JPH07154189A - 音叉型振動子ユニット - Google Patents
音叉型振動子ユニットInfo
- Publication number
- JPH07154189A JPH07154189A JP29561393A JP29561393A JPH07154189A JP H07154189 A JPH07154189 A JP H07154189A JP 29561393 A JP29561393 A JP 29561393A JP 29561393 A JP29561393 A JP 29561393A JP H07154189 A JPH07154189 A JP H07154189A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tuning fork
- lead
- vibration
- lead material
- fork type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 42
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 31
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 11
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 7
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 2
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】耐衝撃性等機械的強度を損なうことなく、かつ
製造が易しく振動もれのない音叉型振動子ユニットを提
供する。 【構成】リード材により支持された音叉型振動子ユニッ
トにおいて、音叉基部形状によりリード材の長さ方向ま
たは垂直方向の振動変位を減少させ、リード材の固定端
から音叉支持端までの距離Ygの設定により音叉基部に
残っている垂直方向またはリード長さ方向の振動変位を
減衰させることを特徴とする。
製造が易しく振動もれのない音叉型振動子ユニットを提
供する。 【構成】リード材により支持された音叉型振動子ユニッ
トにおいて、音叉基部形状によりリード材の長さ方向ま
たは垂直方向の振動変位を減少させ、リード材の固定端
から音叉支持端までの距離Ygの設定により音叉基部に
残っている垂直方向またはリード長さ方向の振動変位を
減衰させることを特徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は音叉型振動子とその支持
リード構造からなる音叉型振動子ユニットに関する。
リード構造からなる音叉型振動子ユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】従来音叉型振動子は、その基部に2本の
リードを半田付けなどにより接合し支持固定されてい
る。音叉の腕部の屈曲振動やねじれ振動あるいは屈曲と
ねじれの結合振動を利用する音叉型水晶振動子において
はその振動周波数が腕の形状にのみ依存するため音叉の
基部形状や水晶板のマウント方法には大きな注意は払わ
れていなかった。このため、支持リードは電気的接続と
耐衝撃性のみを考えて接続されていた。音叉の基部形状
も、機械的強度やマウントの容易性、1枚の板からでき
るだけ多くの音叉振動子を製造しコストを下げることを
考慮して決められていた。
リードを半田付けなどにより接合し支持固定されてい
る。音叉の腕部の屈曲振動やねじれ振動あるいは屈曲と
ねじれの結合振動を利用する音叉型水晶振動子において
はその振動周波数が腕の形状にのみ依存するため音叉の
基部形状や水晶板のマウント方法には大きな注意は払わ
れていなかった。このため、支持リードは電気的接続と
耐衝撃性のみを考えて接続されていた。音叉の基部形状
も、機械的強度やマウントの容易性、1枚の板からでき
るだけ多くの音叉振動子を製造しコストを下げることを
考慮して決められていた。
【0003】しかるにこれらの音叉振動子ユニットでは
音叉基部の振動変位が抑圧され、振動子の等価抵抗が上
昇する他、振動エネルギーがリード、プラグを通して外
部に漏洩していたため、振動子の製造上周波数の合わせ
込みを困難にし、また振動子完成後外部からの振動子ケ
ースへの接触により周波数が変化する振動もれという問
題を有していた。
音叉基部の振動変位が抑圧され、振動子の等価抵抗が上
昇する他、振動エネルギーがリード、プラグを通して外
部に漏洩していたため、振動子の製造上周波数の合わせ
込みを困難にし、また振動子完成後外部からの振動子ケ
ースへの接触により周波数が変化する振動もれという問
題を有していた。
【0004】そこで従来では例えば図2に示すように振
動子の基部の幅方向に1対の切れ込み部21、22を形
成し、振動エネルギーもれを抑える方法が提案されてい
る。また図3は、従来の音叉振動子の支持方法の他の1
例を示している。音叉振動子の振動変位量の比較的小さ
い音叉基部中央部をリード材31、32で支持する方法
である。
動子の基部の幅方向に1対の切れ込み部21、22を形
成し、振動エネルギーもれを抑える方法が提案されてい
る。また図3は、従来の音叉振動子の支持方法の他の1
例を示している。音叉振動子の振動変位量の比較的小さ
い音叉基部中央部をリード材31、32で支持する方法
である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし図2のような切
れ込みにより振動エネルギーを抑えるためには、切れ込
み部21、22を深く形成しなければならないため、振
動子の耐衝撃性を著しく阻害するものであった。また図
3の振動子のマウント方法ではリードを精度よく音叉中
央部に位置させるのは非常に難しく、またリードと振動
子との接触が点状であるため機械的強度が弱いという欠
点があった。
れ込みにより振動エネルギーを抑えるためには、切れ込
み部21、22を深く形成しなければならないため、振
動子の耐衝撃性を著しく阻害するものであった。また図
3の振動子のマウント方法ではリードを精度よく音叉中
央部に位置させるのは非常に難しく、またリードと振動
子との接触が点状であるため機械的強度が弱いという欠
点があった。
【0006】そこで本発明は上記の問題を解決し耐衝撃
性、機械的強度を損なうことなく、かつ製造が易しく、
振動もれがない等価抵抗の低い音叉型振動子ユニットを
提供することを目的とするものである。
性、機械的強度を損なうことなく、かつ製造が易しく、
振動もれがない等価抵抗の低い音叉型振動子ユニットを
提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の音叉型振動子ユ
ニットは、 a) リード材により支持された音叉型振動子ユニット
において、 b) リード材の長さ方向の音叉支持部振動変位成分が
最小となる音叉型振動子形状を持ち、 c) リード材の横振動共振長をλtとして、リード材
がプラグに固定されている点から音叉支持端までの距離
Ygがλtの20%以上80%以下であることを特徴と
する。
ニットは、 a) リード材により支持された音叉型振動子ユニット
において、 b) リード材の長さ方向の音叉支持部振動変位成分が
最小となる音叉型振動子形状を持ち、 c) リード材の横振動共振長をλtとして、リード材
がプラグに固定されている点から音叉支持端までの距離
Ygがλtの20%以上80%以下であることを特徴と
する。
【0008】また、リード材により支持された音叉型振
動子ユニットにおいて、 b) リード材の長さ方向に垂直な音叉支持部振動変位
成分が最小となる音叉型振動子形状を持ち、 c) リード材の縦振動共振長をλlとして、リード材
がプラグに固定されている点から音叉支持端までの距離
Ygがλlの20%以上80%以下であることを特徴と
する。
動子ユニットにおいて、 b) リード材の長さ方向に垂直な音叉支持部振動変位
成分が最小となる音叉型振動子形状を持ち、 c) リード材の縦振動共振長をλlとして、リード材
がプラグに固定されている点から音叉支持端までの距離
Ygがλlの20%以上80%以下であることを特徴と
する。
【0009】また、a) リード材により支持された音
叉型振動子ユニットにおいて、 b) リード材の横振動共振長をλtとして、リード材
がプラグに固定されている点から音叉支持端までの距離
Ygがλtの20%以上80%以下であり、 c) リード材の縦振動共振長をλlとして、距離Yg
がλlの20%以上80%以下であることを特徴とす
る。
叉型振動子ユニットにおいて、 b) リード材の横振動共振長をλtとして、リード材
がプラグに固定されている点から音叉支持端までの距離
Ygがλtの20%以上80%以下であり、 c) リード材の縦振動共振長をλlとして、距離Yg
がλlの20%以上80%以下であることを特徴とす
る。
【0010】
【作用】本発明は以上の構成を有するので、音叉形状に
よりリード材長さ方向または垂直方向の振動変位を減少
させ、リード材の固定端から音叉支持端までの距離yg
により音叉基部に残っている垂直方向または長さ方向の
振動変位を減衰させるので振動エネルギーが外部に漏れ
ることがない。
よりリード材長さ方向または垂直方向の振動変位を減少
させ、リード材の固定端から音叉支持端までの距離yg
により音叉基部に残っている垂直方向または長さ方向の
振動変位を減衰させるので振動エネルギーが外部に漏れ
ることがない。
【0011】また、音叉基部振動のリード材の長さ方
向、垂直方向ともに減衰できるようにリードの固定端か
ら音叉支持端までの距離ygを設定できる場合には、リ
ード材の長さのみで振動もれをなくすことが可能であ
る。
向、垂直方向ともに減衰できるようにリードの固定端か
ら音叉支持端までの距離ygを設定できる場合には、リ
ード材の長さのみで振動もれをなくすことが可能であ
る。
【0012】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1は本発明の実施例を示す平面図である。1は
音叉型振動子で11、12は音叉腕、13は音叉基部で
ある。音叉型振動子1には実際は振動励振用の電極が配
置されるが、ここでは略している。音叉型振動子1は1
4、15の部分においてリード2、3に固定されてい
る。この音叉型振動子1の固定には通常半田または導電
性ペーストが用いられる。リード2、3はプラグ体4と
ハーメチックシールされている。点A、Cがリードのプ
ラグへの固定端、点B、Dが音叉支持端を示し、リード
固定端A、Cから音叉支持端B、Dまでの距離をYgと
する。また点A、Cから点B、Dへの方向をリード長さ
方向とする。リード2、3は丸棒であり、その直径をd
とする。
する。図1は本発明の実施例を示す平面図である。1は
音叉型振動子で11、12は音叉腕、13は音叉基部で
ある。音叉型振動子1には実際は振動励振用の電極が配
置されるが、ここでは略している。音叉型振動子1は1
4、15の部分においてリード2、3に固定されてい
る。この音叉型振動子1の固定には通常半田または導電
性ペーストが用いられる。リード2、3はプラグ体4と
ハーメチックシールされている。点A、Cがリードのプ
ラグへの固定端、点B、Dが音叉支持端を示し、リード
固定端A、Cから音叉支持端B、Dまでの距離をYgと
する。また点A、Cから点B、Dへの方向をリード長さ
方向とする。リード2、3は丸棒であり、その直径をd
とする。
【0013】音叉腕11、12の振動子の幅方向への屈
曲振動を利用する音叉型屈曲水晶振動子においては、リ
ード2、3に伝わる振動変位は主に振動子長さ方向(y
方向)と幅方向(x方向)と考えられている。とくに屈
曲の高次振動を利用した比較的高い周波数の音叉型振動
子ユニットを利用する場合、これらの振動変位量が大き
くなり大きな振動もれを引き起こすこととなる。
曲振動を利用する音叉型屈曲水晶振動子においては、リ
ード2、3に伝わる振動変位は主に振動子長さ方向(y
方向)と幅方向(x方向)と考えられている。とくに屈
曲の高次振動を利用した比較的高い周波数の音叉型振動
子ユニットを利用する場合、これらの振動変位量が大き
くなり大きな振動もれを引き起こすこととなる。
【0014】図3に示した従来の音叉型振動子のマウン
ト方法では全ての振動変位成分がゼロとなる点で振動子
を支持することが可能であるが、耐衝撃性を確保するた
めに14、15に示されるマウント部分を広くとる場合
には、全ての振動変位成分を同時にゼロとするマウント
位置は存在しない。
ト方法では全ての振動変位成分がゼロとなる点で振動子
を支持することが可能であるが、耐衝撃性を確保するた
めに14、15に示されるマウント部分を広くとる場合
には、全ての振動変位成分を同時にゼロとするマウント
位置は存在しない。
【0015】しかし、リードの長さ方向の振動変位成分
だけならば、振動子の形状によりその振動変位成分をゼ
ロとすることが可能である。図4に音叉基部13の長さ
を変化させた時のリード固定端A、Cでの音叉振動子長
さ方向(y方向)と幅方向(x方向)の振動変位量の変
化を示した。音叉基部長によりリード固定端での振動変
位が変化しており、y方向、x方向それぞれの変位量が
ゼロとなる基部長が存在することがわかる。振動子の基
部長をリード長さ方向の振動変位量がゼロとなるように
選べば、リードに伝わる振動はリードに垂直な成分のみ
となる。音叉の形状によっては振動子の厚さ方向(z方
向)の振動変位が加わることもあるが、z方向もリード
長さ方向から垂直であり、結局垂直成分しか残らない。
だけならば、振動子の形状によりその振動変位成分をゼ
ロとすることが可能である。図4に音叉基部13の長さ
を変化させた時のリード固定端A、Cでの音叉振動子長
さ方向(y方向)と幅方向(x方向)の振動変位量の変
化を示した。音叉基部長によりリード固定端での振動変
位が変化しており、y方向、x方向それぞれの変位量が
ゼロとなる基部長が存在することがわかる。振動子の基
部長をリード長さ方向の振動変位量がゼロとなるように
選べば、リードに伝わる振動はリードに垂直な成分のみ
となる。音叉の形状によっては振動子の厚さ方向(z方
向)の振動変位が加わることもあるが、z方向もリード
長さ方向から垂直であり、結局垂直成分しか残らない。
【0016】リードの長さ方向に垂直な成分の振動は、
リードの屈曲波を誘起する。リードの固定端A、Bと音
叉支持端C、D間の距離Ygが次式を満たす場合、屈曲
波は定在波となりリードは共振状態となる。
リードの屈曲波を誘起する。リードの固定端A、Bと音
叉支持端C、D間の距離Ygが次式を満たす場合、屈曲
波は定在波となりリードは共振状態となる。
【0017】
【数1】
【0018】ここでm=4.73、fは発振周波数、
E、I、ρ、Sはそれぞれリード材のヤング率、断面二
次モーメント、密度、断面積である。図1に示したよう
にリード材が直径dの丸棒の場合、式1は簡単に
E、I、ρ、Sはそれぞれリード材のヤング率、断面二
次モーメント、密度、断面積である。図1に示したよう
にリード材が直径dの丸棒の場合、式1は簡単に
【0019】
【数2】
【0020】で表せる。ここでvは縦振動の速度で
【0021】
【数3】
【0022】である。このように屈曲波が共振状態とな
るYgをλtとする。
るYgをλtとする。
【0023】Yg=0やYg=λtでは音叉基部の振動
は完全にケースをプラグを通して外部に漏れることにな
る。図5に音叉振動子ユニットのケースに接触した場合
の発振周波数の変化率のYg依存性を示した。Yg=0
の近傍では発振周波数が数十ppm変化しており、特に
周波数精度の必要な水晶振動子などでは実用に耐えな
い。しかしYgをλtの20%以上に選ぶならば周波数
変動をほとんどゼロに抑えることが可能である。またY
g=λtの場合もYg=0と同様に接触による周波数変
化率が最大となる。このためYgをλtからも20%離
して設定する必要がある。つまりYgをλtの20%以
上80%以下にする必要がある。さらにYgをλt/2
に設定できれば、Yg=0やYg=λtから最も離れて
いるので振動もれを完全に抑えることができる。しかも
リード材が音叉型振動子と接続される14、15の部分
の長さを自由に設定することが可能であるので耐衝撃性
や振動に対する強度を十分確保することができる。
は完全にケースをプラグを通して外部に漏れることにな
る。図5に音叉振動子ユニットのケースに接触した場合
の発振周波数の変化率のYg依存性を示した。Yg=0
の近傍では発振周波数が数十ppm変化しており、特に
周波数精度の必要な水晶振動子などでは実用に耐えな
い。しかしYgをλtの20%以上に選ぶならば周波数
変動をほとんどゼロに抑えることが可能である。またY
g=λtの場合もYg=0と同様に接触による周波数変
化率が最大となる。このためYgをλtからも20%離
して設定する必要がある。つまりYgをλtの20%以
上80%以下にする必要がある。さらにYgをλt/2
に設定できれば、Yg=0やYg=λtから最も離れて
いるので振動もれを完全に抑えることができる。しかも
リード材が音叉型振動子と接続される14、15の部分
の長さを自由に設定することが可能であるので耐衝撃性
や振動に対する強度を十分確保することができる。
【0024】以上の実施例では音叉の基部長設計でリー
ド長さ方向の振動を抑え、リード材のYgの設定でリー
ドの長さ方向に垂直な振動変位成分を外部に漏れないよ
うに考案したものであるが、反対に垂直方向の振動変位
がゼロとなるように音叉型振動子形状を設計し、リード
のYgでリード長さ方向の振動を外部へ伝えないように
することも可能である。リード長さ方向の振動変位はリ
ードの縦振動を誘起するので縦振動の共振長λlは次式
で与えられる。
ド長さ方向の振動を抑え、リード材のYgの設定でリー
ドの長さ方向に垂直な振動変位成分を外部に漏れないよ
うに考案したものであるが、反対に垂直方向の振動変位
がゼロとなるように音叉型振動子形状を設計し、リード
のYgでリード長さ方向の振動を外部へ伝えないように
することも可能である。リード長さ方向の振動変位はリ
ードの縦振動を誘起するので縦振動の共振長λlは次式
で与えられる。
【0025】
【数4】
【0026】この場合もYgをλlの20%以上80%
以下にすれば、縦振動の漏洩を抑えることが可能であ
る。
以下にすれば、縦振動の漏洩を抑えることが可能であ
る。
【0027】以上では屈曲振動を利用する音叉について
述べたがねじり等の他の振動を利用する音叉型振動子に
ついても同様に考えることができる。ねじり音叉振動子
の場合、基部での振動は主にx方向とz方向である。音
叉型振動子をエッチングなどで製造する場合の音叉形状
の非対称性を抑え、音叉基部の幅、長さなどの設定を適
切に行えば、リード長さ方向の振動変位をゼロとするこ
とが可能である。そこでYgをλtの20%から80%
の範囲とすれば、x、z方向の振動は外部に伝わらず振
動もれをなくすことが可能である。
述べたがねじり等の他の振動を利用する音叉型振動子に
ついても同様に考えることができる。ねじり音叉振動子
の場合、基部での振動は主にx方向とz方向である。音
叉型振動子をエッチングなどで製造する場合の音叉形状
の非対称性を抑え、音叉基部の幅、長さなどの設定を適
切に行えば、リード長さ方向の振動変位をゼロとするこ
とが可能である。そこでYgをλtの20%から80%
の範囲とすれば、x、z方向の振動は外部に伝わらず振
動もれをなくすことが可能である。
【0028】屈曲振動とねじれ振動の結合した振動を利
用する音叉型振動子も上記とまったく同様の議論が可能
である。
用する音叉型振動子も上記とまったく同様の議論が可能
である。
【0029】従来、φ2mm×6mm程度音叉型水晶振
動子ユニットに使われるリード材としては直径200μ
m程度のコバール丸棒が使用されている。音叉型水晶振
動子の発振周波数fをf=300kHz、コバールの縦
振動の速度vをv=4km/sとすると、λt=154
0μmと、λl=6670μmとなる。リード長さ方向
に垂直な振動変位を受ける場合利用可能なYgは308
μm≦Yg≦1232μm、リード長さ方向の振動では
1333μm≦Yg≦5333μmとなり両方を同時に
満たすYgは存在しない。従来音叉型水晶振動子は30
0kHz以下の周波数帯で利用されていたが、マイクロ
プロセッサ用クロック周波数の上昇により300kHz
〜1MHzの領域でも音叉型水晶振動子が利用されよう
としている。このように音叉の発振周波数が上昇する
と、リード長さ方向に対して垂直、平行の両方の振動変
位を外部に伝えないようにYgを設定することが可能で
ある。例えば600kHzの音叉型振動子の場合、垂直
方向は218μm≦Yg≦871μm、平行方向の振動
では667μm≦Yg≦2666μmとなり、Ygが6
67μm≦Yg≦871μmでは両方の条件を満足す
る。このYgを選べば音叉基部の振動変位量をあまり気
にせずに音叉形状を設定することが可能となる。ただし
あくまでも音叉基部の振動変位量が小さくなるように音
叉型振動子形状を設計することが望ましいことはいうま
でもない。
動子ユニットに使われるリード材としては直径200μ
m程度のコバール丸棒が使用されている。音叉型水晶振
動子の発振周波数fをf=300kHz、コバールの縦
振動の速度vをv=4km/sとすると、λt=154
0μmと、λl=6670μmとなる。リード長さ方向
に垂直な振動変位を受ける場合利用可能なYgは308
μm≦Yg≦1232μm、リード長さ方向の振動では
1333μm≦Yg≦5333μmとなり両方を同時に
満たすYgは存在しない。従来音叉型水晶振動子は30
0kHz以下の周波数帯で利用されていたが、マイクロ
プロセッサ用クロック周波数の上昇により300kHz
〜1MHzの領域でも音叉型水晶振動子が利用されよう
としている。このように音叉の発振周波数が上昇する
と、リード長さ方向に対して垂直、平行の両方の振動変
位を外部に伝えないようにYgを設定することが可能で
ある。例えば600kHzの音叉型振動子の場合、垂直
方向は218μm≦Yg≦871μm、平行方向の振動
では667μm≦Yg≦2666μmとなり、Ygが6
67μm≦Yg≦871μmでは両方の条件を満足す
る。このYgを選べば音叉基部の振動変位量をあまり気
にせずに音叉形状を設定することが可能となる。ただし
あくまでも音叉基部の振動変位量が小さくなるように音
叉型振動子形状を設計することが望ましいことはいうま
でもない。
【0030】以上の実施例ではリード材長さ方向と音叉
腕部の長さ方向とが平行の場合について述べたが、リー
ド方向は音叉腕部に対して任意の方向でかまわない。ま
たリード材の音叉との接続も音叉基部の片面に限らず音
叉の両面から挟み込む接続方法の場合でも同様に成り立
つ。リード材も丸棒に限らず角棒でも良い。
腕部の長さ方向とが平行の場合について述べたが、リー
ド方向は音叉腕部に対して任意の方向でかまわない。ま
たリード材の音叉との接続も音叉基部の片面に限らず音
叉の両面から挟み込む接続方法の場合でも同様に成り立
つ。リード材も丸棒に限らず角棒でも良い。
【0031】
【発明の効果】以上説明した本発明の音叉型振動子ユニ
ットは、音叉基部の振動変位のうちリード長さ方向に対
して垂直または平行方向の成分を音叉型振動子形状また
はリードYgの長さの簡単な設定により外部に漏らさな
いため、振動もれが小さく発振周波数が外部からの影響
を受けることがない。またリード材と音叉との接続部を
十分広くとれ、音叉型振動子の形状も単純であるため、
耐衝撃性、耐振動性などの機械的強度に優れ製造も容易
である。
ットは、音叉基部の振動変位のうちリード長さ方向に対
して垂直または平行方向の成分を音叉型振動子形状また
はリードYgの長さの簡単な設定により外部に漏らさな
いため、振動もれが小さく発振周波数が外部からの影響
を受けることがない。またリード材と音叉との接続部を
十分広くとれ、音叉型振動子の形状も単純であるため、
耐衝撃性、耐振動性などの機械的強度に優れ製造も容易
である。
【図1】本発明の音叉型振動子ユニットの模式図。
【図2】従来の音叉型振動子ユニットを示す平面図。
【図3】従来の音叉型振動子ユニットの他の例を示す斜
視図。
視図。
【図4】音叉型屈曲振動子の振動変位量と音叉基部長の
関係を表すグラフ。
関係を表すグラフ。
【図5】リード固定端から音叉支持端までの距離Ygと
ケース接触による発振周波数変化率の関係を表すグラ
フ。
ケース接触による発振周波数変化率の関係を表すグラ
フ。
1 音叉型振動子 2 リード材 3 リード材 4 プラグ Yg リード固定端から音叉支持端までの距離
Claims (3)
- 【請求項1】 a) リード材により支持された音叉型
振動子ユニットにおいて、 b) リード材の長さ方向の音叉支持部振動変位成分が
最小となる音叉型振動子形状を持ち、 c) リード材の横振動共振長をλtとして、リード材
がプラグに固定されている点から音叉支持端までの距離
Ygがλtの20%以上80%以下であることを特徴と
する音叉型振動子ユニット。 - 【請求項2】 a) リード材により支持された音叉型
振動子ユニットにおいて、 b) リード材の長さ方向に垂直な音叉支持部振動変位
成分が最小となる音叉型振動子形状を持ち、 c) リード材の縦振動共振長をλlとして、リード材
がプラグに固定されている点から音叉支持端までの距離
Ygがλlの20%以上80%以下であることを特徴と
する音叉型振動子ユニット。 - 【請求項3】 a) リード材により支持された音叉型
振動子ユニットにおいて、 b) リード材の横振動共振長をλtとして、リード材
がプラグに固定されている点から音叉支持端までの距離
Ygがλtの20%以上80%以下であり、 c) リード材の縦振動共振長をλlとして、距離Yg
がλlの20%以上80%以下であることを特徴とする
音叉型振動子ユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29561393A JPH07154189A (ja) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | 音叉型振動子ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29561393A JPH07154189A (ja) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | 音叉型振動子ユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07154189A true JPH07154189A (ja) | 1995-06-16 |
Family
ID=17822900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29561393A Pending JPH07154189A (ja) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | 音叉型振動子ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07154189A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010035221A (ja) * | 2000-12-25 | 2010-02-12 | Seiko Epson Corp | 振動子、発振器及び電子機器 |
-
1993
- 1993-11-25 JP JP29561393A patent/JPH07154189A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010035221A (ja) * | 2000-12-25 | 2010-02-12 | Seiko Epson Corp | 振動子、発振器及び電子機器 |
| JP2013165529A (ja) * | 2000-12-25 | 2013-08-22 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5772910B2 (ja) | 振動片、振動子、センサー及び電子部品 | |
| EP0130705B1 (en) | Beam structure for piezoelectric vibrating beam force or pressure sensors | |
| JP2002141770A (ja) | 小型振動子 | |
| JP4068370B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP2004007428A (ja) | 音叉型圧電振動片及びその製造方法、圧電デバイス | |
| JPH0352249B2 (ja) | ||
| US7246520B2 (en) | Transducer, electronic equipment, and method of adjusting frequency of transducer | |
| US7334473B2 (en) | Structures for supporting vibrators and devices for measuring physical quantities | |
| EP0294090B1 (en) | Longitudinal resonator | |
| CN1746622B (zh) | 用于支撑振动器的结构以及用于测量物理量的装置 | |
| WO2012127685A1 (ja) | 音叉型振動子 | |
| JPS63260310A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPH07154189A (ja) | 音叉型振動子ユニット | |
| KR20070103685A (ko) | 각속도 센서 | |
| WO2002031975A1 (fr) | Dispositif produisant des vibrations de torsion | |
| JPH0124368B2 (ja) | ||
| JP2592280B2 (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPS6324659Y2 (ja) | ||
| JPS5950128B2 (ja) | 縦振動子の支持構造 | |
| JP4597548B2 (ja) | 水晶振動子 | |
| JP4641107B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JPH0828639B2 (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPS5856405B2 (ja) | 水晶トランスデュサ | |
| JPS5944118A (ja) | 音叉型振動子 | |
| GB2075254A (en) | Mode coupled tuning fork type piezo-electric resonator |