JPH0715143B2 - 高透過率、低輻射率の耐熱性の窓又はウインドシールド - Google Patents
高透過率、低輻射率の耐熱性の窓又はウインドシールドInfo
- Publication number
- JPH0715143B2 JPH0715143B2 JP62325112A JP32511287A JPH0715143B2 JP H0715143 B2 JPH0715143 B2 JP H0715143B2 JP 62325112 A JP62325112 A JP 62325112A JP 32511287 A JP32511287 A JP 32511287A JP H0715143 B2 JPH0715143 B2 JP H0715143B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- film
- zinc
- primer layer
- titanium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 title abstract description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 37
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 60
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 57
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 41
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 40
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 39
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 37
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 34
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical group [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 33
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 32
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 32
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 29
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 229910001297 Zn alloy Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 18
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 claims description 18
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 14
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 13
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 claims description 12
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 12
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 4
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001093 Zr alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims 2
- 239000000047 product Substances 0.000 claims 1
- 238000010257 thawing Methods 0.000 abstract description 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005496 tempering Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 abstract description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 abstract description 3
- 239000002365 multiple layer Substances 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 93
- 239000010408 film Substances 0.000 description 63
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- BNEMLSQAJOPTGK-UHFFFAOYSA-N zinc;dioxido(oxo)tin Chemical compound [Zn+2].[O-][Sn]([O-])=O BNEMLSQAJOPTGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 11
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 9
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 6
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 5
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 5
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- CJYDNDLQIIGSTH-UHFFFAOYSA-N 1-(3,5,7-trinitro-1,3,5,7-tetrazocan-1-yl)ethanone Chemical compound CC(=O)N1CN([N+]([O-])=O)CN([N+]([O-])=O)CN([N+]([O-])=O)C1 CJYDNDLQIIGSTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 4
- GZCWPZJOEIAXRU-UHFFFAOYSA-N tin zinc Chemical compound [Zn].[Sn] GZCWPZJOEIAXRU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RAHZWNYVWXNFOC-UHFFFAOYSA-N Sulphur dioxide Chemical compound O=S=O RAHZWNYVWXNFOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 229910002064 alloy oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 2
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- CSBHIHQQSASAFO-UHFFFAOYSA-N [Cd].[Sn] Chemical compound [Cd].[Sn] CSBHIHQQSASAFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVTSZOCINPYFDP-UHFFFAOYSA-N [O].[Ar] Chemical compound [O].[Ar] VVTSZOCINPYFDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BEQNOZDXPONEMR-UHFFFAOYSA-N cadmium;oxotin Chemical compound [Cd].[Sn]=O BEQNOZDXPONEMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008199 coating composition Substances 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 229910001922 gold oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- -1 silver are preferred Chemical class 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910001258 titanium gold Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3618—Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3644—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the metal being silver
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3652—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the coating stack containing at least one sacrificial layer to protect the metal from oxidation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
- C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3681—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating being used in glazing, e.g. windows or windscreens
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3689—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one oxide layer being obtained by oxidation of a metallic layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/70—Properties of coatings
- C03C2217/73—Anti-reflective coatings with specific characteristics
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
- Polyurethanes Or Polyureas (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明の背景 本発明は全般的に、金属酸化物フイルムの陰極スパツタ
ー（Cathode sputtering）方法に関し、さらに特別に
は、金属および金属酸化物の多層フイルムの磁気スパツ
ター法に関する。
ー（Cathode sputtering）方法に関し、さらに特別に
は、金属および金属酸化物の多層フイルムの磁気スパツ
ター法に関する。
Gillery等に発行されたU.S.P.No.4,094,763には、制御
された量の酸素を含有する低圧力雰囲気中、400゜Fより
高い温度でガラスのような耐火物基体上に錫およびイン
ジウムのような金属の陰極スパツターによる透明、導電
性物品の製造が開示されている。
された量の酸素を含有する低圧力雰囲気中、400゜Fより
高い温度でガラスのような耐火物基体上に錫およびイン
ジウムのような金属の陰極スパツターによる透明、導電
性物品の製造が開示されている。
Gilleryに発行されたU.S.P.No.4,113,599には、スパツ
ター室中における酸素の流量を一定の排出流に維持し、
アルゴンの流量を一定圧力に維持して酸化インジウムを
反応性付着させる陰極スパツター法が教示されている。
ター室中における酸素の流量を一定の排出流に維持し、
アルゴンの流量を一定圧力に維持して酸化インジウムを
反応性付着させる陰極スパツター法が教示されている。
Capinに発行されたU.S.P.No.4,166,018には、スパツタ
ー表面上の閉ループ浸蝕域上でフラツクス（flux）のア
ークラインを構成する磁場は平らなスパツター表面に隣
接して形成されるスパツター装置が記載されている。
ー表面上の閉ループ浸蝕域上でフラツクス（flux）のア
ークラインを構成する磁場は平らなスパツター表面に隣
接して形成されるスパツター装置が記載されている。
Gilleryに発行されたU.S.P.No.4,201,649には、基体を
加熱して典型的に高い陰極スパツター温度での陰極スパ
ツターによつて主要厚さの酸化インジウムの導電性層を
付着させる前に、低温度で酸化インジウムの非常にうす
いプライマー層を最初に付着させることによる低抵抗率
酸化インジウムのうすいフイルムの製造方法が開示され
ている。
加熱して典型的に高い陰極スパツター温度での陰極スパ
ツターによつて主要厚さの酸化インジウムの導電性層を
付着させる前に、低温度で酸化インジウムの非常にうす
いプライマー層を最初に付着させることによる低抵抗率
酸化インジウムのうすいフイルムの製造方法が開示され
ている。
Grothに発行されたU.S.P.No.4,327,967には、窓ガラ
ス、ガラス表面上の２より大きい屈折率を有する干渉フ
イルム、干渉フイルム上の熱反射性金フイルムおよび金
フイルム上のクロム、鉄、ニツケル、チタンまたはそれ
らの合金の中立フイルムから成る無彩色を有する熱反射
性パネルが開示されている。
ス、ガラス表面上の２より大きい屈折率を有する干渉フ
イルム、干渉フイルム上の熱反射性金フイルムおよび金
フイルム上のクロム、鉄、ニツケル、チタンまたはそれ
らの合金の中立フイルムから成る無彩色を有する熱反射
性パネルが開示されている。
Miyake等に発行されたU.S.P.No.4,349,425には、アルゴ
ン−酸素混合物中においてカドミウム−錫合金のｄ−ｃ
反応性スパツターによつて低電気抵抗率および高い光学
透明度を有するカドミウム−錫酸化物フイルムの形成法
が開示されている。
ン−酸素混合物中においてカドミウム−錫合金のｄ−ｃ
反応性スパツターによつて低電気抵抗率および高い光学
透明度を有するカドミウム−錫酸化物フイルムの形成法
が開示されている。
Hartに発行されたU.S.P.No.4,462,883には、ガラスのよ
うな透明基体上に、銀の層、銀以外の少量の金属および
金属酸化物の反射防止層の陰極スパツターによつて製造
された低輻射率コーテイングが開示されている。反射防
止層は、酸化錫、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化インジウ
ム、酸化ビスマスまたは酸化ジルコニウムでよい。
うな透明基体上に、銀の層、銀以外の少量の金属および
金属酸化物の反射防止層の陰極スパツターによつて製造
された低輻射率コーテイングが開示されている。反射防
止層は、酸化錫、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化インジウ
ム、酸化ビスマスまたは酸化ジルコニウムでよい。
二重ガラス窓ユニツトのエネルギー効率を改良する関心
事において、輻射熱伝導を減少させることによつてユニ
ツトの絶縁能力を増加させるコーテイングをガラスの一
方の表面上に付与することが望ましい。従つて、このコ
ーテイングは、輻射スペクトルの赤外波長領域において
低輻射率を有しなければならない。実際的理由によつ
て、コーテイングは可視波長域において高い透過率を有
しなければならない。審美的理由からは、コーテイング
は低い視感反射率を有するべきであり、本質的に無色で
あるのが好ましい。
事において、輻射熱伝導を減少させることによつてユニ
ツトの絶縁能力を増加させるコーテイングをガラスの一
方の表面上に付与することが望ましい。従つて、このコ
ーテイングは、輻射スペクトルの赤外波長領域において
低輻射率を有しなければならない。実際的理由によつ
て、コーテイングは可視波長域において高い透過率を有
しなければならない。審美的理由からは、コーテイング
は低い視感反射率を有するべきであり、本質的に無色で
あるのが好ましい。
上記のような高い透過率、低輻射率コーテイングは、一
般に、赤外反射および低輻射率のために金属酸化物の誘
電層の感に挟んで可視反射を減少させたうすい金属層か
ら成る。これらの多層フイルムは、典型的には、陰極ス
パツター、特に、マグネトロンスパツター法によつて製
造される。金属層は金または銅でもよいが一般には銀で
ある。従来技術に記載されている金属酸化物層には、酸
化錫、酸化インジウム、酸化チタン、酸化ビスマス、酸
化亜鉛、酸化ジルコニウムおよび酸化鉛である。若干の
例においては、耐久性不良または周辺輻射率のようなあ
る種の不利を克服するために、これらの酸化物に酸化ビ
スマス中のマンガン、酸化錫中のインジウムまたはこの
逆のような少量の他の金属を配合する。しかし、これら
の金属酸化物はすべて完全ではない。
般に、赤外反射および低輻射率のために金属酸化物の誘
電層の感に挟んで可視反射を減少させたうすい金属層か
ら成る。これらの多層フイルムは、典型的には、陰極ス
パツター、特に、マグネトロンスパツター法によつて製
造される。金属層は金または銅でもよいが一般には銀で
ある。従来技術に記載されている金属酸化物層には、酸
化錫、酸化インジウム、酸化チタン、酸化ビスマス、酸
化亜鉛、酸化ジルコニウムおよび酸化鉛である。若干の
例においては、耐久性不良または周辺輻射率のようなあ
る種の不利を克服するために、これらの酸化物に酸化ビ
スマス中のマンガン、酸化錫中のインジウムまたはこの
逆のような少量の他の金属を配合する。しかし、これら
の金属酸化物はすべて完全ではない。
コーテイングは使用時の二重窓ユニツトの内側表面に維
持され、ここで、その劣化を起こす可能性のある風雨お
よび環境因子から保護されるが、製造および設置の間に
遭遇する取扱い、包装、洗浄および他の二次加工工程に
耐えることができる耐久性効果のあるコーテイングが特
に望ましい。これらの性質は金属酸化物に求められる。
しかし、機械的耐久性を付与する硬さ、化学的耐性を付
与する不活性およびガラスおよび金属層の両者への良好
な接着性に加えて、金属酸化物は同時の次の性質を有し
なければならない。
持され、ここで、その劣化を起こす可能性のある風雨お
よび環境因子から保護されるが、製造および設置の間に
遭遇する取扱い、包装、洗浄および他の二次加工工程に
耐えることができる耐久性効果のあるコーテイングが特
に望ましい。これらの性質は金属酸化物に求められる。
しかし、機械的耐久性を付与する硬さ、化学的耐性を付
与する不活性およびガラスおよび金属層の両者への良好
な接着性に加えて、金属酸化物は同時の次の性質を有し
なければならない。
金属酸化物は、金属層の反射を減少させ、それによつて
被覆生成物の透過率を増加させるために合理的に高い屈
折率、好ましくは2.0以上の屈折率を有しなければなら
ない。金属酸化物または、被覆物質の透過率を最大にす
るため最少の吸収性を有しなければならない。商業的理
由のために、金属酸化物は合理的な価格であり、マグネ
トロンスパツター法によつて比較的速い付着速度を有
し、かつ、無毒性でなければならない。
被覆生成物の透過率を増加させるために合理的に高い屈
折率、好ましくは2.0以上の屈折率を有しなければなら
ない。金属酸化物または、被覆物質の透過率を最大にす
るため最少の吸収性を有しなければならない。商業的理
由のために、金属酸化物は合理的な価格であり、マグネ
トロンスパツター法によつて比較的速い付着速度を有
し、かつ、無毒性でなければならない。
恐らく最も重要、かつ、満足させるのが最も困難なこと
は、金属酸化物と金属フイルムとの相互作用に関連する
金属酸化物フイルムに対する要求事項である。金属酸化
物フイルムは、外部の薬剤から下層の金属フイルムを保
護するための低多孔度および個々の層の一体性を維持す
るための金属に対して低拡散性を有しなければならな
い。最後に、そして、特に、金属酸化物は、金属層の付
着のための良好な核形成表面を供給し、それにより連続
金属フイルムが最小の抵抗および最大の透過率で付着さ
れなければならない。連続および不連続銀フイルムの特
徴は、Gillery等に発行されたU.S.P.No.4,462,884に記
載されている、この特許の開示は本明細書の参考にな
る。
は、金属酸化物と金属フイルムとの相互作用に関連する
金属酸化物フイルムに対する要求事項である。金属酸化
物フイルムは、外部の薬剤から下層の金属フイルムを保
護するための低多孔度および個々の層の一体性を維持す
るための金属に対して低拡散性を有しなければならな
い。最後に、そして、特に、金属酸化物は、金属層の付
着のための良好な核形成表面を供給し、それにより連続
金属フイルムが最小の抵抗および最大の透過率で付着さ
れなければならない。連続および不連続銀フイルムの特
徴は、Gillery等に発行されたU.S.P.No.4,462,884に記
載されている、この特許の開示は本明細書の参考にな
る。
一般の用途における金属酸化物多層フイルムのうちで、
酸化亜鉛および酸化ビスマスから成るフイルムは耐久性
が不十分であり、これらの酸化物は酸およびアルカリ薬
剤の両者に可溶であり、多層フイルムは指紋によつてく
ずれ、かつ、塩、二酸化硫黄および湿度試験において破
壊される。好ましくは錫をドープした酸化インジウムは
比較的耐久性があり、下層の金属層の保護性があるが：
インジウムはスパツターが遅く、かつ、比較的高価であ
る。インジウムまたはアンチモンをドープできる酸化錫
も比較的耐久性があり、かつ、下層の金属層の保護性が
あるが、銀フイルムの核形成のための好適な表面が得ら
れず、そのため高い抵抗率と低い透過率になる。その後
に付着される銀フイルムの適切な核形成が得られる金属
酸化物フイルムの特徴はまだ確立されておらず、上記の
金属酸化物に関して試行錯誤実験が広く実施されてい
る。
酸化亜鉛および酸化ビスマスから成るフイルムは耐久性
が不十分であり、これらの酸化物は酸およびアルカリ薬
剤の両者に可溶であり、多層フイルムは指紋によつてく
ずれ、かつ、塩、二酸化硫黄および湿度試験において破
壊される。好ましくは錫をドープした酸化インジウムは
比較的耐久性があり、下層の金属層の保護性があるが：
インジウムはスパツターが遅く、かつ、比較的高価であ
る。インジウムまたはアンチモンをドープできる酸化錫
も比較的耐久性があり、かつ、下層の金属層の保護性が
あるが、銀フイルムの核形成のための好適な表面が得ら
れず、そのため高い抵抗率と低い透過率になる。その後
に付着される銀フイルムの適切な核形成が得られる金属
酸化物フイルムの特徴はまだ確立されておらず、上記の
金属酸化物に関して試行錯誤実験が広く実施されてい
る。
本明細書の参考になる、Gilleryに発行されたU.S.P.No.
4,610,771には、高透過率、低輻射率コーテイングとし
て使用するための亜鉛−錫合金の酸化物の新規組成物並
びに銀および亜鉛−錫合金酸化物の新規の多層フイルム
が開示されている。
4,610,771には、高透過率、低輻射率コーテイングとし
て使用するための亜鉛−錫合金の酸化物の新規組成物並
びに銀および亜鉛−錫合金酸化物の新規の多層フイルム
が開示されている。
F.H.Gilleryによつて1985年12月23日に提出されたU.S.
A.No.812,680には、多層フイルムの耐久性の改良、特
に、反射防止性金属および（または）金属合金酸化物層
および銀のような赤外反射性金属層から成る多層フイル
ムに、酸化チタンのような特に耐薬品性物質の外部保護
層を付与することによる多層フイルムの耐久性の改良が
開示されている。
A.No.812,680には、多層フイルムの耐久性の改良、特
に、反射防止性金属および（または）金属合金酸化物層
および銀のような赤外反射性金属層から成る多層フイル
ムに、酸化チタンのような特に耐薬品性物質の外部保護
層を付与することによる多層フイルムの耐久性の改良が
開示されている。
Gillery等によつて1986年３月17日に提出されたU.S.A.N
o.841,056には、多層フイルムの耐久性の改良、特に、
反射防止性金属および（または）金属合金酸化物層およ
び銀のような赤外反射性金属層から成る多層フイルム
に、金属と金属酸化物層との間の接着を改善する銅のよ
うなプライマー層を付与する方法が開示されている。
o.841,056には、多層フイルムの耐久性の改良、特に、
反射防止性金属および（または）金属合金酸化物層およ
び銀のような赤外反射性金属層から成る多層フイルム
に、金属と金属酸化物層との間の接着を改善する銅のよ
うなプライマー層を付与する方法が開示されている。
多層、低輻射率、高透明度フイルムは、多層窓ガラスユ
ニツトとして建築用途用としては十分に耐久性に清掃さ
れてきたが、かようなフイルムは焼戻しまたは曲げのよ
うな高温度加工に耐えまたは例えば風防用として除氷、
除霜および（または）除曇コーテイングのような熱素子
としての役目をするほど十分な耐熱性はない。
ニツトとして建築用途用としては十分に耐久性に清掃さ
れてきたが、かようなフイルムは焼戻しまたは曲げのよ
うな高温度加工に耐えまたは例えば風防用として除氷、
除霜および（または）除曇コーテイングのような熱素子
としての役目をするほど十分な耐熱性はない。
本発明の概要 本発明には、ガラスのような被覆基体が、曲げ、アニー
ル、焼戻し、貼合せもしくはガラス溶接のような高温加
工に処することができ、または除氷、除霜および除曇素
子として窓または風防において機能を果すのに十分に耐
熱性である新規の多層被覆が含まれる。本発明の新規の
多層コーテイングは、亜鉛または亜鉛−錫合金の酸化物
のような第一の反射防止性金属酸化物層、銀のような赤
外反射性金属層、チタン金属または酸化チタンのような
チタンを含有するプライマー層、第二反射防止性金属酸
化物層および、好ましくは、チタン金属または酸化チタ
ンの外部保護層から成る。
ル、焼戻し、貼合せもしくはガラス溶接のような高温加
工に処することができ、または除氷、除霜および除曇素
子として窓または風防において機能を果すのに十分に耐
熱性である新規の多層被覆が含まれる。本発明の新規の
多層コーテイングは、亜鉛または亜鉛−錫合金の酸化物
のような第一の反射防止性金属酸化物層、銀のような赤
外反射性金属層、チタン金属または酸化チタンのような
チタンを含有するプライマー層、第二反射防止性金属酸
化物層および、好ましくは、チタン金属または酸化チタ
ンの外部保護層から成る。
好ましい態様の詳細な説明 好ましくは金属または好ましくは亜鉛を含む合金の酸化
物から成るフイルム組成物を、好ましくはマグネトロン
スパツター法が好ましい陰極スパツターによつて付着さ
せる。陰極ターゲツトは所望の金属または合金素子から
製造される。次いで、このターゲツトを好ましくは酸素
を含有する反応性雰囲気中においてスパツターさせ、金
属または合金酸化物フイルムを基体の表面上に付着させ
る。
物から成るフイルム組成物を、好ましくはマグネトロン
スパツター法が好ましい陰極スパツターによつて付着さ
せる。陰極ターゲツトは所望の金属または合金素子から
製造される。次いで、このターゲツトを好ましくは酸素
を含有する反応性雰囲気中においてスパツターさせ、金
属または合金酸化物フイルムを基体の表面上に付着させ
る。
本発明による好ましい合金酸化物は、亜鉛および錫から
成る合金の酸化物である。亜鉛／錫合金酸化物は、本発
明によつて、好ましくは磁気的に増強された陰極スパツ
ターによつて付着させる。陰極スパツター法はまた、本
発明による高透過率、低輻射率フイルムの付着用として
も好ましい方法である。かようなフイルムは典型的に
は、酸化インジウムまたは酸化チタンまたは好ましくは
錫酸亜鉛から成る亜鉛と錫との合金の酸化物のような反
射防止性金属酸化物層の間に挟まれた金または銀のよう
な高反射性金属の層が好ましい、多層から成る。
成る合金の酸化物である。亜鉛／錫合金酸化物は、本発
明によつて、好ましくは磁気的に増強された陰極スパツ
ターによつて付着させる。陰極スパツター法はまた、本
発明による高透過率、低輻射率フイルムの付着用として
も好ましい方法である。かようなフイルムは典型的に
は、酸化インジウムまたは酸化チタンまたは好ましくは
錫酸亜鉛から成る亜鉛と錫との合金の酸化物のような反
射防止性金属酸化物層の間に挟まれた金または銀のよう
な高反射性金属の層が好ましい、多層から成る。
各種の金属合金をスパツターさせて金属合金酸化物フイ
ルムを形成できるが、本発明による好ましい高透過率、
低輻射率多層フイルムを製造するためには、錫および亜
鉛の合金が好ましい。特に好ましい合金は、好ましくは
10〜90％の亜鉛と90〜10％の錫との割合の亜鉛および錫
から成る。好ましい亜鉛／錫合金は、30〜60％の亜鉛範
囲であり、好ましくは40:60〜60:40の亜鉛／錫比を有す
る。最も好ましい範囲は錫：亜鉛が46:54〜50:50重量比
である。亜鉛／錫合金の陰極は酸化性雰囲気中において
反応的にスパツターされ、亜鉛、錫および酸素から成
る、好ましくは錫酸亜鉛Zn2SnO4から成る金属酸化物層
が付着される。
ルムを形成できるが、本発明による好ましい高透過率、
低輻射率多層フイルムを製造するためには、錫および亜
鉛の合金が好ましい。特に好ましい合金は、好ましくは
10〜90％の亜鉛と90〜10％の錫との割合の亜鉛および錫
から成る。好ましい亜鉛／錫合金は、30〜60％の亜鉛範
囲であり、好ましくは40:60〜60:40の亜鉛／錫比を有す
る。最も好ましい範囲は錫：亜鉛が46:54〜50:50重量比
である。亜鉛／錫合金の陰極は酸化性雰囲気中において
反応的にスパツターされ、亜鉛、錫および酸素から成
る、好ましくは錫酸亜鉛Zn2SnO4から成る金属酸化物層
が付着される。
慣用のマグネトロンスパツター法においては、基体を、
スパツターされるべき物質のターゲツト表面を有する陰
極に相対してコーテイング室内に置く。本発明による好
ましい基体には、コーテイング工程の操作条件によつて
有害な影響を受けないガラス、セラミツク、およびプラ
スチツクが含まれる。さらに好ましい基体は、透明また
は着色のいずれかのガラスである。SOLEX 着色ガラス
は、本発明によつて被覆されたビヒクル透明度用の好ま
しい基体である。
スパツターされるべき物質のターゲツト表面を有する陰
極に相対してコーテイング室内に置く。本発明による好
ましい基体には、コーテイング工程の操作条件によつて
有害な影響を受けないガラス、セラミツク、およびプラ
スチツクが含まれる。さらに好ましい基体は、透明また
は着色のいずれかのガラスである。SOLEX 着色ガラス
は、本発明によつて被覆されたビヒクル透明度用の好ま
しい基体である。
陰極は任意の慣用の設計でよいが、好ましくは、電位源
と接続された細長い長方形であり、そして、好ましくは
スパツター工程を増強する磁場との組合せで使用され
る。少なくとも一つの陰極ターゲツト表面は、反応性雰
囲気中においてスパツターされて金属合金酸化物フイル
ムを形成する亜鉛／錫のような金属合金から成る。陽極
は好ましくは、その開示が本明細書の参考になるGiller
y等に発行されたU.S.P.No.4,478,702に教示されている
ような対称的に設計され、かつ、配置されたアセンブリ
ーが好ましい。
と接続された細長い長方形であり、そして、好ましくは
スパツター工程を増強する磁場との組合せで使用され
る。少なくとも一つの陰極ターゲツト表面は、反応性雰
囲気中においてスパツターされて金属合金酸化物フイル
ムを形成する亜鉛／錫のような金属合金から成る。陽極
は好ましくは、その開示が本明細書の参考になるGiller
y等に発行されたU.S.P.No.4,478,702に教示されている
ような対称的に設計され、かつ、配置されたアセンブリ
ーが好ましい。
本発明の好ましい態様において、多層フイルムを陰極ス
パツターによつて付着させ、高透過率、低輻射率コーテ
イングを形成する。金属合金ターゲツトに加えて、少な
くとも１個の他の陰極ターゲツト表面は、スパツターさ
れて反射性金属層を形成する金属から構成される。少な
くとも１個の追加の陰極ターゲツトがプライマー層とし
て付着される金属から構成される。反射防止性金属合金
酸化物フイルムと組合された反射性金属フイルムを有す
る耐久性多層コーテイングは、金属と金属酸化物フイル
ムとの間の接着を改良するためのプライマー層を使用し
て次のように製造される、このプライマー層はまた、本
発明による多層コーテイングに耐熱性を付与し、その結
果得られた被覆物品はコーテイングを劣化させることな
く、曲げ、アニール、焼戻し、貼合せまたはガラス溶接
のような高温度加工に処することができる。反射防止性
酸化亜鉛フイルムと組合せた反射性金属フイルムを有す
る耐久性多層コーテイングは銀と酸化亜鉛フイルムとの
間の接着性を改善するためにチタン層を使用して製造さ
れ、そして、このプライマー層はまた本発明による多層
導電性コーテイングに耐熱性を付与し、その結果得られ
た被覆物品は電気抵抗によつて加熱することができ、除
氷、除霜および（または）除曇透明性が得られる。
パツターによつて付着させ、高透過率、低輻射率コーテ
イングを形成する。金属合金ターゲツトに加えて、少な
くとも１個の他の陰極ターゲツト表面は、スパツターさ
れて反射性金属層を形成する金属から構成される。少な
くとも１個の追加の陰極ターゲツトがプライマー層とし
て付着される金属から構成される。反射防止性金属合金
酸化物フイルムと組合された反射性金属フイルムを有す
る耐久性多層コーテイングは、金属と金属酸化物フイル
ムとの間の接着を改良するためのプライマー層を使用し
て次のように製造される、このプライマー層はまた、本
発明による多層コーテイングに耐熱性を付与し、その結
果得られた被覆物品はコーテイングを劣化させることな
く、曲げ、アニール、焼戻し、貼合せまたはガラス溶接
のような高温度加工に処することができる。反射防止性
酸化亜鉛フイルムと組合せた反射性金属フイルムを有す
る耐久性多層コーテイングは銀と酸化亜鉛フイルムとの
間の接着性を改善するためにチタン層を使用して製造さ
れ、そして、このプライマー層はまた本発明による多層
導電性コーテイングに耐熱性を付与し、その結果得られ
た被覆物品は電気抵抗によつて加熱することができ、除
氷、除霜および（または）除曇透明性が得られる。
従来技術のプライマー層は最小の厚さを有するのが好ま
しいが、本発明のプライマー層は好ましくは10〜50Å、
最も好ましくは12〜30Åの範囲外である。反射性金属フ
イルム上に単一プライマー層を付着させる場合には、そ
の厚さは20Å以上が好ましい。反射性金属層上のプライ
マー層の厚さが20Å未満の場合には、第一反射防止性金
属酸化物層と反射性金属層との間に追加のプライマー層
を付着させるのが好ましい。
しいが、本発明のプライマー層は好ましくは10〜50Å、
最も好ましくは12〜30Åの範囲外である。反射性金属フ
イルム上に単一プライマー層を付着させる場合には、そ
の厚さは20Å以上が好ましい。反射性金属層上のプライ
マー層の厚さが20Å未満の場合には、第一反射防止性金
属酸化物層と反射性金属層との間に追加のプライマー層
を付着させるのが好ましい。
きれいなガラス基体を、好ましくは10-4torr未満、さら
に好ましくは２×10-5torr未満に真空にしたコーテイン
グ室内に置く。好ましくはアルゴンおよび酸素である不
活性および反応性ガスの選択した雰囲気を室内で約５×
10-4〜10-2torrの間の圧力にする。亜鉛または亜鉛／錫
金属合金のターゲツト表面を有する陰極を被覆すべき基
体の表面上で作動させる。ターゲツト金属は陰極スパツ
ターし、室内の雰囲気と反応し、ガラス表面上に亜鉛ま
たは亜鉛／錫合金酸化物を付着させる。
に好ましくは２×10-5torr未満に真空にしたコーテイン
グ室内に置く。好ましくはアルゴンおよび酸素である不
活性および反応性ガスの選択した雰囲気を室内で約５×
10-4〜10-2torrの間の圧力にする。亜鉛または亜鉛／錫
金属合金のターゲツト表面を有する陰極を被覆すべき基
体の表面上で作動させる。ターゲツト金属は陰極スパツ
ターし、室内の雰囲気と反応し、ガラス表面上に亜鉛ま
たは亜鉛／錫合金酸化物を付着させる。
亜鉛または亜鉛／錫合金酸化物の最初の層が付着された
後に、コーテイング室を真空にし、純アルゴンのような
不活性雰囲気を５×10-4〜10-2torrの間の圧力で確立す
る。好ましくは、チタンのターゲツトを有する陰極をス
パツターさせ、亜鉛／錫合金酸化物層上に第一のチタン
金属プライマー層を付着させる。別の態様においては、
チタン陰極をわずかに酸化性雰囲気中でスパツターさ
せ、亜鉛−錫合金酸化物層上に酸化チタンプライマー層
を付着させることもできる。次いで、銀のターゲツト表
面を有する陰極をスパツターさせてプライマー層上に金
属銀の反射層を付着させる。好ましくは反射性銀層上に
チタンをスパツターさせて第二のプライマー層を付着さ
せる。この場合も、チタンは不活性雰囲気中においてス
パツターさせて金属チタンプライマー層を付着させるか
またはわずかに酸化性雰囲気中において酸化チタンプラ
イマー層を付着させることもできる。最後に、亜鉛また
は亜鉛／錫合金酸化物の第二層を、第一の亜鉛または亜
鉛／錫合金酸化物層の付着に使用したのと本質的に同じ
条件下で第二プライマー層上に付着させる。
後に、コーテイング室を真空にし、純アルゴンのような
不活性雰囲気を５×10-4〜10-2torrの間の圧力で確立す
る。好ましくは、チタンのターゲツトを有する陰極をス
パツターさせ、亜鉛／錫合金酸化物層上に第一のチタン
金属プライマー層を付着させる。別の態様においては、
チタン陰極をわずかに酸化性雰囲気中でスパツターさ
せ、亜鉛−錫合金酸化物層上に酸化チタンプライマー層
を付着させることもできる。次いで、銀のターゲツト表
面を有する陰極をスパツターさせてプライマー層上に金
属銀の反射層を付着させる。好ましくは反射性銀層上に
チタンをスパツターさせて第二のプライマー層を付着さ
せる。この場合も、チタンは不活性雰囲気中においてス
パツターさせて金属チタンプライマー層を付着させるか
またはわずかに酸化性雰囲気中において酸化チタンプラ
イマー層を付着させることもできる。最後に、亜鉛また
は亜鉛／錫合金酸化物の第二層を、第一の亜鉛または亜
鉛／錫合金酸化物層の付着に使用したのと本質的に同じ
条件下で第二プライマー層上に付着させる。
本発明の最も好ましい態様においては、保護被膜（over
coat）を最終の金属酸化物フイルム上に付着させる。保
護被膜は、好ましくは、Gillery等に発行されたU.S.P.N
o.4,594,137に開示されているような金属層を金属酸化
物フイルム上にスパツターさせることによつて付着させ
る。保護被膜用として好ましい金属には、ステンレス鋼
またはInconelのような鉄またはニツケルの合金が含ま
れる。チタンは、その高透過率のために最も好ましい保
護被膜である。別の態様においては、保護層は1985年12
月23日にGillery等によつて提出されたU.S.A.No.812,68
0に開示されているような酸化チタンのような特に耐薬
品性物質である、なお、この出願の開示は本明細書の参
考になる。
coat）を最終の金属酸化物フイルム上に付着させる。保
護被膜は、好ましくは、Gillery等に発行されたU.S.P.N
o.4,594,137に開示されているような金属層を金属酸化
物フイルム上にスパツターさせることによつて付着させ
る。保護被膜用として好ましい金属には、ステンレス鋼
またはInconelのような鉄またはニツケルの合金が含ま
れる。チタンは、その高透過率のために最も好ましい保
護被膜である。別の態様においては、保護層は1985年12
月23日にGillery等によつて提出されたU.S.A.No.812,68
0に開示されているような酸化チタンのような特に耐薬
品性物質である、なお、この出願の開示は本明細書の参
考になる。
多層フイルムの耐薬品性は、多層フイルム上に酸化チタ
ンから成る保護コーテイングを付着させることによつて
最も改良される。好ましくは酸化チタン保護コーテイン
グは、比較的高い付着速度および好ましくは約3m Torr
のような低圧力での陰極スパツターによつて付着させ
る。酸化チタンから成る保護コーテイングは、酸素の十
分な雰囲気中においてチタンをスパツターさせ、酸化チ
タンを直接付着させることによつて形成できる。本発明
の別の態様においては、酸化チタンから成る保護コーテ
イングは、不活性雰囲気中においてチタンをスパツター
させてチタン含有フイルムを付着させ、これを続いて空
気のような酸化雰囲気にさらして酸化チタンに酸化する
ことによつて形成できる。
ンから成る保護コーテイングを付着させることによつて
最も改良される。好ましくは酸化チタン保護コーテイン
グは、比較的高い付着速度および好ましくは約3m Torr
のような低圧力での陰極スパツターによつて付着させ
る。酸化チタンから成る保護コーテイングは、酸素の十
分な雰囲気中においてチタンをスパツターさせ、酸化チ
タンを直接付着させることによつて形成できる。本発明
の別の態様においては、酸化チタンから成る保護コーテ
イングは、不活性雰囲気中においてチタンをスパツター
させてチタン含有フイルムを付着させ、これを続いて空
気のような酸化雰囲気にさらして酸化チタンに酸化する
ことによつて形成できる。
同様に、本発明のプライマー層が不活性雰囲気中におい
てチタン金属として付着させた場合には、その後の高温
度加工によつて金属が酸化され酸化チタンが形成され
る。
てチタン金属として付着させた場合には、その後の高温
度加工によつて金属が酸化され酸化チタンが形成され
る。
本発明は、次の特定の実施例の説明によつてさらに良く
理解されるであろう。実施例Ｉでは、亜鉛／錫合金フイ
ルムは錫酸亜鉛のことを云うが、フイルム組成物は必ず
しも正確にZn2SnO4である必要はない。
理解されるであろう。実施例Ｉでは、亜鉛／錫合金フイ
ルムは錫酸亜鉛のことを云うが、フイルム組成物は必ず
しも正確にZn2SnO4である必要はない。
実施例Ｉ 多層フイルムをソーダ石灰シリカガラス上に付着させて
高透過率、低輻射率被覆生成物を製造する。５×17イン
チ（12.7×43.2cm）の寸法の固定陰極には、52.4重量％
の亜鉛および47.6重量％の錫から成る亜鉛／錫合金のス
パツター表面を有する。ソーダ石灰−シリカガラス基体
を、50/50のアルゴン／酸素の雰囲気中において4m Torr
の圧力に設定したコーテイング室中に置く。陰極は1.7K
W出力で磁場中でスパツターさせ、その間、ガラスはス
パツター表面を110インチ（2.8m）／分の速度で運び去
られる。錫酸亜鉛のフイルムがガラス表面に付着する。
３回の通過で約340Åのフイルム厚さが生成し、その結
果、90％であつたガラス透過率は、錫酸亜鉛被覆ガラス
基体では78％に減少した。チタンターゲツトを有する固
定陰極を次いでスパツターさせ、錫酸亜鉛上にチタンプ
ライマー層を生成させ、それにより、透過率は63％に減
少する。次に、4m Torrの圧力でアルゴンガス雰囲気中
において銀陰極ターゲツトをスパツターさせることによ
つてチタンプライマー層上に銀層を付着させる。基体を
同じ速度で銀陰極ターゲツト下を通過させることによつ
て、約90Åのフイルム厚さに相当する10μｇ銀／cm2を
付着させるには２回の通過が必要であり、透過率は44％
にさらに減少する。第二チタンプライマー層を銀層上に
スパツターさせ、透過率は35％の低さに減少する、次い
で、錫酸亜鉛の第二の反射防止性層を付着させると透過
率は63％に増加する。
高透過率、低輻射率被覆生成物を製造する。５×17イン
チ（12.7×43.2cm）の寸法の固定陰極には、52.4重量％
の亜鉛および47.6重量％の錫から成る亜鉛／錫合金のス
パツター表面を有する。ソーダ石灰−シリカガラス基体
を、50/50のアルゴン／酸素の雰囲気中において4m Torr
の圧力に設定したコーテイング室中に置く。陰極は1.7K
W出力で磁場中でスパツターさせ、その間、ガラスはス
パツター表面を110インチ（2.8m）／分の速度で運び去
られる。錫酸亜鉛のフイルムがガラス表面に付着する。
３回の通過で約340Åのフイルム厚さが生成し、その結
果、90％であつたガラス透過率は、錫酸亜鉛被覆ガラス
基体では78％に減少した。チタンターゲツトを有する固
定陰極を次いでスパツターさせ、錫酸亜鉛上にチタンプ
ライマー層を生成させ、それにより、透過率は63％に減
少する。次に、4m Torrの圧力でアルゴンガス雰囲気中
において銀陰極ターゲツトをスパツターさせることによ
つてチタンプライマー層上に銀層を付着させる。基体を
同じ速度で銀陰極ターゲツト下を通過させることによつ
て、約90Åのフイルム厚さに相当する10μｇ銀／cm2を
付着させるには２回の通過が必要であり、透過率は44％
にさらに減少する。第二チタンプライマー層を銀層上に
スパツターさせ、透過率は35％の低さに減少する、次い
で、錫酸亜鉛の第二の反射防止性層を付着させると透過
率は63％に増加する。
最後に、５×17インチ（12.7×43.2cm）の寸法の固定チ
タン陰極を、3m Torrでアルゴンと酸素との等容積の雰
囲気中10KWでスパツターさせる。約15〜20Å厚さの酸化
チタンの保護コーテイングを付着させるのに110インチ
（2.8m）／分の速度で２回の通過で十分である。酸化チ
タンの保護コーテイングは、多層コーテイングの抵抗率
および反射性に有意な影響を及ぼさず、透過率の変化は
約１％より少ない。
タン陰極を、3m Torrでアルゴンと酸素との等容積の雰
囲気中10KWでスパツターさせる。約15〜20Å厚さの酸化
チタンの保護コーテイングを付着させるのに110インチ
（2.8m）／分の速度で２回の通過で十分である。酸化チ
タンの保護コーテイングは、多層コーテイングの抵抗率
および反射性に有意な影響を及ぼさず、透過率の変化は
約１％より少ない。
全部で６層の付着後の被覆基体の透過率は、従来技術の
典型的なプライマー層より厚いチタン金属プライマー層
により63％と低くなる。しかし、曲げ、アニール、焼戻
し、貼合せまたはガラス溶接のような高温度加工後に
は、従来技術のコーテイングで経験されたような色の変
化は何等なしに透過率は80〜85％に増加する。これに加
えて、コーテイングの抵抗率および輻射率は減少する。
例えば、1160゜F（約627℃）で15分後には、抵抗率は5.3
〜3.7ohm/squareに減少し、そして、輻射率は0.09〜0.0
6に減少する。
典型的なプライマー層より厚いチタン金属プライマー層
により63％と低くなる。しかし、曲げ、アニール、焼戻
し、貼合せまたはガラス溶接のような高温度加工後に
は、従来技術のコーテイングで経験されたような色の変
化は何等なしに透過率は80〜85％に増加する。これに加
えて、コーテイングの抵抗率および輻射率は減少する。
例えば、1160゜F（約627℃）で15分後には、抵抗率は5.3
〜3.7ohm/squareに減少し、そして、輻射率は0.09〜0.0
6に減少する。
本発明のプライマー層の結果として金属と金属酸化物と
の間の改善された接着性による被覆窓又はウインドシー
ルドの改善された耐久性は、湿つた布で被覆表面をぬぐ
うことから成る簡単な摩擦試験によつて容易に立証され
る。プライマー層の無い錫酸亜鉛／銀／錫酸亜鉛を被覆
した表面は、湿つた布の数回通過後約６％から約18％に
反射率が増加することは、上部の錫酸亜鉛および下層の
銀フイルムの両者が除去されることを示している。これ
に対して、本発明のプライマー層を含む錫酸亜鉛／チタ
ン／銀／チタン／錫酸亜鉛被覆窓又はウインドシールド
は、湿つた布で長時間はげしく擦つても何等の目で見え
る変化が生じない。
の間の改善された接着性による被覆窓又はウインドシー
ルドの改善された耐久性は、湿つた布で被覆表面をぬぐ
うことから成る簡単な摩擦試験によつて容易に立証され
る。プライマー層の無い錫酸亜鉛／銀／錫酸亜鉛を被覆
した表面は、湿つた布の数回通過後約６％から約18％に
反射率が増加することは、上部の錫酸亜鉛および下層の
銀フイルムの両者が除去されることを示している。これ
に対して、本発明のプライマー層を含む錫酸亜鉛／チタ
ン／銀／チタン／錫酸亜鉛被覆窓又はウインドシールド
は、湿つた布で長時間はげしく擦つても何等の目で見え
る変化が生じない。
好ましい酸化チタン保護コーテイングは、約10〜50Åの
範囲内の厚さを有する。約20Åの酸化チタン保護コーテ
イングを有する本実施例による多層コーテイングの耐久
性は、2.5％塩溶液中において周囲温度で２時間から22
時間に増加し、そして、150゜F（約66℃）で脱イオン水
を含有するQ-Panel Cleveland Condensation Tester Mo
del QCT-ADOを使用して実施したCleveland湿度試験にお
いて５時間から１週間に増加した。
範囲内の厚さを有する。約20Åの酸化チタン保護コーテ
イングを有する本実施例による多層コーテイングの耐久
性は、2.5％塩溶液中において周囲温度で２時間から22
時間に増加し、そして、150゜F（約66℃）で脱イオン水
を含有するQ-Panel Cleveland Condensation Tester Mo
del QCT-ADOを使用して実施したCleveland湿度試験にお
いて５時間から１週間に増加した。
実施例II 中性多層フイルムをガラス基体上に付着させて、導電
性、耐熱性被覆生成物を製造する。５×17インチ（12.7
×43.2cm）の寸法の固定陰極は、亜鉛のスパーター表面
を含む。SOLEX 色付けガラス基体をコーテイング室内
に置き、該室を真空にして50/50アルゴン／酸素雰囲気
下で4m Torrの圧力にする。陰極を1.7KWの出力で磁場内
でスパツターさせ、一方、ガラス基体は110インチ（2.8
m）／分の速度でスパツター表面を通過させる。酸化亜
鉛のフイルムがガラス表面に付着する。３回の通過で生
成されたフイルム厚さで、色付けガラスの84％の透過率
は酸化亜鉛被覆ガラス基体では73.2％に減少する。次
に、4m Torrの圧力でアルゴンガス雰囲気中において銀
陰極ターゲツトのスパツターによつて銀の層を酸化亜鉛
層上に付着させる。基体を同じ速度で銀陰極下を通過さ
せる方法で、約90Åのフイルム厚さに相当する10μｇの
銀／cm2を付着させるのに２回の通過を要し、透過率は6
7％に減少する。チタン含有プライマー層を銀層上にス
パツターすることにより透過率は61.6％にさらに減少す
る。最後に、酸化亜鉛の第二の反射防止層をチタン含有
プライマー層上に付着させると透過率は81.9％に増加す
る。銀の抵抗は7.7ohm/squareであり、多層コーテイン
グは肉眼的に中性である。
性、耐熱性被覆生成物を製造する。５×17インチ（12.7
×43.2cm）の寸法の固定陰極は、亜鉛のスパーター表面
を含む。SOLEX 色付けガラス基体をコーテイング室内
に置き、該室を真空にして50/50アルゴン／酸素雰囲気
下で4m Torrの圧力にする。陰極を1.7KWの出力で磁場内
でスパツターさせ、一方、ガラス基体は110インチ（2.8
m）／分の速度でスパツター表面を通過させる。酸化亜
鉛のフイルムがガラス表面に付着する。３回の通過で生
成されたフイルム厚さで、色付けガラスの84％の透過率
は酸化亜鉛被覆ガラス基体では73.2％に減少する。次
に、4m Torrの圧力でアルゴンガス雰囲気中において銀
陰極ターゲツトのスパツターによつて銀の層を酸化亜鉛
層上に付着させる。基体を同じ速度で銀陰極下を通過さ
せる方法で、約90Åのフイルム厚さに相当する10μｇの
銀／cm2を付着させるのに２回の通過を要し、透過率は6
7％に減少する。チタン含有プライマー層を銀層上にス
パツターすることにより透過率は61.6％にさらに減少す
る。最後に、酸化亜鉛の第二の反射防止層をチタン含有
プライマー層上に付着させると透過率は81.9％に増加す
る。銀の抵抗は7.7ohm/squareであり、多層コーテイン
グは肉眼的に中性である。
好ましくは、被覆SOLEX ガラス基体は、その後に、シ
ート間にコーテイングを有する追加の透明シートと貼合
せ、導電性加熱性コーテイングと共に貼合せ透明度を形
成し、除氷、除霜および（または）除曇性を付与する。
この態様においてはコーテイングは風雨にさらされない
から保護被膜は必要でない。保護被膜を必要とする他の
用途においては、その開示が本明細書の参考になるGill
ery等によつて1985年12月23日提出のU.S.A.No.812,680
に開示されているような酸化チタンが好ましい。
ート間にコーテイングを有する追加の透明シートと貼合
せ、導電性加熱性コーテイングと共に貼合せ透明度を形
成し、除氷、除霜および（または）除曇性を付与する。
この態様においてはコーテイングは風雨にさらされない
から保護被膜は必要でない。保護被膜を必要とする他の
用途においては、その開示が本明細書の参考になるGill
ery等によつて1985年12月23日提出のU.S.A.No.812,680
に開示されているような酸化チタンが好ましい。
上記の実施例は本発明の説明のために示した。生成物お
よび方法に各種の変法が含まれる。例えば、他のコーテ
イング組成物も本発明の範囲内である。亜鉛／錫合金を
スパツターさせるとき亜鉛および錫の割合によつて、コ
ーテイングには錫酸亜鉛に加えて広範囲に異なる量の酸
化亜鉛および酸化錫が含有されるであろう。プライマー
層には各種の酸化状態のチタン金属が含まれるであろ
う。ジルコニウム、クロム、亜鉛／錫合金およびそれら
の混合物のような他の金属も本発明によるプライマーと
して有用である。各種の層の厚さは、透過率のような所
望の光学的性質によつて主として限定される。同じ中性
導電性neutrel conductive加熱性多層フイルムは透明ガ
ラスに付着させることができ、これを続いて、SOLEX
ガラスのような着色基体と貼合せることもできる。圧力
およびガスの濃度のような工程パラメーターは広い範囲
にわたつて変化できる。他の耐薬品性物質の保護コーテ
イングも金属または酸化物状態のいずれかで付着させる
ことができる。本発明の範囲は特許請求の範囲によつて
限定される。
よび方法に各種の変法が含まれる。例えば、他のコーテ
イング組成物も本発明の範囲内である。亜鉛／錫合金を
スパツターさせるとき亜鉛および錫の割合によつて、コ
ーテイングには錫酸亜鉛に加えて広範囲に異なる量の酸
化亜鉛および酸化錫が含有されるであろう。プライマー
層には各種の酸化状態のチタン金属が含まれるであろ
う。ジルコニウム、クロム、亜鉛／錫合金およびそれら
の混合物のような他の金属も本発明によるプライマーと
して有用である。各種の層の厚さは、透過率のような所
望の光学的性質によつて主として限定される。同じ中性
導電性neutrel conductive加熱性多層フイルムは透明ガ
ラスに付着させることができ、これを続いて、SOLEX
ガラスのような着色基体と貼合せることもできる。圧力
およびガスの濃度のような工程パラメーターは広い範囲
にわたつて変化できる。他の耐薬品性物質の保護コーテ
イングも金属または酸化物状態のいずれかで付着させる
ことができる。本発明の範囲は特許請求の範囲によつて
限定される。
Claims (18)
- 【請求項１】（ａ）透明な非金属基体； （ｂ）該基体の表面上に付着させた、亜鉛を含む第一の
透明、反射防止性金属酸化物フィルム； （ｃ）該反射防止性金属酸化物層上に付着させた、透明
な赤外反射性金属フイルム； （ｄ）該赤外反射性金属フイルム上に付着させた、チタ
ン、ジルコニウム、クロム、亜鉛／錫合金及びそれらの
混合物から成る群から選ばれる金属を含有するプライマ
ー層、および （ｅ）該金属含有プライマーフイルム上に付着させた第
二の透明、反射防止性金属酸化物フイルム から成ることを特徴とする高透過率、低輻射率の耐熱性
の窓又はウインドシールド。 - 【請求項２】前記の基体が、ガラスである特許請求の範
囲第１項に記載の耐熱性の窓又はウインドシールド。 - 【請求項３】前記の反射性金属フイルムが銀である特許
請求の範囲第２項に記載の耐熱性の窓又はウインドシー
ルド。 - 【請求項４】前記の金属酸化物が、亜鉛及び錫から成る
合金の酸化物反応生成物である特許請求の範囲第３項に
記載の耐熱性の窓又はウインドシールド。 - 【請求項５】前記のプライマーフイルムが、チタンから
成る特許請求の範囲第１項に記載の耐熱性の窓又はウイ
ンドシールド。 - 【請求項６】前記の第一透明反射防止性フイルムと前記
の透明赤外反射性金属フイルムとの間に追加のプライマ
ー層をさらに含む特許請求の範囲第１項に記載の耐熱性
の窓又はウインドシールド。 - 【請求項７】前記の第二反射防止性金属酸化物フイルム
上に付着させた金属含有保護被膜をさらに含む特許請求
の範囲第１項に記載の耐熱性の窓又はウインドシール
ド。 - 【請求項８】（ａ）酸素を含む反応性雰囲気下において
亜鉛を含む金属陰極ターゲットをスパツターさせ、それ
によって、基体の表面上に亜鉛を含む第一の金属酸化物
フイルムを付着させ； （ｂ）該金属酸化物層上に、反射性金属フイルムをスパ
ツターさせ； （ｃ）チタン、ジルコニウム、クロム、亜鉛／錫合金及
びそれらの混合物から成る群から選ばれる金属を含有す
るプライマー層を前記の反射性金属フイルム上にスパッ
ターさせ；そして （ｄ）前記のプライマー層上に亜鉛を含む第二の金属酸
化物フイルムをスパツターさせる諸工程から成ることを
特徴とする耐熱性フイルムを付着させる方法。 - 【請求項９】前記の基体が、ガラスである特許請求の範
囲第８項に記載の方法。 - 【請求項１０】前記の金属酸化物フイルムが、亜鉛及び
錫から成る合金の酸化物反応生成物を含む特許請求の範
囲第９項に記載の方法。 - 【請求項１１】前記のプライマー層が、チタンから成る
特許請求の範囲第10項に記載の方法。 - 【請求項１２】前記の第二金属合金酸化物フイルム上に
付着させた金属含有保護被膜を付着させる工程をさらに
含む特許請求の範囲第８項に記載の方法。 - 【請求項１３】前記の多層被覆耐熱性の窓又はウインド
シールドを高温度加工に処し、それによって該被覆の透
過率を増加させる工程をさらに含む特許請求の範囲第12
項に記載の方法。 - 【請求項１４】前記の高温度加工が、前記の被覆耐熱性
の窓又はウインドシールドを、間に前記の被覆を介在さ
せて第二の透明シートに貼合せて中性導電性、加熱可能
なラミネート透明度を形成する工程である特許請求の範
囲第13項に記載の方法。 - 【請求項１５】（ａ）透明な非金属基体をスパツター室
中に置き； （ｂ）酸素を含む反応性雰囲気中において亜鉛および錫
の合金を含む陰極ターゲットをスパッターさせ、前記の
基体の表面上に第一の透明、金属合金酸化物フイルムを
付着させ； （ｃ）チタンターゲツトをスパツターさせて、前記の酸
化物フイルム上にプライマー層を付着させ； （ｄ）不活性雰囲気中において銀陰極ターゲツトをスパ
ツターさせて、前記のプライマー層上に透明な銀フイル
ムを付着させ； （ｅ）チタンターゲツトをスパツターさせて、前記の銀
フイルム上に第二プライマー層を付着させ；そして、 （ｆ）酸素を含む反応性雰囲気中において、亜鉛及び錫
の合金を含む陰極ターゲツトをスパツターさせて前記の
第二プライマー層上に第二の金属合金酸化物フイルムを
付着させる 諸工程から成ることを特徴とする多層低輻射率被覆生成
物の製造方法。 - 【請求項１６】前記の基体が、ガラスである特許請求の
範囲第15項に記載の方法。 - 【請求項１７】前記の第二金属合金酸化物フイルム上に
金属含有保護被膜を付着させる工程をさらに含む特許請
求の範囲第16項に記載の方法。 - 【請求項１８】前記のプライマー層がチタンから成る特
許請求の範囲第17項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US94779786A | 1986-12-29 | 1986-12-29 | |
| US06/947,799 US4806220A (en) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | Method of making low emissivity film for high temperature processing |
| US947799 | 1986-12-29 | ||
| US947797 | 1986-12-29 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15112696A Division JP3330281B2 (ja) | 1986-12-29 | 1996-06-12 | 高透過率低輻射率の耐熱性窓・ウィンドシールド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63183164A JPS63183164A (ja) | 1988-07-28 |
| JPH0715143B2 true JPH0715143B2 (ja) | 1995-02-22 |
Family
ID=27130260
Family Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62325112A Expired - Lifetime JPH0715143B2 (ja) | 1986-12-29 | 1987-12-22 | 高透過率、低輻射率の耐熱性の窓又はウインドシールド |
| JP15112696A Expired - Lifetime JP3330281B2 (ja) | 1986-12-29 | 1996-06-12 | 高透過率低輻射率の耐熱性窓・ウィンドシールド |
| JP16802398A Expired - Lifetime JP3389108B2 (ja) | 1986-12-29 | 1998-06-16 | 多層低輻射率被覆生成物の製法 |
Family Applications After (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15112696A Expired - Lifetime JP3330281B2 (ja) | 1986-12-29 | 1996-06-12 | 高透過率低輻射率の耐熱性窓・ウィンドシールド |
| JP16802398A Expired - Lifetime JP3389108B2 (ja) | 1986-12-29 | 1998-06-16 | 多層低輻射率被覆生成物の製法 |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0275474B1 (ja) |
| JP (3) | JPH0715143B2 (ja) |
| KR (1) | KR910001774B1 (ja) |
| CN (1) | CN1015006B (ja) |
| AT (1) | ATE77808T1 (ja) |
| BR (1) | BR8707076A (ja) |
| CA (1) | CA1331867C (ja) |
| DE (1) | DE3780148T2 (ja) |
| ES (1) | ES2032807T3 (ja) |
| GR (1) | GR3005637T3 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100822516B1 (ko) * | 1999-06-16 | 2008-04-16 | 피피지 인더스트리즈 오하이오 인코포레이티드 | 스퍼터링-코팅된 제품용 보호층 |
Families Citing this family (60)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4898790A (en) * | 1986-12-29 | 1990-02-06 | Ppg Industries, Inc. | Low emissivity film for high temperature processing |
| US4834857A (en) * | 1988-04-01 | 1989-05-30 | Ppg Industries, Inc. | Neutral sputtered films of metal alloy oxides |
| US5902505A (en) * | 1988-04-04 | 1999-05-11 | Ppg Industries, Inc. | Heat load reduction windshield |
| US4898789A (en) * | 1988-04-04 | 1990-02-06 | Ppg Industries, Inc. | Low emissivity film for automotive heat load reduction |
| US5112693A (en) * | 1988-10-03 | 1992-05-12 | Ppg Industries, Inc. | Low reflectance, highly saturated colored coating for monolithic glazing |
| JPH0791089B2 (ja) * | 1988-12-13 | 1995-10-04 | セントラル硝子株式会社 | 熱線反射ガラス |
| GB8900165D0 (en) * | 1989-01-05 | 1989-03-01 | Glaverbel | Glass coating |
| GB8900166D0 (en) * | 1989-01-05 | 1989-03-01 | Glaverbel | Glass coating |
| CH684643A5 (de) * | 1992-10-20 | 1994-11-15 | Troesch Glas Ag | Verfahren zur Herstellung von Fensterscheiben mit hoher Strahlungstransmission im sichtbaren Spektralbereich und hoher Strahlungsreflexion im Wärmestrahlungsbereich. |
| DE69428253T2 (de) * | 1993-11-12 | 2002-06-27 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Haltbare Sputterschicht aus Metalloxid |
| GB9409538D0 (en) * | 1994-05-12 | 1994-06-29 | Glaverbel | Forming a silver coating on a vitreous substrate |
| GB9500333D0 (en) * | 1995-01-09 | 1995-03-01 | Pilkington Plc | Coatings on glass |
| GB9500330D0 (en) * | 1995-01-09 | 1995-03-01 | Pilkington Plc | Coatings on glass |
| US5942338A (en) * | 1996-04-25 | 1999-08-24 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Coated articles |
| US5821001A (en) * | 1996-04-25 | 1998-10-13 | Ppg Industries, Inc. | Coated articles |
| DE19640800C2 (de) * | 1996-10-02 | 2002-01-17 | Fraunhofer Ges Forschung | Wärmedämmendes Schichtsystem für transparente Substrate |
| FR2766174B1 (fr) | 1997-07-21 | 1999-08-20 | Saint Gobain Vitrage | Substrat transparent revetu d'au moins une couche mince |
| EP0963960A1 (fr) | 1998-06-08 | 1999-12-15 | Glaverbel | Substrat transparent revêtu d'une couche d'argent |
| US7976916B2 (en) * | 1999-05-25 | 2011-07-12 | Saint-Gobain Vitrage | Refrigerated display case having a transparent insulating glazing unit |
| ES2258477T3 (es) | 1999-10-14 | 2006-09-01 | Glaverbel | Vidrio. |
| US20030049464A1 (en) | 2001-09-04 | 2003-03-13 | Afg Industries, Inc. | Double silver low-emissivity and solar control coatings |
| US7232615B2 (en) * | 2001-10-22 | 2007-06-19 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Coating stack comprising a layer of barrier coating |
| JP4949609B2 (ja) * | 2002-02-11 | 2012-06-13 | ピーピージー・インダストリーズ・オハイオ・インコーポレイテッド | 日射コントロール被覆 |
| KR20040095359A (ko) * | 2002-04-02 | 2004-11-12 | 내셔날 인스티튜트 오브 어드밴스드 인더스트리얼 사이언스 앤드 테크놀로지 | 투광성을 갖는 다공질 도전체 및 그의 제법 |
| US7063893B2 (en) | 2002-04-29 | 2006-06-20 | Cardinal Cg Company | Low-emissivity coating having low solar reflectance |
| WO2003093188A1 (en) * | 2002-05-03 | 2003-11-13 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Substrate having thermal management coating for an insulating glass unit |
| KR20050084671A (ko) * | 2002-11-05 | 2005-08-26 | 엔.브이. 베카에르트 에스.에이. | 적외선 반사층 구조 |
| FR2859721B1 (fr) * | 2003-09-17 | 2006-08-25 | Saint Gobain | Substrat transparent muni d'un empilement de couches minces pour un blindage electromagnetique |
| FR2862961B1 (fr) | 2003-11-28 | 2006-02-17 | Saint Gobain | Substrat transparent utilisable alternativement ou cumulativement pour le controle thermique, le blindage electromagnetique et le vitrage chauffant. |
| CN1953943B (zh) * | 2004-04-03 | 2012-02-08 | 应用材料合资有限公司 | 玻璃涂层 |
| EP1833768B1 (fr) * | 2004-12-21 | 2012-06-13 | AGC Glass Europe | Feuille de verre portant un empilage multi-couches |
| CN1331794C (zh) * | 2005-08-15 | 2007-08-15 | 上海耀华皮尔金顿玻璃股份有限公司 | 基于金红石相TiO2的可钢化低辐射镀膜玻璃及其工艺 |
| JP5103184B2 (ja) * | 2005-09-20 | 2012-12-19 | 三菱樹脂株式会社 | ガスバリア性積層フィルム |
| ITRM20060181A1 (it) | 2006-03-31 | 2007-10-01 | Pilkington Italia Spa | Lastra di vetro rivestita |
| CN101100354B (zh) * | 2007-06-25 | 2011-01-19 | 沈阳建筑大学 | 一种低辐射玻璃的制作方法 |
| US9932267B2 (en) | 2010-03-29 | 2018-04-03 | Vitro, S.A.B. De C.V. | Solar control coatings with discontinuous metal layer |
| US10654747B2 (en) | 2010-03-29 | 2020-05-19 | Vitro Flat Glass Llc | Solar control coatings with subcritical copper |
| US10654748B2 (en) | 2010-03-29 | 2020-05-19 | Vitro Flat Glass Llc | Solar control coatings providing increased absorption or tint |
| US8530011B2 (en) * | 2010-12-13 | 2013-09-10 | Southwall Technologies Inc. | Insulating glass unit with crack-resistant low-emissivity suspended film |
| CN102173600B (zh) * | 2011-01-20 | 2013-03-27 | 南京宇天玻璃有限公司 | 银蓝玻璃及制造该银蓝玻璃的工艺 |
| CN102173601B (zh) * | 2011-01-20 | 2013-03-27 | 南京宇天玻璃有限公司 | 超硬可钢化低辐射玻璃及其制造工艺 |
| CN102909911A (zh) * | 2011-08-05 | 2013-02-06 | 林宽锯 | 可见光穿透率高的透明导电玻璃及其制作方法 |
| CN102910836A (zh) * | 2011-08-05 | 2013-02-06 | 林宽锯 | 可靠性佳的红外线反射镀膜及其制作方法和节能玻璃装置 |
| EP2743092A4 (en) * | 2011-08-10 | 2015-04-01 | Taiyo Chemical Industry Co Ltd | STRUCTURE WITH A PRIMER THIN FILM AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
| CN102557479A (zh) * | 2011-12-26 | 2012-07-11 | 李德杰 | 非互易型遮阳低辐射玻璃 |
| KR101321585B1 (ko) * | 2012-02-02 | 2013-10-28 | 주식회사 씨엔전자 | 필름 구조물 및 이의 제조방법 |
| CN102721991B (zh) * | 2012-07-03 | 2015-11-11 | 四川世创达电子科技有限公司 | 直贴膜 |
| US9873633B2 (en) | 2013-11-20 | 2018-01-23 | Guardian Europe S.A.R.L. | Heat treatable coated article with low-E coating having zinc stannate based layer between IR reflecting layers and corresponding method |
| CN103744220B (zh) * | 2014-01-28 | 2017-09-12 | 张家港康得新光电材料有限公司 | 一种pdlc显示模块 |
| CN103770393B (zh) * | 2014-01-28 | 2016-09-28 | 张家港康得新光电材料有限公司 | 一种窗膜 |
| CN103744132B (zh) * | 2014-01-28 | 2017-01-04 | 张家港康得新光电材料有限公司 | 一种减反结构和减反膜 |
| CN103744572B (zh) * | 2014-01-28 | 2017-09-12 | 张家港康得新光电材料有限公司 | 一种触控屏 |
| CN104118149A (zh) * | 2014-04-25 | 2014-10-29 | 无锡格菲电子薄膜科技有限公司 | 具有除雾除霜功能的防爆隔热膜及其制备方法 |
| JP6423198B2 (ja) | 2014-08-05 | 2018-11-14 | 日東電工株式会社 | 赤外線反射フィルム |
| CN107151808B (zh) * | 2017-06-05 | 2019-04-09 | 哈尔滨工业大学 | 一种多色低辐射玻璃的制备方法 |
| US11078718B2 (en) | 2018-02-05 | 2021-08-03 | Vitro Flat Glass Llc | Solar control coatings with quadruple metallic layers |
| CN108439825A (zh) * | 2018-05-15 | 2018-08-24 | 浙江旗滨节能玻璃有限公司 | 星空蓝三银低辐射镀膜玻璃及其制备方法 |
| US10830933B2 (en) | 2018-06-12 | 2020-11-10 | Guardian Glass, LLC | Matrix-embedded metamaterial coating, coated article having matrix-embedded metamaterial coating, and/or method of making the same |
| US10562812B2 (en) | 2018-06-12 | 2020-02-18 | Guardian Glass, LLC | Coated article having metamaterial-inclusive layer, coating having metamaterial-inclusive layer, and/or method of making the same |
| CN116994791B (zh) * | 2023-06-28 | 2025-06-17 | 国科大杭州高等研究院 | 一种彩色或黑色电极及其制备方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51131426A (en) * | 1975-05-12 | 1976-11-15 | Oki Electric Ind Co Ltd | Plating method |
| EP0035906B2 (en) * | 1980-03-10 | 1989-11-08 | Teijin Limited | Selectively light-transmitting laminated structure |
| JPS57174240A (en) * | 1981-04-22 | 1982-10-26 | Teijin Ltd | Selective beam transmitting laminate |
| NO157212C (no) * | 1982-09-21 | 1988-02-10 | Pilkington Brothers Plc | Fremgangsmaate for fremstilling av belegg med lav emisjonsevne. |
| ZA836920B (en) * | 1982-09-21 | 1985-04-24 | Pilkington Brothers Plc | Low emissivity coatings on transparent substrates |
| AU561315B2 (en) * | 1984-10-29 | 1987-05-07 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Sputtering films of metal alloy oxide |
| US4610771A (en) * | 1984-10-29 | 1986-09-09 | Ppg Industries, Inc. | Sputtered films of metal alloy oxides and method of preparation thereof |
| US4716086A (en) * | 1984-12-19 | 1987-12-29 | Ppg Industries, Inc. | Protective overcoat for low emissivity coated article |
| DE233003T1 (de) * | 1986-01-29 | 1988-03-17 | Pilkington Brothers P.L.C., St. Helens, Merseyside | Beschichtetes glas. |
-
1987
- 1987-12-01 CA CA000553222A patent/CA1331867C/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-12-12 AT AT87118457T patent/ATE77808T1/de not_active IP Right Cessation
- 1987-12-12 EP EP87118457A patent/EP0275474B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-12-12 DE DE8787118457T patent/DE3780148T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1987-12-12 ES ES198787118457T patent/ES2032807T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1987-12-22 JP JP62325112A patent/JPH0715143B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1987-12-24 KR KR1019870015017A patent/KR910001774B1/ko not_active Expired
- 1987-12-26 CN CN87105971A patent/CN1015006B/zh not_active Expired
- 1987-12-28 BR BR8707076A patent/BR8707076A/pt unknown
-
1992
- 1992-09-07 GR GR920401968T patent/GR3005637T3/el unknown
-
1996
- 1996-06-12 JP JP15112696A patent/JP3330281B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-06-16 JP JP16802398A patent/JP3389108B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100822516B1 (ko) * | 1999-06-16 | 2008-04-16 | 피피지 인더스트리즈 오하이오 인코포레이티드 | 스퍼터링-코팅된 제품용 보호층 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR910001774B1 (ko) | 1991-03-23 |
| DE3780148D1 (de) | 1992-08-06 |
| JP2000192227A (ja) | 2000-07-11 |
| JPH08336923A (ja) | 1996-12-24 |
| GR3005637T3 (ja) | 1993-06-07 |
| JP3389108B2 (ja) | 2003-03-24 |
| CA1331867C (en) | 1994-09-06 |
| JP3330281B2 (ja) | 2002-09-30 |
| DE3780148T2 (de) | 1992-12-24 |
| ES2032807T3 (es) | 1993-03-01 |
| CN1015006B (zh) | 1991-12-04 |
| BR8707076A (pt) | 1988-08-02 |
| EP0275474B1 (en) | 1992-07-01 |
| ATE77808T1 (de) | 1992-07-15 |
| EP0275474A1 (en) | 1988-07-27 |
| KR880007793A (ko) | 1988-08-29 |
| CN87105971A (zh) | 1988-08-31 |
| JPS63183164A (ja) | 1988-07-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0715143B2 (ja) | 高透過率、低輻射率の耐熱性の窓又はウインドシールド | |
| US4898789A (en) | Low emissivity film for automotive heat load reduction | |
| US5059295A (en) | Method of making low emissivity window | |
| US4806220A (en) | Method of making low emissivity film for high temperature processing | |
| US4898790A (en) | Low emissivity film for high temperature processing | |
| EP0343695B1 (en) | Sputtered films for metal alloy oxides | |
| US4716086A (en) | Protective overcoat for low emissivity coated article | |
| US4786563A (en) | Protective coating for low emissivity coated articles | |
| US4610771A (en) | Sputtered films of metal alloy oxides and method of preparation thereof | |
| US4948677A (en) | High transmittance, low emissivity article and method of preparation | |
| US5028759A (en) | Low emissivity film for a heated windshield | |
| US5902505A (en) | Heat load reduction windshield | |
| US4902580A (en) | Neutral reflecting coated articles with sputtered multilayer films of metal oxides | |
| JP2505276B2 (ja) | 灰色高透過性低放射性物品及びその製法 | |
| US4806221A (en) | Sputtered films of bismuth/tin oxide | |
| US5178966A (en) | Composite with sputtered films of bismuth/tin oxide |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |