記交差部分の頂部に少なくとも1つの
    突起が形成されることを特徴とする請求項3又は4に記
    載の半導体装置。
JP5156779A 1993-06-28 1993-06-28 半導体装置及びそのリードフレーム Pending JPH0714963A (ja)

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