JPH0716103U - 流体圧シリンダ用のピストン位置検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 外部ＤＣ磁界と外部ＡＣ磁界との何れがピス
トン位置検出装置に作用しても、誤動作しないでピスト
ンの位置を検出する。 【構成】 第２センサＳ２がオフの状態のもとで第１セ
ンサＳ１がオンしたときにはホールド回路１３はオン信
号を出力し、オフしたときにはオフ信号を出力信号Ｆと
して出力する。第２センサＳ２がオフからオンに変化し
たときには変化前の状態における第１センサＳ１のオン
オフの状態に対応したオンオフの出力信号Ｆをホールド
回路１３は出力する。さらに、第２センサＳ２がオンの
状態のもとで第１センサＳ１からの出力信号が変化した
場合には、第２センサＳ２がオフ信号を出力した後にそ
の変化後のオンオフ状態に対応した出力信号Ｆをホール
ド回路１３は出力する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は空気圧や油圧等の流体圧によりシリンダ内を往復動するピストンの位 置を検出するための流体圧シリンダ用のピストン位置検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

空気圧シリンダ内に往復動自在に装着されたピストンの位置を検出するために 、ピストンに取付けられた永久磁石が発生した磁界を検出するセンサをシリンダ に取付けるようにした流体圧シリンダ用のピストン位置検出装置が用いられてい る。

【０００３】 このようなピストン位置検出装置を有する空気圧シリンダは、種々の産業用機 器を製造するための製造工場において使用されるため、空気圧シリンダの周りに 他の製造装置等に設けられた永久磁石が空気圧シリンダに接近することがあった り、あるいは他の製造装置等に電力を供給するための電線ケーブルが空気圧シリ ンダに隣接して配置されることがある。

【０００４】 このような場合には、前記永久磁石の磁界や電線ケーブルに流れる電流により 発生する磁界が、センサに影響を与えてセンサの誤動作が発生する恐れがある。 そこで、従来では実公平５−１５０４２号公報に記載されるようなピストン位置 検出装置が開発されている。

【０００５】 この装置は、電線ケーブルを流れる電流によって発生する交流磁界つまり周期 的に変化する外部磁界によってセンサが誤動作しないようにするために、外部磁 界を検出する外部センサの感度を、ピストンの永久磁石の磁界を検出するピスト ンセンサの感度よりも高く設定している。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】 このように２つのセンサに感度差を持たせるために、ピストンセンサをシール ド内に配置するようにしており、センサをシリンダに取付ける構造が複雑化して しまうのみならず、外部磁界の加わり方によっては２つのセンサの感度が逆転し て誤動作が発生してしまうことがある。

【０００７】 また、前記公報に記載されたピストン位置検出装置にあっては、磁界の強度が 一定であるＤＣ磁界が影響した場合には、センサの誤動作を防止することができ ない。

【０００８】 本考案の目的は、外部から作用する磁界が周期的に変化するＡＣ磁界が外乱と して作用した場合、および磁界が周期的に変化しないＤＣ磁界が外乱として作用 した場合の何れの場合でも、ピストン位置を誤動作なく検出し得るようにするこ とである。

【０００９】 本考案の前記ならびに他の目的と新規な特徴は、本願明細書の記述および添付 図面から明らかになるであろう。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

本願において開示される考案のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば 、以下のとおりである。

【００１１】 すなわち、ピストンに設けられた磁界発生部材の磁界を検出するピストン磁界 検出手段からのオンオフ信号は、オンディレイ手段と第１オフディレイ手段とを 介して出力され、外部磁界を検出する外部磁界検出手段は第２オフディレイ手段 を介して出力される。これらの出力信号はホールド回路に入力され、このホール ド回路は、外部磁界検出手段が外部磁界を検出してない場合には、ピストン磁界 検出手段からに基づく信号によりオンオフの出力信号を出力する。

【００１２】 外部磁界検出手段のオン信号と、ピストン磁界検出手段のオン信号がホールド 回路への同時入力とならないためにディレイ回路を介した信号がホールド回路に 入力した場合には、ホールド回路はオフの信号を出力する。一方、同時にオン信 号が入力しない場合には、外部磁界検出手段からのオン信号が入力される前にお けるピストン磁界検出手段のオンオフ状態に対応したオンオフの出力信号をホー ルド回路は出力する。

【００１３】

【作用】

上述した構成を有する本考案にあっては、ピストン磁界検出手段からのオン信 号を同時に出力する第１オフディレイ手段からと、遅延させて出力するオンディ レイ手段とからの信号および外部磁界検出手段から検出と同時に出力される信号 に基づいて、外部磁界が作用したか否かを検出することができる。

【００１４】 しかも、外部磁界が作用したことが検出された場合には、ホールド回路により ピストン磁界検出手段のオンオフ状態に対応したオンオフ信号が出力されるので 、外部磁界の影響がなくなるまで、ピストン磁界検出手段の検出結果が保持され ることになり、ピストン磁界検出手段の誤動作が防止される。

【００１５】 検出することができる外部磁界としては、周期的に磁力が変化するＡＣ磁界の みならず、周期的な変化がないＤＣ磁界に対しても、誤動作を防止することがで きる。

【００１６】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。

【００１７】 図１は空気圧シリンダ内に設けられたピストンの位置を検出するために本考案 のピストン位置検出装置を組み付けた場合を示す図であり、空気圧シリンダ１内 にはピストン２が空気圧により往復動自在に装着されている。ピストン２の外周 部に形成された溝内には、磁界発生部材としての永久磁石３が取り付けられてい る。

【００１８】 このピストン２の位置を検出するための検出装置は、ケーシング４を有してお り、このケーシング４内にはセンサ基板５が設けられている。このセンサ基板５ には、永久磁石の磁界を検出する第１センサつまりピストン位置検出センサＳ１ がピストン位置検出手段Ｓ１としてシリンダ１側に位置させて取付けられ、この 第１センサＳ１よりもシリンダ１から離れた位置に、第２センサつまり外部磁界 検出センサＳ２が外部磁界検出手段として取付けられている。

【００１９】 図２はセンサ基板５に設けられた検出回路を示すブロック図であり、第１セン サＳ１はオンディレイ手段としてのオンディレイ回路１０と、第１オフディレイ 手段としてのオフディレイ回路１１に接続され、第２センサＳ２は第２オフディ レイ手段としてのオフディレイ回路１２に接続されている。

【００２０】 オンディレイ回路１０の出力信号Ａ１、オフディレイ回路１１の出力信号Ａ２ 、そしてオフディレイ回路１２の出力信号Ｂはそれぞれホールド回路１３に入力 され、このホールド回路１３の出力信号Ｆは出力回路１４に出力されるようにな っている。この出力回路１４からオン信号が出力されるときには、ピストン２が 第１センサＳ１により検出されたことになり、図示しない制御回路にケーブル６ を介して検出信号が送られる。

【００２１】 オンディレイ回路１０は、第１センサＳ１がオフからオンに変化したときには 遅延時間（第１遅延時間）Ｄ１の後にオン信号を出力し、第１センサＳ１がオン からオフに変化したときには直ちにオフ信号を出力する。

【００２２】 オフディレイ回路１１は、第１センサＳ１がオンからオフに変化したときには 遅延時間（第２遅延時間）Ｄ２の後にオフ信号を出力し、第１センサＳ１がオフ からオンに変化したときには直ちにオン信号を出力する。

【００２３】 オフディレイ回路１２は、第２センサＳ２がオンからオフに変化したときには 遅延時間（第３遅延時間）Ｅの後にオフ信号を出力し、第２センサＳ２がオフか らオンに変化したときには直ちにオン信号を出力する。

【００２４】 ホールド回路１３は、第２センサＳ２がオフの状態のもとで、第１センサＳ１ がオンしたときにオン信号を出力し、第１センサＳ１がオフしたときにオフ信号 を出力する。つまり、外部磁界が検出されずに、オフディレイ回路１２の出力信 号Ｂがオフ信号を出力していることを条件に、永久磁石３の磁界を第１センサＳ １が検出すると、まずオフディレイ回路１１からオン信号が出力され、次いで遅 延時間Ｄ１が経過した後にオンディレイ回路１０からオン信号が出力された場合 には、オン信号を出力する。そして、同様にオフディレイ回路１２の出力信号Ｂ がオフ信号を出力していることを条件に、まずオンディレイ回路１０からオフ信 号が出力され、次いで遅延時間Ｄ２が経過した後にオフディレイ回路１１からの オフ信号が出力された場合には、オフ信号を出力する。

【００２５】 またホールド回路１３は、第２センサＳ２がオフからオンに変化したときには 、その変化前における第１センサＳ１のオンオフに対応してオンオフ信号を出力 する。つまり、第１センサＳ１が永久磁石３の磁界を検出しておらず、第１セン サＳ１がオフ信号を出力していれば、第２センサＳ２が外部磁界を検出してオン 信号を出力してもホールド回路１３はオフ信号を出力する。そして、第２センサ Ｓ２がオフからオンに変化する前に第１センサＳ１がオン信号を出力していれば 、その変化の後にもホールド回路１３はオン信号を出力する。

【００２６】 さらにホールド回路１３は、第２センサＳ２がオンの状態のもとで第１センサ Ｓ１からの出力信号がオンからオフあるいはオフからオンに変化した場合には、 第２センサＳ２がオフ状態に戻り、遅延時間Ｅが経過した後に第１センサＳ１の 変化後のオンオフ状態に対応したオンオフ信号を出力する。

【００２７】 前述した遅延時間Ｄ１とＤ２はほぼ同様の時間に設定されており、遅延時間Ｅ は前記遅延時間Ｄ１、Ｄ２よりも長い時間に設定されている。商用電流の周波数 が５０または６０Ｈｚであることから、Ｅは１０ｍｓｅｃよりも長い時間に設定 されている。

【００２８】 次に、第１および第２センサＳ１、Ｓ２のオンオフに応じた出力回路１４への ホールド回路１３からの出力信号Ｆの変化について、図３〜図８を参照しつつ説 明する。

【００２９】 図３は外部磁界が影響を与えない状態のもとで第１センサＳ１がオンオフした 場合の出力信号Ｆのオンオフを示す図であり、第１センサＳ１がピストン２の永 久磁石３の磁界を検出すると、それと同時にオフディレイ回路１１からの出力信 号Ａ２はオフからオンに変化し、次いで遅延時間Ｄ１が経過した後に、オンディ レイ回路１０からの出力信号Ａ１がオフからオンに変化する。このようにして、 時間差Ｄ１で第１センサＳ１からオン信号がホールド回路１３に入力されると、 ホールド回路１３は出力回路１４に向けてオン信号を出力する。

【００３０】 ピストン２が逆方向に駆動されて、第１センサＳ１が永久磁石３の磁界を検知 しなくなると、オンディレイ回路１０からの出力信号Ａ１はオンからオフに変化 し、次いで遅延時間Ｄ２が経過した後にオフディレイ回路１１からの出力信号Ａ ２がオンからオフに変化する。このようにして、時間差Ｄ２で第１センサＳ１か らのオン信号がホールド回路１３に入力されると、ホールド回路１３からは出力 回路１４に向けてオフ信号を出力する。

【００３１】 図４は第１センサＳ１がオフとなっている状態のもとで、外部ＤＣ磁界がシリ ンダに影響を与えた場合を示す図であり、この場合には第１センサＳ１も作動す る程度の強い外部ＤＣ磁界が作用しているものとする。

【００３２】 この場合には外部ＤＣ磁界の作用により、両方のセンサＳ１、Ｓ２が同時にオ ンオフすることになり、第２センサＳ２のオンにより直ちにオフディレイ回路１ ２からの出力信号Ｂがオフからオンに変化すると同時に、第１センサＳ１のオン により直ちにオフディレイ回路１１からの出力信号Ａ２がオフからオンに変化す る。しかし、その時点ではオンディレイ回路１０からの出力信号Ａ１はオフのま まであるので、ホールド回路１３からの出力信号Ｆはオフのままを保持する。オ フディレイ回路１２からの出力信号Ｂは、外部ＤＣ磁界が作用しなくなってから 、遅延時間Ｅが経過した後に、オンからオフに切り換わる。

【００３３】 このように、両方の出力信号Ａ２、Ｂが同時にオフからオンに切り換わった場 合には、ホールド回路１３からの出力信号Ｆはオフを保持する。

【００３４】 図５は第１センサＳ１がオンとなっている状態のもとで、外部ＤＣ磁界がシリ ンダに影響を与えた場合を示す図であり、この場合も図４の場合と同様に、強い 外部磁界が作用したものとする。

【００３５】 この場合には、外部磁界が作用してオフディレイ回路１２がオンに変化する以 前は、オンディレイ回路１０およびオフディレイ回路１１からの出力信号Ａ１、 Ａ２は何れもオンとなっており、外部磁界の作用によりオフディレイ回路１２か らの出力信号Ｂがオフからオンに変化しても、ホールド回路１３からの出力信号 Ｆは外部磁界が作用する前の状態であるオン状態を保持する。つまり、出力信号 Ａ２とＢが同時にオンしないので、出力信号Ｆはオンの状態を保持する。

【００３６】 図６は外部ＤＣ磁界が作用している状態のもとで、第１センサＳ１が永久磁石 ３の磁界を検出した場合を示す図であり、この場合の外部ＤＣ磁界は第１センサ Ｓ１に影響を与えない程度の磁力となっているものとする。

【００３７】 この場合には外部磁界により第２センサＳ２はオフからオンに変化するが、出 力信号Ａ１、Ａ２はオフとなっているので、ホールド回路１３からの出力信号Ｆ はオフの状態を保持する。このように外部磁界が作用している状態のもとでは、 第１センサＳ１が永久磁石３の磁界を検出してオンディレイ回路１０とオフディ レイ回路１１からの出力信号Ａ１、Ａ２がともにオンに変化しても、ホールド回 路１３からの出力信号Ｆはオフ状態を保持する。

【００３８】 ホールド回路１３からの出力信号Ｆがオンに変化するのは、外部磁界の影響が 解除されたことを第２センサＳ２が検出し、第２センサＳ２の出力信号Ｂがオフ に変化した状態で第１センサＳ１からの出力信号Ａ１、Ａ２がオンとなっている 場合となる。

【００３９】 図７は第１センサＳ１がオフとなっている状態のもとで、外部ＡＣ磁界がシリ ンダに影響を与えた場合を示す図であり、この場合の外部ＡＣ磁界は第１センサ Ｓ１にも影響を与える程度の強さを有しているものとする。この外部ＡＣ磁界は ５０HZの商用電流が流れる電線ケーブルによって発生したものとし、影響を与え る程度の磁界の周期Ｈが１０msecとなっているものとする。

【００４０】 この場合には両方のセンサＳ１、Ｓ２は外部ＡＣ磁界の変化に対応してオンオ フを繰り返すことになり、両方のオフディレイ回路１１、１２からの出力信号Ａ ２、Ｂは同時にオフからオンに変化する。そして、オフディレイ回路１２におけ る遅延時間Ｅは遅延時間Ｄ１、Ｄ２よりも長くしかも周期Ｈよりも長い時間に設 定されているので、第２センサＳ２の出力がオンオフを繰り返しても、オフディ レイ回路１２の出力信号Ｂはオンのままとなり、ホールド回路１３の出力信号Ｆ はオフのままを保持することになる。

【００４１】 図８は第１センサＳ１がオンとなっている状態のもとで、外部ＡＣ磁界がシリ ンダに影響を与えた場合を示す図であり、この場合の外部ＡＣ磁界も図７の場合 と同様の強さを有するものとする。

【００４２】 この場合には、外部磁界が作用する以前に第１センサＳ１がオンとなっており 、オンディレイ回路１０およびオフディレイ回路１１からの出力信号Ａ１、Ａ２ は何れも既にオンとなっている。外部ＡＣ磁界が周期的に変化することにより、 第２センサＳ２は外部磁界に対応して周期的にオンオフを繰り返すが、出力信号 Ｂと同時には出力信号Ａ２がオンしない。しかもオフディレイ回路１２の遅延時 間Ｅは周期Ｈよりも長く設定されており、この出力信号Ｂが遅延時間Ｅを過ぎて オフになる前に、外部ＡＣ磁界を検出する第２センサＳ２がオフからオンに変化 するので、図７の場合と同様に、オフディレイ回路１２からの出力信号Ｂはオン のままとなる。

【００４３】 以上のように、ホールド回路１３は、オフディレイ回路１２の出力信号Ｂがオ フ（Ｈｉ）であることを前提として、第１センサＳ１に基づく出力信号Ａ１のオ ン（Ｌｏ）に続いて出力信号Ａ２がオン（Ｈｉ）となれば、出力回路１４にオン の出力信号Ｆを出力する。第１センサＳ１に基づく出力信号Ａ２が第２センサＳ ２に基づく出力信号Ｂと同時にオン（Ｌｏ）した場合には、ホールド回路１３は 出力回路１４に対する出力信号Ｆはオフとなる。第１センサＳ１に基づく出力信 号Ａ１、Ａ２がともにオンの状態のもとで、第２センサＳ２に基づく出力信号Ｂ がオンとなった場合には、ホールド回路１３はオンの出力信号Ｆを出力し、出力 信号Ａ１、Ａ２がともにオフの状態のもとで、出力信号Ｂがオンとなった場合に は、ホールド回路１３はオフの出力信号Ｆを出力する。

【００４４】 このような機能を有するホールド回路１３は、上述した条件に合致した出力信 号Ｆを出力するように、公知のコンパレータを組み合わせることにより構成する ことができる。

【００４５】 図９（Ａ）は第１センサＳ１の詳細構造を示し、図９（Ｂ）は第２センサＳ２ の詳細構造を示す図である。

【００４６】 それぞれのセンサＳ１、Ｓ２は、磁気によって抵抗値が変化する公知のＭＲ素 子を複数個組み合わせることにより形成されており、両方のセンサＳ１、Ｓ２は センサ基板５にそれぞれ同一面に位置させて取付けられている。

【００４７】 第１センサＳ１は２つのＭＲ素子２１、２２と図示しないコンパレータとを有 しており、２つのＭＲ素子２１、２２は相互に電気的に直列に接続され、これら の中間の接続点からコンパレータに出力信号を送るようにしている。そして、そ れぞれのＭＲ素子２１、２２は検知し得る磁界に対して方向性をもっており、作 用する磁界の方向が０°の方向のときにはプラス側に抵抗値が変化し、９０°の 方向のときにはマイナス側に変化する。また、作用する磁界の方向によって抵抗 値の変化率が相違しており、各ＭＲ素子２１、２２に対して磁界の方向が０°の ときと９０°のときは変化する抵抗値の絶対値がほぼ同一となる。

【００４８】 永久磁石３により形成される磁界の方向は予め定まっているので、第１センサ Ｓ１を形成する２つのＭＲ素子２１、２２は、磁界に対する方向性を相互に９０ °の位相をもってセンサ基板５に取付けられている。なお、図９において、それ ぞれのＭＲ素子２１、２２の方向性はハッチングの方向により示されている。

【００４９】 このように相互に９０°の位相で２つのＭＲ素子２１、２２を配置すると、両 方のＭＲ素子に対して４５°の位相で磁界が作用すると、両方の素子に対して同 等の磁界が加わるので、両方の素子は抵抗値が変化しても変化量が同等となるた めに、中間点の電位は変化しなくなる。

【００５０】 そのために、磁界の方向が予測できない外部磁界に対しては、センサ基板５に 対して３６０°の方向つまり全方向に対して、外部磁界を検出することができる ようにする必要がある。そこで、第２センサＳ２は第１センサＳ１における２つ のＭＲ素子２１、２２と同様に配列された２つのＭＲ素子２３、２４に加えて、 それぞれに対して４５°の位相で２つのＭＲ素子２５、２６をセンサ基板５に配 置している。これら４つのＭＲ素子２３〜２６によりブリッジ回路を形成するよ うにし、中間点の電位をコンパレータに送り、第２センサＳ２を構成するように している。

【００５１】 このようにして、第２センサＳ２を構成することにより、第１センサＳ１に影 響を与えることになる方向の外部磁界が第１センサＳ１に作用した場合には、第 １センサＳ１と同一面となって配置された第２センサＳ２は確実に外部磁界を検 出することができる。第２センサＳ２が検出することができないような方向に外 部磁界が作用しても、その方向の外部磁界は第２センサＳ２と同一面に配置され た第１センサＳ１も検出することがないので、第１センサつまりピストン位置検 出用のセンサＳ１が誤動作することはない。

【００５２】 以上、本考案者によってなされた考案を実施例に基づき具体的に説明したが、 本考案は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種 々変更可能であることはいうまでもない。

【００５３】 たとえば、図示する場合は空気圧シリンダのピストンの位置を検出するために 本考案を適用しているが、油圧シリンダに対しても本考案を適用することができ る。

【００５４】

【考案の効果】

本願において開示される考案のうち、代表的なものによって得られる効果を簡 単に説明すれば、下記のとおりである。

【００５５】 (1).以上のように、本考案によれば、ピストン磁界検出手段からの検出信号をオ ンディレイ手段と第１オフディレイ手段とを介して相互に時間差をもたせて出力 するとともに、外部磁界検出手段からの検出信号と前記検出信号とを時間差を持 たせて出力するようにしたので、ホールド回路を介して外部磁界によりピストン 磁界検出手段が作動したのであるかを検知して、ピストン検出手段の誤動作を確 実に防止することができる。

【００５６】 (2).ピストン磁界検出手段の感度と外部磁界検出手段の感度とに差を持たせるこ となく、同一感度のものを使用して装置を構成することが可能となる。

【００５７】 (3).また、磁気シールド材を使用する必要がなく、装置の構造が簡単になる。

【００５８】 (4).外部磁界としてはＡＣ磁界のみならず、ＤＣ磁界をも検出してピストン磁界 検出手段の誤検出を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例のピストン位置検出装置が搭
載された空気圧シリンダを示す断面図である。

【図２】本考案のピストン位置検出装置の回路構成を示
すブロック図である。

【図３】外部磁界が作用しない場合における装置の作動
状態を示すタイムチャートである。

【図４】第１センサがオフの状態で外部ＤＣ磁界が作用
した場合における装置の作動状態を示すタイムチャート
である。

【図５】第１センサがオンの状態で外部ＤＣ磁界が作用
した場合における装置の作動状態を示すタイムチャート
である。

【図６】外部ＣＤ磁界が作用しているときに第１センサ
がオンオフした場合における装置の作動状態を示すタイ
ムチャートである。

【図７】第１センサがオフの状態で外部ＡＣ磁界が作用
した場合における装置の作動状態を示すタイムチャート
である。

【図８】第１センサがオンの状態で外部ＡＣ磁界が作用
した場合における装置の作動状態を示すタイムチャート
である。

【図９】（Ａ）は第１センサの構成を示す平面図であ
り、（Ｂ）は第２センサの構成を示す平面図である。

【符号の説明】

１ シリンダ ２ ピストン ３ 永久磁石（磁界発生部材） ４ ケーシング ５ センサ基板 ６ ケーブル Ｓ１ 第１センサ（ピストン磁界検出手段） Ｓ２ 第２センサ（外部磁界検出手段） １０ オンディレイ回路（オンディレイ手段） １１ オフディレイ回路（第１オフディレイ手段） １２ オフディレイ回路（第２オフディレイ手段） １３ ホールド回路 １４ 出力回路 ２１〜２６ ＭＲ素子

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体圧シリンダ内に往復動自在に装着さ
   れたピストンに磁界発生部材を取付け、前記磁界発生部
   材の磁界を検出して前記ピストンの位置を検出する流体
   圧シリンダ用のピストン位置検出装置であって、 前記磁界発生部材の磁界を検出するピストン磁界検出手
   段と、 前記流体圧シリンダの外部から作用する外部磁界を検出
   する外部磁界検出手段と、 前記ピストン磁界検出手段がオフからオンに変化したと
   きには第１遅延時間の後にオン信号を出力しかつ前記ピ
   ストン磁界検出手段がオンからオフに変化したときには
   直ちにオフ信号を出力するオンディレイ手段と、 前記ピストン磁界検出手段がオンからオフに変化したと
   きには第２遅延時間の後にオフ信号を出力しかつ前記ピ
   ストン磁界検出手段がオフからオンに変化したときには
   直ちにオン信号を出力する第１オフディレイ手段と、 前記外部磁界検出手段がオンからオフに変化したときに
   は第３遅延時間の後にオフ信号を出力しかつ前記外部磁
   界検出手段がオフからオンに変化したときには直ちにオ
   ン信号を出力する第２オフディレイ手段と、 前記オンディレイ手段と前記第１オフディレイ手段と前
   記第２オフディレイ手段からの出力信号が入力され、前
   記外部磁界検出手段がオフの状態のもとで前記ピストン
   磁界検出手段がオンしたときにオン信号を出力しかつオ
   フしたときにオフ信号を出力する一方、前記外部磁界検
   出手段がオフからオンに変化したときにはその変化前の
   状態における前記ピストン磁界検出手段のオンオフに対
   応したオンオフ信号を出力し、さらに前記外部磁界検出
   手段がオンの状態のもとで前記ピストン磁界検出手段か
   らの出力信号が変化した場合には前記外部磁界検出手段
   がオフを出力した後に前記変化後の前記ピストン磁界検
   出手段のオンオフ状態に対応した出力信号を出力するホ
   ールド回路とを有する流体圧シリンダ用のピストン位置
   検出装置。
2. 【請求項２】 前記第３遅延時間は前記第１遅延時間お
   よび前記第２遅延時間よりも長い時間である請求項１記
   載の流体圧シリンダ用のピストン位置検出装置。