JPH07157302A - オゾン発生装置 - Google Patents

オゾン発生装置

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Publication number
JPH07157302A
JPH07157302A JP30526693A JP30526693A JPH07157302A JP H07157302 A JPH07157302 A JP H07157302A JP 30526693 A JP30526693 A JP 30526693A JP 30526693 A JP30526693 A JP 30526693A JP H07157302 A JPH07157302 A JP H07157302A
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JP
Japan
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rod
electrode
shaped
discharge
terminal
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Pending
Application number
JP30526693A
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English (en)
Inventor
Kazuhiko Miyawaki
一彦 宮脇
Takashi Moriwaki
尚 森脇
Hiromitsu Sato
博光 佐藤
Kenji Taniguchi
健治 谷口
Masami Fukumoto
正美 福本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Sanyo Electric Co Ltd
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Sanyo Electric Co Ltd
Tottori Sanyo Electric Co Ltd
Sanyo Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Tokyo Sanyo Electric Co Ltd, Tottori Sanyo Electric Co Ltd, Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Sanyo Electric Co Ltd
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Publication of JPH07157302A publication Critical patent/JPH07157302A/ja
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
    • C01B13/10—Preparation of ozone
    • C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
    • C01B2201/10—Dischargers used for production of ozone
    • C01B2201/14—Concentric/tubular dischargers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
    • C01B2201/20—Electrodes used for obtaining electrical discharge
    • C01B2201/22—Constructional details of the electrodes

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 放電領域を広範囲とし、この放電領域での温
度が上昇するのを抑えてオゾンの破壊を防止するととも
に、オゾンの発生量を多くしたものである。 【構成】 互いに平行して等間隔に配設した複数本の棒
状電極(2A‥2F)の外側に誘電体(4A‥4F)を
被装し、前記棒状電極により形成される電極ユニット
(1)の外側に金属筒体(5)を設け、前記誘電体を介
して前記棒状電極間及び該棒状電極と前記金属筒体間で
無声放電を誘発し、電極ユニットの内側の隣接する棒状
電極間及び離間した棒状電極間の放電空間(3)と、棒
状電極と金属筒体間の放電空間(7)の広範囲の両方の
放電空間でコロナ放電を行い、多くのオゾンを発生させ
るとともに放電領域を分散して局部的に高温となってオ
ゾンが破壊するといったことがない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、無声放電法によりオゾ
ンを発生して被殺菌体である空気や水の雑菌を殺菌した
り消臭するオゾン発生装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般にオゾンは、殺菌効果と消臭効果を
有することが知られている。このような効果を利用し
て、例えば特公昭63−51025号公報では低圧水銀
放電ランプに交流電圧を印加してオゾンを発生させてい
る。
【0003】上述の無声放電法は、一対の平面電極間に
ガラス板あるいはマイカ、セラミックス等の誘電体をは
さみ、酸素含有気体(例えば空気)を上記電極間に平行
して流しながら6〜18KVの交流高電圧を印加し対電
極間で垂直に放電する方法である。
【0004】この放電に伴い電極から放出された電子
は、酸素分子と衝突して酸素を原子へ解離するか、励起
酸素分子の生成を行う。酸素分子及び励起酸素分子は他
の酸素分子と反応してオゾンを生成するものである。放
電空隙間では、このオゾン生成反応と並行してオゾンの
分解反応も行われるが、これは酸素原子同士の衝突によ
るもので放電によるオゾン生成にとって逆効果となる。
【0005】しかしながら、この放電法の場合は、オゾ
ン生成のための電力消費量が小さく、安定な性能が得ら
れ、且つ、簡易な操作性であること等の理由から多く使
用されている。
【0006】また、最近出願人は平面電極間におけるオ
ゾンの発生量に比べて小型で多くのオゾンの発生量が得
られる複数電極を用いた無声放電式のオゾン発生装置を
提案した。
【0007】このオゾン発生装置は、互いに平行で等間
隔に配設し平面形状が多角形を呈しており、内側に縦長
の放電空間を形成した複数本の棒状電極からなる電極ユ
ニットと、前記放電空間に配設した筒状の誘電体と、前
記棒状電極に高電圧を印加する高電圧印加手段とを備え
ており、前記棒状電極に高電圧を印加し前記誘電体を介
して前記棒状電極間で無声放電を誘発するものである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】前述のような複数本の
棒状電極を用いた電極ユニットではそれぞれの棒状電極
間で無声放電が行われるため、平面電極間における放電
の場合に発生するオゾンの発生量に比べて多くのオゾン
の発生量が得られるものの放電領域が電極ユニットの内
側の放電空間のみに集中していた。
【0009】このため、放電領域(放電空間)での温度
が300度以上に上昇しせっかく発生したオゾンが高温
によって破壊される欠点があった。また、放電領域が集
中しているためより多くのオゾンを発生させることがで
きない欠点があった。
【0010】因みに前記棒状電極間の距離を大きく設定
すれば、電極ユニットの内側の放電領域が広くなり多く
のオゾンが発生するが、棒状電極間には、より高い電圧
を印加する必要があり、高電圧印加手段として用いるト
ランスが大きくなり装置が大型化するとともに電気機器
への雑音の影響が大きくなる欠点があった。
【0011】本発明は、放電領域を広範囲とし温度が上
昇するのを抑えてオゾンの破壊を防止するとともに、オ
ゾンの発生量を多くしたものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、互いに平行し
て等間隔に配設し平面形状が多角形を呈する複数本の棒
状電極からなる電極ユニットと、前記棒状電極の外側に
被装した誘電体と、前記電極ユニットの外側に設けた金
属筒体と、前記棒状電極と金属筒体のそれぞれあるいは
少なくとも前記棒状電極に交流高電圧を印加する高電圧
印加手段とを備え、前記誘電体を介して前記棒状電極間
及び該棒状電極と前記金属筒体間で無声放電を誘発する
ものである。
【0013】また、前記棒状電極は、その隣接する電極
間の距離と、棒状電極と前記金属筒体の距離を略等間距
離にして配設した放電領域とするものである。
【0014】そして、前記棒状電極と金属筒体の上下部
には、流通口を有し且つ前記棒状電極と金属筒体の端部
を支持する上下端部カバーを設け、前記流通口を前記電
極ユニットの内側に形成した放電空間と連絡したもので
ある。
【0015】さらに、前記上下端部カバーには、前記棒
状電極の端部と結合する電極端子と金属筒体に結合する
筒体端子を設け、前記高電圧印加手段を前記電極端子と
筒体端子のそれぞれに接続し、前記電極端子は隣接する
電極端子毎に前記上下端部カバーの交互に設けたもので
ある。
【0016】また、前記筒体端子は、前記金属筒体の一
部に設けられ前記筒体端子に隣接する前記電極端子とは
異なる端部カバーより導出したものである。
【0017】
【作用】本発明は、互いに平行して等間隔に配設した複
数本の棒状電極の外側に誘電体を被装し、前記棒状電極
により形成される電極ユニットの外側に金属筒体を設
け、前記誘電体を介して前記棒状電極間及び該棒状電極
と前記金属筒体間で無声放電を誘発するものであるか
ら、前記棒状電極と金属筒体に印加する交流高電圧によ
って、無声放電の領域は電極ユニットの内側の隣接する
棒状電極間及び離間した棒状電極間の空間と棒状電極と
金属筒体間の空間の広範囲の放電空間となり、多くのオ
ゾンが発生するとともに放電領域が集中せず局部的に高
温となってオゾンが破壊するといったことがない。
【0018】また、前記棒状電極は、その隣接する電極
間の距離と、棒状電極と前記金属筒体の距離を略等間距
離にして配設した放電領域とするものであるから、それ
ぞれの領域で安定した放電が得られる。
【0019】そして、前記棒状電極と金属筒体の上下部
のそれぞれに端部カバーを設け、このカバーの流通口を
前記電極ユニットの内側に形成した放電空間と前記棒状
電極と金属筒体との間に形成した放電空間に連絡したも
のであるから、それぞれの放電空間部に発生したオゾン
は流通口を介して外部に取り出すことができる。
【0020】さらに、前記上下端部カバーには、前記棒
状電極の端部と結合する電極端子と金属筒体に結合する
筒体端子を設け、前記高電圧印加手段を前記電極端子と
筒体端子のそれぞれに接続し、前記電極端子は隣接する
電極端子毎に前記上下端部カバーの交互に設けたもので
あるから、高電圧が印加されるそれぞれの電極端子は相
互に離間しているために絶縁距離を長くとることができ
電極端子間の短絡を防止し、且つ各電極端子の形状を大
きくして電気抵抗を減らすことができる。
【0021】また、前記筒体端子は、前記金属筒体の一
部に設けられ前記筒体端子に隣接する前記電極端子とは
異なる端部カバーより導出したものであるから、別個に
絶縁用の部品を用いることなく電極端子間の短絡の防止
と異電極間の短絡を防止することができる。
【0022】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づき説明する。図
1は本発明の一実施例であるオゾン発生装置の側面断面
図、図2は同じく図1のA−A断面図、図3は同じく平
面図、図4は同じく電気回路図である。
【0023】(1)は互いに平行し所定距離(H1)を
おいて等間隔に配設し平面形状が正多角形(正六角形)
を呈する複数本(六本)の第1‥第6棒状電極(2A)
‥(2F)により形成した電極ユニットで、内側に縦長
の放電空間(3)を形成している。前記棒状電極(2
A)‥(2F)は例えばステンレスによって構成され、
その長さは約700mmに設定している。
【0024】(4A)‥(4F)は前記第1‥第6棒状
電極(2A)‥(2F)の外側にできるだけ密着して被
装した例えば石英硝子やセラミックにより形成したパイ
プ状の誘電体で、厚みは約1.2mmに設定しているが
各棒状電極間の距離や前記棒状電極への印加電圧に応じ
て変更すればよい。
【0025】(5)は前記電極ユニット(1)の外側に
所定距離(H2)をおいて設けられ例えばステンレスに
よって構成した円筒状の金属筒体で、端縁の一部の上部
に筒体端子(6)を設けている。この所定距離(H2)
と前述の所定距離(H1)は略等間距離に設定し、具体
的には約10mmに設定している。前記電極ユニット
(1)と金属筒体(5)との間にも放電空間(7)を形
成するが、この放電空間は各棒状電極(2A)‥(2
F)間を通じて 前記電極ユニット(1)の放電空間
(3)と連通状態である。
【0026】(8)は前記電極ユニット(1)と金属筒
体(5)の上部に嵌合する上端部カバーで、中央部には
前記放電空間(3)に連通する流通口(9)を設け、詳
図していないが該流通口より外側の周囲には前記棒状電
極(2A)‥(2F)の端部と結合する複数個の第1‥
第6電極端子(10A)‥(10F)を設けている。前
記電極端子(10A)‥(10F)は図3に示すように
上端部カバー(8)内に埋設するものと上方に突出する
ものとを交互に配置しており、第2電極端子(10B)
と第4電極端子(10D)と第6電極端子(10F)の
それぞれを突出している。
【0027】(11)は前記電極ユニット(1)と金属
筒体(5)の下部に嵌合する下端部カバーで、中央部に
は前記上端部カバー(8)と同様に前記放電空間(3)
に連通する流通口(12)を設け、詳図していないが該
流通口より外側の周囲には前記棒状電極(2A)‥(2
F)の端部と結合する複数個の第1‥第6電極端子(1
3A)‥(13F)を設けている。前記電極端子(13
A)‥(13F)は下端部カバー(11)内に埋設する
ものと下方に突出するものとを交互に配置しており、第
1電極端子(13A)と第3電極端子(13C)と第5
電極端子(13E)のそれぞれを突出している。
【0028】突出する前記電極端子(10B)(10
D)(10F)、(13A)(13C)(13E)は、
隣接する電極端子毎に上下端部カバー(8)、(11)
の交互に設けられており、電源を接続する場合にその絶
縁距離を大きく確保する。
【0029】前記筒体端子(6)は、該筒体端子に隣接
する前記電極端子(13C)を設けた下端部カバ−とは
異なる上端部カバー(8)より導出している。
【0030】次に図4に示す電気回路図について説明す
る。
【0031】(14)は前記棒状電極(2A)‥(2
F)の数に応じて設けられ二次側に高電圧を発生させ前
記棒状電極間に回転磁界を生じる第1‥第6トランス
(15A)‥(15F)よりなる高電圧印加手段で、前
記棒状電極に高電圧を印加して各棒状電極間で無声放電
を発生させるものであり、以下にその詳細を説明する。
【0032】(16)(17)(18)は3相交流電源
にデルタ結線(あるいはスター結線)された前記トラン
ス(15A)‥(15F)の一次側接続端子である。第
1トランス(15A)の二次側の一端と第4トランス
(15D)の二次側の他端を接続し、第2トランス(1
5B)の二次側の一端と第5トランス(15E)の二次
側の他端を接続し、第3トランス(15C)の二次側の
一端と第6トランス(15F)の二次側の他端を接続し
ている。また、第1、第3、第5のトランス(15
A)、(15C)、(15E)のそれぞれの二次側の一
端と第2、第4、第6のトランス(15B)、(15
D)、(15F)のそれぞれの二次側の他端は短絡して
共通電極としており、前記筒体端子(6)に接続してい
る。
【0033】前記第1棒状電極(2A)と結合した第1
端子(13A)は第1トランス(15A)の二次側の他
端に接続し、第2棒状電極(2B)と結合した第2端子
(10B)は第2トランス(15B)の二次側の一端に
接続し、第3棒状電極(2C)と結合した第3端子(1
3C)は第3トランス(15C)の二次側の他端に接続
し、前記第1棒状電極(2A)と180度離れて対向す
る第4棒状電極(2D)と結合した第1端子(10D)
は第4トランス(15D)の二次側の一端に接続し、前
記第2棒状電極(2B)と180度離れて対向する第5
棒状電極(2E)と結合した第1端子(13E)は第5
トランス(15E)の二次側の他端に接続し、前記第3
棒状電極(2C)と180度離れて対向する第6棒状電
極(2F)と結合した第1端子(10F)は第6トラン
ス(15F)の二次側の一端に接続している。
【0034】前記第1‥第6のトランス(15A)‥
(15F)のそれぞれの二次側には位相差60度の6相
交流を出力する。
【0035】次に動作について説明する。
【0036】始めに組み立て構造について述べる。あら
かじめ前記棒状電極(2A)‥(2F)のそれぞれの下
端部を前記下端部カバー(11)のそれぞれの電極端子
(13A)‥(13F)に結合した状態で電極ユニット
(1)と金属筒体(5)の下部に前記下端部カバー(1
1)を固定し、前記棒状電極(2A)‥(2F)の内の
3本の棒状電極に結合した電極端子(13A)、(13
C)、(13E)への電源の接続を可能とする。その
後、前記棒状電極(2A)‥(2F)のそれぞれの上端
部と前記筒体端子(5)を上端部カバ−(8)に結合し
て筒体端子(5)を上端部カバ−(8)より上方に突出
するとともに前記棒状電極(2A)‥(2F)の内の前
記下端部カバ−(11)より突出した3本の電極端子
(13A)、(13C)、(13E)を除く残りの3本
の棒状電極(13B)、(13D)、(13F)に結合
した電極端子(10B)、(10D)、(10F)と筒
体端子(5)への電源の接続を可能とする。
【0037】従って、上端部カバ−(8)より突出した
筒体端子(5)と3本の電極端子(10B)、(10
D)、(10F)は平形端子(図示ぜず)を介して電源
に接続され、同様に下端部カバ−(11)より突出した
3本の電極端子(13A)、(13C)、(13E)も
平形端子(図示ぜず)を介して電源に接続される。
【0038】そして、それぞれのトランスの一次側に3
相交流電源の60Vを印加すると、前記トランスの二次
側に発生する高電圧(9KV以上で15KV以下に設
定)がそれぞれの前記棒状電極(2A)‥(2F)と筒
体端子(5)間に印加され、前記第1、第4棒状電極
(2A)、(2D)の間で第1棒状電極(2A)の誘電
体(4A)と第4棒状電極(2D)の誘電体(4D)を
介して放電が開始され、一方の誘電体の表面から他方の
誘電体の表面に向かって電子が放出され、他の第2、第
5棒状電極(2B)、(2E)の間や第3、第6棒状電
極(2C)(2F)の間のコロナ放電を誘発する。
【0039】このようにして、放電を開始すると隣接す
る第1棒状電極(2A)と第2棒状電極(2B)間、第
2棒状電極(2B)と第3棒状電極(2C)間でも放電
を開始する。さらに、第3棒状電極(2C)と第4棒状
電極(2D)間、そして第4棒状電極(2D)と第5棒
状電極(2E)間、第5棒状電極(2E)と第6棒状電
極(2F)間でもそれぞれの誘電体を介して順次コロナ
放電を行う。同様に、第6棒状電極(2F)と第1棒状
電極(2A)間で順次無声放電を行いオゾンを発生す
る。
【0040】また、前述した各棒状電極間での放電と同
時に該各棒状電極と金属筒体(5)間でも放電が開始さ
れ電極ユニット(1)の内側の放電空間(3)と電極ユ
ニット(1)の外側の放電空間(7)の両方の空間部に
て放電が続行する。
【0041】従って、吸引ファン(図示せず)によって
上端部カバ−(8)の前記流通口(9)より吸引された
空気は、放電空間(3)、(7)内を通過して該放電空
間内に発生したオゾンによって殺菌した後、下端部カバ
−(11)の前記流通口(12)より取り出す。
【0042】
【発明の効果】以上のように本発明は、複数本の棒状電
極の外側に誘電体を被装した電極ユニットの外側に金属
筒体を設け、前記誘電体を介して前記棒状電極間及び該
棒状電極と前記金属筒体間で無声放電を誘発するもので
あるから、電極ユニットの内側の隣接する棒状電極間及
び離間した棒状電極間の空間と、棒状電極と金属筒体間
の空間の広範囲の放電空間となり、多くのオゾンが発生
するとともに放電領域が一部に集中せず局部的に高温と
なってオゾンが破壊するといったことがない。
【0043】また、前記棒状電極は、その隣接する電極
間の距離と、棒状電極と前記金属筒体の距離を略等間距
離にして配設した放電領域とするものであるから、それ
ぞれの領域は放電距離が一定で安定した放電が得られ
る。
【0044】そして、前記棒状電極と金属筒体の上下部
に設けた上下端部カバーの流通口を前記電極ユニットの
放電空間と前記棒状電極と金属筒体との間に形成した放
電空間に連絡したものであるから、それぞれの放電空間
部に発生したオゾンは流通口を介して連続して外部に取
り出すことができる。
【0045】さらに、前記上下端部カバーには、棒状電
極と結合して高電圧印加手段によって高電圧が印加され
る電極端子と金属筒体に結合して高電圧印加手段によっ
て高電圧が印加される筒体端子を設け、前記電極端子は
隣接する電極端子毎に前記上下端部カバーの交互に設け
たものであるから、高電圧が印加されるそれぞれの電極
端子は相互に離間しているために絶縁距離を長くとるこ
とができ不必要な電極端子間での放電や短絡を防止し、
且つ各電極端子の形状を大きくして電気抵抗を減らすこ
とができる。
【0046】また、前記筒体端子は、最も近い位置にあ
る電極端子とは異なる端部カバーより導出したものであ
るから、別個に絶縁用の部品を用いることなく電極端子
間の短絡の防止と異電極間の短絡を防止することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例であるオゾン発生装置の側面
断面図である。
【図2】図2は同じく図1のA−A断面図である。
【図3】同じく平面図である。
【図4】同じく電気回路図である。
【符号の説明】
1 電極ユニット 2A‥2F 第1‥第6棒状電極 3 放電空間 7 放電空間 4A‥4F 誘電体 5 金属筒体 8 上端部カバー 9 流通口 10A‥10F 第1‥第6電極端子 11 下端部カバ− 12 流通口 13A‥13F 第1‥第6電極端子 14 高電圧印加手段 H1 所定距離 H2 所定距離
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 博光 鳥取県鳥取市南吉方3丁目201番地 鳥取 三洋電機株式会社内 (72)発明者 谷口 健治 鳥取県鳥取市南吉方3丁目201番地 鳥取 三洋電機株式会社内 (72)発明者 福本 正美 鳥取県鳥取市南吉方3丁目201番地 鳥取 三洋電機株式会社内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 互いに平行して等間隔に配設し平面形状
    が多角形を呈する複数本の棒状電極からなる電極ユニッ
    トと、前記棒状電極の外側に被装した誘電体と、前記電
    極ユニットの外側に設けた金属筒体と、前記棒状電極と
    金属筒体のそれぞれあるいは少なくとも前記棒状電極に
    交流高電圧を印加する高電圧印加手段とを備え、前記誘
    電体を介して前記棒状電極間及び該棒状電極と前記金属
    筒体間で無声放電を誘発することを特徴とするオゾン発
    生装置。
  2. 【請求項2】 前記棒状電極は、その隣接する電極間の
    距離と、棒状電極と前記金属筒体の距離を略等間距離に
    して配設したことを特徴とする請求項第1項に記載のオ
    ゾン発生装置。
  3. 【請求項3】 前記棒状電極と金属筒体の上下部には、
    流通口を有し且つ前記棒状電極と金属筒体の端部を支持
    する上下端部カバーを設け、前記流通口を前記電極ユニ
    ットの内側に形成した放電空間と連絡したことを特徴と
    する請求項第1項に記載のオゾン発生装置。
  4. 【請求項4】 前記上下端部カバーには、前記棒状電極
    の端部と結合する電極端子と金属筒体に結合する筒体端
    子を設け、前記高電圧印加手段を前記電極端子と筒体端
    子のそれぞれに接続し、前記電極端子は隣接する電極端
    子毎に前記上下端部カバーの交互に設けたことを特徴と
    する請求項第3項に記載のオゾン発生装置。
  5. 【請求項5】 前記筒体端子は、前記金属筒体の一部に
    設けられ前記筒体端子に隣接する前記電極端子とは異な
    る端部カバーより導出した請求項第4項に記載のオゾン
    発生装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2006035506A1 (ja) 2004-09-29 2006-04-06 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation n相オゾン発生装置
JP2011082073A (ja) * 2009-10-08 2011-04-21 Satoshi Anzai プラズマ発生装置
JP2017076603A (ja) * 2015-10-16 2017-04-20 学校法人 中村産業学園 プラズマ処理装置およびその方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006035506A1 (ja) 2004-09-29 2006-04-06 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation n相オゾン発生装置
US7744825B2 (en) 2004-09-29 2010-06-29 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation N-phase ozone generator
JP2011082073A (ja) * 2009-10-08 2011-04-21 Satoshi Anzai プラズマ発生装置
JP2017076603A (ja) * 2015-10-16 2017-04-20 学校法人 中村産業学園 プラズマ処理装置およびその方法

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