JPH07155529A - ガス処理装置とそれの運転方法 - Google Patents
ガス処理装置とそれの運転方法Info
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- JPH07155529A JPH07155529A JP5301360A JP30136093A JPH07155529A JP H07155529 A JPH07155529 A JP H07155529A JP 5301360 A JP5301360 A JP 5301360A JP 30136093 A JP30136093 A JP 30136093A JP H07155529 A JPH07155529 A JP H07155529A
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- discharge
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 絶縁不良を招来することなく、しかも、メン
テナンスの煩雑化を招来することなく、線状放電極から
のダストの除去を行えるようにする。 【構成】 ガス処理流路１を形成する筒状放電極２とそ
れの軸芯上に位置する線状放電極３とからなる放電セル
４を設け、前記筒状放電極２と線状放電極３との間に、
コールドプラズマ状態を現出するストリーマーを発生す
るように放電開始電圧以上の直流電圧を、線状放電極３
をプラス極に、かつ、筒状放電極２をマイナス極にした
状態で印加する電源装置５を設け、その電源装置５を、
線状放電極３をプラス極に、かつ、筒状放電極２をマイ
ナス極にして前記直流電圧の印加を行うガス処理用放電
状態と、線状放電極３をマイナス極に、かつ、筒状放電
極２をプラス極にして前記直流電圧の印加を行う掃除用
放電状態とに切り換えるための切り換え手段を設ける。
テナンスの煩雑化を招来することなく、線状放電極から
のダストの除去を行えるようにする。 【構成】 ガス処理流路１を形成する筒状放電極２とそ
れの軸芯上に位置する線状放電極３とからなる放電セル
４を設け、前記筒状放電極２と線状放電極３との間に、
コールドプラズマ状態を現出するストリーマーを発生す
るように放電開始電圧以上の直流電圧を、線状放電極３
をプラス極に、かつ、筒状放電極２をマイナス極にした
状態で印加する電源装置５を設け、その電源装置５を、
線状放電極３をプラス極に、かつ、筒状放電極２をマイ
ナス極にして前記直流電圧の印加を行うガス処理用放電
状態と、線状放電極３をマイナス極に、かつ、筒状放電
極２をプラス極にして前記直流電圧の印加を行う掃除用
放電状態とに切り換えるための切り換え手段を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガス中のガス状有害物
質や悪臭物質などを処理するための装置で、詳しくは、
ガス処理流路を形成する筒状放電極とそれの軸芯上に位
置する線状放電極とからなる放電セルを設け、前記筒状
放電極と線状放電極との間に、コールドプラズマ状態を
現出するストリーマーを発生するように放電開始電圧以
上の直流電圧を、線状放電極をプラス極に、かつ、筒状
放電極をマイナス極にした状態で印加する電源装置を設
け、もって、処理対象ガスをストリーマーに接触させて
コールドプラズマ状態とすることにより、処理対象ガス
を活性化させて処理対象ガス中の有害物質や悪臭物質な
どを分解・合成処理するように構成してあるガス処理装
置と、それの運転方法に関する。
質や悪臭物質などを処理するための装置で、詳しくは、
ガス処理流路を形成する筒状放電極とそれの軸芯上に位
置する線状放電極とからなる放電セルを設け、前記筒状
放電極と線状放電極との間に、コールドプラズマ状態を
現出するストリーマーを発生するように放電開始電圧以
上の直流電圧を、線状放電極をプラス極に、かつ、筒状
放電極をマイナス極にした状態で印加する電源装置を設
け、もって、処理対象ガスをストリーマーに接触させて
コールドプラズマ状態とすることにより、処理対象ガス
を活性化させて処理対象ガス中の有害物質や悪臭物質な
どを分解・合成処理するように構成してあるガス処理装
置と、それの運転方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記ガス処理装置では、線状放電極をプ
ラス極に、かつ、筒状放電極をマイナス極にして、放電
を行うから、図６に示すように、線状放電極３をマイナ
ス極に、筒状放電極２をプラス極にして放電を行う場合
に比較して、放電セル４内の空間に発生するストリーマ
ーＳが長く伸び、しかも、放電セル４内の空間の断面積
においてストリーマーＳが占有する割合が多く、結果と
して、放電セル４内のガス処理流路１を通過する処理対
象ガスとストリーマーＳとの接触性が良くて、処理の効
率を高くできる。
ラス極に、かつ、筒状放電極をマイナス極にして、放電
を行うから、図６に示すように、線状放電極３をマイナ
ス極に、筒状放電極２をプラス極にして放電を行う場合
に比較して、放電セル４内の空間に発生するストリーマ
ーＳが長く伸び、しかも、放電セル４内の空間の断面積
においてストリーマーＳが占有する割合が多く、結果と
して、放電セル４内のガス処理流路１を通過する処理対
象ガスとストリーマーＳとの接触性が良くて、処理の効
率を高くできる。
【０００３】ところで、ガス処理装置では、電気集塵機
と同様に、処理対象ガス中のダストがマイナス極に帯電
し、そのマイナス極に帯電したダストがクーロンの法則
にしたがって電界の強さに応じた力でプラス極である放
電極に吸引されてそのプラス極の放電極の表面に堆積・
凝集する。そして、このように線状放電極の表面に堆積
・凝集したダストは、放電極間の電気抵抗として作用し
て、所期の放電を阻害する。そして、線状放電極をプラ
ス極にしてあるガス処理装置では、筒状放電極をプラス
極にしてあるガス処理装置に比較してプラス極の表面積
が小さいから、ダストの堆積・凝集による阻害が早期に
発生する。従って、線状放電極をプラス極としてあるガ
ス処理装置では、筒状放電極をプラス極にしてあるガス
処理装置に比較して、放電極に堆積・凝集したダストを
除去するためのメンテナンスを行う必要性が高い。
と同様に、処理対象ガス中のダストがマイナス極に帯電
し、そのマイナス極に帯電したダストがクーロンの法則
にしたがって電界の強さに応じた力でプラス極である放
電極に吸引されてそのプラス極の放電極の表面に堆積・
凝集する。そして、このように線状放電極の表面に堆積
・凝集したダストは、放電極間の電気抵抗として作用し
て、所期の放電を阻害する。そして、線状放電極をプラ
ス極にしてあるガス処理装置では、筒状放電極をプラス
極にしてあるガス処理装置に比較してプラス極の表面積
が小さいから、ダストの堆積・凝集による阻害が早期に
発生する。従って、線状放電極をプラス極としてあるガ
ス処理装置では、筒状放電極をプラス極にしてあるガス
処理装置に比較して、放電極に堆積・凝集したダストを
除去するためのメンテナンスを行う必要性が高い。
【０００４】そのようなメンテナンスを行うに従来で
は、電気集塵機のダスト除去技術を採用しようとしてい
た。
は、電気集塵機のダスト除去技術を採用しようとしてい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のように、電気集塵機のダスト除去技術を採用する場
合は、その電気集塵機のダスト除去技術が、ダストが堆
積・凝集した放電極（つまり、集塵極）をハンマーで打
撃することにより、放電極に振動を与えて、ダストを撃
ち落とす手段であったから、線状放電極はもちろん、そ
れの支持部など装置全体がダスト除去のために衝撃を受
けることになって、絶縁不良を発生し易く、しかも、ハ
ンマーやそれを作動させる機構など機械部品を所期の放
電を阻害しないように放電セル中に組み込むことが必要
で放電セルの構造が複雑となって、メンテナンスが煩雑
なものになる。
来のように、電気集塵機のダスト除去技術を採用する場
合は、その電気集塵機のダスト除去技術が、ダストが堆
積・凝集した放電極（つまり、集塵極）をハンマーで打
撃することにより、放電極に振動を与えて、ダストを撃
ち落とす手段であったから、線状放電極はもちろん、そ
れの支持部など装置全体がダスト除去のために衝撃を受
けることになって、絶縁不良を発生し易く、しかも、ハ
ンマーやそれを作動させる機構など機械部品を所期の放
電を阻害しないように放電セル中に組み込むことが必要
で放電セルの構造が複雑となって、メンテナンスが煩雑
なものになる。
【０００６】本発明の目的は、絶縁不良を招来すること
なく、しかも、メンテナンスの煩雑化を招来することな
く、線状放電極からのダストの除去を行えるようにする
点にある。
なく、しかも、メンテナンスの煩雑化を招来することな
く、線状放電極からのダストの除去を行えるようにする
点にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によるガス処理装
置の特徴は、前記電源装置を、線状放電極をプラス極
に、かつ、筒状放電極をマイナス極にして前記直流電圧
の印加を行うガス処理用放電状態と、線状放電極をマイ
ナス極に、かつ、筒状放電極をプラス極にして前記直流
電圧の印加を行う掃除用放電状態とに切り換えるための
切り換え手段を設けてある点にある。
置の特徴は、前記電源装置を、線状放電極をプラス極
に、かつ、筒状放電極をマイナス極にして前記直流電圧
の印加を行うガス処理用放電状態と、線状放電極をマイ
ナス極に、かつ、筒状放電極をプラス極にして前記直流
電圧の印加を行う掃除用放電状態とに切り換えるための
切り換え手段を設けてある点にある。
【０００８】本発明によるガス処理装置の運転方法は、
上記ガス処理装置の運転方法であって、その特徴は、ガ
ス処理時には電源装置をガス処理用放電状態に、かつ、
掃除時には電源装置を掃除用放電状態にそれぞれ切り換
える点にある。
上記ガス処理装置の運転方法であって、その特徴は、ガ
ス処理時には電源装置をガス処理用放電状態に、かつ、
掃除時には電源装置を掃除用放電状態にそれぞれ切り換
える点にある。
【０００９】
【作用】ガス処理時には、電源装置を処理用放電状態に
切り換えることにより、線状放電極をプラス極として効
率の良いガス処理を行え、他方、そのガス処理に伴って
線状放電極へのダストの堆積・凝集が進行することで所
期の放電による処理を効率良く行う上でダストの除去が
必要となった掃除時には、電源装置を掃除用放電状態に
切り換えることにより、線状放電極をマイナス極にし
て、ガス処理時にその線状放電極に堆積・凝集したマイ
ナス極のダストを電気的な反発力でその線状放電極から
離脱させてることができる。
切り換えることにより、線状放電極をプラス極として効
率の良いガス処理を行え、他方、そのガス処理に伴って
線状放電極へのダストの堆積・凝集が進行することで所
期の放電による処理を効率良く行う上でダストの除去が
必要となった掃除時には、電源装置を掃除用放電状態に
切り換えることにより、線状放電極をマイナス極にし
て、ガス処理時にその線状放電極に堆積・凝集したマイ
ナス極のダストを電気的な反発力でその線状放電極から
離脱させてることができる。
【００１０】
【発明の効果】以上、本発明によれば、放電極やそれを
支持する部材などガス処理装置の構成部材に衝撃を与え
ることなく、電気的に放電極に堆積・凝集したダストを
除去できることにより、ダスト除去のために構造の複雑
化を招来することがなくて、絶縁不良及びメンテナンス
の煩雑化を招来することなく、放電極に堆積・凝集した
ダストを除去でき、これによって、線状放電極及び筒状
放電極のうち線状放電極をプラス極にしての効率の良い
ガス処理を行うことができるガス処理装置とそれの運転
方法を提供できるようになった。
支持する部材などガス処理装置の構成部材に衝撃を与え
ることなく、電気的に放電極に堆積・凝集したダストを
除去できることにより、ダスト除去のために構造の複雑
化を招来することがなくて、絶縁不良及びメンテナンス
の煩雑化を招来することなく、放電極に堆積・凝集した
ダストを除去でき、これによって、線状放電極及び筒状
放電極のうち線状放電極をプラス極にしての効率の良い
ガス処理を行うことができるガス処理装置とそれの運転
方法を提供できるようになった。
【００１１】
【実施例】ガス処理装置は、図１及び図２に示すよう
に、軸芯方向の一端側から他端側に向かって処理対象ガ
スＧを流動させるガス処理流路１を形成する筒状放電極
２とそれの軸芯上に位置する線状放電極３とからなる放
電セル４を設け、前記筒状放電極２と線状放電極３との
間に、コールドプラズマ状態を現出するストリーマーを
発生するように放電開始電圧以上の直流電圧を印加する
電源装置５を設け、切り換え手段を設けて構成されてい
る。
に、軸芯方向の一端側から他端側に向かって処理対象ガ
スＧを流動させるガス処理流路１を形成する筒状放電極
２とそれの軸芯上に位置する線状放電極３とからなる放
電セル４を設け、前記筒状放電極２と線状放電極３との
間に、コールドプラズマ状態を現出するストリーマーを
発生するように放電開始電圧以上の直流電圧を印加する
電源装置５を設け、切り換え手段を設けて構成されてい
る。
【００１２】前記電源装置５は、一次側交流電圧ＡＣを
所定電圧に高める昇圧トランス６と、その高圧交流電圧
を直流化する整流器７と、直流化された電圧を充電する
コンデンサー８と、充電電圧を所定のパルス電圧に調整
する固定ギャップ火花スイッチ９とからなり、筒状放電
極２をマイナス極に、かつ、線状放電極３をプラス極に
して、アーク放電を発生させることのない短い維持時間
のストリーマーを筒状放電極２と線状放電極３との間に
間欠的に発生させるように、図３に示すような波形で、
立ち上がりが１００ｎｓ以下、パルス幅（半値幅）が数
百ｎｓ、パルス間隔が８．３〜１０ｍｓの短パルス電圧
を印加するものである。この電源装置５により短パルス
電圧が筒状放電極２と線状放電極３との間に印加される
毎、ストリーマーが発生するすることでコロナ放電が生
じて前記ストリーマー形成域Ａはコールドプラズマ状態
となり、その結果、コールドプラズマ状態のストリーマ
ー形成域Ａに位置する処理対象ガスＧは活性化する。
所定電圧に高める昇圧トランス６と、その高圧交流電圧
を直流化する整流器７と、直流化された電圧を充電する
コンデンサー８と、充電電圧を所定のパルス電圧に調整
する固定ギャップ火花スイッチ９とからなり、筒状放電
極２をマイナス極に、かつ、線状放電極３をプラス極に
して、アーク放電を発生させることのない短い維持時間
のストリーマーを筒状放電極２と線状放電極３との間に
間欠的に発生させるように、図３に示すような波形で、
立ち上がりが１００ｎｓ以下、パルス幅（半値幅）が数
百ｎｓ、パルス間隔が８．３〜１０ｍｓの短パルス電圧
を印加するものである。この電源装置５により短パルス
電圧が筒状放電極２と線状放電極３との間に印加される
毎、ストリーマーが発生するすることでコロナ放電が生
じて前記ストリーマー形成域Ａはコールドプラズマ状態
となり、その結果、コールドプラズマ状態のストリーマ
ー形成域Ａに位置する処理対象ガスＧは活性化する。
【００１３】そして、線状放電極３をプラス極に、筒状
放電極２をマイナス極にしたことにより、線状放電極３
をマイナス極に、筒状放電極２をプラス極にして放電を
行う場合（図６参照）に比較して、放電セル４内の空間
に発生するストリーマーが長く伸び、しかも、放電セル
４内の空間の断面積においてストリーマーが占有する割
合が多く、結果として、放電セル内のガス処理流路を通
過する処理対象ガスとストリーマーとの接触性が良く
て、処理の効率を高くできるのである。
放電極２をマイナス極にしたことにより、線状放電極３
をマイナス極に、筒状放電極２をプラス極にして放電を
行う場合（図６参照）に比較して、放電セル４内の空間
に発生するストリーマーが長く伸び、しかも、放電セル
４内の空間の断面積においてストリーマーが占有する割
合が多く、結果として、放電セル内のガス処理流路を通
過する処理対象ガスとストリーマーとの接触性が良く
て、処理の効率を高くできるのである。
【００１４】前記切り換え手段は、線状放電極３をプラ
ス極に、かつ、筒状放電極２をマイナス極にしてパルス
電圧の印加を行うガス処理用放電状態と、線状放電極３
をマイナス極に、かつ、筒状放電極２をプラス極にして
パルス電圧の印加を行う掃除用放電状態とに電源装置５
を切り換えるための手段であって、機械式スイッチ１０
利用の極性切り換え回路１１から構成されている。
ス極に、かつ、筒状放電極２をマイナス極にしてパルス
電圧の印加を行うガス処理用放電状態と、線状放電極３
をマイナス極に、かつ、筒状放電極２をプラス極にして
パルス電圧の印加を行う掃除用放電状態とに電源装置５
を切り換えるための手段であって、機械式スイッチ１０
利用の極性切り換え回路１１から構成されている。
【００１５】従って、このガス処理装置によれば、電源
装置５をガス処理用放電状態に切り換えることにより、
効率の良いガス処理を行え、しかも、処理対象ガスＧ中
にダストが含まれる場合、そのガス処理に伴いダストが
マイナスに帯電することで線状放電極３に吸引されてそ
の線状放電極３の表面に堆積・凝集することになるが、
そのように線状放電極３にダストが堆積・凝集した場合
には、電源装置５を掃除用放電状態に切り換えることに
より、線状放電極３をダストと同極のマイナス極として
電気的な反発力でダストを線状放電極３から除去できる
のである。
装置５をガス処理用放電状態に切り換えることにより、
効率の良いガス処理を行え、しかも、処理対象ガスＧ中
にダストが含まれる場合、そのガス処理に伴いダストが
マイナスに帯電することで線状放電極３に吸引されてそ
の線状放電極３の表面に堆積・凝集することになるが、
そのように線状放電極３にダストが堆積・凝集した場合
には、電源装置５を掃除用放電状態に切り換えることに
より、線状放電極３をダストと同極のマイナス極として
電気的な反発力でダストを線状放電極３から除去できる
のである。
【００１６】次に、上記ガス処理装置の運転方法の一例
を説明すると、ガス処理時には、電源装置５をガス処理
用放電状態に切り換え、そのガス処理に伴って線状放電
極３の表面にダストが堆積・凝集することで定期的、或
いは、任意に必要となる線状放電極３の掃除時には、電
源装置５を掃除用放電状態に切り換える。
を説明すると、ガス処理時には、電源装置５をガス処理
用放電状態に切り換え、そのガス処理に伴って線状放電
極３の表面にダストが堆積・凝集することで定期的、或
いは、任意に必要となる線状放電極３の掃除時には、電
源装置５を掃除用放電状態に切り換える。
【００１７】この運転方法によれば、ガス処理時には、
線状放電極３をプラス極にさせての効率の良いガス処理
を行え、しかも、定期的、或いは、任意の掃除時に線状
放電極３をマイナス極にさえてその線状放電極３に堆積
・付着したダストを除去して、効率の良いガス処理状態
を維持できるのである。
線状放電極３をプラス極にさせての効率の良いガス処理
を行え、しかも、定期的、或いは、任意の掃除時に線状
放電極３をマイナス極にさえてその線状放電極３に堆積
・付着したダストを除去して、効率の良いガス処理状態
を維持できるのである。
【００１８】本発明者が行った実験を説明する。 〈実験の目的〉線状放電極３をプラス極にした場合とマ
イナス極にした場合とで処理の効率が異なること確認す
る。 〈実験方法〉電源装置５として、１００Ｖ、６０ＨZ の
一次側交流電圧を昇圧トランスにより２８ｋＶに高め、
整流器７で直流化し、コンデンサー８に充電して所定の
パルス電圧になるように固定ギャップ火花スイッチ９を
調整したものを用意し、放電セル４として、次の２種を
用意した。放電セル４の一つは、長さＬが６００ｍｍ、
内径ｄが２３ｍｍのステンレススチール製筒状放電極２
と、その軸芯上に配置する直径が０．５ｍｍのニクロム
線製の線状放電極３とを有するものであり、他の一つ
は、長さＬが６００ｍｍ、内径ｄが２８．４ｍｍのステ
ンレススチール製の筒状放電極２と、その軸芯上に配置
する直径が０．５ｍｍのニクロム線製の線状放電極３と
を有するものである。そして、これら２種の放電セル４
の筒状放電極２と線状放電極３との間に、プラスまたは
マイナスの極性のピーク電圧２０〜２３ｋＶ、パルス周
波数１２０Ｈ Z のパルス電圧を印加しながら、ゴミ焼却
炉からの１５０℃の実排ガスを放電セル４内に流して、
放電セル４の出入口でガスをサンプリングし、各サンプ
リングガス中のダイオキシンの分析を行って除去率を求
めた。 〈実験結果〉結果を図４に示す。プロットのうち丸印が
長さ２３ｍｍの筒状放電極３を有する放電セル４を示
し、角印が長さ２８．４ｍｍの筒状放電極３を有する放
電セル４を示し、塗りつぶしが線状放電極３をプラス極
にした場合を、白抜きが線状放電極３をマイナス極にし
た場合をそれぞれ示す。この図４から明らかなように、
線状放電極３をプラス極にした場合の方が除去率が高い
ことが判る。
イナス極にした場合とで処理の効率が異なること確認す
る。 〈実験方法〉電源装置５として、１００Ｖ、６０ＨZ の
一次側交流電圧を昇圧トランスにより２８ｋＶに高め、
整流器７で直流化し、コンデンサー８に充電して所定の
パルス電圧になるように固定ギャップ火花スイッチ９を
調整したものを用意し、放電セル４として、次の２種を
用意した。放電セル４の一つは、長さＬが６００ｍｍ、
内径ｄが２３ｍｍのステンレススチール製筒状放電極２
と、その軸芯上に配置する直径が０．５ｍｍのニクロム
線製の線状放電極３とを有するものであり、他の一つ
は、長さＬが６００ｍｍ、内径ｄが２８．４ｍｍのステ
ンレススチール製の筒状放電極２と、その軸芯上に配置
する直径が０．５ｍｍのニクロム線製の線状放電極３と
を有するものである。そして、これら２種の放電セル４
の筒状放電極２と線状放電極３との間に、プラスまたは
マイナスの極性のピーク電圧２０〜２３ｋＶ、パルス周
波数１２０Ｈ Z のパルス電圧を印加しながら、ゴミ焼却
炉からの１５０℃の実排ガスを放電セル４内に流して、
放電セル４の出入口でガスをサンプリングし、各サンプ
リングガス中のダイオキシンの分析を行って除去率を求
めた。 〈実験結果〉結果を図４に示す。プロットのうち丸印が
長さ２３ｍｍの筒状放電極３を有する放電セル４を示
し、角印が長さ２８．４ｍｍの筒状放電極３を有する放
電セル４を示し、塗りつぶしが線状放電極３をプラス極
にした場合を、白抜きが線状放電極３をマイナス極にし
た場合をそれぞれ示す。この図４から明らかなように、
線状放電極３をプラス極にした場合の方が除去率が高い
ことが判る。
【００１９】〔別実施例〕上記実施例では、切り換え手
段として、機械式スイッチ１０を有する極性切り換え回
路１１を示したが、切り換え手段は、図５に示すよう
に、トランジスタとダイオードＤとを利用した、つま
り、半導体を利用した極性切り換え回路１２から構成し
ても良い。詳述すると、トランジスタＴｒ1 及びトラン
ジスタＴｒ4 がオフで、トランジスタＴｒ2 及びトラン
ジスタＴｒ3 がオンの状態で線状放電極３をプラス極に
させ、トランジスタＴｒ1 及びトランジスタＴｒ4 がオ
ンで、トランジスタＴｒ2 及びトランジスタＴｒ3 がオ
フの状態で線状放電極３をマイナス極にさせるように構
成されている。
段として、機械式スイッチ１０を有する極性切り換え回
路１１を示したが、切り換え手段は、図５に示すよう
に、トランジスタとダイオードＤとを利用した、つま
り、半導体を利用した極性切り換え回路１２から構成し
ても良い。詳述すると、トランジスタＴｒ1 及びトラン
ジスタＴｒ4 がオフで、トランジスタＴｒ2 及びトラン
ジスタＴｒ3 がオンの状態で線状放電極３をプラス極に
させ、トランジスタＴｒ1 及びトランジスタＴｒ4 がオ
ンで、トランジスタＴｒ2 及びトランジスタＴｒ3 がオ
フの状態で線状放電極３をマイナス極にさせるように構
成されている。
【００２０】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構成に限定されるものではない。
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構成に限定されるものではない。
【図１】実施例を示す電気回路図
【図２】実施例を示す放電セルの概略横断面図
【図３】実施例を示す印加電圧の波形図
【図４】実験結果を示すグラフ
【図５】別実施例を示す切り換え手段の電気回路図
【図６】比較放電セルを示す概略横断面図
１ ガス処理流路 ２ 筒状放電極 ３ 線状放電極 ４ 放電セル ５ 電源装置
Claims (2)
- 【請求項１】 ガス処理流路（１）を形成する筒状放電
極（２）とそれの軸芯上に位置する線状放電極（３）と
からなる放電セル（４）を設け、前記筒状放電極（２）
と線状放電極（３）との間に、コールドプラズマ状態を
現出するストリーマーを発生するように放電開始電圧以
上の直流電圧を、線状放電極（３）をプラス極に、か
つ、筒状放電極（２）をマイナス極にした状態で印加す
る電源装置（５）を設けてあるガス処理装置であって、
前記電源装置（５）を、線状放電極（３）をプラス極
に、かつ、筒状放電極（２）をマイナス極にして前記直
流電圧の印加を行うガス処理用放電状態と、線状放電極
（３）をマイナス極に、かつ、筒状放電極（２）をプラ
ス極にして前記直流電圧の印加を行う掃除用放電状態と
に切り換えるための切り換え手段を設けてあるガス処理
装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のガス処理装置の運転方法
であって、ガス処理時には電源装置（５）をガス処理用
放電状態に、かつ、掃除時には電源装置（５）を掃除用
放電状態にそれぞれ切り換えるガス処理装置の運転方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5301360A JPH07155529A (ja) | 1993-12-01 | 1993-12-01 | ガス処理装置とそれの運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5301360A JPH07155529A (ja) | 1993-12-01 | 1993-12-01 | ガス処理装置とそれの運転方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07155529A true JPH07155529A (ja) | 1995-06-20 |
Family
ID=17895936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5301360A Pending JPH07155529A (ja) | 1993-12-01 | 1993-12-01 | ガス処理装置とそれの運転方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07155529A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004527077A (ja) * | 2001-03-27 | 2004-09-02 | アピト コープ．エス．アー． | プラズマ表面処理方法およびその方法を実現する装置 |
| JP2013511816A (ja) * | 2009-11-24 | 2013-04-04 | エージーシー グラス ユーロップ | Ｄｂｄ電極を分極するための方法及び装置 |
-
1993
- 1993-12-01 JP JP5301360A patent/JPH07155529A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004527077A (ja) * | 2001-03-27 | 2004-09-02 | アピト コープ．エス．アー． | プラズマ表面処理方法およびその方法を実現する装置 |
| JP2013511816A (ja) * | 2009-11-24 | 2013-04-04 | エージーシー グラス ユーロップ | Ｄｂｄ電極を分極するための方法及び装置 |
| US9401265B2 (en) | 2009-11-24 | 2016-07-26 | Agc Glass Europe | Method and device for polarizing a DBD electrode |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040318 |