JPH07156157A - 樹脂成形金型のクリーニング方法及びクリーニング装置 - Google Patents

樹脂成形金型のクリーニング方法及びクリーニング装置

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JPH07156157A
JPH07156157A JP30948993A JP30948993A JPH07156157A JP H07156157 A JPH07156157 A JP H07156157A JP 30948993 A JP30948993 A JP 30948993A JP 30948993 A JP30948993 A JP 30948993A JP H07156157 A JPH07156157 A JP H07156157A
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JP
Japan
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molding surface
mold
brush
resin
rotating
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JP30948993A
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English (en)
Inventor
Hiroyuki Sakuranaka
博幸 櫻中
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Fujitsu Miyagi Electronics Ltd
Original Assignee
Fujitsu Miyagi Electronics Ltd
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/70Maintenance
    • B29C33/72Cleaning
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/1753Cleaning or purging, e.g. of the injection unit

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は樹脂成形金型のクリーニング方法に
関し、クリーニングの確実化を実現することを目的とす
る。 【構成】 回転軸59-1が上下の金型43,42の成形
面43a,42aに対して垂直であり、回転軸59-1
上下に回転ブラシ56-1,57-1を備えた金型クリーナ
40を使用する。回転ブラシ56-1,57-1を成形面4
3a,42aに接触させ、回転させた状態で、X1 ,X
2 方向に移動させて、回転ブラシ56-1,57-1の各点
が成形面43a,42a上に渦状の軌跡を描くようにし
て、クリーニングを行うよう構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は樹脂成形金型のクリーニ
ング方法に係り、特にICの樹脂パッケージを成形する
金型をブラッシングしてクリーニングする方法に関す
る。
【0002】樹脂成形金型内に樹脂カス等の異物が付着
したままであると、異物が成形した樹脂パッケージ内に
混入する異物混入不良、樹脂パッケージに打痕がつく打
痕不良等が発生する。
【0003】このため、樹脂成形を完了した都度、ブラ
シを使用したブラッシングによって、金型をクリーニン
グしている。
【0004】このクリーニングは、異物をより確実に取
り除くことが出来る方法であることが望ましい。
【0005】
【従来の技術】従来は、図9に示すように、周囲にブラ
シ10,中央に吸引口11を有する金型クリーナ12を
使用し、これを、下金型13と上金型14との間を、矢
印15で示すように往復移動させて、金型13,14を
クリーニングしていた。
【0006】また、従来は、図10,図11に示すよう
に、回転するローラ状ブラシ20,21,高圧空気吹出
ノズル22,23,及び吸引口24を有する金型クリー
ナ25を使用し、ローラ状ブラシ20,21を矢印で示
すように回転させ、ノズル22,23より高圧空気を吹
き出し、吸引口24より吸引しつつ、これを、下金型1
3と上金型14との間を、矢印26で示すように往復移
動させて、金型13,14をクリーニングしていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】図9に示すクリーニン
グ方法では、ブラシ10が固定であり、ブラッシングの
方向が一方向に限られている。
【0008】このため、金型13,14の複雑な形状の
キャビティ内に付着している樹脂カスを完全に取り除く
ことは困難であった。
【0009】図10,11に示す方法では、ローラ状ブ
ラシ20と上金型14との接触及びローラ状ブラシ21
と下金型13との接触は共に線接触であるため、上金型
14及び下金型13の各部分は、ローラ状ブラシ20,
21が通りすぎる一瞬しかブラッシングされない。
【0010】このため、ローラ状ブラシ20,21は回
転しているけれども、金型13,14の複雑な形状を有
するキャビティ内に付着している樹脂カスを完全に取り
除くことは困難であった。
【0011】そこで、本発明は、上記課題を解決した樹
脂成形金型のクリーニング方法を提供することを目的と
する。
【0012】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、回転
軸が樹脂成形金型の成形面に対して垂直とされた回転ブ
ラシを使用し、該回転ブラシを上記成形面に接触させ、
回転させつつ、上記金型に沿って移動させる構成とした
ものである。
【0013】請求項2の発明は、回転軸が樹脂成形金型
の成形面に対して垂直とされた回転ブラシを使用し、該
回転ブラシを上記成形面に接触させ、回転させつつ、上
記金型に沿って往路と復路とを異ならしめて移動させる
構成としたものである。
【0014】請求項3の発明は、回転軸が樹脂成形金型
の成形面に対して垂直とされた回転ブラシと、該回転ブ
ラシを上記成形面に接触させ、回転させつつ、上記金型
に沿って移動させる手段とよりなる構成としたものであ
る。
【0015】請求項4の発明は、回転軸が樹脂成形金型
の成形面に対して垂直とされた回転ブラシと、該回転ブ
ラシを上記成形面に接触させ、回転させつつ、上記金型
に沿って往路と復路とを異ならしめて移動させる手段と
よりなる構成としたものである。
【0016】
【作用】請求項1の回転軸が樹脂成形金型の成形面に対
して垂直とされた回転ブラシを使用し、該回転ブラシを
上記成形面に接触させ、回転させつつ、上記金型に沿っ
て移動させる構成は、回転ブラシの各点の成形面上の軌
跡が平面螺旋状となるように作用する。
【0017】請求項2の回転軸が樹脂成形金型の成形面
に対して垂直とされた回転ブラシを使用し、該回転ブラ
シを上記成形面に接触させ、回転させつつ、上記金型に
沿って往路と復路とを異ならしめて移動させる構成は、
回転ブラシの各点の成形面上の軌跡が平面螺旋状となる
ように作用し、且つ平面螺旋状の軌跡が往路と復路とで
ずれて形成されるように作用する。
【0018】請求項3の回転軸が樹脂成形金型の成形面
に対して垂直とされた回転ブラシを上記成形面に接触さ
せ、回転させつつ、上記金型に沿って移動させる手段を
有する構成は、回転ブラシの各点の成形面上の軌跡が平
面螺旋状となるように作用する。
【0019】請求項4の回転軸が樹脂成形金型の成形面
に対して垂直とされた回転ブラシをを上記成形面に接触
させ、回転させつつ、上記金型に沿って往路と復路とを
異ならしめて移動させる手段を有する構成は、回転ブラ
シの各点の成形面上の軌跡が平面螺旋状となるように作
用し、且つ平面螺旋状の軌跡が往路と復路とでずれて形
成されるように作用する。
【0020】
【実施例】図1及び図2は本発明の一実施例になる樹脂
成形金型のクリーニング方法を示す。
【0021】説明の便宜上、まず金型のクリーニングに
使用する金型クリーニングについて説明する。
【0022】図3は金型クリーナ40を示す。
【0023】金型クリーナ40は、図4に示すように、
モールド樹脂封止装置41内に組込まれており、下金型
42及び上金型43の成形面43a,43bをクリーニ
ングする。
【0024】下金型42の成形面42aには、図2に示
すように、キャビティ45,ゲート46,及びエアベン
ト47等が形成してある。
【0025】上金型43の成形面43aにも、キャビテ
ィ(図示せず)等が形成してある。
【0026】樹脂封止装置41内には、吸引装置44が
備えてある。
【0027】金型クリーナ40は、図3に示すように、
装置41の一部にねじ止めされた基台50と、基台50
上に支持されており、第1のスライド駆動機構51によ
り、基台50に対してX1 ,X2 方向に移動される第1
の枠体52上に支持されており、第2のスライド駆動機
構53により、第1の枠体51に対してY1 ,Y2 方向
に移動される第2の枠体54と、第2の枠体54の端に
固定してあるクリーナヘッド55とを有する。
【0028】第1のスライド駆動機構51は、クリーナ
ヘッド55をX1 ,X2 方向に、ストロークS1 (図2
参照)移動させる。ストロークS1 は、下金型42の長
さ寸法L1 に略対応する長さである。
【0029】第2のスライド駆動機構52は、クリーナ
ヘッド55を、Y1 ,Y2 方向に、ストロークS2 (図
2参照)移動させる。ストロークS2 は、後述する回転
ブラシの直径Dの約1/4程度の長さである。
【0030】クリーナヘッド55は、図5に併せて示す
ように、上側に密接して一列に並んだ4つの回転ブラシ
56-1〜56-4を有し、下側にも、同じく、密接して一
列に並んだ4つの回転ブラシ57-1〜57-4を有し、下
金型42の幅寸法W1 に略対応する長さを有する。
【0031】矩形枠状のケース58に、回転軸59-1
59-4が、夫々上下側を軸受60,61(図1参照)に
より軸承されて、垂直の向きで並んで設けてある。
【0032】各回転軸59-1〜59-4には、同一径のギ
ヤ62-1〜62-4が固定してある。隣り合うギヤ62-1
〜62-4は、噛み合っている。
【0033】回転軸59-2には、プーリ63が固定して
ある。
【0034】回転ブラシ56-1〜56-4は、夫々回転軸
59-1〜59-4の上端に固定してある。
【0035】回転ブラシ57-1〜57-4は、夫々回転軸
59-1〜59-4の下端に固定してある。
【0036】また、ケース58の一方の側面に、略矩形
板状のノズルブロック64が固定してある。
【0037】ノズルブロック64は、上面に、複数のノ
ズル65を有し、且つ下面に、複数のノズル66を有す
る。
【0038】また、ケース58の他方の側面に、ケース
58及びノズルブロック64を取り囲む長円形状の囲み
体67が取り付けてある。
【0039】囲み体67の上側には、帯状のゴム板が長
円形状をなしており、回転ブラシ56-1〜56-4を取り
囲む囲み部68が設けてある。
【0040】囲み体67の下側にも、同じく囲み部69
が設けてあり、回転ブラシ57-1〜57-4を取り囲んで
いる。
【0041】回転ブラシ56-1〜56-4,57-1〜57
-4は、図6に示すように、球状毛先部70aを有する毛
70と、針状毛先部71aを有する毛71とが混合して
植毛された構成である。
【0042】毛70,71は、PEEK(Poly Ether E
ther Ketone )繊維製である。PEEKはスーパエンプ
ラの一種であり、融点が334℃と高く耐熱性に優れ、
難熱性であり、耐薬品性が良く、強靱であり、成形性も
良い。
【0043】図2,図3,図4に示すように、第2の枠
体54にモータ75が取り付けてある。
【0044】モータ75のモータ軸に固定してあるプー
リ76と、前記の回転軸59-2に固定してあるプーリ6
3との間に、ベルト77が掛け渡してある。
【0045】また、第2の枠体54には、配管80が取
り付けてある。
【0046】配管80の一端は、クリーナヘッド55の
内部にまで到ってあり、図1に示すようにノズルブロッ
ク64と接続されている。配管80の他端は、高圧空気
源81と接続してある。
【0047】第2の枠体54には、吸引ダクト82が設
けてある。
【0048】吸引ダクト82の一端側は、クリーナヘッ
ド55の内部にまで到っており、吸引口82a,82b
がクリーナヘッド55内に位置している。
【0049】吸引ダクト82の他端は、前記の吸引装置
44と接続してある。
【0050】次に、上記構成の金型クリーナ40を使用
して、樹脂成形の都度行う金型のクリーニングについて
説明する。
【0051】金型のクリーニングは、樹脂成形が終了し
た後、図1,図2,図4に示すように、上下の金型4
2,43が離された状態で、 モータ75を駆動させ、 第1のスライド駆動機構51及び第2のスライド駆
動機構53をシーケンス的に動作させ、 高圧空気を送り込み、 吸引装置44を動作させて行われる。
【0052】モータ75が駆動されると、回転軸59-2
がベルト駆動され、反時計方向に回転する。回転軸59
-2の回転はギヤ62-1〜62-4を介して、回転軸5
-1,59-3,59-4に伝達され、夫々が回転する。
【0053】これにより、回転ブラシ56-2,57-2
56-4,57-4が矢印90で示すように反時計方向に回
転し、回転ブラシ56-1,57-1,56-3,57-3が矢
印91で示すように時計方向に回転する。
【0054】回転ブラシ56-1〜56-4,57-1〜57
-4は、隣り合うものが逆方向に回転するように回転す
る。
【0055】第1,第2のスライド駆動機構51,53
がシーケンス的に動作し、クリーナヘッド55は、その
中心92が符号93で示す軌跡93に沿って移動するよ
うにボックス運動する。即ち、クリーナヘッド55は、
以下に述べる4つの移動 (i) 位置P1 からX1 方向にP2 に到るまでの縦移動
(進行) (ii) 位置P2 からY1 方向にP3 までの横移動 (ii) 位置P3 からX2 方向にP4 に到るまでの縦移動
(後退) (iv) 位置P4 からY2 方向に元のP1 に到るまでの横
移動 を複数回繰り返す。
【0056】このとき、回転ブラシ57-1〜57-4は図
1に示すように、下金型42の成形面42aに面接触
し、回転して、成形面42aをブラッシングしながら移
動する。
【0057】回転ブラシ57-1の各点に注目してみる
と、上記(i) の前進方向の縦移動(往路)のときは、符
号94-1で示す平面螺旋状の軌跡を描く。上記(iii) の
後退方向の縦移動(復路)のときには、符号95-1で示
す平面螺旋状の軌跡を描く。
【0058】他の回転ブラシ57-2,57-3,57-4
各点も、上記と同じく、平面螺旋状の軌跡94-2〜94
-4,95-2〜95-4を描く。
【0059】平面螺旋状の軌跡95-1〜95-4は、平面
螺旋状の軌跡94-1〜94-4に対してずれている。
【0060】上記のように、第1には、各回転ブラシ5
-1〜57-4が面接触しつつ、平面螺旋状の軌跡を描く
ようにブラッシングすることにより、下金型42の成形
面42aはムラなくブラッシングされる。
【0061】しかも、前進時の平面螺旋状の軌跡94-1
〜94-4と後退時の平面螺旋状の軌跡95-1〜95-4
がストロークS2 に相当する距離ずれているため、前進
のときにブラッシングの移動が少なくなり易い、隣り合
う回転ブラシの間の部分についても、後退のときに確実
にブラッシングされ、下金型42の成形面42aは一層
ムラなくブラッシングされる。
【0062】これによって、キャビティ45,ゲート4
6,エアベント47に付着している樹脂カスが確実にか
き出される。
【0063】また、各回転ブラシ57-1〜57-4の毛
が、図7に示すように、二種類であるため、樹脂カスは
より確実にかき出される。
【0064】即ち、毛70の球状毛先部70aは、毛7
0がたわんだ状態でも金型に対して常に点で接触するた
め、樹脂カスの除去能力が大きい。毛71の針状毛先部
71aは、キャビティ等の細かい溝の奥部まで入り込
み、ここに付着している樹脂カスを効率良くかき出す。
【0065】これにより、キャビティ45,ゲート4
6,エアベント47に付着している樹脂カスは一層確実
にかき出されて除去される。
【0066】また、上側の回転ブラシ56-1〜56
-4も、上記と同様に上金型43の成形面43aを、平面
螺旋状軌跡を描きつつ、ムラなくブラッシングし、付着
している樹脂カスが除去される。
【0067】また、図1中、符号100で示すように、
上方のノズル65から高圧空気が成形面43aに吹き付
けられ、また符号101で示すように、下方のノズル6
6から高圧空気が成形面42aに吹き付けられ、上記除
去された樹脂カスが吹き飛ばされて、舞い上がる。
【0068】ここで、ゴム板製の囲み部68が上金型4
3に接触してあり、囲み部69が下金型42に接触して
いるため、樹脂カスはクリーナヘッド55の外には飛散
しない。
【0069】舞い上がった樹脂カスは、吸引口82a,
82bより吸引ダクト82内に吸い込まれて、クリーナ
ヘッド55の外に運び出されて集められる。
【0070】これにより、金型42,43の成形面42
a,43aは良好にクリーニングされる。
【0071】この結果、ICの樹脂パッケージについ
て、異物混入不良、打痕不良等が発生することを確実に
防止し得る。
【0072】次に、上記の金型クリーナ40の変形例に
ついて説明する。
【0073】 図3及び図4中のギヤ62-1〜62-4
の代わりに、このギヤより小径のプーリを設け、このプ
ーリに両面歯付ベルトを互いに違いにかけ渡した構成と
してもよい。
【0074】 回転ブラシ56-1〜56-4.57-1
57-4を、図8に示すように、球状毛先部70aを有す
る毛70だけを植毛した構成又は、図9に示すように針
状毛先部71aを有する毛71だけを植毛した構成とし
てもよい。
【0075】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
よれば、回転ブラシの各点が成形面上を平面螺旋を描く
ように移動するため、成形面をムラなくブラッシングす
ることが出来、よって、成形面を良好にクリーニングす
ることが出来る。
【0076】請求項2の発明によれば、回転ブラシの各
点が成形面上を平面螺旋を描くように移動し、且つ往路
と復路とでは異なる場所をブラッシングするため、成形
面を更にムラなくブラッシングすることが出来、よっ
て、成形面を一層良好にクリーニングすることが出来
る。
【0077】請求項3の発明によれば、回転ブラシの各
点が成形面上を平面螺旋を描くように移動するため、成
形面をムラなくブラッシングすることが出来、よって、
成形面を良好にクリーニングすることが出来る。
【0078】請求項4の発明によれば、回転ブラシの各
点が成形面上を平面螺旋を描くように移動し、且つ往路
と復路とでは異なる場所をブラッシングするため、成形
面を更にムラなくブラッシングすることが出来、よっ
て、成形面を一層良好にクリーニングすることが出来
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例になる樹脂成形金型のクリー
ニング方法を説明する立面図である。
【図2】本発明の一実施例になる樹脂成形金型のクリー
ニング方法を説明する平面図である。
【図3】本発明のクリーニング方法に使用する金型クリ
ーナを示す図である。
【図4】図3の金型クリーナがモールド樹脂封止装置に
組込まれている状態を示す図である。
【図5】クリーナヘッドを示す図である。
【図6】回転ブラシの毛の構造を示す図である。
【図7】回転ブラシの毛の構造の第1の変形例を示す図
である。
【図8】回転ブラシの毛の構造の第2の変形例を示す図
である。
【図9】従来の樹脂成形金型のクリーニング方法の1例
を示す図である。
【図10】従来の樹脂成形金型のクリーニング方法の別
の例を示す図である。
【図11】図10のクリーニング方法を説明する図であ
る。
【符号の説明】
40 金型クリーナ 41 モールド樹脂封止装置 42 下金型 42a,43a 成形面 43 上金型 45 キャビティ 46 ゲート 47 エアベント 50 基台 51 第1のスライド駆動機構 52 第1の枠体 53 第2のスライド駆動機構 54 第2の枠体 55 クリーナヘッド 56-1〜56-4,57-1〜57-4 回転ブラシ 58 矩形枠状のケース 59-1〜59-4 回転軸 60,61 軸受 62-1〜62-4 ギヤ 63,76 プーリ 64 ノズルブロック 65,66 ノズル 67 囲み体 68,69 囲み部 70,71 毛 70a 球状毛先部 71a 針状毛先部 75 モータ 77 ベルト 80 配管 81 高圧空気溝 82 吸引ダクト 82a,82b 吸引口 90,91 回転ブラシの回転方向を示す矢印 92 中心 93 軌跡 94-1〜94-4,95-1〜95-4 平面螺旋状の軌跡 100,101 吹き出した高圧空気

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転軸(59-1)が樹脂成形金型(4
    2)の成形面(42a)に対して垂直とされた回転ブラ
    シ(57-1)を使用し、該回転ブラシを上記成形面に接
    触させ、回転させつつ、上記金型に沿って移動させる構
    成としたことを特徴とする樹脂成形金型のクリーニング
    方法。
  2. 【請求項2】 回転軸(59-1)が樹脂成形金型(4
    2)の成形面(42a)に対して垂直とされた回転ブラ
    シ(57-1)を使用し、該回転ブラシを上記成形面に接
    触させ、回転させつつ、上記金型に沿って往路と復路と
    を異ならしめて移動させる構成としたことを特徴とする
    樹脂成形金型のクリーニング方法。
  3. 【請求項3】 回転軸(59-1)が樹脂成形金型(4
    2)の成形面(42a)に対して垂直とされた回転ブラ
    シ(57-1)と、該回転ブラシを上記成形面に接触さ
    せ、回転させつつ、上記金型に沿って移動させる手段と
    よりなる構成としたことを特徴とする樹脂成形金型のク
    リーニング装置。
  4. 【請求項4】 回転軸(59-1)が樹脂成形金型(4
    2)の成形面(42a)に対して垂直とされた回転ブラ
    シ(57-1)と、該回転ブラシを上記成形面に接触さ
    せ、回転させつつ、上記金型に沿って往路と復路とを異
    ならしめて移動させる手段とよりなる構成としたことを
    特徴とする樹脂成形金型のクリーニング装置。
JP30948993A 1993-12-09 1993-12-09 樹脂成形金型のクリーニング方法及びクリーニング装置 Pending JPH07156157A (ja)

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JP (1) JPH07156157A (ja)

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1275484A3 (en) * 2001-07-09 2003-08-27 ASM Technology Singapore Pte Ltd. Mold cleaning apparatus
KR100408457B1 (ko) * 2001-05-10 2003-12-06 삼성전자주식회사 반도체 칩 패키지 몰딩 장치용 클리닝 장치
KR100561548B1 (ko) * 1999-10-01 2006-03-17 삼성전자주식회사 몰딩 설비
KR100764803B1 (ko) * 2006-10-12 2007-10-08 세크론 주식회사 반도체소자용 금형 세정장치
KR100905253B1 (ko) * 2008-11-27 2009-06-29 이노크린 주식회사 타이어금형 자동 세척장치
CN102284451A (zh) * 2011-07-14 2011-12-21 海太半导体(无锡)有限公司 模具吸真空清洁装置
CN107053590A (zh) * 2017-05-25 2017-08-18 义乌市开晶进出口有限公司 一种注塑模具内壁清洁装置
CN108189288A (zh) * 2018-03-01 2018-06-22 日月光封装测试(上海)有限公司 扫模板和扫模设备
WO2018125721A1 (en) * 2016-12-29 2018-07-05 Graham Packaging Company, L.P. In-line blow mold cleaning device and method of use
CN109940845A (zh) * 2017-12-21 2019-06-28 重庆科美模具有限公司 注塑模具保护装置
CN112339186A (zh) * 2020-11-11 2021-02-09 华天科技(宝鸡)有限公司 一种集成电路塑封清模机构及其工作方法
WO2022102563A1 (ja) * 2020-11-10 2022-05-19 Towa株式会社 クリーニング機構、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法
CN116714184A (zh) * 2023-05-16 2023-09-08 宁波甬华塑料机械制造有限公司 一种强制塑化喷嘴
CN117484750A (zh) * 2023-12-29 2024-02-02 苏州赛肯智能科技有限公司 一种半导体封装模具清洁机构
CN118544546A (zh) * 2024-05-21 2024-08-27 重庆瑞盛模具有限公司 一种塑料注塑件制备用注塑机
WO2025197395A1 (ja) * 2024-03-18 2025-09-25 Towa株式会社 清掃機構、樹脂成形装置、及び、樹脂成形品の製造方法
CN121004723A (zh) * 2025-10-27 2025-11-25 和卓喷嘴阀门系统(宁波)有限公司 一种瓶胚注塑机喷嘴装置

Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100561548B1 (ko) * 1999-10-01 2006-03-17 삼성전자주식회사 몰딩 설비
KR100408457B1 (ko) * 2001-05-10 2003-12-06 삼성전자주식회사 반도체 칩 패키지 몰딩 장치용 클리닝 장치
US6736627B2 (en) 2001-07-09 2004-05-18 Asm Technology Singapore Pte. Ltd. Mold cleaning apparatus
EP1275484A3 (en) * 2001-07-09 2003-08-27 ASM Technology Singapore Pte Ltd. Mold cleaning apparatus
KR100764803B1 (ko) * 2006-10-12 2007-10-08 세크론 주식회사 반도체소자용 금형 세정장치
KR100905253B1 (ko) * 2008-11-27 2009-06-29 이노크린 주식회사 타이어금형 자동 세척장치
CN102284451A (zh) * 2011-07-14 2011-12-21 海太半导体(无锡)有限公司 模具吸真空清洁装置
WO2018125721A1 (en) * 2016-12-29 2018-07-05 Graham Packaging Company, L.P. In-line blow mold cleaning device and method of use
CN107053590A (zh) * 2017-05-25 2017-08-18 义乌市开晶进出口有限公司 一种注塑模具内壁清洁装置
CN109940845A (zh) * 2017-12-21 2019-06-28 重庆科美模具有限公司 注塑模具保护装置
CN108189288A (zh) * 2018-03-01 2018-06-22 日月光封装测试(上海)有限公司 扫模板和扫模设备
CN108189288B (zh) * 2018-03-01 2024-04-16 日荣半导体(上海)有限公司 扫模板和扫模设备
WO2022102563A1 (ja) * 2020-11-10 2022-05-19 Towa株式会社 クリーニング機構、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法
JP2022076587A (ja) * 2020-11-10 2022-05-20 Towa株式会社 クリーニング機構、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法
CN112339186A (zh) * 2020-11-11 2021-02-09 华天科技(宝鸡)有限公司 一种集成电路塑封清模机构及其工作方法
CN116714184A (zh) * 2023-05-16 2023-09-08 宁波甬华塑料机械制造有限公司 一种强制塑化喷嘴
CN117484750A (zh) * 2023-12-29 2024-02-02 苏州赛肯智能科技有限公司 一种半导体封装模具清洁机构
CN117484750B (zh) * 2023-12-29 2024-03-26 苏州赛肯智能科技有限公司 一种半导体封装模具清洁机构
WO2025197395A1 (ja) * 2024-03-18 2025-09-25 Towa株式会社 清掃機構、樹脂成形装置、及び、樹脂成形品の製造方法
JP2025142540A (ja) * 2024-03-18 2025-10-01 Towa株式会社 清掃機構、樹脂成形装置、及び、樹脂成形品の製造方法
CN118544546A (zh) * 2024-05-21 2024-08-27 重庆瑞盛模具有限公司 一种塑料注塑件制备用注塑机
CN121004723A (zh) * 2025-10-27 2025-11-25 和卓喷嘴阀门系统(宁波)有限公司 一种瓶胚注塑机喷嘴装置

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