JPH07151037A - 流体噴射ノズル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体プレートの破損や燃料の漏洩を防止
し、コストを下げ、燃料の微粒化特性を向上すること。 【構成】 先端に噴口１１および弁座１２が形成された
弁本体１と、先端に噴口１１を開閉するシート部２１が
形成され弁本体内に往復動自在に介挿された弁部材２
と、前記弁部材２を駆動信号に応じて上下に往復動させ
る電磁コイルを備えた駆動部と、弁本体１の先端部に装
着されたスリーブ４と、前記噴口１１に近接して前記弁
本体１と前記スリーブとの間に介挿され複数のオリフィ
ス５１〜５４を形成したシリコンオリフィスプレート５
と、前記シリコンオリフィスプレート５と前記弁本体１
および前記スリーブ４との間に夫々介挿された環状の第
１および第２の樹脂フィルム６１および６２とから成る
流体噴射ノズル。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、エッチングのような半
導体製造技術を利用してオリフィスを精密加工されたシ
リコンプレート他の半導体プレートを有する流体噴射ノ
ズルにおいて、前記半導体プレートが流体噴射ノズルの
金属面に接する部分に合成樹脂他の弾性を有する弾性体
を配設した流体噴射ノズルに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の流体噴射ノズル（特開平４−３２
５７６９）は、図２１および図２２に示すように噴口Ｏ
およびシール部を有する弁本体Ｂ内にニードルＮが介挿
され、前記弁本体Ｂの先端と弁本体Ｂに固着された不銹
鋼の保持器Ｒの傾斜して配設された基部ＲＢとの間にオ
リフィスＦを有する１または２枚のシリコンミクロ加工
ノズル板ＰまたはＰ１、Ｐ２を介挿し、保持器Ｒの基部
ＲＢより前記シリコンミクロ加工ノズル板Ｐ、Ｐ１、Ｐ
２に対して一定の付勢力が付与される構成より成り、容
易かつ正確な製造を可能にするとともに燃料の漏洩を防
止するものがあった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の流体噴射ノ
ズルは、ミクロ加工されたオリフィスを有するシリコン
ミクロ加工ノズル板Ｐ、Ｐ１およびＰ２により燃料の霧
化特性を向上し、燃料の計量精度を高めた噴射弁を安価
に提供するものであるが、金属製の弁本体Ｂの先端と保
持器Ｒとの間に介挿されるシリコンミクロ加工ノズル板
Ｐ、Ｐ１およびＰ２がガラスと同様に脆性が高いシリコ
ンの単結晶を素材としているため、台座となる部分を高
い平面度でかつ局部的な突起などが無いように仕上げな
いと、湾曲や突起の接触および保持器の一定の付勢力お
よび開閉時の繰返し応力などによってシリコンミクロ加
工ノズル板Ｐ、Ｐ１およびＰ２が破損したり、燃料漏れ
の可能性が有るという問題があった。

【０００４】またシリコンミクロ加工ノズル板Ｐ、Ｐ１
およびＰ２を高精度に仕上げたとしても、組付時および
使用時に切り粉やシリコンプレートの欠片などの異物が
混入すると、やはり破損する可能性が有るという問題が
あった。特にシリコンプレートの外周端部は面取りせず
に使用する場合が一般的であるが、そのために噴射弁に
組付ける際に端部が欠けて欠片が混入する可能性が有っ
た。これらを設備の高精度化と清浄化によって対処する
ことは、コスト面より実際的では無いという問題があっ
た。

【０００５】そこで本発明者らは、オリフィスが形成さ
れた半導体プレートが金属部分に接触する部分にゴムや
合成樹脂および銅や真鍮等の柔らかい金属のような弾性
を有する弾性体を配設するという本発明の第１の技術的
思想に着眼するとともに、前記半導体プレートに形成さ
れたオリフィスに対して一定の関係を有するオリフィス
を前記弾性体または第２の半導体プレートに形成すると
いう本発明の第２の技術的思想に着眼し、更に研究開発
を重ねた結果、半導体プレートの破損や燃料の漏洩を防
止するとともに、コストを下げ、燃料の微粒化特性を向
上するという目的を達成する本発明に到達した。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明（請求項１に記載
の第１発明）の流体噴射ノズルは、先端に噴口が形成さ
れた弁本体と、前記弁本体内に往復動自在に介挿され、
前記噴口を開閉する弁部材と、前記噴口に近接して配設
され、オリフィスが形成された半導体プレートと、前記
半導体プレートの金属部分に接触する部分の少なくとも
一部に配設した弾性体とから成るものである。

【０００７】本発明（請求項２に記載の第２発明）の流
体噴射ノズルは、先端に噴口が形成された弁本体と、前
記弁本体内に往復動自在に介挿され、前記噴口を開閉す
る弁部材と、前記弁本体先端に装着されたスリーブと、
前記弁本体とスリーブとの間に介挿されオリフィスが形
成されたシリコンプレートと、前記弁本体とシリコンプ
レートとの間および前記スリーブとシリコンプレートと
の間の少なくとも一方に介挿された弾性体とから成るも
のである。ここで弾性体は、銅や真鍮等の弾性を有する
柔らかい金属の他、合成樹脂、ゴム等の弾力性に富んだ
材料で構成することができる。

【０００８】本発明（請求項３に記載の第３発明）の流
体噴射ノズルは、先端に噴口が形成された弁本体と、前
記弁本体内に往復動自在に介挿され、前記噴口を開閉す
る弁部材と、前記噴口に近接して２枚重ね合わせて配設
され、オリフィスが形成されたシリコンプレートと、前
記重ね合わせたシリコンプレートの金属と接触する部分
に配設された弾性体とから成るものである。

【０００９】本発明の流体噴射ノズルは、先端に噴口が
形成された弁本体と、前記弁本体内に往復動自在に介挿
され、前記噴口を開閉する弁部材と、前記弁本体先端に
装着されたスリーブと、前記弁本体とスリーブとの間に
介挿されオリフィスが形成されたシリコンプレートと、
前記弁本体とシリコンプレートとの間および前記スリー
ブとシリコンプレートとの間に介挿され、前記シリコン
プレートのオリフィスの開口より大きな開口が形成され
た第１および第２の合成樹脂体とから成るものである。

【００１０】本発明の流体噴射ノズルは、先端に噴口が
形成された弁本体と、前記弁本体内に往復動自在に介挿
され、前記噴口を開閉する弁部材と、前記弁本体先端に
装着されたスリーブと、前記噴口に近接して配設され、
オリフィスが形成されたシリコンプレートと、前記弁本
体とシリコンプレートとの間に介挿され、前記シリコン
プレートに形成されたオリフィスに対して一定の関係を
有するオリフィスが形成された第１の合成樹脂体と、前
記スリーブとシリコンプレートとの間に介挿され、前記
シリコンプレートに形成されたスリット状のオリフィス
の長さより大きな開口のオリフィスが形成された第２の
合成樹脂体とから成るものである。

【００１１】

【作用】上記構成より成る第１発明の流体噴射ノズル
は、前記弁部材が上昇すると前記噴口より噴射された燃
料が、前記弾性体によって金属部分に接触することなく
弾性的に支持された前記半導体プレートに形成された前
記オリフィスにより絞られた後、前記オリフィスから噴
射される。

【００１２】上記構成より成る第２発明の流体噴射ノズ
ルは、前記弁部材が上昇すると前記噴口より噴射された
燃料が、前記弾性体によって金属部分に接触することな
く弾性的に支持された前記シリコンプレートに形成され
た前記オリフィスにより絞られた後、前記オリフィスか
ら噴射される。

【００１３】上記構成より成る第３発明の流体噴射ノズ
ルは、金属部分に接触することなく弾性的に支持された
オリフィスが形成された前記シリコンプレートが重ね合
わせて配設されているので、前記弁部材が上昇すると前
記噴口より噴射された燃料が、２つのオリフィスによっ
て形成される通路の形状に応じた噴霧パターンで噴出さ
れる。

【００１４】上記構成より成る本発明の流体噴射ノズル
は、第２発明と同様の作用に加え、前記シリコンプレー
トの上下に第１および第２の合成樹脂体を介挿したので
金属部分との接触をさらに無くすとともに、前記合成樹
脂体には前記シリコンプレートの前記オリフィスの開口
より大きな開口が形成されているので、前記シリコンプ
レートの前記オリフィスを通過する燃料の流れに影響を
与えない。

【００１５】上記構成より成る本発明の流体噴射ノズル
は、第２発明と同様の作用に加え、前記弁本体とシリコ
ンプレートとの間に介挿された第１の合成樹脂体に前記
シリコンプレートに形成されたオリフィスに対して一定
の関係を有するオリフィスが形成され、前記シリコンプ
レートのオリフィスとの間に特定の通路を形成するもの
である。

【００１６】

【発明の効果】上記作用を奏する第１発明の流体噴射ノ
ズルは、前記半導体プレートと流体噴射ノズルの金属部
分との間に弾力性を有する弾性体が介挿され直接接触し
ないので、切り粉や半導体の欠片などが混入しても破損
すること無く、弁部材の開閉動作その他の振動および衝
撃を緩衝するとともに、燃料の漏洩を防止し、前記半導
体プレートの台座部を高平面度および高精度に仕上げる
必要が無いので、コストを下げるという効果を奏する。

【００１７】上記作用を奏する第２発明の流体噴射ノズ
ルは、安価でポピュラーなシリコンプレートおよび合成
樹脂体を利用するので、一層安価に第１発明と同様の効
果を奏する。

【００１８】上記作用を奏する第３発明の流体噴射ノズ
ルは、上記第１発明と同様の効果を奏するとともに、２
つのオリフィスによって形成される通路の形状に応じた
噴霧パターンで燃料を噴出するので、燃料の微粒化特性
を向上させるという効果を奏する。

【００１９】上記作用を奏する本発明の流体噴射ノズル
は、前記シリコンプレートと弁本体およびスリーブとの
間に夫々第１および第２の合成樹脂体を介挿したので、
第１発明に比べシリコンプレートの破損および燃料の漏
洩防止を一層有効に実現するという効果を奏するととも
に、前記第１および第２の合成樹脂体が前記シリコンプ
レートのオリフィスを通過する燃料の流れに影響を与え
ないという効果を奏する。

【００２０】上記作用を奏する本発明の流体噴射ノズル
は、上述の第２発明の効果に加え、前記オリフィスを形
成した第１の合成樹脂体とシリコンプレートのオリフィ
スとの間に特定の通路を形成するので、従来に比べ安価
に燃料の微粒化特性を向上させるという効果を奏する。

【００２１】

【実施例】以下本発明の実施例につき、図面を用いて説
明する。

【００２２】（第１実施例）第１実施例の流体噴射ノズ
ルは、ガソリン機関の燃料供給装置の燃料噴射弁に適用
したもので図１ないし図５に示され主に、図１および図
２に示すように先端に噴口１１および弁座１２が形成さ
れた弁本体１と、先端に前記噴口１１を開閉するシート
部２１が形成され前記弁本体内に往復動自在に介挿され
た弁部材２と、前記弁部材２を駆動信号に応じて上下に
往復動させる電磁コイル３１を備えた駆動部３と、弁本
体１の先端部に装着されたスリーブ４と、前記噴口１１
に近接して前記弁本体１と前記スリーブとの間に介挿さ
れ複数のオリフィス５１〜５４を形成したシリコンオリ
フィスプレート５と、前記シリコンオリフィスプレート
５と前記弁本体１および前記スリーブ４との間に夫々介
挿された環状の第１および第２の樹脂フィルム６１およ
び６２とから成るものである。

【００２３】前記弁本体１は、図１および図２に示すよ
うに大径部と小径部を有する磁性材料のハウジング１Ｈ
の小径部の先端に固着された環状の部材１０で構成さ
れ、同軸的に案内孔１３が形成され、先端側のテーパ部
により弁座１２が構成され、弁座１２の先端に噴口１１
が形成されている。

【００２４】前記弁部材２は、図１および図２に示すよ
うに、前記弁本体１の案内孔１３の内周面を摺動する案
内部２２および２３が外周部に一定の間隔を於いて軸方
向に形成されるとともに、燃料を供給するための軸方向
の溝２４および２５が形成される。先端側の小径部先端
に形成された先細部によって前記弁本体１の弁座１２に
当接するシート部２１が形成される。

【００２５】前記駆動部３は、前記ハウジング１Ｈの先
端側に介挿され前記弁部材２に固着された可動鉄心３２
と、この可動鉄心３２の上部に介挿され前記ハウジング
１Ｈに固着された固定鉄心３３と、この固定鉄心３３内
に介挿され前記可動鉄心３２および弁部材２を閉弁方向
に付勢し前記シート部２１を前記弁本体１の弁座１２に
着座させる圧縮コイルスプリング３４と、前記固定鉄心
３３とハウジング１Ｈとの間に配設されコネクタ３１Ｎ
を介して電子制御装置に接続され噴射制御信号が出力さ
れると前記可動鉄心３２および弁部材２を圧縮コイルス
プリング３４に抗して開弁方向に移動させる電磁コイル
３１とから成る。

【００２６】燃料タンクからフューエルポンプ等によっ
て圧送される燃料は、前記固定鉄心３３に一体に形成さ
れたコネクタ管３５から燃料噴射ノズル内に導入され、
同軸的に配設されたフィルタ３５Ｆを介して、案内管３
６内を通過して、ハウジング１Ｈと可動鉄心３２間の隙
間を通過して中空部３７に供給され、この中空部３７を
介して前述した弁部材２の軸方向の溝２４、２５に供給
し得る構成より成る。

【００２７】前記スリーブ４は、図１および図２に示す
ように縦断面コの字状の環状部材４０で構成され、底面
に大径の開口４１が形成され、内周壁４２において前記
弁本体１先端外周部にカシメ固定されている。

【００２８】前記シリコンオリフィスプレート５は、図
３ないし図５に示すように矩形部材５０により構成さ
れ、下方に行くに従い対向間隔が減少する４個の矩形テ
ーパ孔により構成されるオリフィス５１〜５４が中央に
近接して等間隔に形成されている。

【００２９】前記第１の樹脂フィルム６１は、図３およ
び図４に示すように前記シリコンオリフィスプレートの
上面５Ｕに被覆されたポリイミド樹脂製のフィルムで構
成され、前記４個のテーパ孔の上開口端より一定距離だ
け離れた大きな矩形開口６１Ｏが形成されている。

【００３０】前記第２の樹脂フィルム６２は、図４およ
び図５に示すように前記シリコンオリフィスプレート５
の下面５Ｌに被覆されたポリイミド樹脂製のフィルムで
構成され、前記４個のテーパ孔の下開口端より一定距離
だけ離れた前記第１の樹脂フィルム６１の矩形開口６１
Ｏより若干小さな矩形開口６２Ｏが形成されている。

【００３１】上記構成より成る第１実施例の流体噴射ノ
ズルは、燃料タンクの燃料がフューエルポンプによりコ
ネクタ管３５より導入され、フィルタ３５Ｆを介して案
内管３６を通過して、前記ハウジング１Ｈと可動鉄心３
２間の隙間を介して中空部３７に供給されており、この
時電子制御装置からの噴射制御信号がコネクタ３１Ｎを
介して前記電磁コイル３１に入力されると、前記可動鉄
心３２および弁部材２を前記圧縮コイルスプリング３４
に抗して開弁方向（図１および図２中上方）に移動させ
るので、前記中空部３７に供給されていた燃料が前記弁
部材２の軸方向の溝２４、２５と前記弁本体１の案内孔
１３との間の隙間を介して噴口１１に到達し噴射され
る。

【００３２】前記噴口１１より噴射された燃料は、シリ
コンオリフィスプレート５に形成された４個の矩形テー
パ孔のオリフィス５１〜５４に分かれて、最も絞られた
下方の開口より流体噴射ノズル外の内燃機関の吸気通路
内に噴射される。

【００３３】上記作用を奏する第１実施例の流体噴射ノ
ズルは、シリコンオリフィスプレート５と弁本体１およ
びスリーブ４の台座部に多少の湾曲や小突起が存在した
り、切り粉やシリコン単結晶の欠片が混入して、小さな
異物が付着していても、第１および第２の樹脂フィルム
６１および６２の弾力性に富んだ性質からもたらされる
弾性変形により、前記湾曲や異物を吸収するので、上記
理由による破損を防止するという効果を奏する。

【００３４】また第１実施例の流体噴射ノズルは、前記
シリコンオリフィスプレート５を上下面において前記第
１および第２の樹脂フィルム６１および６２により弾性
的に把持するので、前記弁部材２の開閉動作および内燃
機関その他から進入する振動および衝撃を緩衝し、疲労
破壊による破損を防止するという効果を奏する。

【００３５】さらに第１実施例の流体噴射ノズルは、前
記破損を防止するとともに、且つ前記シリコンオリフィ
スプレート５の上下面を前記第１および第２の樹脂フィ
ルム６１および６２により液密に支持することにより、
燃料の漏洩を防止するという効果を奏する。

【００３６】また第１実施例の流体噴射ノズルは、前記
第１および第２の樹脂フィルム６１および６２を、熱に
強い素材であるポリイミド樹脂により構成したので、内
燃機関の吸気通路のように比較的高温となる環境での使
用にも十分耐えるとともに、使用環境の温度が比較的頻
繁に変化しても、シリコンオリフィスプレート５の熱歪
みとノズル本体の金属の熱歪みの差によるずれおよび熱
応力が樹脂の弾性によって吸収されるため、前記ずれに
よるシリコンオリフィスプレート５の破損を防ぐことが
できるという効果を奏する。

【００３７】（第２実施例）第２実施例の流体噴射ノズ
ルは、図６ないし図１０に示すように第１実施例に対
し、シリコンオリフィスプレートと第１および第２の樹
脂フィルムのみ相違するもので、相違点を中心に説明
し、同一部分の説明を省略する。

【００３８】シリコンオリフィスプレート５は、図６な
いし図９に示すように矩形部材５０の中央にスリット状
の下端開口を形成する１個の横長矩形テーパ孔で構成さ
れたスリット状のオリフィス５５を形成するものであ
る。すなわち、スリット状のオリフィス５５は、上面５
Ｕから下面に近づくに従い直線的に対向する先細り斜面
５５Ｔの幅および長さを減少させるように形成され、先
細り斜面５５Ｔ間にチャンバ５５Ｃが形成されている。

【００３９】第１の樹脂フィルム６３は、図６、図７お
よび図９に示すように前記シリコンオリフィスプレート
５の上面５Ｕに被覆されたポリイミド製の樹脂で構成さ
れ、前記シリコンオリフィスプレート５に形成したスリ
ット状のオリフィス５５に対し直交関係に配設され、前
記スリット状のオリフィス５５の上端開口の幅より若干
長い長さを有し、前記スリット状のオリフィス５５の幅
より３倍強の幅を有する矩形のオリフィス６３Ｏが形成
されている。

【００４０】第２の樹脂フィルム６４は、図７、図８お
よび図９に示すように前記シリコンオリフィスプレート
５の下面５Ｌに被覆されたポリイミド製の樹脂で構成さ
れ、前記シリコンオリフィスプレート５に形成したスリ
ット状のオリフィス５５の下端開口より充分大きな幅お
よび長さを有する矩形のオリフィス６４Ｏが形成されて
いる。

【００４１】上記構成より成る第２実施例の流体噴射ノ
ズルは、図１０に示すように前記第１の樹脂フィルム６
３の矩形オリフィス６３Ｏより流入した燃料は、前記シ
リコンオリフィスプレート５のテーパ状の先細り斜面５
５Ｔに衝突してチャンバ５５Ｃ内を長手方向に拡がりな
がら、下流側の絞られた一番面積の小さな開口５５Ｓよ
り、スリット状に噴出される。

【００４２】上記作用を奏する第２実施例の流体噴射ノ
ズルは、上述の第１実施例と同様の効果に加え、前記シ
リコンオリフィスプレート５のスリット状のオリフィス
５５の下端開口５５Ｓより噴出された燃料噴流は、スリ
ット状のオリフィス５５の長手方向に拡がる方向の初速
度を与えられているため、噴出後更に拡がり薄い燃料液
膜を形成した後、更に細かい液滴へと分裂するので、燃
料の微粒化を促進するという効果を奏する。

【００４３】また第２実施例の流体噴射ノズルは、従来
２枚のシリコンオリフィスプレートで構成していた燃料
の微粒化機構を、シリコンオリフィスプレート５の保護
のために被覆した樹脂フィルム６３の開口６３Ｏの形状
を調節することにより、１枚のシリコンオリフィスプレ
ート５によって高微粒化ノズルを実現したもので、従来
に比べ格段に安価にすることができるという効果を奏す
る。

【００４４】（第３実施例）第３実施例の流体噴射ノズ
ルは、図１１および図１２に示すように第１実施例のシ
リコンオリフィスプレート５に対してさらにもう１枚の
シリコンオリフィスプレート７を重ね合わせるととも
に、この重ね合わせたシリコンオリフィスプレート５お
よび７の全面を樹脂フィルム６５により包囲する点が第
１実施例との相違点であり、以下相違点を中心に説明
し、同一部分には同一符号を付し説明を省略する。

【００４５】前記シリコンオリフィスプレート５および
７は、図１３ないし図１６に示すように矩形部材５０お
よび７０の中央にスリット状の下端の開口を形成する１
個の横長矩形テーパ孔で構成されたスリット状のオリフ
ィス５６および７１を直交させて形成されるものであ
る。すなわち、スリット状のオリフィス５６および７１
は上面５Ｕおよび７Ｕから下面５Ｌ、７Ｌに近づくに従
い直線的に対向する先細り斜面５６Ｔおよび７１Ｔの幅
および長さを減少させるように形成され、先細り斜面５
６Ｔおよび７１Ｔ間にチャンバ５６Ｃおよび７１Ｃが形
成されている。

【００４６】樹脂フィルム６５は、図１３から図１６に
示すように、前記オリフィス５６および７１が直交する
ように配置されたシリコンオリフィスプレート５、７の
全面を覆うポリイミド製樹脂で構成されている。樹脂フ
ィルム６５の上面開口６５１は、スリット状オリフィス
５６の上端開口の長さより若干長く、幅もスリット状オ
リフィスの幅より若干広くなっている。下面開口６５２
はシリコンオリフィスプレート７に形成されたスリット
状オリフィスの下端開口より充分大きな幅および長さを
有する。

【００４７】上記構成の第３実施例の流体噴射ノズル
は、樹脂フィルム６５の上面開口６５１を通り、スリッ
ト状オリフィス５６より流入した燃料がシリコンオリフ
ィスプレート７のテーパ状の先細り斜面７１Ｔに衝突し
てチャンバ７１Ｃ内を長手方向に広がりながら、下流の
絞られた一番面積の小さい開口７１Ｓよりスリット状に
噴出される。したがって本第３実施例の流体噴射ノズル
は、噴出された燃料流が、スリット状オリフィス７１の
長手方向に広がる方向の初速度を与えられているため、
噴出後さらに広がり薄い燃料液膜を形成後、細かい液滴
に分裂するので、燃料微粒化効果がある。

【００４８】また第３実施例の液体噴射ノズルは、シリ
コンオリフィスプレート５と弁本体およびシリコンオリ
フィスプレート７とスリーブ４の台座部に多少の湾曲や
小突起が存在したり、切粉が混入、付着しても樹脂フィ
ルム６５の弾力性に富んだ性質からもたらされる弾性変
形により、湾曲、小突起および異物を吸収しシリコンプ
レートの破損を防止する効果がある。また樹脂フィルム
６５の弾性力により弁部材２の開閉動作およびエンジン
からの振動や衝撃を緩衝し、疲労破壊による破損を防止
する効果がある。また樹脂フィルム６５により液蜜に支
持することにより、燃料漏れ防止効果がある。

【００４９】さらに第３実施例の流体噴射ノズルは、前
記樹脂フィルム６５を、熱に強い素材であるポリイミド
樹脂により構成したので、内燃機関の吸気通路のように
比較的高温となる環境での使用にも十分耐えるととも
に、使用環境の温度が比較的頻繁に変化しても、シリコ
ンオリフィスプレート５、７の熱歪みとノズル本体の金
属の熱歪みの差によるずれおよび熱応力が樹脂の弾性に
よって吸収されるため、前記ずれによるシリコンオリフ
ィスプレート５、７の破損を防ぐことができるという効
果を奏する。

【００５０】また第３実施例の流体噴射ノズルは、樹脂
フィルム６５で直交するように配置されたシリコンオリ
フィスプレート５、７の全面を覆うことで、シリコンオ
リフィスプレート５と７の位置ずれを防止するという効
果がある。

【００５１】（第４実施例）第４実施例の流体噴射ノズ
ルは、図１７から図２０に示すように第３実施例に対し
てオリフィス形状と樹脂フィルムの開口形状のみが異な
るもので、相違点を中心に説明する。

【００５２】シリコンオリフィスプレート５および７
は、図１７から図２０に示すように矩形部材５０および
７０にスリット状の下端開口を形成する４個の横長矩形
テーパ孔で構成されたスリット状のオリフィス５７１な
いし５７４および７２ないし７５を形成するものであ
る。シリコンオリフィスプレート７の４個のスリット状
のオリフィス７２ないし７５はシリコンオリフィスプレ
ート５のスリット状オリフィス５７１ないし５７４に対
して直交するように形成されている。シリコンオリフィ
スプレート５および７のスリット状オリフィス５７１な
いし５７４および７２ないし７５は等間隔に形成されて
いる。

【００５３】樹脂フィルム６６は、図１７および図２０
に示すように重ね合わせた２枚のシリコンオリフィスプ
レート５および７の全面を覆うポリイミド樹脂製のフィ
ルムで構成され、上面開口はシリコンオリフィスプレー
ト５の４個のスリット状オリフィス上開口端の幅より若
干大きな幅の十字型開口６６３が形成されている。樹脂
フィルム６６の下面開口はシリコンオリフィスプレート
７の下端開口より充分大きな幅と長さを持つ矩形の開口
６６４ないし６６７が形成されている。

【００５４】上記構成から成る第４実施例の流体噴射ノ
ズルは、第３実施例と同様の効果が得られる。

【００５５】上述の実施例は、説明のために例示したも
ので、本発明としてはそれらに限定されるものでは無
く、特許請求の範囲、発明の詳細な説明および図面の記
載から当業者が認識することができる本発明の技術的思
想に反しない限り、変更および付加が可能である。

【００５６】前記シリコンオリフィスプレートに樹脂フ
ィルムを被覆する方法としては、予めフィルム状に形成
したものをシリコンオリフィスプレートに接着する方法
や、液状の未硬化の樹脂をスピンコート装置などによっ
て薄く塗布した後に硬化させる方法他が考えられる。

【００５７】前記シリコンオリフィスプレートの素材で
あるシリコンウェハを裁断する前に被覆を行いウェハと
被覆膜とを同時に裁断する方法と、シリコンウェハをシ
リコンオリフィスプレートのサイズに裁断したのちに液
状樹脂を被覆して硬化させる方法他が考えられるが、前
者の方が平易な方法であるが、シリコンオリフィスプレ
ートの側端面にも被覆を行う場合は後者の方が適してい
る。

【００５８】樹脂フィルムに開口部を形成する方法とし
ては、高分子樹脂特にポリイミド樹脂はエキシマレーザ
光の露光によって容易に高分子結合を切断し蒸発させる
ことができるため、広げたレーザ光とマスクを使用して
開口を形成する方法と、細かいビームに絞ったレーザ光
をＸＹ走査することにより描画しながら切断し開口を形
成する方法他が考えられる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の流体噴射ノズルの要部を
示す断面図である。

【図２】第１実施例の流体噴射ノズルの全体を示す断面
図である。

【図３】第１実施例のシリコンオリフィスプレートおよ
び樹脂フィルムを示す平面図である。

【図４】第１実施例のシリコンオリフィスプレートおよ
び樹脂フィルムを示す図３中Ａ−Ａ線に沿う断面図であ
る。

【図５】第１実施例のシリコンオリフィスプレートおよ
び樹脂フィルムを示す底面図である。

【図６】第２実施例のシリコンオリフィスプレートおよ
び樹脂フィルムを示す平面図である。

【図７】第２実施例のシリコンオリフィスプレートおよ
び樹脂フィルムを示す図６中Ｂ−Ｂ線に沿う断面図であ
る。

【図８】第２実施例のシリコンオリフィスプレートおよ
び樹脂フィルムを示す底面図である。

【図９】第２実施例のシリコンオリフィスプレートおよ
び樹脂フィルムを示す図６中Ｃ−Ｃ線に沿う断面図であ
る。

【図１０】第２実施例のシリコンオリフィスプレートお
よび樹脂フィルムのオリフィスおよび開口内の燃料の流
れの様子を示す斜視図である。

【図１１】本発明の第３実施例の噴孔付近を示す断面図
である。

【図１２】第３実施例の流体噴射ノズルの全体を示す断
面図である。

【図１３】第３実施例のシリコンオリフィスプレートお
よび樹脂フィルムを示す平面図である。

【図１４】第３実施例のシリコンオリフィスプレートお
よび樹脂フィルムを示す図１３中Ａ−Ａ断面図である。

【図１５】第３実施例のシリコンオリフィスプレートお
よび樹脂フィルムを示す底面図である。

【図１６】第３実施例のシリコンオリフィスプレートお
よび樹脂フィルムを示す図１５中のＢ−Ｂ断面図であ
る。

【図１７】第４実施例のシリコンオリフィスプレートお
よび樹脂フィルムを示す平面図である。

【図１８】第４実施例のシリコンオリフィスプレートお
よび樹脂フィルムを示す図１７中のＤ−Ｄ断面図であ
る。

【図１９】第４実施例のシリコンオリフィスプレートお
よび樹脂フィルムを示す底面図である。

【図２０】第４実施例のシリコンオリフィスプレートお
よび樹脂フィルムを示す図１９中のＥ−Ｅ断面図であ
る。

【図２１】従来の流体噴射ノズルを示す断面図である。

【図２２】従来の流体噴射ノズルの他の例を示す断面図
である。

【符号の説明】

１ 弁本体 ２ 弁部材 ３ 駆動部 ４ スリーブ ５、７ シリコンオリフィスプレート １１ 噴口 １２ 弁座 ２１ シート部 ３１ 電磁コイル ４１ 開口 ５１、５２、５３、５４、５５、５６、５７１、５７
２、５７３、５７４、７１、７２、７３、７４、７５
オリフィス ６１ 第１の樹脂フィルム ６２ 第２の樹脂フィルム ６５、６６ 樹脂フィルム ６１Ｏ、６２Ｏ 矩形開口

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斎藤 昭則 愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番 地の１株式会社豊田中央研究所内 (72)発明者 田畑 修 愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番 地の１株式会社豊田中央研究所内 (72)発明者 島岡 敬一 愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番 地の１株式会社豊田中央研究所内 (72)発明者 荻原 由充 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 日本電 装株式会社内 (72)発明者 谷 泰臣 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 日本電 装株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 先端に噴口が形成された弁本体と、 前記弁本体内に往復動自在に介挿され、前記噴口を開閉
   する弁部材と、 前記噴口に近接して配設され、オリフィスが形成された
   半導体プレートと、 前記半導体プレートの金属部分に接触する部分の少なく
   とも一部に配設した弾性体とから成ることを特徴とする
   流体噴射ノズル。
2. 【請求項２】 先端に噴口が形成された弁本体と、 前記弁本体内に往復動自在に介挿され、前記噴口を開閉
   する弁部材と、 前記弁本体先端に装着されたスリーブと、 前記弁本体とスリーブとの間に介挿されオリフィスが形
   成されたシリコンプレートと、 前記弁本体とシリコンプレートとの間および前記スリー
   ブとシリコンプレートとの間の少なくとも一方に介挿さ
   れた弾性体とから成ることを特徴とする流体噴射ノズ
   ル。
3. 【請求項３】 先端に噴口が形成された弁本体と、 前記弁本体内に往復動自在に介挿され、前記噴口を開閉
   する弁部材と、 前記噴口に近接して２枚重ね合わせて配設され、オリフ
   ィスが形成されたシリコンプレートと、 前記重ね合わせたシリコンプレートの金属と接触する部
   分に配設された弾性体とからなることを特徴とする流体
   噴射ノズル。