JPH07151903A - 反射防止膜 - Google Patents

反射防止膜

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JPH07151903A
JPH07151903A JP6226100A JP22610094A JPH07151903A JP H07151903 A JPH07151903 A JP H07151903A JP 6226100 A JP6226100 A JP 6226100A JP 22610094 A JP22610094 A JP 22610094A JP H07151903 A JPH07151903 A JP H07151903A
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transparent film
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Naoki Takamiya
直樹 高宮
Makoto Nakao
誠 中尾
Akira Yazawa
朗 矢沢
Atsumi Wakabayashi
淳美 若林
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 透明基材の表面に密着して形成された屈折率
1が1.45〜2.10の範囲である第1の透明膜
と、第1の透明膜上に密着して形成された、第1の透明
膜の屈折率N1により0.1以上低い屈折率N2を有する
第2の透明膜からなり、第1および第2の両透明膜の膜
厚(nm)がそれぞれ0.25・L1/N1前後および
0.25・L1/N2前後であり、且つ、少なくとも第1
の透明膜中に光吸収剤を含み、光吸収剤の主吸収波長L
2(nm)がL1+70≦L2またはL1−50≧L2(L1
は400〜800nmの範囲の波長)である反射防止
膜。 【効果】 良好な反射防止能を有し、特定の波長の干渉
光が強く発現することがなく、自然光に近い光が得られ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は反射を防止または低減せ
しめるための膜に関する。本発明の反射防止膜は、陰極
線管、液晶表示版などのディスプレイ画面の反射防止お
よび計器板の前面ガラス、自動車ガラスなどの外光映り
込みが問題となる透明板の反射防止に有用である。
【0002】
【従来の技術】陰極線管、液晶表示板などのディスプレ
イ装置は産業用及び民生用の分野で多用されており、画
質の向上もめざましいが、画面上に照明灯などの外光が
映り込むことにより、画質を劣化させることが多い。ま
た、計器、時計の前面板、自動車のフロントガラスなど
の透視性も外光の反射により損なわれ、問題となってい
る。
【0003】上記の問題点を解決するには、表面の反射
率を低下させることが効果的であり、このための手段と
して屈折率の異なる透明膜を基板表面上に積層する方法
が採られている。しかしながら、充分な反射防止効果を
得るためには、少なくとも3層以上の多層膜とする必要
があり、そのような多層膜は生産性が悪く、製造コスト
が高いことが普及の妨げとなっている。
【0004】特開平5−203804号には、基板上に
形成された第1の透明膜とさらにその上に形成された第
2の透明膜において、第1の透明膜中に適当な色素を含
有させることによって、可視領域における分光透過率の
最小となる波長と分光反射率の最小となる波長をほぼ一
致させ、ひいては、より広帯域にわたり反射防止効果が
得られるように構成した反射防止膜が記載されている。
しかしながら、この反射防止膜は、特定の波長の干渉光
が強く発現するため、特定の色が強く目に映り、ディス
プレイを長時間見続けると目の疲労を招き易い。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
の反射防止透明膜の課題を解決して、良好な反射防止能
を有し、生産性に優れ且つ製造コストが低く、しかも、
特定の波長の干渉光が強く発現することがなく、目に優
しい自然光に近い光が得られる反射防止膜を提供するこ
とにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、透明基材
の面上に密着して形成された屈折率N1が1.45〜
2.10の範囲である第1の透明膜と、第1の透明膜上
に密着して形成された、第1の透明膜の屈折率N1によ
り0.1以上低い屈折率N2を有する第2の透明膜から
なり、第1の透明膜の膜厚D1(nm)が (0.25・L1/N1)−100≦D1≦(0.25・
1/N1)+100 であり、第2の透明膜の膜厚D2(nm)が (0.25・L1/N2)−100≦D2≦(0.25・
1/N2)+100 の範囲であり、且つ、少なくとも第1の透明膜中に光吸
収剤を含み、光吸収剤の主吸収波長L2(nm)がL1
70≦L2またはL1−50≧L2(上記各式中の、L1
400〜800nmの範囲の波長である)であることを
特徴とする反射防止膜(以下、「第1の反射防止膜」と
いうことがある。)によって達成される。
【0007】上記の目的は、また、基材の面上に密着し
て形成された屈折率N1が1.45〜2.10の範囲で
ある第1の透明膜と、第1の透明膜上に密着して形成さ
れた、第1の透明膜の屈折率N1により0.1以上低い
屈折率N2を有する第2の透明膜からなり、第1の透明
膜の膜厚D1(nm)が (0.5・L1/N1)−100≦D1≦(0.5・L1
1)+100 であり、第2の透明膜の膜厚D2(nm)が (0.25・L1/N2)−100≦D2≦(0.25・
1/N2)+100 の範囲であり、且つ、少なくとも第1の透明膜中に光吸
収剤を含み、光吸収剤の主吸収波長L2(nm)がL1
200≦L2≦L1+200の範囲(上記各式中の、L1
は400〜800nmの範囲の波長である)であること
を特徴とする反射防止膜(以下、「第2の反射防止膜」
ということがある)によって達成される。
【0008】本発明の第1および第2の反射防止膜は、
第1の透明度と第2の透明膜がそれぞれ上述の膜厚D1
およびD2を有し、且つ、少なくとも第1の透明膜中に
光吸収剤を含み、反射防止膜全体の光吸収剤の主吸収波
長L2(nm)が、第1の反射防止膜にあっては、L1
70≦L2またはL1−50≧L2であり、第2の反射防
止膜にあってはL1−200≦L2≦L1+200である
ことが必須である。
【0009】反射防止膜において、ガラス、プラスチッ
クなどの透明基材の表面に屈折率が1.45〜2.10
である第1の透明膜を密着して形成し、さらにその上
に、第1の透明膜の屈折率より0.1以上低い屈折率を
有する第2の透明膜を密着して形成することによって、
ある程度の反射防止効果を得ることができる。しかしな
がら、反射光のスペクトルには波長依存性が強く出現
し、反射光が着色するのみならず、可視光線の広い範囲
にわたって反射防止膜効果を得ることができない。従っ
て、目視では、十分な反射防止ないし低減特性を達成す
ることができない。
【0010】第1の透明膜および第2の透明膜の屈折率
を上記のように選定することに加えて、少なくとも第1
の透明層に光吸収剤を含有せしめると、基材と第1の透
明膜との界面、第1の透明膜と第2の透明膜との界面、
及び第2の透明膜の表面より反射させる光のバランスが
調節され、結果として反射スペクトルが改良され、且
つ、反射率が低下する。
【0011】光吸収剤は、透過光の着色をできるだけ避
け、十分な反射防止効果を得るために少なくとも第1の
透明膜中に配合することが重要である。光吸収剤を第1
の透明膜と第2の透明膜の両方に配合する場合は、第1
および第2の透明膜の組合せによっては単に膜の透過光
が着色するのみで十分な反射防止効果が得られない場合
がある。特に、第1の透明膜に比べて第2の透明膜の光
吸収度が高い場合は、むしろ反射防止効果が低減するこ
とが判明した。従って、光吸収剤は第1の透明膜のみに
配合するか、または、第2の透明膜の光吸収度が第1の
透明膜のそれより高くならない範囲において両方の透明
膜中に含有せしめることが好ましい。
【0012】透明膜中に配合する光吸収剤の最大吸収波
長は、第1および第2両透明膜の厚さを考慮して選択す
ることが好ましい。すなわち、第1の透明膜および第2
の透明膜の厚さ(D1およびD2)(nm)がいずれも
(0.25・L/N)(nm)を中心とする一定の範囲
であるときは、光吸収剤が含まれない場合、波長と反射
率との関係をあらわすグラフはV字型(光吸収剤がない
場合)となるため(図1(a)参照)、V字型の底点に
相当する可視光波長L(nm)以外の可視光を主として
吸収する光吸収剤を配合することが好ましく、特に、可
視光の中でも視感度の高い波長領域500〜600(n
m)において反射率を低減させるために、光エネルギー
の変調を考慮したシュミレーションを行なった結果、こ
の波長領域500〜600(nm)以外に最大吸収波長
をもつ光吸収剤がV字型スペクトルの改善に特に有効で
あって、非常に好ましいことを見出した。そのような光
吸収剤を配合した膜の反射率は図1(b)に示すように
底部が拡がった曲線となる。
【0013】従って、本発明の第1の反射防止膜におい
ては、反射防止膜に含まれる光吸収剤の主吸収波長L2
(nm)がL1+70≦L2またはL1−50≧L2となる
ように光吸収剤の種類および配合割合を選択する。この
要件が充足されると、特定の波長の干渉光が強く発現す
ることがなく、目に優しい自然光に近い光が得られる。
【0014】特に主吸収波長L2が570〜740nm
にある時反射スペクトルの改良効果が最も顕著に認めら
れ、例えば、光吸収剤としてフタロシアニンブルーを用
いた場合、約0.009absの吸光度より効果が現わ
れ、0.022abs以上の吸光度においてその効果は
著しくなる。特に好ましい主吸収波長L2は590〜7
00nmである。
【0015】また、第1の透明膜の膜厚D1(nm)が
(0.5・L1/N1)−100≦D1≦(0.5・L1
1)+100であり、第2の透明膜の膜厚D2(nm)
が(0.25・L1/N2)−100≦D2≦(0.25
・L1/N2)+100であるときは、光吸収剤が含まれ
ない場合、波長と反射率との関係を表わすグラフはW字
型となるため(図2(a)参照)、上記と同様な解析を
行なった結果、光吸収剤が波長領域(L1−200)〜
(L1+200)(nm)に最大吸収波長をもつときW
字型スペクトルの改善に特に有効であることを見出し
た。そのような光吸収剤を配合した膜の反射率を図2
(b)に示す。
【0016】従って、本発明の第2の反射防止膜におい
ては、反射防止膜に含まれる光吸収剤の主吸収波長L2
(nm)が(L1−200)〜(L1+200)となるよ
うに光吸収剤の種類および配合割合を選択する。
【0017】第1および第2の透明膜を作製するための
材料としては、屈折率および最大吸収波長λが上記の要
件を満たし且つ透明な膜を形成することができる材料が
用いられる。そのような材料としては、例えば、シリカ
化合物、多孔質シリカ、チタン化合物、スズ化合物、イ
ンジウム化合物、ジルコニニウム化合物、などの無機化
合物、およびアクリル樹脂、ポリエステル樹脂、塩化ビ
ニル樹脂、エポキシ樹脂などの有機材料が挙げられる。
これらは単独でも、または2以上を組合せて用いること
ができる。
【0018】光吸収剤としては、例えば、モノアゾピグ
メント、キナクリドン、アイアン・オキサイド・イエロ
ー、ジスアゾピグメント、フタロシアニングリーン、フ
タロシアニンブルー、シアニンブルー、フラバンスロン
エロー、ジアンスラキノリルレッド、インダンスロンブ
ルー、チオインジゴボルドー、ペリノンオレンジ、ペリ
レンスカーレット、ペリレンレッド178、ペリレンマ
ルーン、ジオキサジンバイオレット、イソインドリノン
エロー、キノフタロンエロー、イソインドリンエロー、
ニッケルニトロソエロー、マダーレーキ、銅アゾメチン
エロー、アニリンブラック、アルカリブルー、亜鉛華、
酸化チタン、弁柄、酸化クロム、鉄黒、チタンエロー、
コバルトブルー、セルリアンブルー、コバルトグリー
ン、アルミナホワイト、ビリジアン、カドミウムエロ
ー、カドミウムレッド、朱、リトポン、黄鉛、モリブデ
ートオレンジ、クロム酸亜鉛、硫酸カルシウム、硫酸バ
リウム、炭酸カルシウム、鉛白、群青、マンガンバイオ
レット、コバルトバイオレット、エメラルドグリーン、
紺青、カーボンブラック、金属粉などの有機および無機
顔料、ならびにアゾ染料、アントラキノン染料、インジ
ゴイド染料、フタロシアニン染料、カルボニウム染料、
キノンイミン染料、メチン染料、キノリン染料、ニトロ
染料、ニトロソ染料、ベンゾキノン染料、ナフトキノン
染料、ナフタルイミド染料、ベリノン染料などの染料が
挙げられる。これらの光吸収剤は単独で、または、二つ
以上を組合せて用いることができる。
【0019】光吸収剤の吸光度Aは下記式で表わされ
る。 A=log10(I0/I)=εCD (式中、I0:入射光、I:透過光、C:色濃度、D:
光距離(膜厚)、ε:モル吸光係数) 本発明では、一般に、モル吸光係数ε>104の光吸収
剤が用いられ、また、第1の透明膜の吸光度A1が0.
0005〜3abs.の範囲、また第2の透明膜の吸光
度A2が3abs.以下であることが望ましい。これら
の要件が満たされないと透明度または反射防止効果が低
下する。
【0020】第1および第2の透明膜には、本発明の目
的が達成される限り、種々の材料を加えることができ
る。例えば、第1および第2の透明膜の少なくとも一方
に、アンチモンをドープした酸化スズ粉末またはスズを
ドープした酸化インジウム粉末の少なくとも一方を透明
膜形成材料として用いると、帯電防止性に優れ、可視光
線の散乱を抑制し、且つ、十分密度の高い透明膜を得る
ことができる。特に、塗布法によって膜を作製する場合
にこの利点はより大きい。
【0021】第2の透明膜は多孔質シリカを含むことが
好ましく、特に平均粒径が0.3〜100nmおよび屈
折率が1.2〜1.4の多孔質シリカを含むことが好ま
しい。このような多孔質シリカを含有せしめることによ
って、反射率を低減させる効果をもった低屈折率の第2
の透明膜が得られる。第1および第2の透明膜を構成す
る材料粒子および光吸収剤粒子の粒径は膜厚以下であれ
ば格別限定されるものではないが、可視光線の光散乱を
抑制し且つ十分密度の高い膜を得るには粒径は100n
m以下であることが好ましい。一例として、アンチモン
をドープした種々粒径の異なる酸化スズ粒子を塗布し、
バインダーを用いずに膜を作製して、透明性および屈折
率を調べた結果を表1に示す。
【0022】
【表1】
【0023】本発明の反射防止膜が形成される基材とし
ては、テレビ陰極線管、液晶表示板などのディスプレ
イ、ならびに計器、時計などの前面板が例示され、この
基材は透明な無機ガラスまたはプラスチックからなる。
本発明の透明膜を形成する方法としては、従来から用い
られている種々の方法を採ることができる。すなわち、
スパッタリング法、蒸着法および塗布方法などが採られ
る。これらの中でも、安価で膜の作製が容易な塗布法が
好ましく、特に、スプレー法、スピンコート法、ディッ
プ法、グラビア法などが一般に好ましい。また、成膜時
の硬膜条件(加熱温度、時間)などは通常の塗布技術に
よって選定される。
【0024】
【実施例】以下、本発明を実施例について具体的に説明
する。各実施例および比較例で得られた透明材料積層体
の特性は、以下のように測定した。 (1)表面抵抗率は三菱油化(株)製Model HC
P−HT250四端子表面抵抗計を用いて測定した。
【0025】(2)ヘーズおよび全光線透過率は東京電
色(株)製Model TC−HIIIDPヘーズメータ
を用いて測定した。 (3)表面反射率は、入射角5度の正反射治具を用いて
分光光度計により測定した。 (4)密着性は、MIL−C−675Cに準じて、ライ
オン(株)製消しゴムNo.50を用いて1kgfの荷
重をかけて表面を摩擦しながら20回往復運動せしめ、
表面損傷の発生を目視観察し、評価した。
【0026】実施例1 (1)光吸収剤含有高屈折率膜(固形分重量比:ブルー
顔料/チタン酸化物/アンチモンドープ酸化錫=5/3
0/65)形成用塗料(a)を下記のように調製した。
アンチモンドープ酸化錫微粉末(住友セメント社製)
0.59gとブルー顔料微粉末(東洋インキ製造社製:
商標CYANINE BLUE BNRS)0.05g
とチタニウムイソプロポキシド0.96gをエタノール
53.98g、エチルセロソルブ40g、水4g,塩酸
0.08gおよびアセチルアセトン0.34gとからな
る溶液に混合した後、超音波ホモジナイザー(セントラ
ル科学貿易社製:ソニファイヤー450)で10分間処
理して、均一な分散液とした。
【0027】(2)低屈折率膜形成用塗料(b)を下記
のように調製した。テトラエトキシシラン0.8gと塩
酸0.01gとエチルアルコール98.39gと水0.
8gを混合して均一な溶液とした。 (3)積層体の製造 ガラス基板上に、面温40℃において、前記塗料(a)
をスピンコート法により塗布し、50℃の温風により1
分間乾燥した。0.1μmの厚さを有する光吸収剤含有
高屈折率膜が形成された。次に、このガラス基板の光吸
収剤含有高屈折率膜層上に40℃において、塗料(b)
をスピンコート法により塗布し、50℃の温風により乾
燥し、これを160℃20分間の焼き付け処理を施して
厚さ0.1μmの低屈折率膜を形成した。評価結果を表
2に示すとともに、反射防止膜の反射スペクトルを図3
に示す。
【0028】実施例2 実施例1と同様な操作を行なった。ただし、光吸収剤含
有高屈折率膜形成用塗料中の固形分重量比をブルー顔料
(0.04g)/ブラック顔料(三菱化成(株)製 カ
ーボンブラック、商標MA100、0.04g)/チタ
ン酸化物(チタニウムイソプロポキシド、0.68g)
/アンチモンドープ酸化錫(0.83g)=4/4/1
7/75とし、また、同塗料中のアセチルアセトンの量
を0.24gに変え、エタノールの量を54.08gに
変えた。評価結果を表2に示すとともに、反射防止膜の
反射スペクトルを図4に示す。
【0029】比較例1 実施例1と同様な操作を行なった。ただし、高屈折率膜
形成用塗料に光吸収剤を配合せず、この塗料中の固形分
重量比をチタン酸化物(チタニウムイソプロポキシド
0.76g)/アンチモンドープ酸化錫(0.89g)
=19/81とし、また、同塗料中のアセチルアセトン
の量を0.27gに変え、エタノールの量を54.0g
に変えた。評価結果を表2に示すとともに、反射防止膜
の反射スペクトルを図5に示す。
【0030】実施例3 実施例1と同様な操作を行なった。ただし、光吸収剤含
有高屈折率膜形成用塗料中の固形分重量比をブルー顔料
(0.054g)/ブラック顔料(0.066g)/ア
ンチモンドープ酸化錫(1.88g)=2.7/3.3
/94とし、該高屈折率膜形成用塗料を次のように調製
した。アンチモンドープ酸化錫微粉末(住友セメント社
製)1.88gとブラック顔料微粉末(三菱化成社製カ
ーボンブラック:商標MA−100)0.066gとブ
ルー顔料微粉末(東洋インキ製造社製:商標CYANI
NE BLUE BNRS)0.054gを水97.9
9gと界面活性剤(シリコーン界面活性剤、商標:L−
77、日本ユニカ社製)0.01gとからなる溶液に混
合した後、超音波ホモジナイザーで10分間処理して、
均一な分散液とした。また、低屈折率膜形成用塗料を下
記のように調製した。すなわち、テトラメトキシシラン
0.54gと多孔質シリカ(住友セメント社製)0.3
6gと0.1N塩酸0.6g、エチルアルコール98.
5gを混合して均一な分散液とした。評価結果を表2に
示すとともに、反射防止膜の反射スペクトルを図6に示
す。
【0031】実施例4 実施例3と同様な操作を行なった。ただし、低屈折率膜
形成用塗料は次のように調製した。テトラメトキシシラ
ン0.8gと多孔質シリカ0.2gと0.1N塩酸0.
9gとエチルアルコール98.1gを混合して均一な分
散液とした。また、評価結果を表2に示すとともに、反
射防止膜の反射スペクトルを図7に示す。
【0032】実施例5 実施例3と同様な操作を行なった。ただし、光吸収剤含
有低屈折率形成用塗料は次のように調製した。テトラメ
キシラン0.76gと多孔質シリカ0.2gと黄色塗料
(BayerA.G.leverkusen社製、商標
ASTRAZON YELLOW)0.04gと0.1
N塩酸0.9gとエチルアルコール98.1gを混合し
て均一な分散液とした。また、評価結果を表2に示すと
ともに、反射防止膜の反射スペクトルを図8に示す。
【0033】
【表2】
【0034】
【発明の効果】本発明の反射防止膜は、良好な反射防止
能を有し、生産性がよく、しかも、目に優しい自然光に
近い光が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は光吸収剤を含まない透明膜における波
長と反射率との関係を示すグラフであり、(b)は光吸
収剤を含む透明膜における波長と反射率との関係を示す
グラフである。
【図2】(a)は光吸収剤を含まない別の透明膜におけ
る波長と反射率との関係を示すグラフであり、(b)は
光吸収剤を含む透明膜における波長と反射率との関係を
示すグラフである。
【図3】本発明の反射防止膜の一例の反射スペクトル。
【図4】本発明の反射防止膜の他の一例の反射スペクト
ル。
【図5】比較例の反射防止膜の反射スペクトル。
【図6】本発明の反射防止膜の他の一例の反射スペクト
ル。
【図7】本発明の反射防止膜のさらに他の一例の反射ス
ペクトル。
【図8】本発明の反射防止膜のさらに他の一例の反射ス
ペクトル。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成6年11月28日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図1
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】 透明膜における波長と厄射率との関係を示す
グラフであり、(a)は光吸収剤を含まない透明膜、
(b)は光吸収剤を含む透明膜を示す。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図2
【補正方法】変更
【補正内容】
【図2】 別の透明膜における波長と反射率との関係を
示すグラフであり、(a)は光吸収剤を含まない透明
膜、(b)は光吸収剤を含む透明膜を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若林 淳美 千葉県船橋市豊富町585番地 住友セメン ト株式会社新材料部事業部内

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明基材の面上に密着して形成された屈
    折率N1が1.45〜2.10の範囲である第1の透明
    膜と、第1の透明膜上に密着して形成された、第1の透
    明膜の屈折率N1より0.1以上低い屈折率N2を有する
    第2の透明膜からなり、第1の透明膜の膜厚D1(n
    m)が (0.25・L1/N1)−100≦D1≦(0.25・
    1/N1)+100 であり、第2の透明膜の膜厚D2(nm)が (0.25・L1/N2)−100≦D2≦(0.25・
    1/N2)+100 の範囲であり、且つ、少なくとも第1の透明膜中に光吸
    収剤を含み、光吸収剤の主吸収波長L2(nm)がL1
    70≦L2またはL1−50≧L2(上記各式中のL1は4
    00〜800nmの範囲の波長である)であることを特
    徴とする反射防止膜。
  2. 【請求項2】 光吸収剤の主吸収波長L2(nm)が 570≦L2≦740 である請求項1記載の反射防止膜。
  3. 【請求項3】 基材の面上に密着して形成された屈折率
    1が1.45〜2.10の範囲である第1の透明膜
    と、第1の透明膜上に密着して形成された、第1の透明
    膜の屈折率N1より0.1以上低い屈折率N2を有する第
    2の透明膜からなり、第1の透明膜の膜厚D1(nm)
    が (0.5・L1/N1)−100≦D1≦(0.5・L1
    1)+100 であり、第2の透明膜の膜厚D2(nm)が (0.25・L1/N2)−100≦D2≦(0.25・
    1/N2)+100 の範囲であり、且つ、少なくとも第1の透明膜中に光吸
    収剤を含み、光吸収剤の主吸収波長L2(nm)がL1
    200≦L2≦L1+200の範囲である(上記各式中の
    1は400〜800nmの範囲の波長である)である
    ことを特徴とする反射防止膜。
  4. 【請求項4】 第1および第2の透明膜がシリカ化合
    物、多孔質シリカ、チタン化合物、スズ化合物、インジ
    ウム化合物、ジルコニウム化合物、アクリル樹脂、ポリ
    エステル樹脂、塩化ビニル樹脂、エポキシ樹脂の中から
    選ばれた少なくとも一つの材料を含んで構成されている
    請求項1〜3のいずれかに記載の反射防止膜。
  5. 【請求項5】 第2の透明膜が多孔質シリカを含む請求
    項4記載の反射防止膜。
  6. 【請求項6】 該多孔質シリカが平均粒径0.3〜10
    0nmおよび屈折率1.2〜1.4である請求項5記載
    の反射防止膜。
  7. 【請求項7】 第1および第2の透明膜の少なくとも一
    方がアンチモンをドープした酸化スズ粉末またはスズを
    ドープした酸化インジウム粉末の少なくとも一方を含む
    請求項1〜6のいずれかに記載の反射防止膜。
  8. 【請求項8】 第1および第2の透明膜が粒径100n
    m以下の材料で構成されている請求項1〜7のいずれか
    に記載の反射防止膜。
  9. 【請求項9】 光吸収剤が有機顔料、無機顔料および染
    料の色素の中から選ばれた少なくとも一種を含む請求項
    1〜8のいずれかに記載の反射防止膜。
  10. 【請求項10】 光吸収剤がモノアゾピグメント、キナ
    クリドン、アイアン・オキサイド・イエロー、ジスアゾ
    ピグメント、フタロシアニングリーン、フタロシアニン
    ブルー、シアニンブルー、フラバンスロンエロー、ジア
    ンスラキノリルレッド、インダンスロンブルー、チオイ
    ンジゴボルドー、ペリノンオレンジ、ペリレンスカーレ
    ット、ペリレンレッド178、ペリレンマルーン、ジオ
    キサジンバイオレット、イソインドリノンエロー、キノ
    フタロンエロー、イソインドリンエロー、ニッケルニト
    ロソエロー、マダーレーキ、銅アゾメチンエロー、アニ
    リンブラック、アルカリブルー、亜鉛華、酸化チタン、
    弁柄、酸化クロム、鉄黒、チタンエロー、コバルトブル
    ー、セルリアンブルー、コバルトグリーン、アルミナホ
    ワイト、ビリジアン、カドミウムエロー、カドミウムレ
    ッド、朱、リトポン、黄鉛、モリブデートオレンジ、ク
    ロム酸亜鉛、硫酸カルシウム、硫酸バリウム、炭酸カル
    シウム、鉛白、群青、マンガンバイオレット、コバルト
    バイオレット、エメラルドグリーン、、紺青、カーボン
    ブラック、金属粉、アゾ染料、アントラキノン染料、イ
    ンジゴイド染料、フタロシアニン染料、カルボニウム染
    料、キノンイミン染料、メチン染料、キノリン染料、ニ
    トロ染料、ニトロソ染料、ベンゾキノン染料、ナフトキ
    ノン染料、ナフタルイミド染料、ベリノン染料の中から
    選ばれた少なくとも一種を含む請求項1〜8のいずれか
    に記載の反射防止膜。
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