JPH0716574B2 - 気体を精製する方法および装置 - Google Patents
気体を精製する方法および装置Info
- Publication number
- JPH0716574B2 JPH0716574B2 JP61502340A JP50234086A JPH0716574B2 JP H0716574 B2 JPH0716574 B2 JP H0716574B2 JP 61502340 A JP61502340 A JP 61502340A JP 50234086 A JP50234086 A JP 50234086A JP H0716574 B2 JPH0716574 B2 JP H0716574B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- activated carbon
- inert gas
- adsorption tank
- desorption
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 64
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 53
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 41
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 25
- 238000003795 desorption Methods 0.000 claims description 23
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 19
- URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N sodium aluminosilicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 claims description 18
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 8
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 6
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims description 4
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims description 4
- 238000010828 elution Methods 0.000 claims description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 3
- 238000007670 refining Methods 0.000 claims description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 78
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 39
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 31
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 101100204059 Caenorhabditis elegans trap-2 gene Proteins 0.000 description 11
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 8
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 3
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 3
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 230000002000 scavenging effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- 238000005338 heat storage Methods 0.000 description 1
- 239000008241 heterogeneous mixture Substances 0.000 description 1
- 238000000265 homogenisation Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- DBSMLQTUDJVICQ-CJODITQLSA-N onametostat Chemical compound NC1=C2C=CN([C@@H]3C[C@H](CCC4=CC=C5C=C(Br)C(N)=NC5=C4)[C@@H](O)[C@H]3O)C2=NC=N1 DBSMLQTUDJVICQ-CJODITQLSA-N 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 1
- 239000013557 residual solvent Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 239000003799 water insoluble solvent Substances 0.000 description 1
- 239000003021 water soluble solvent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
- B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
- B01D53/0407—Constructional details of adsorbing systems
- B01D53/0446—Means for feeding or distributing gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
- B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
- B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
- B01D53/0407—Constructional details of adsorbing systems
- B01D53/0438—Cooling or heating systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
- B01D2253/10—Inorganic adsorbents
- B01D2253/102—Carbon
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2259/00—Type of treatment
- B01D2259/40—Further details for adsorption processes and devices
- B01D2259/40083—Regeneration of adsorbents in processes other than pressure or temperature swing adsorption
- B01D2259/40088—Regeneration of adsorbents in processes other than pressure or temperature swing adsorption by heating
- B01D2259/4009—Regeneration of adsorbents in processes other than pressure or temperature swing adsorption by heating using hot gas
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、活性炭素での吸着によって気体を精製する
方法に関する。これは特に、例えば脂肪除去機械からく
る溶剤を含む空気または窒素の精製に適用できる。
方法に関する。これは特に、例えば脂肪除去機械からく
る溶剤を含む空気または窒素の精製に適用できる。
（従来の技術） 活性炭素での吸着による精製は広く使用され、活性炭素
は、通常水蒸気によって再生される。しかしながらこの
技術は、水と混合できる溶剤の脱着に関して大きな欠点
を有し、その後に、溶剤の回収のために、また塩素処理
された溶剤の脱着のために調整が必要になる。と言うの
は、水蒸気が溶剤と反応して塩酸を生じ、これが溶剤を
使用不能にしてしまうからである。さらに溶剤に関係な
く、水蒸気による再生はエネルギを消費するので極めて
高価になる。
は、通常水蒸気によって再生される。しかしながらこの
技術は、水と混合できる溶剤の脱着に関して大きな欠点
を有し、その後に、溶剤の回収のために、また塩素処理
された溶剤の脱着のために調整が必要になる。と言うの
は、水蒸気が溶剤と反応して塩酸を生じ、これが溶剤を
使用不能にしてしまうからである。さらに溶剤に関係な
く、水蒸気による再生はエネルギを消費するので極めて
高価になる。
さらに、不純物特に溶剤を凝縮によって分離する冷却ト
ラップに気体を通して、これを精製することも知られて
いる。しかしながら、処理すべき気体の流れのすべてを
循環させ冷却しなければならないから、気体の中の不純
物の含量が低い場合には、これによって投資費用および
作動費用が高くなる。
ラップに気体を通して、これを精製することも知られて
いる。しかしながら、処理すべき気体の流れのすべてを
循環させ冷却しなければならないから、気体の中の不純
物の含量が低い場合には、これによって投資費用および
作動費用が高くなる。
（発明が解決しようとする課題） この発明の目的は、経済的に許容できる工業的条件で、
不純物の回収を達成できるようにすることにある。
不純物の回収を達成できるようにすることにある。
この発明は、このような方法を遂行するための装置の提
供も目的としている。
供も目的としている。
（課題を解決するための手段） 故にこの発明によれば、活性炭素の脱着のために、この
活性炭素に不活性気体の流れを通し、次いでこの流れ
を、液体の形で貯蔵される前記不活性気体の蒸発によっ
て冷却され、かつ処理される気体の不純物の凝縮温度に
維持される冷却トラップの中に送り、かくして蒸発した
不活性気体の少なくとも一部分を活性炭素の脱着に使用
することを特徴とする、活性炭素での吸着によって気体
を精製する方法が提供される。
活性炭素に不活性気体の流れを通し、次いでこの流れ
を、液体の形で貯蔵される前記不活性気体の蒸発によっ
て冷却され、かつ処理される気体の不純物の凝縮温度に
維持される冷却トラップの中に送り、かくして蒸発した
不活性気体の少なくとも一部分を活性炭素の脱着に使用
することを特徴とする、活性炭素での吸着によって気体
を精製する方法が提供される。
この方法を遂行する有利なやり方によれば、脱着は、活
性炭素を通る閉ループの中で不活性気体の充填分を循環
させて、その不純物含量を予め定められた閾値に到達さ
せる予熱段階と、不活性気体の流れを活性炭素を通して
循環させ、冷却トラップに送る溶離段階とからなる。
性炭素を通る閉ループの中で不活性気体の充填分を循環
させて、その不純物含量を予め定められた閾値に到達さ
せる予熱段階と、不活性気体の流れを活性炭素を通して
循環させ、冷却トラップに送る溶離段階とからなる。
またこの発明の装置は、活性炭素で満たされた吸着槽、
液化不活性気体を蒸発させる手段、かくして蒸発した不
活性気体の少くとも一部分を吸着槽に送る手段、吸着槽
から出る気体を蒸発した状態の不活性気体との熱交換に
よって冷却する手段、を備えていることを特徴とする。
液化不活性気体を蒸発させる手段、かくして蒸発した不
活性気体の少くとも一部分を吸着槽に送る手段、吸着槽
から出る気体を蒸発した状態の不活性気体との熱交換に
よって冷却する手段、を備えていることを特徴とする。
以下、図面を参照しながら、この発明の実施例について
説明する。
説明する。
（実施例） 第１図に示される装置は、気体状の流れ（実際上、気体
形状の溶剤、例えば塩素処理された溶剤を含有する空気
または窒素の流れ）の精製を達成するのに適する。この
流れは、この溶剤を使用する機械（図示なし）、例えば
脂肪除去機械からくる。装置は、主として吸着槽１およ
び冷却トラップ２からなる。
形状の溶剤、例えば塩素処理された溶剤を含有する空気
または窒素の流れ）の精製を達成するのに適する。この
流れは、この溶剤を使用する機械（図示なし）、例えば
脂肪除去機械からくる。装置は、主として吸着槽１およ
び冷却トラップ２からなる。
吸着槽４は、円筒形であって垂直軸線を有し、活性炭素
で満たされる。その両端には、上方導管３および下方導
管４がそれぞれ連結され、これらの導管は、閉ループを
形成するように送風機６を備えた導管５によって互に連
結される。
で満たされる。その両端には、上方導管３および下方導
管４がそれぞれ連結され、これらの導管は、閉ループを
形成するように送風機６を備えた導管５によって互に連
結される。
上方導管３は、精製すべき気体のための供給導管７、お
よび冷却トラップ２に連らなる排出導管10に連結され、
供給導管７は送風機８および止め弁９を有し、排出導管
10は、上方導管３に含まれる気体の分析計12によって操
作される弁11によって制御される。
よび冷却トラップ２に連らなる排出導管10に連結され、
供給導管７は送風機８および止め弁９を有し、排出導管
10は、上方導管３に含まれる気体の分析計12によって操
作される弁11によって制御される。
下方導管４には、止め弁14によって制御される脱着用窒
素供給導管13と、止め弁16を備えた精製気体再循環用導
管15と、排気筒19に連通する止め弁18を備えた吐出導管
17とが連結される。導管13は、周囲温度の気体状窒素を
含有する緩衝室20から延長し、送風機21、予熱器22およ
び最終電気加熱器23を備える。
素供給導管13と、止め弁16を備えた精製気体再循環用導
管15と、排気筒19に連通する止め弁18を備えた吐出導管
17とが連結される。導管13は、周囲温度の気体状窒素を
含有する緩衝室20から延長し、送風機21、予熱器22およ
び最終電気加熱器23を備える。
この例では低温トラップである冷却トラップ２は、主と
して、水を使用する予冷熱交換器24、冷却熱交換器25、
および溶剤を回収するための排出導管27を備えた低温熱
交換器26からなる。低温熱交換器26は、閉ループ28内を
循環する中間流体によって冷却され、中間流体は、貯蔵
槽30からくる液体窒素の熱交換器29における蒸発によっ
て冷却される。
して、水を使用する予冷熱交換器24、冷却熱交換器25、
および溶剤を回収するための排出導管27を備えた低温熱
交換器26からなる。低温熱交換器26は、閉ループ28内を
循環する中間流体によって冷却され、中間流体は、貯蔵
槽30からくる液体窒素の熱交換器29における蒸発によっ
て冷却される。
装置はさらに、ユニット31と回収熱交換器33を備える。
ユニット31は、温水、水蒸気などの高温流体を製造し、
この高温流体は、一方においては予熱器22に送られ、他
方においては吸着槽１において活性炭素内に配置される
中空の加熱コイル32に送られる。回収熱交換器33は、排
出導管10を、緩衝室20と予熱器22の間の導管13に対して
熱交換関係にする。さらに、周囲温度から離れた温度で
作動する装置の部分は適当に断熱される。
ユニット31は、温水、水蒸気などの高温流体を製造し、
この高温流体は、一方においては予熱器22に送られ、他
方においては吸着槽１において活性炭素内に配置される
中空の加熱コイル32に送られる。回収熱交換器33は、排
出導管10を、緩衝室20と予熱器22の間の導管13に対して
熱交換関係にする。さらに、周囲温度から離れた温度で
作動する装置の部分は適当に断熱される。
この装置の作動について、これが単一の吸着槽１を備え
るとして以下に説明する。しかしながら実際には、装置
は、千鳥式の作動サイクルを有する多くの吸着槽を通常
備える。
るとして以下に説明する。しかしながら実際には、装置
は、千鳥式の作動サイクルを有する多くの吸着槽を通常
備える。
吸着段階 処理すべき気体は、周囲温度で、供給導管７および上方
導管３を通して吸着槽１の中に導入され、精製された状
態で、下方導管４を通って吸着槽１から離れ、（特にこ
れが窒素に関連する場合には）導管15を通して溶剤を使
用する関連の機械に再循環させられるか、或いは吐出導
管17および排気筒19を通して吐出される。この段階にお
いて吸着槽１は、所望に応じ、例えばコイル32の中に低
温の流体特に冷水を循環させることによって冷却でき
る。吸着が終ったときに（これは下方導管４の中に含ま
れる気体の溶剤含量を点検することによって決定でき
る）、活性炭素は次の方法で再生される。
導管３を通して吸着槽１の中に導入され、精製された状
態で、下方導管４を通って吸着槽１から離れ、（特にこ
れが窒素に関連する場合には）導管15を通して溶剤を使
用する関連の機械に再循環させられるか、或いは吐出導
管17および排気筒19を通して吐出される。この段階にお
いて吸着槽１は、所望に応じ、例えばコイル32の中に低
温の流体特に冷水を循環させることによって冷却でき
る。吸着が終ったときに（これは下方導管４の中に含ま
れる気体の溶剤含量を点検することによって決定でき
る）、活性炭素は次の方法で再生される。
脱着段階 この段階（これは第１図に示される矢印に対応する）
は、後述するよう次の予熱段階および溶離段階を備え
る。
は、後述するよう次の予熱段階および溶離段階を備え
る。
第１に、精製される気体が空気であるとすると、この空
気は、最初に、緩衝室20から送られる窒素によって、上
方導管３に連結された導管3Aを介して排気筒19に排出さ
れる。
気は、最初に、緩衝室20から送られる窒素によって、上
方導管３に連結された導管3Aを介して排気筒19に排出さ
れる。
熱量を有する流体が、活性炭素の予熱のためにユニット
31によって加熱コイル32の中に送られる。吸着槽１の中
に含まれる気体は、分析計12よって溶剤の予め定められ
た含量が検出されるまで、熱交換の改良のために導管５
を通る閉ループ内で循環させられる。次いで弁11が開か
れ、緩衝室20からくる130℃まで加熱された窒素の連続
流が下方導管４を通って吸着槽１に供給され、100−130
℃で、排出導管10を通って吸着槽１から離れる。吸着槽
１から出る窒素のカロリーは、回収熱交換器33によって
部分的に回収され、その結果、緩衝室20から送出される
窒素に入る流れは約60℃になる。この溶離は、吸着槽１
から出る窒素の溶剤含量が十分である限りは継続する。
この含量の予め定められた低下が分析計12によって検出
されると直ちに、これによって弁11が閉じられ、新しい
吸着段階が始められる。
31によって加熱コイル32の中に送られる。吸着槽１の中
に含まれる気体は、分析計12よって溶剤の予め定められ
た含量が検出されるまで、熱交換の改良のために導管５
を通る閉ループ内で循環させられる。次いで弁11が開か
れ、緩衝室20からくる130℃まで加熱された窒素の連続
流が下方導管４を通って吸着槽１に供給され、100−130
℃で、排出導管10を通って吸着槽１から離れる。吸着槽
１から出る窒素のカロリーは、回収熱交換器33によって
部分的に回収され、その結果、緩衝室20から送出される
窒素に入る流れは約60℃になる。この溶離は、吸着槽１
から出る窒素の溶剤含量が十分である限りは継続する。
この含量の予め定められた低下が分析計12によって検出
されると直ちに、これによって弁11が閉じられ、新しい
吸着段階が始められる。
精製された気体が窒素である場合には、吸着槽１を予め
パージする必要はなく、この吸着槽に含まれる気体が、
脱着の開始の際に閉ループの中を循環させられる。
パージする必要はなく、この吸着槽に含まれる気体が、
脱着の開始の際に閉ループの中を循環させられる。
いずれの場合にも、加熱コイル32による加熱は脱着の全
体を通じて継続される。
体を通じて継続される。
脱着が終了したときに活性炭素は高温であり、これは、
新しい吸着段階の開始以前に低下されなければならな
い。そのため、少くとも温度水準が十分に高くとどまっ
ている限りは、低温の流体がコイル32の中を循環させら
れ、かつ加熱されていない気体状の窒素流が炭素の堆積
を通過させられ、またはそのいずれかが達成できる。出
口で回収される高温の気体は、直接にまたは装置の別の
精製槽の脱着流体として使用でき、或いは熱のその後の
使用のため、蓄熱用熱交換器に送ることができる。冷却
段階中は、熱交換の均質化のため、吸着槽１の中に含ま
れる気体または充填された窒素を、以前のように導管５
を通る閉ループの中で循環させることが有利である。
新しい吸着段階の開始以前に低下されなければならな
い。そのため、少くとも温度水準が十分に高くとどまっ
ている限りは、低温の流体がコイル32の中を循環させら
れ、かつ加熱されていない気体状の窒素流が炭素の堆積
を通過させられ、またはそのいずれかが達成できる。出
口で回収される高温の気体は、直接にまたは装置の別の
精製槽の脱着流体として使用でき、或いは熱のその後の
使用のため、蓄熱用熱交換器に送ることができる。冷却
段階中は、熱交換の均質化のため、吸着槽１の中に含ま
れる気体または充填された窒素を、以前のように導管５
を通る閉ループの中で循環させることが有利である。
溶剤の回収 回収熱交換器33から出る気体は、引続いて、デベジキュ
レーティング装置34および熱交換器24,25,26（予冷熱交
換器24、冷却熱交換器25、低温熱交換器26）を通過す
る。熱交換器26は、溶剤の凝縮点と凝固点との間の低
温、例えば−80℃から−100℃に維持される。熱交換器2
6から出る気体は、デベジキュレーティング装置35を通
過し、次いで（これはここで精製された窒素に関する）
熱交換器24、らくる気体の向流で熱交換器25を通過す
る。分析計36によって測定された溶剤の残留含量に依存
して、熱交換器25から出る窒素は、緩衝室20に送られる
か或いは排気筒19を通して排出される。
レーティング装置34および熱交換器24,25,26（予冷熱交
換器24、冷却熱交換器25、低温熱交換器26）を通過す
る。熱交換器26は、溶剤の凝縮点と凝固点との間の低
温、例えば−80℃から−100℃に維持される。熱交換器2
6から出る気体は、デベジキュレーティング装置35を通
過し、次いで（これはここで精製された窒素に関する）
熱交換器24、らくる気体の向流で熱交換器25を通過す
る。分析計36によって測定された溶剤の残留含量に依存
して、熱交換器25から出る窒素は、緩衝室20に送られる
か或いは排気筒19を通して排出される。
かくして液体溶剤は、主として熱交換器26の排除導管27
を通して回収され、二次的にデベジキュレーティング装
置35において（窒素の流れによって運ばれる小滴）回収
される。ある場合には、小滴は、デベジキュレーティン
グ装置34および熱交換器24においても回収できる。
を通して回収され、二次的にデベジキュレーティング装
置35において（窒素の流れによって運ばれる小滴）回収
される。ある場合には、小滴は、デベジキュレーティン
グ装置34および熱交換器24においても回収できる。
最終熱交換器26を冷却するための閉ループ28は、このル
ープの中に連結された温度プローブ38によって操作され
る弁37で制御される液体窒素の流れを、熱交換器29にお
いて蒸発させることによって、一定の温度に維持され
る。かくして蒸発し約100℃で熱交換器29から出る窒素
は、その後に熱交換器24から来る気体と向流で熱交換器
25を通過し、次いで少くとも部分的に緩衝室20に送られ
る。
ープの中に連結された温度プローブ38によって操作され
る弁37で制御される液体窒素の流れを、熱交換器29にお
いて蒸発させることによって、一定の温度に維持され
る。かくして蒸発し約100℃で熱交換器29から出る窒素
は、その後に熱交換器24から来る気体と向流で熱交換器
25を通過し、次いで少くとも部分的に緩衝室20に送られ
る。
冷却トラップ２を冷却するに役立つ窒素は、吸着槽１の
脱着に対する窒素の必要量を一般に著しく超過し、渦剰
の窒素は、排気筒19を通して吐出でき、或いは、例えば
溶剤を使用する関連の機械のすべてまたは一部を不活性
にするのに使用できる。しかしながら、安全上の理由
で、また必要な場合に、貯蔵室30から緩衝室20に、この
緩衝室に連結された導管39および導管40によって直接供
給することも可能であり、導管39および40は、緩衝室20
の圧力を予め定められた低い圧力BPと高い圧力HPの間に
常に維持するように制御される。
脱着に対する窒素の必要量を一般に著しく超過し、渦剰
の窒素は、排気筒19を通して吐出でき、或いは、例えば
溶剤を使用する関連の機械のすべてまたは一部を不活性
にするのに使用できる。しかしながら、安全上の理由
で、また必要な場合に、貯蔵室30から緩衝室20に、この
緩衝室に連結された導管39および導管40によって直接供
給することも可能であり、導管39および40は、緩衝室20
の圧力を予め定められた低い圧力BPと高い圧力HPの間に
常に維持するように制御される。
他方において、ある場合には、冷却トラップ２を冷却す
るために蒸発させられる窒素は、吸着槽１の脱着を確保
するに不十分であるかも知れない。かかる場合にこの気
体状窒素は、適当な供給源（蒸発器または枠組みボン
ベ）からくる気体状窒素によって満たされる。
るために蒸発させられる窒素は、吸着槽１の脱着を確保
するに不十分であるかも知れない。かかる場合にこの気
体状窒素は、適当な供給源（蒸発器または枠組みボン
ベ）からくる気体状窒素によって満たされる。
いずれの場合にも、冷却捕捉は、処理すべき最初の気体
よりも明白に高い濃度の溶剤を含む気体流に作用し、そ
の結果として冷却トラップ２においては、最初の気体に
冷却捕捉を直接作用させる場合と比べて、投資費用およ
び負のカロリーについてかなりの節約が達成される。例
えば、最初の気体が2g/m3の溶剤を含有する場合に、脱
着用窒素は300g/m3の溶剤を含有することができる。こ
の重要な利点は、適当な脱着温度（上述した例で130
℃）に到達するに十分な程度に吸着槽１が予熱される場
合に、冷却トラップ２に送る以前に脱着用窒素を閉ルー
プの中で循環させることがない変形の場合にも、依然と
して存在する。
よりも明白に高い濃度の溶剤を含む気体流に作用し、そ
の結果として冷却トラップ２においては、最初の気体に
冷却捕捉を直接作用させる場合と比べて、投資費用およ
び負のカロリーについてかなりの節約が達成される。例
えば、最初の気体が2g/m3の溶剤を含有する場合に、脱
着用窒素は300g/m3の溶剤を含有することができる。こ
の重要な利点は、適当な脱着温度（上述した例で130
℃）に到達するに十分な程度に吸着槽１が予熱される場
合に、冷却トラップ２に送る以前に脱着用窒素を閉ルー
プの中で循環させることがない変形の場合にも、依然と
して存在する。
第２図および第３図に図示される吸着槽１は、第１図に
示される装置に有利に使用できる。これは、取外し可能
の上蓋45と、活性炭の堆積の中の多くの熱交換管42とを
有し、この熱交換管46は、第１図の加熱コイル32の代り
であって、エルボ47によって直列に連結される。明示の
ために第２図では同じ平面にあるとしたこれら熱交換管
46は、吸着剤槽の軸線Ｘ−Ｘに平行であって、第３図に
示されるように長手方向の外ひれ48を備える。吸着槽の
円筒壁は中空のコイル49を備える。第１の熱交換管46A
は、導管50を介して加熱流体または冷却流体の供給源に
連結でき、最後の熱交換管46Bは、導管51を介してコイ
ル49の入口に連結でき、このコイルの出口は、前記流体
の吐出のために導管52に連結できる。
示される装置に有利に使用できる。これは、取外し可能
の上蓋45と、活性炭の堆積の中の多くの熱交換管42とを
有し、この熱交換管46は、第１図の加熱コイル32の代り
であって、エルボ47によって直列に連結される。明示の
ために第２図では同じ平面にあるとしたこれら熱交換管
46は、吸着剤槽の軸線Ｘ−Ｘに平行であって、第３図に
示されるように長手方向の外ひれ48を備える。吸着槽の
円筒壁は中空のコイル49を備える。第１の熱交換管46A
は、導管50を介して加熱流体または冷却流体の供給源に
連結でき、最後の熱交換管46Bは、導管51を介してコイ
ル49の入口に連結でき、このコイルの出口は、前記流体
の吐出のために導管52に連結できる。
処理された気体が空気である場合には、特別の用心をし
なければ、活性炭素は、溶剤と共にこの空気に含有され
る湿分のすべてまたは一部を保持するかも知れない。故
に、炭素の脱着・再生の際に、溶離用窒素は、回収べき
溶剤ばかりでなく水でも負荷され、この水は冷却トラッ
プ２の中で凝縮する。この冷却トラップの低温部分が目
詰りするおそれがあることは別としても、これは、水溶
性溶剤の場合に溶液を生じることによって、或いは非水
溶性溶剤の場合に乳濁液または不均質混合物を生じるこ
とによって、回収される溶剤の質を低下させる。故に、
回収された液体は、再蒸溜またはデカンテーションされ
なければならず、したがって、水蒸気を使用する過程で
窒素によって活性炭素を再生することの利点の一つ、す
なわち再利用によって直接価値を得ることのできる溶剤
の取得が失なわれる。
なければ、活性炭素は、溶剤と共にこの空気に含有され
る湿分のすべてまたは一部を保持するかも知れない。故
に、炭素の脱着・再生の際に、溶離用窒素は、回収べき
溶剤ばかりでなく水でも負荷され、この水は冷却トラッ
プ２の中で凝縮する。この冷却トラップの低温部分が目
詰りするおそれがあることは別としても、これは、水溶
性溶剤の場合に溶液を生じることによって、或いは非水
溶性溶剤の場合に乳濁液または不均質混合物を生じるこ
とによって、回収される溶剤の質を低下させる。故に、
回収された液体は、再蒸溜またはデカンテーションされ
なければならず、したがって、水蒸気を使用する過程で
窒素によって活性炭素を再生することの利点の一つ、す
なわち再利用によって直接価値を得ることのできる溶剤
の取得が失なわれる。
この欠点は、水の保持を専門とする、特に湿分を保持す
る特性を有し溶剤の通過を可能にする、分子篩を備えた
吸着槽によって、冷却トラップの上流で水を除去するこ
とによって除去できる。
る特性を有し溶剤の通過を可能にする、分子篩を備えた
吸着槽によって、冷却トラップの上流で水を除去するこ
とによって除去できる。
回収すべき溶剤で負荷された空気の相対湿度にそれ自身
依存する、分子篩の飽和によって決定される頻度で、分
子篩は、これの製造業者によって規定された温度、すな
わち200−250℃で高温の窒素によって再生される。放出
される窒素および水蒸気からなる流れは、排気筒19に到
達して吐出される。
依存する、分子篩の飽和によって決定される頻度で、分
子篩は、これの製造業者によって規定された温度、すな
わち200−250℃で高温の窒素によって再生される。放出
される窒素および水蒸気からなる流れは、排気筒19に到
達して吐出される。
第１変形（図示なし）において、処理される空気の湿分
は、供給導管７内に配置された乾燥用分子篩のベッド中
に溶剤で負荷された空気の流れを通過させることによっ
て、活性炭素を通過する以前に装置の頭端部で除去され
る。かくして排出導管10は、冷却トラップ２内で凝縮さ
せられる溶剤で負荷された乾いた気体だけを輸送する。
は、供給導管７内に配置された乾燥用分子篩のベッド中
に溶剤で負荷された空気の流れを通過させることによっ
て、活性炭素を通過する以前に装置の頭端部で除去され
る。かくして排出導管10は、冷却トラップ２内で凝縮さ
せられる溶剤で負荷された乾いた気体だけを輸送する。
かかる配置で、入ってくる空気の湿分のすべてが止めら
れるが、装置の頭端部に分子篩が存在しない場合には、
活性炭素は、一般にこの湿分の一部だけを捕捉する。
れるが、装置の頭端部に分子篩が存在しない場合には、
活性炭素は、一般にこの湿分の一部だけを捕捉する。
この理由で、第１図に鎖線で図示した配置を採用するこ
とがさらに有利であり、これにおいては、分子篩ベッド
41が、吸着槽１から冷却トラップ２に向う回路の中に、
望ましくはデベジキュレーティング装置34と冷却トラッ
プ２の第１熱交換器24との間に配置される。
とがさらに有利であり、これにおいては、分子篩ベッド
41が、吸着槽１から冷却トラップ２に向う回路の中に、
望ましくはデベジキュレーティング装置34と冷却トラッ
プ２の第１熱交換器24との間に配置される。
上述した両変形において、普通の方法で、二つの分子篩
ベッド（一方が水吸着段階のときに、他方は脱着段階）
を並列に使用するのが有利である。さらに分子篩は、再
熱器43を備えた導管42を通して緩衝室20から送られる高
温の窒素の流れによって再生される。次いで水で負荷さ
れた窒素は、導管44および排気筒19を通して吐出され
る。
ベッド（一方が水吸着段階のときに、他方は脱着段階）
を並列に使用するのが有利である。さらに分子篩は、再
熱器43を備えた導管42を通して緩衝室20から送られる高
温の窒素の流れによって再生される。次いで水で負荷さ
れた窒素は、導管44および排気筒19を通して吐出され
る。
さらに両変形において、窒素消費平衡の改良が、吸着槽
１に関して前述したと同様の、分子篩の予熱を使用する
ことによって得ることができる。確かに分子篩の再生に
は、200−250℃の温度での気体による掃気を用いること
が必要である。さて、窒素の顕熱は極めて低く、故に20
0−250℃まで吸着剤を加熱するに必要な水の蒸発エンタ
ルピに対応する熱を提供するのに、窒素の大きな容積が
必要である。
１に関して前述したと同様の、分子篩の予熱を使用する
ことによって得ることができる。確かに分子篩の再生に
は、200−250℃の温度での気体による掃気を用いること
が必要である。さて、窒素の顕熱は極めて低く、故に20
0−250℃まで吸着剤を加熱するに必要な水の蒸発エンタ
ルピに対応する熱を提供するのに、窒素の大きな容積が
必要である。
これは、第２図および第３図を参照して前述したような
形式の吸着槽の中に、乾燥用分子篩を配置することが何
故有利であるかの理由である。次いで吸着剤ベッドを予
熱するために、この吸着槽に備えられている熱交換器
に、高温の流体例えば150−200℃の過熱された水蒸気を
通すことができる。予熱と同時にまたはその後に若しく
はその双方で、窒素による掃気を達成すれば、吸着され
た水を最も低い費用で連行できる。吸着槽１の場合のよ
うに、予熱は、閉ループ内の窒素の循環によって伴われ
ることがある。水の吸着のための低い温度に分子篩を戻
すには、吸着槽１に関して前述したような手順がある。
形式の吸着槽の中に、乾燥用分子篩を配置することが何
故有利であるかの理由である。次いで吸着剤ベッドを予
熱するために、この吸着槽に備えられている熱交換器
に、高温の流体例えば150−200℃の過熱された水蒸気を
通すことができる。予熱と同時にまたはその後に若しく
はその双方で、窒素による掃気を達成すれば、吸着され
た水を最も低い費用で連行できる。吸着槽１の場合のよ
うに、予熱は、閉ループ内の窒素の循環によって伴われ
ることがある。水の吸着のための低い温度に分子篩を戻
すには、吸着槽１に関して前述したような手順がある。
図面の簡単な説明 第１図は、この発明による精製装置のフローシートであ
る。
る。
第２図は、第１図の装置の吸着槽の変形の略図である。
第３図は、第２図の線III−IIIに沿う断面図である。
１……吸着槽、２……冷却トラップ、３……吸着槽１の
上方導管、４……同下方導管、11,27……排出導管、12,
36……分析計、13……脱着用窒素供給管、15……精製気
体再循環用導管、17……吐出導管、19……排気筒、20…
…緩衝室、22……予熱器、23……最終電気加熱器、24,2
5,26,29……熱交換器、28……閉ループ、30……液体窒
素貯蔵槽、31……ユニット、32……加熱コイル、33……
回収熱交換器、34,35…デベジキュレーティング装置、3
8……温度プローブ、41……分子篩ベッド、43……再熱
器、45……上蓋、46……熱交換管、47……エルボ、48…
…熱交換管46の外ひれ、49……中空のコイル
上方導管、４……同下方導管、11,27……排出導管、12,
36……分析計、13……脱着用窒素供給管、15……精製気
体再循環用導管、17……吐出導管、19……排気筒、20…
…緩衝室、22……予熱器、23……最終電気加熱器、24,2
5,26,29……熱交換器、28……閉ループ、30……液体窒
素貯蔵槽、31……ユニット、32……加熱コイル、33……
回収熱交換器、34,35…デベジキュレーティング装置、3
8……温度プローブ、41……分子篩ベッド、43……再熱
器、45……上蓋、46……熱交換管、47……エルボ、48…
…熱交換管46の外ひれ、49……中空のコイル
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ０１Ｄ 53/44 53/81 (72)発明者 グナシア‐ドーダン ブノア フランス国 38340 ヴオルペ ラ マル アウザヌ ロチスマン レ フレスネ（番 地その他表示なし)
Claims (13)
- 【請求項１】活性炭素の脱着のために、この活性炭素に
不活性気体の流れを通し、次いでこの流れを、液体の形
で貯蔵される前記不活性気体の蒸発によって冷却され、
かつ処理される気体の不純物の凝縮温度に維持される冷
却トラップ（２）の中に送り、かくして蒸発した不活性
気体の少なくとも一部分を活性炭素の脱着の達成に使用
することを特徴とする、活性炭素での吸着によって気体
を精製する方法。 - 【請求項２】脱着が、活性炭素を通る閉ループの中で不
活性気体の充填分を循環させて、その不純物含量を予め
定められた閾値に到達させる予熱段階と、不活性気体の
流れを活性炭素を通して循環させ、冷却トラップ（２）
に送る溶離段階とからなることを特徴とする特許請求の
範囲第１項に記載の方法。 - 【請求項３】吸着作業の際に、活性炭素および不活性気
体またはそのいずれかを加熱することを特徴とする特許
請求の範囲第１項または第２項に記載の方法。 - 【請求項４】脱着作業の終りおよび吸着段階の際または
そのいずれかに、活性炭素を冷却することを特徴とする
特許請求の範囲第３項に記載の方法。 - 【請求項５】加熱段階および冷却段階またはそのいずれ
かにおいて、活性炭素を通る閉ループの中で不活性気体
の充填分を循環させることを特徴とする特許請求の範囲
第３項または第４項に記載の方法。 - 【請求項６】蒸発した不活性気体の少くとも一部分を、
処理すべき気体を生じる機械を不活性にすることに使用
することを特徴とする特許請求の範囲第１項から第５項
のいずれか１項に記載の方法。 - 【請求項７】湿った気体を分子篩ベッドに予め通すこと
を特徴とする、湿った気体の精製のための特許請求の範
囲第１項から第６項のいずれか１項に記載の方法。 - 【請求項８】脱着用気体を、活性炭素のその出口と冷却
トラップ（２）におけるその入口との間で分子篩ベッド
（41）に通すことを特徴とする、湿った気体の精製のた
めの特許請求の範囲第１項から第６項のいずれか１項に
記載の方法。 - 【請求項９】分子篩（41）を、望ましくは分子篩の予熱
と共に、前記不活性気体の加熱された流れによって再生
することを特徴とする特許請求の範囲第１項から第８項
のいずれか１項に記載の方法。 - 【請求項１０】活性炭素で充たされた吸着槽（１）、液
化不活性気体を蒸発させる手段（29）、かくして蒸発し
た不活性気体の少くとも一部分を吸着槽に送る手段（1
3,20）、吸着槽（１）から出る気体を蒸発した状態の不
活性気体との熱交換によって冷却する手段（２）を備え
ていることを特徴とする、活性炭素での吸着によって気
体を精製する装置。 - 【請求項１１】装置が、吸着槽（１）の中に含まれる気
体を閉ループの中で循環させる手段（5,6）を備えるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第10項に記載の装置。 - 【請求項１２】装置が、吸着槽（１）と冷却トラップ
（２）の間に配置される分子篩ベッド（41）を備えるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第11項に記載の装置。 - 【請求項１３】装置が、長手方向の外ひれ（44）を備え
た複数の熱交換管（42）が内部に長手方向に配置されて
いる吸着槽（１）を有し、前記熱交換管（42）が、吸着
槽（１）の横壁内に配置された流体循環手段（45）と直
列に連結されることを特徴とする特許請求の範囲第10項
から第12項のいずれか１項に記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8506305A FR2580947B1 (fr) | 1985-04-25 | 1985-04-25 | Procede et installation d'epuration par adsorption sur charbon actif, et pot adsorbeur correspondant |
| FR85/06305 | 1985-04-25 | ||
| PCT/FR1986/000132 WO1986006295A1 (fr) | 1985-04-25 | 1986-04-22 | Procede et installation d'epuration par adsorption sur charbon actif, et pot adsorbeur correspondant |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62502671A JPS62502671A (ja) | 1987-10-15 |
| JPH0716574B2 true JPH0716574B2 (ja) | 1995-03-01 |
Family
ID=9318672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61502340A Expired - Lifetime JPH0716574B2 (ja) | 1985-04-25 | 1986-04-22 | 気体を精製する方法および装置 |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4738694A (ja) |
| EP (1) | EP0219521B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0716574B2 (ja) |
| AU (1) | AU591127B2 (ja) |
| CA (1) | CA1299499C (ja) |
| DE (1) | DE3660703D1 (ja) |
| ES (1) | ES8800616A1 (ja) |
| FR (1) | FR2580947B1 (ja) |
| WO (1) | WO1986006295A1 (ja) |
Families Citing this family (44)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2612799B1 (fr) * | 1987-03-27 | 1989-07-13 | Ameg France | Procede et equipement de traitement et de recuperation de vapeurs de solvants par recyclage sur charbon actif |
| DE3737408A1 (de) * | 1987-11-01 | 1989-05-11 | Schack & Co Rekuperator | Verfahren zur rueckgewinnung des bei der desorption von beladenen sorptionsmaterialien anfallenden desorbats sowie vorrichtung dafuer |
| US4786294A (en) * | 1987-12-21 | 1988-11-22 | Allied-Signal Inc. | Integrated gas purification and thermal conditioning system utilizing molecular sieve adsorption |
| EP0325826B1 (en) * | 1988-01-27 | 1993-06-02 | Croudace Holdings Pty Ltd. | Storage terminal vapour emission control system |
| GB8812263D0 (en) * | 1988-05-24 | 1988-06-29 | Boc Group Plc | Separation of gaseous mixtures |
| US4950464A (en) * | 1989-02-10 | 1990-08-21 | The Dow Chemical Company | Purification of sulfuryl fluroide by selective adsorption |
| US4966611A (en) * | 1989-03-22 | 1990-10-30 | Custom Engineered Materials Inc. | Removal and destruction of volatile organic compounds from gas streams |
| US5110328A (en) * | 1989-06-07 | 1992-05-05 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Solvent adsorber and solvent recovery system |
| DE4004532C2 (de) * | 1990-02-14 | 1996-05-09 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Regenerierung von Adsorbern |
| JP2572294B2 (ja) * | 1990-06-21 | 1997-01-16 | 富士写真フイルム株式会社 | 溶剤回収処理方法 |
| US5152812A (en) * | 1991-05-10 | 1992-10-06 | Kovach J Louis | Recovery of condensable organic compounds from inert gas streams laden |
| US5150577A (en) * | 1991-06-11 | 1992-09-29 | Mitchell Mark D | System and method for recovering and purifying a halocarbon composition |
| US5294410A (en) * | 1992-06-01 | 1994-03-15 | Solar Turbine Incorporated | Gas purification and conditioning system |
| DE4341875A1 (de) * | 1993-12-08 | 1995-06-14 | Linde Ag | Verfahren zur Rückgewinnung einer am Adsorptionsmittel angelagerten Resteinsatzfraktion |
| IL108626A (en) * | 1994-02-13 | 1997-04-15 | Ram Lavie And Technion Researc | Method for the recovery of fugitive organic vapors |
| US5704967A (en) * | 1995-10-13 | 1998-01-06 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and delivery system comprising high work capacity physical sorbent |
| US6204180B1 (en) | 1997-05-16 | 2001-03-20 | Advanced Technology Materials, Inc. | Apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing sorbent-based fluid storage and dispensing system for reagent delivery |
| US6132492A (en) * | 1994-10-13 | 2000-10-17 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sorbent-based gas storage and delivery system for dispensing of high-purity gas, and apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing same |
| US6083298A (en) * | 1994-10-13 | 2000-07-04 | Advanced Technology Materials, Inc. | Process for fabricating a sorbent-based gas storage and dispensing system, utilizing sorbent material pretreatment |
| US5518528A (en) * | 1994-10-13 | 1996-05-21 | Advanced Technology Materials, Inc. | Storage and delivery system for gaseous hydride, halide, and organometallic group V compounds |
| IT1281059B1 (it) * | 1995-12-07 | 1998-02-11 | Effe Gi S R L 3 | Disposotivo di filtraggio. |
| US5916245A (en) * | 1996-05-20 | 1999-06-29 | Advanced Technology Materials, Inc. | High capacity gas storage and dispensing system |
| US5985008A (en) * | 1997-05-20 | 1999-11-16 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sorbent-based fluid storage and dispensing system with high efficiency sorbent medium |
| US5851270A (en) * | 1997-05-20 | 1998-12-22 | Advanced Technology Materials, Inc. | Low pressure gas source and dispensing apparatus with enhanced diffusive/extractive means |
| US5980608A (en) * | 1998-01-07 | 1999-11-09 | Advanced Technology Materials, Inc. | Throughflow gas storage and dispensing system |
| US6406519B1 (en) * | 1998-03-27 | 2002-06-18 | Advanced Technology Materials, Inc. | Gas cabinet assembly comprising sorbent-based gas storage and delivery system |
| US6660063B2 (en) | 1998-03-27 | 2003-12-09 | Advanced Technology Materials, Inc | Sorbent-based gas storage and delivery system |
| US6070576A (en) * | 1998-06-02 | 2000-06-06 | Advanced Technology Materials, Inc. | Adsorbent-based storage and dispensing system |
| US6547861B2 (en) * | 2000-12-26 | 2003-04-15 | Matheson Tri-Gas,, Inc. | Method and materials for purifying reactive gases using preconditioned ultra-low emission carbon material |
| US6425946B1 (en) | 2000-12-26 | 2002-07-30 | Matheson Tri-Gas, Inc. | Method and apparatus for removing trace impurities from a gas using superactivated carbon material |
| US7105037B2 (en) * | 2002-10-31 | 2006-09-12 | Advanced Technology Materials, Inc. | Semiconductor manufacturing facility utilizing exhaust recirculation |
| USD545393S1 (en) | 2002-12-09 | 2007-06-26 | Advanced Technology Materials, Inc. | Rectangular parallelepiped fluid storage and dispensing vessel |
| US6991671B2 (en) * | 2002-12-09 | 2006-01-31 | Advanced Technology Materials, Inc. | Rectangular parallelepiped fluid storage and dispensing vessel |
| US8002880B2 (en) | 2002-12-10 | 2011-08-23 | Advanced Technology Materials, Inc. | Gas storage and dispensing system with monolithic carbon adsorbent |
| US6743278B1 (en) | 2002-12-10 | 2004-06-01 | Advanced Technology Materials, Inc. | Gas storage and dispensing system with monolithic carbon adsorbent |
| US7494530B2 (en) * | 2002-12-10 | 2009-02-24 | Advanced Technology Materials, Inc. | Gas storage and dispensing system with monolithic carbon adsorbent |
| WO2008137623A1 (en) * | 2007-05-03 | 2008-11-13 | Dae Sung Lee | Filtration system |
| FR2917420B1 (fr) * | 2007-06-14 | 2012-08-03 | Air Liquide | Dispositif et procede d'elimination d'un sous-produit du biodiesel, procede de purification du biodiesel issu d'une etape de transesterification, ainsi qu'une installation de production de biodiesel les incluant |
| US8679231B2 (en) | 2011-01-19 | 2014-03-25 | Advanced Technology Materials, Inc. | PVDF pyrolyzate adsorbent and gas storage and dispensing system utilizing same |
| EP2855009A4 (en) | 2012-05-29 | 2016-04-13 | Entegris Inc | CARBON ADSORBENT FOR THE REMOVAL OF HYDROGEN SULFIDE FROM GAS, AND REGENERATION OF ADSORBENT |
| CN103585854B (zh) * | 2013-10-29 | 2015-09-09 | 嘉园环保有限公司 | 一种活性炭吸附、n2脱附回收处理有机废气的工艺 |
| CN104128071A (zh) * | 2014-08-15 | 2014-11-05 | 苏州市兴鲁空分设备科技发展有限公司 | 一种氦气提纯装置 |
| CN111228958A (zh) * | 2020-04-07 | 2020-06-05 | 索红卫 | 一种活性炭吸附脱附方法及装置 |
| CN111389366B (zh) * | 2020-04-20 | 2022-04-26 | 南华大学 | 一种活性炭的改性方法、改性的活性炭及其应用 |
Family Cites Families (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE411636C (de) * | 1922-06-07 | 1925-04-02 | Carl Mangold Dr | Verfahren und Vorrichtung zur Gewinnung kondensierbarer Stoffe aus Gemischen mit Luft oder anderen Gasen durch Adsorption |
| US1737822A (en) * | 1924-07-02 | 1929-12-03 | American Solvent Recovery Corp | Apparatus for the recovery of gases and vapors |
| US1661104A (en) * | 1925-01-21 | 1928-02-28 | American Solvent Recovery Corp | Apparatus for treating gases |
| DE600086C (de) * | 1927-01-12 | 1934-07-13 | Carbo Norit Union Verwaltungs | Verfahren zur Wiedergewinnung von in Adsorptionsmitteln aufgenommenen Gasen oder Daempfen und Regeneration der Adsorptionsmittel |
| US2186844A (en) * | 1935-05-31 | 1940-01-09 | Gen Motors Corp | Refrigerating apparatus |
| GB485985A (en) * | 1936-11-03 | 1938-05-27 | Carbo Norit Union Verwaltungs | Method of and apparatus for cooling heating and cooling coils for absorption apparatus with alternate operation |
| FR1003705A (fr) * | 1947-02-14 | 1952-03-21 | Chantiers De La Loire Atel | Perfectionnement à la technique d'emploi des adsorbants et absorbants régénérables par la chaleur |
| FR1298651A (fr) * | 1960-08-24 | 1962-07-13 | Ass Elect Ind | Enceinte d'adsorption de vapeurs et de gaz |
| GB986792A (en) * | 1960-08-24 | 1965-03-24 | Ass Elect Ind | Improvements in or relating to adsorption apparatus |
| US3335550A (en) * | 1964-04-24 | 1967-08-15 | Union Carbide Corp | Cryosorption apparatus |
| BE758402A (fr) * | 1969-11-03 | 1971-04-16 | Titan Gmbh | Elimination du sulfure de carbonyle de gaz industriels |
| JPS5314167A (en) * | 1976-07-26 | 1978-02-08 | Daiyo Sanso | Gas superrlowwtemperature adsorption scrubbing column |
| DE2820771C3 (de) * | 1978-05-12 | 1981-12-17 | BÖWE Maschinenfabrik GmbH, 8900 Augsburg | Adsorptionsvorrichtung |
| AU546133B2 (en) * | 1980-11-07 | 1985-08-15 | Lohamnn G.m.b.H. + Co. Kg | Recovery of solvents |
| DE3117310C2 (de) * | 1981-04-30 | 1985-09-26 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Adsorptionsfilter |
| US4425142A (en) * | 1982-11-15 | 1984-01-10 | Chicago Bridge & Iron Company | Pressure swing adsorption cycle for natural gas pretreatment for liquefaction |
| US4516988A (en) * | 1983-08-25 | 1985-05-14 | Rekuperator Kg Dr.-Ing. Schack & Co. | Method and apparatus for purifying a gas stream in a sorption filter |
| US4522636A (en) * | 1984-02-08 | 1985-06-11 | Kryos Energy Inc. | Pipeline gas pressure reduction with refrigeration generation |
| US4589890A (en) * | 1985-01-10 | 1986-05-20 | Dedert Corporation | Heat recovery method and apparatus |
-
1985
- 1985-04-25 FR FR8506305A patent/FR2580947B1/fr not_active Expired
-
1986
- 1986-04-22 DE DE8686902427T patent/DE3660703D1/de not_active Expired
- 1986-04-22 EP EP86902427A patent/EP0219521B1/fr not_active Expired
- 1986-04-22 JP JP61502340A patent/JPH0716574B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1986-04-22 US US07/007,245 patent/US4738694A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-04-22 AU AU57771/86A patent/AU591127B2/en not_active Ceased
- 1986-04-22 WO PCT/FR1986/000132 patent/WO1986006295A1/fr not_active Ceased
- 1986-04-24 ES ES554325A patent/ES8800616A1/es not_active Expired
- 1986-04-25 CA CA000507653A patent/CA1299499C/fr not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4738694A (en) | 1988-04-19 |
| WO1986006295A1 (fr) | 1986-11-06 |
| JPS62502671A (ja) | 1987-10-15 |
| EP0219521A1 (fr) | 1987-04-29 |
| ES554325A0 (es) | 1987-11-16 |
| DE3660703D1 (en) | 1988-10-20 |
| AU591127B2 (en) | 1989-11-30 |
| AU5777186A (en) | 1986-11-18 |
| CA1299499C (fr) | 1992-04-28 |
| FR2580947A1 (fr) | 1986-10-31 |
| FR2580947B1 (fr) | 1989-09-01 |
| ES8800616A1 (es) | 1987-11-16 |
| EP0219521B1 (fr) | 1988-09-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0716574B2 (ja) | 気体を精製する方法および装置 | |
| US4056369A (en) | Method of and apparatus for the recovery of a desired material from a carrier stream | |
| KR950008626B1 (ko) | 흡착 응축식 용매 회수 시스템 | |
| US4270938A (en) | Processes for decontaminating nuclear process off-gas streams | |
| US4259094A (en) | Apparatus for continuous recovery of solvent | |
| EP0956894B1 (en) | Adsorption process for recovery of solvents | |
| US4511375A (en) | Process and apparatus for direct heat transfer temperature swing regeneration | |
| US5069038A (en) | Process for removering desorbate produced in the desorption of laden sorption material, and apparatus therefor | |
| US3479797A (en) | Surge chamber for hydrocarbon recovery sorption systems | |
| EP1492610B1 (en) | Method and system for desorption and recovery of desorbed compounds | |
| US2712981A (en) | Gas generator and process for producing dry gas | |
| US4460466A (en) | Adsorption filter with desorption device | |
| JPH0768127A (ja) | 乾熱脱着式溶剤回収装置 | |
| JPH06226029A (ja) | 溶剤の回収方法 | |
| US4473381A (en) | Method for recovering a substantially dehydrated desorbate as well as apparatus for carrying out the method | |
| JP3983440B2 (ja) | 溶剤回収における活性炭層の冷却方法 | |
| JP3364118B2 (ja) | 無機系吸着剤によるガス処理方法及び装置 | |
| EP0492814B1 (en) | Method of and apparatus for controlling the solvent vapor concentration in a gas lock of an apparatus | |
| US5277716A (en) | Method of controlling the solvent vapor concentration in an apparatus | |
| JPH0620508B2 (ja) | 加圧空気の除湿方法 | |
| EP0437038B1 (en) | Method of controlling solvent vapor concentrations in the cleaning of articles and apparatus useful therefore | |
| RU2061530C1 (ru) | Способ адсорбционно-конденсационной очистки газовых выбросов | |
| JPH0333693B2 (ja) | ||
| TW494010B (en) | Exhaust recycle system | |
| JP3223253B2 (ja) | フロンの再生方法及び再生装置 |