JPH07167307A - 取外し可能な加熱式絞り弁 - Google Patents
取外し可能な加熱式絞り弁Info
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- JPH07167307A JPH07167307A JP6207691A JP20769194A JPH07167307A JP H07167307 A JPH07167307 A JP H07167307A JP 6207691 A JP6207691 A JP 6207691A JP 20769194 A JP20769194 A JP 20769194A JP H07167307 A JPH07167307 A JP H07167307A
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- Japan
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- housing
- outer housing
- seal
- inner housing
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
- F16K27/0209—Check valves or pivoted valves
- F16K27/0218—Butterfly valves
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16K47/08—Means in valves for absorbing fluid energy for decreasing pressure or noise level and having a throttling member separate from the closure member, e.g. screens, slots, labyrinths
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K49/00—Means in or on valves for heating or cooling
- F16K49/002—Electric heating means
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- Y10T137/6048—Butterfly valve
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
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- Details Of Valves (AREA)
- Valve Housings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ２個構成型絞り弁を提供することにある。
【構成】 絞り弁たる弁アセンブリは、取外し可能な内
部機能アセンブリを有する固定の外部ハウジングから成
る。本発明では、内部弁やスクリーンを取り外してクリ
ーニングするのに、配管の解体は必要ない。内部アセン
ブリは簡単に取り外すことができる。弁アセンブリ全体
は加熱され、内部弁表面上の処理副産物の付着が減じら
れ、クリーニング回数が減じられる。外部ハウジング内
にはくさび板が設けられ、内部ハウジングの傾斜底面と
当接し、内部ハウジングが外部ハウジング内の所定位置
に配置された際に、弁穴の回りの封止面間に締まりばめ
を形成する。１個の平面シールが内部アセンブリと外部
ハウジングとの間に真空シールを提供する。２重弁軸シ
ールが弁軸を封止する。このシールは、耐化学性の内側
Ｏリングと、耐化学性はやや低いが、真空漏れを防止す
るクウォードシール形状の外側Ｏリングとから成る。外
部ハウジングに支持され、そこに隣接する流路中に設け
られたスクリーンは、外部ハウジングの内部から容易に
接近できる。
部機能アセンブリを有する固定の外部ハウジングから成
る。本発明では、内部弁やスクリーンを取り外してクリ
ーニングするのに、配管の解体は必要ない。内部アセン
ブリは簡単に取り外すことができる。弁アセンブリ全体
は加熱され、内部弁表面上の処理副産物の付着が減じら
れ、クリーニング回数が減じられる。外部ハウジング内
にはくさび板が設けられ、内部ハウジングの傾斜底面と
当接し、内部ハウジングが外部ハウジング内の所定位置
に配置された際に、弁穴の回りの封止面間に締まりばめ
を形成する。１個の平面シールが内部アセンブリと外部
ハウジングとの間に真空シールを提供する。２重弁軸シ
ールが弁軸を封止する。このシールは、耐化学性の内側
Ｏリングと、耐化学性はやや低いが、真空漏れを防止す
るクウォードシール形状の外側Ｏリングとから成る。外
部ハウジングに支持され、そこに隣接する流路中に設け
られたスクリーンは、外部ハウジングの内部から容易に
接近できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェハを処理す
るための処理状態を得てそれを保つために用いられる低
圧（真空）系で使用される絞り弁（throttling valve）
に関するものである。
るための処理状態を得てそれを保つために用いられる低
圧（真空）系で使用される絞り弁（throttling valve）
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３に典型的な構成を示す通り、プラズ
マメタルエッチング処理においては、処理チャンバ２０
が、スクリーン５７と、絞り弁アセンブリ２４と、ゲー
ト弁２６と、ターボ（ブースタ、ターボ分子）真空ポン
プ２８と、主真空ポンプ（これは矢印３２の方向にあ
る）に接続する遮断弁（isolation valve ）３０とを備
える真空系に真空配管により接続される。絞り弁アセン
ブリ２４は、処理チャンバ２０と真空ポンプとの間の排
気ラインに設けられたバタフライ形絞り弁であるのが一
般的である。絞り弁はエッチング処理チャンバ２０内の
圧力を調整する。処理チャンバ２０内で用いられるガス
は、しばしば、エッチング副産物、例えばAl2 Cl3 、高
分子反応生成物を生成する。これらの反応生成物は真空
配管に吸引され、絞り弁上で急速に凝固して絞り弁を被
覆する。これは微粒子を生成する傾向があり、この微粒
子は処理チャンバ内のウェハを汚染することが分ってい
る。
マメタルエッチング処理においては、処理チャンバ２０
が、スクリーン５７と、絞り弁アセンブリ２４と、ゲー
ト弁２６と、ターボ（ブースタ、ターボ分子）真空ポン
プ２８と、主真空ポンプ（これは矢印３２の方向にあ
る）に接続する遮断弁（isolation valve ）３０とを備
える真空系に真空配管により接続される。絞り弁アセン
ブリ２４は、処理チャンバ２０と真空ポンプとの間の排
気ラインに設けられたバタフライ形絞り弁であるのが一
般的である。絞り弁はエッチング処理チャンバ２０内の
圧力を調整する。処理チャンバ２０内で用いられるガス
は、しばしば、エッチング副産物、例えばAl2 Cl3 、高
分子反応生成物を生成する。これらの反応生成物は真空
配管に吸引され、絞り弁上で急速に凝固して絞り弁を被
覆する。これは微粒子を生成する傾向があり、この微粒
子は処理チャンバ内のウェハを汚染することが分ってい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】チャンバ内の粒子汚染
を許容レベルに保つためには、絞り弁上の重ポリマー付
着物（heavy polymer deposits）を除去しなければなら
ない。絞り弁を取り外してクリーニング（清浄処理）を
行うには、相当な時間（数時間）を費やさなければなら
ない。絞り弁は、処理チャンバ真空配管の一体的部分で
ある。従って、絞り弁の取外し及びクリーニングを行う
ためには、絞り弁を取り外すことができるように、弁に
隣接する配管を完全に分解しないまでも、該配管に手を
加えなければならない。取外し、クリーニング及び再組
立ての各サイクルは、配管やバルブに損傷を与えたり真
空漏れを生じたりする可能性を増す。
を許容レベルに保つためには、絞り弁上の重ポリマー付
着物（heavy polymer deposits）を除去しなければなら
ない。絞り弁を取り外してクリーニング（清浄処理）を
行うには、相当な時間（数時間）を費やさなければなら
ない。絞り弁は、処理チャンバ真空配管の一体的部分で
ある。従って、絞り弁の取外し及びクリーニングを行う
ためには、絞り弁を取り外すことができるように、弁に
隣接する配管を完全に分解しないまでも、該配管に手を
加えなければならない。取外し、クリーニング及び再組
立ての各サイクルは、配管やバルブに損傷を与えたり真
空漏れを生じたりする可能性を増す。
【０００４】ポリマーの蓄積による処理チャンバ及び処
理されるウェハ上の粒子汚染の有害な影響は許容するこ
とはできない。配管（ポンピングスタック（pumping st
ack）又はポンプ系）が各クリーニングのために手を加
えられ或は分解されなければならない場合、絞り弁を取
り外してクリーニングを行い再設置するために繰り返し
て行われる真空系の分解は、非常に手間及び時間のかか
る行為となる。これは処理チャンバの処理能力を減じ
（製造システムの停止時間を延長し）、構成要素を損傷
させる危険性をより大きくする。
理されるウェハ上の粒子汚染の有害な影響は許容するこ
とはできない。配管（ポンピングスタック（pumping st
ack）又はポンプ系）が各クリーニングのために手を加
えられ或は分解されなければならない場合、絞り弁を取
り外してクリーニングを行い再設置するために繰り返し
て行われる真空系の分解は、非常に手間及び時間のかか
る行為となる。これは処理チャンバの処理能力を減じ
（製造システムの停止時間を延長し）、構成要素を損傷
させる危険性をより大きくする。
【０００５】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明は、クリ
ーニングのために弁の内部構造物の迅速な取外しを可能
とし且つポリマーの付着の割合及びクリーニングの回数
を減じるために弁アセンブリ全体を加熱する２個構成型
（two piece ）の絞り弁アセンブリを提供する。固定の
外部弁ハウジングは処理チャンバと真空ポンプとの間で
真空配管（ポンプスタック）に永久的に取り付けられ
る。この外部ハウジングは一側において開口している。
従って、外部ハウジングは、系から取り外されることな
く、その側部開口を通して内部に付着された全てのポリ
マーのクリーンニングを行うことができる。また、側部
開口は内部弁アセンブリを受け入れ、これを封止する。
内部弁アセンブリは、バタフライ形絞り弁として機能す
るよう、弁棒（弁軸）上の弁フラッパを内包する中空シ
リンダを有するプラグを備えている。内部アセンブリ及
び外部ハウジングが組み付けられる場合、外部弁ハウジ
ングの側部開口は、内部ハウジング（プラグ）のフラン
ジ回りのＯリングシール及び弁棒シールにより封止され
る。
ーニングのために弁の内部構造物の迅速な取外しを可能
とし且つポリマーの付着の割合及びクリーニングの回数
を減じるために弁アセンブリ全体を加熱する２個構成型
（two piece ）の絞り弁アセンブリを提供する。固定の
外部弁ハウジングは処理チャンバと真空ポンプとの間で
真空配管（ポンプスタック）に永久的に取り付けられ
る。この外部ハウジングは一側において開口している。
従って、外部ハウジングは、系から取り外されることな
く、その側部開口を通して内部に付着された全てのポリ
マーのクリーンニングを行うことができる。また、側部
開口は内部弁アセンブリを受け入れ、これを封止する。
内部弁アセンブリは、バタフライ形絞り弁として機能す
るよう、弁棒（弁軸）上の弁フラッパを内包する中空シ
リンダを有するプラグを備えている。内部アセンブリ及
び外部ハウジングが組み付けられる場合、外部弁ハウジ
ングの側部開口は、内部ハウジング（プラグ）のフラン
ジ回りのＯリングシール及び弁棒シールにより封止され
る。
【０００６】外部ハウジングは、サーモスタットにより
制御される電気ヒータで加熱される。ヒータからの熱
は、弁フラッパを含む内部アセンブリの温度を上昇さ
せ、絞り弁アセンブリの内部の面、特にフラッパ表面上
のエッチング副産物（ポリマー）の付着の割合を減じ或
は防止する。外部ハウジングの温度制御が９５℃を保つ
ようにセットされた場合、約８５℃の弁表面の最低温度
が内部の面で維持される。この温度で且つ処理チャンバ
圧力よりも１０〜３０ミリトル高い運転圧力範囲で、エ
ッチング副産物、特にAl2 Cl3 の大部分が内部の面に付
着するのが防止される。
制御される電気ヒータで加熱される。ヒータからの熱
は、弁フラッパを含む内部アセンブリの温度を上昇さ
せ、絞り弁アセンブリの内部の面、特にフラッパ表面上
のエッチング副産物（ポリマー）の付着の割合を減じ或
は防止する。外部ハウジングの温度制御が９５℃を保つ
ようにセットされた場合、約８５℃の弁表面の最低温度
が内部の面で維持される。この温度で且つ処理チャンバ
圧力よりも１０〜３０ミリトル高い運転圧力範囲で、エ
ッチング副産物、特にAl2 Cl3 の大部分が内部の面に付
着するのが防止される。
【０００７】内部ハウジングアセンブリは、弁の穴に対
応する中空シリンダを有するフランジ付きハウジング
（プラグ）を備えている。弁棒はプラグを貫通し、穴の
中心でその軸線を中心として枢動する。２枚の対称的な
バタフライ弁フラッパが穴内で弁棒（弁軸）の両側に取
り付けられる。弁棒（弁軸）には二重軸シールが設けら
れ、処理されるウェハ上の微粒子汚染の原因となり得る
絞り弁内部への真空漏れを防止するようになっている。
シールは２つの不連続のシール要素から成っている。内
側のシールは、腐食性化学物質が外側のシールに達する
の防止するために、カルレツ（Kalrez）やケムラツ（Ch
emraz ）等の耐化学性（耐薬品性）材料から作られた標
準的な形状のＯリングとなっている。ビトン（Viton ）
から作られた外側のシールは、クウォードシール（quad
seal ）と呼ばれる特殊形状のＯリングであり、主真空
シールとなっている。
応する中空シリンダを有するフランジ付きハウジング
（プラグ）を備えている。弁棒はプラグを貫通し、穴の
中心でその軸線を中心として枢動する。２枚の対称的な
バタフライ弁フラッパが穴内で弁棒（弁軸）の両側に取
り付けられる。弁棒（弁軸）には二重軸シールが設けら
れ、処理されるウェハ上の微粒子汚染の原因となり得る
絞り弁内部への真空漏れを防止するようになっている。
シールは２つの不連続のシール要素から成っている。内
側のシールは、腐食性化学物質が外側のシールに達する
の防止するために、カルレツ（Kalrez）やケムラツ（Ch
emraz ）等の耐化学性（耐薬品性）材料から作られた標
準的な形状のＯリングとなっている。ビトン（Viton ）
から作られた外側のシールは、クウォードシール（quad
seal ）と呼ばれる特殊形状のＯリングであり、主真空
シールとなっている。
【０００８】固定の外部弁ハウジングの内面は、内部底
面にほぼ平行な内部上面を含んでいる。内部ハウジング
は、平坦な上面と、テーパが付けられた底面とを有して
いる。テーパが付けられた平らな上面を有するくさび板
が外部ハウジングの内部底面に挿入当接される。内部ハ
ウジングの底面はくさび板の上面と平行な角度でテーパ
が付けられている。内部ハウジングを外部ハウジングに
挿入すると、くさび板はその使用位置に内部ハウジング
を持ち上げ、外部ハウジングの内部上面と接触させる。
くさび板、内部ハウジング及び外部ハウジングがその使
用位置に組み付けられた場合、それらを貫通する穴は全
て整列される。内部ハウジングの回りからのガスの噴漏
れ（blow-by ）を防止するために、部材間の比較的緊密
な嵌合いが必要とされる。内部ハウジングと外部ハウジ
ングとの間の締まりばめ部は、Ｏリングでシールされて
もよく、或は、シールされなくてもよい。くさび板の使
用は、最後の約１／４in. （６．３５mm）の移動が得ら
れるまでの、外部ハウジング内への内部ハウジングの自
由移動を可能とする。最後の約１／４in. （６．３５m
m）の移動は、ハウジングを着座させ、（設置されてい
るならば）Ｏリングを０．０１０in. （０．２５４mm）
圧する。
面にほぼ平行な内部上面を含んでいる。内部ハウジング
は、平坦な上面と、テーパが付けられた底面とを有して
いる。テーパが付けられた平らな上面を有するくさび板
が外部ハウジングの内部底面に挿入当接される。内部ハ
ウジングの底面はくさび板の上面と平行な角度でテーパ
が付けられている。内部ハウジングを外部ハウジングに
挿入すると、くさび板はその使用位置に内部ハウジング
を持ち上げ、外部ハウジングの内部上面と接触させる。
くさび板、内部ハウジング及び外部ハウジングがその使
用位置に組み付けられた場合、それらを貫通する穴は全
て整列される。内部ハウジングの回りからのガスの噴漏
れ（blow-by ）を防止するために、部材間の比較的緊密
な嵌合いが必要とされる。内部ハウジングと外部ハウジ
ングとの間の締まりばめ部は、Ｏリングでシールされて
もよく、或は、シールされなくてもよい。くさび板の使
用は、最後の約１／４in. （６．３５mm）の移動が得ら
れるまでの、外部ハウジング内への内部ハウジングの自
由移動を可能とする。最後の約１／４in. （６．３５m
m）の移動は、ハウジングを着座させ、（設置されてい
るならば）Ｏリングを０．０１０in. （０．２５４mm）
圧する。
【０００９】他の実施態様において、内部ハウジングの
底面はテーパが付けられていない。開放端形Ｏリング又
は他の断面形状のシールが、内部ハウジングと外部ハウ
ジングとの間の径方向空間を封止する。開放端形シール
の端部は、取外し可能なハウジング（プラグ）の側部に
おける適当な断面形状の保持溝に、側部開口に対向して
取り付けられる。これはプラグの側面の全周を封止する
ものである。開放端形Ｏリング型式のシールの端部は、
内部ハウジングのフランジの内側面におけるシール端穴
（どのような断面形状が用いられてもＯリング型シール
の端部を保持する凹部）に収容される。シール端穴及び
開放端形Ｏリングのすぐ隣には、フランジシールたるＯ
リングと溝があり、雰囲気に対してタイトな（気密な）
真空シールを提供する。一方、開放端形Ｏリングとシー
ル端穴との間の間隙は、構成要素の寸法が適切に一致さ
れている場合、タイトシールを提供することができる。
側部封止用溝の好適な位置は、（２つのハウジングの間
のガスの侵入を減じるため）内部ハウジングの上面の方
にある。この場合、くさび底部及びくさび板は必要な
い。プラグがフランジねじにより外部ハウジングの内部
に完全に挿入され実際に押圧された場合、封止は側部開
放端形Ｏリングの圧縮により確定される。
底面はテーパが付けられていない。開放端形Ｏリング又
は他の断面形状のシールが、内部ハウジングと外部ハウ
ジングとの間の径方向空間を封止する。開放端形シール
の端部は、取外し可能なハウジング（プラグ）の側部に
おける適当な断面形状の保持溝に、側部開口に対向して
取り付けられる。これはプラグの側面の全周を封止する
ものである。開放端形Ｏリング型式のシールの端部は、
内部ハウジングのフランジの内側面におけるシール端穴
（どのような断面形状が用いられてもＯリング型シール
の端部を保持する凹部）に収容される。シール端穴及び
開放端形Ｏリングのすぐ隣には、フランジシールたるＯ
リングと溝があり、雰囲気に対してタイトな（気密な）
真空シールを提供する。一方、開放端形Ｏリングとシー
ル端穴との間の間隙は、構成要素の寸法が適切に一致さ
れている場合、タイトシールを提供することができる。
側部封止用溝の好適な位置は、（２つのハウジングの間
のガスの侵入を減じるため）内部ハウジングの上面の方
にある。この場合、くさび底部及びくさび板は必要な
い。プラグがフランジねじにより外部ハウジングの内部
に完全に挿入され実際に押圧された場合、封止は側部開
放端形Ｏリングの圧縮により確定される。
【００１０】スクリーンアセンブリが外部ハウジングに
より支持される。このアセンブリの多孔部分（perforat
ed section）は、ワイヤ保持具上に載置された円筒形の
スクリーンスカートにより、弁の穴の上方に支持され
る。スクリーンは、弁内でのプラズマ形成を防止し、処
理チャンバから真空系へ落下するあらゆる異物を止めて
保持する。通常、このようなスクリーンも、配管（ポン
プスタック）を分解することにより接近ないしは点検さ
れなければならなかった。本件の場合、スクリーンは、
弁の穴にすきまばめとされ、外部弁ハウジングの内部溝
に嵌合された保持ワイヤにより保持される。内部ハウジ
ングと弁のスクリーンワイヤ保持具とを取り外すと、ス
クリーンアセンブリは弁の穴を通すことができ、配管に
手を加えることなく、外部ハウジングの側部開口から取
り出すこともできる。
より支持される。このアセンブリの多孔部分（perforat
ed section）は、ワイヤ保持具上に載置された円筒形の
スクリーンスカートにより、弁の穴の上方に支持され
る。スクリーンは、弁内でのプラズマ形成を防止し、処
理チャンバから真空系へ落下するあらゆる異物を止めて
保持する。通常、このようなスクリーンも、配管（ポン
プスタック）を分解することにより接近ないしは点検さ
れなければならなかった。本件の場合、スクリーンは、
弁の穴にすきまばめとされ、外部弁ハウジングの内部溝
に嵌合された保持ワイヤにより保持される。内部ハウジ
ングと弁のスクリーンワイヤ保持具とを取り外すと、ス
クリーンアセンブリは弁の穴を通すことができ、配管に
手を加えることなく、外部ハウジングの側部開口から取
り出すこともできる。
【００１１】この絞り弁アセンブリは、ポリマー（他の
処理副産物）の凝固の機会を減じることにより、ウェハ
処理チャンバ内の微粒子のレベルを低減する。また、こ
の絞り弁アセンブリは、取外し、クリーニング及び／又
は交換のために弁内部部材に接近するための非常に迅速
で簡単な手段を提供する。更に、この絞り弁アセンブリ
は、真空系保護スクリーンへの接近を容易化する。そし
て、この絞り弁アセンブリにおける弁棒（弁軸）のシー
ル構造は、耐化学性を有する真空タイトシールを提供す
る。
処理副産物）の凝固の機会を減じることにより、ウェハ
処理チャンバ内の微粒子のレベルを低減する。また、こ
の絞り弁アセンブリは、取外し、クリーニング及び／又
は交換のために弁内部部材に接近するための非常に迅速
で簡単な手段を提供する。更に、この絞り弁アセンブリ
は、真空系保護スクリーンへの接近を容易化する。そし
て、この絞り弁アセンブリにおける弁棒（弁軸）のシー
ル構造は、耐化学性を有する真空タイトシールを提供す
る。
【００１２】
【実施例】図３は、真空ポンプに接続する流路配管（パ
ス配管：path piping ）における処理チャンバ２０から
の典型的な真空配管（ポンプスタック：pump stack）の
構成を示している。バタフライ形絞り弁アセンブリ２４
は、スクリーンアセンブリ５７の下方であってゲート弁
２６の上方に取り付けられている。ゲート弁２６はター
ボ真空ポンプ２８に接続しており、この真空ポンプ２８
は遮断弁（isolation valve ）３０に接続し、更に、遮
断弁３０は主真空ポンプ（矢印３２の方向にある）に至
る配管に接続している。
ス配管：path piping ）における処理チャンバ２０から
の典型的な真空配管（ポンプスタック：pump stack）の
構成を示している。バタフライ形絞り弁アセンブリ２４
は、スクリーンアセンブリ５７の下方であってゲート弁
２６の上方に取り付けられている。ゲート弁２６はター
ボ真空ポンプ２８に接続しており、この真空ポンプ２８
は遮断弁（isolation valve ）３０に接続し、更に、遮
断弁３０は主真空ポンプ（矢印３２の方向にある）に至
る配管に接続している。
【００１３】本発明による構成を用いる場合、図３に示
す弁アセンブリ２４は、図１に示す弁アセンブリ２５に
置き換えられる。図１は本発明による絞り弁アセンブリ
２５の分解図を示している。弁アセンブリ２５は、外部
ハウジング３５と、内部アセンブリ６９と、くさび６３
と、スクリーンアセンブリ５７と、駆動アセンブリ１０
１とから成っている。
す弁アセンブリ２４は、図１に示す弁アセンブリ２５に
置き換えられる。図１は本発明による絞り弁アセンブリ
２５の分解図を示している。弁アセンブリ２５は、外部
ハウジング３５と、内部アセンブリ６９と、くさび６３
と、スクリーンアセンブリ５７と、駆動アセンブリ１０
１とから成っている。
【００１４】固定の外部ハウジング３５は、配管（図示
しない）に永久的に取り付けられている。内部アセンブ
リ６９は、固定の外部ハウジング３５の側部開口４５か
ら取り外すことができ、隣接の配管系に手を加えること
なく、内部ハウジング７０及び外部ハウジング３５の内
側をクリーニングすることができる。外部ハウジング３
５を所定位置に残すことにより、外部ハウジング３５に
しっかりと取り付けられた隣接の配管構成要素（例え
ば、ゲート弁２６、ターボポンプ２８、遮断弁３０及び
可撓性の排気ライン２２等）に手を加える必要性が回避
される。これらの構成要素或は弁のいずれも、分解中及
び再組立て中に損傷を受ける可能性がある。本発明の構
成は、構成要素のシールがクリーニング作業中に繰り返
し破棄され再び組み付けられる場合に、構成要素内或は
構成要素間で生ずる真空漏れの可能性を除去する。
しない）に永久的に取り付けられている。内部アセンブ
リ６９は、固定の外部ハウジング３５の側部開口４５か
ら取り外すことができ、隣接の配管系に手を加えること
なく、内部ハウジング７０及び外部ハウジング３５の内
側をクリーニングすることができる。外部ハウジング３
５を所定位置に残すことにより、外部ハウジング３５に
しっかりと取り付けられた隣接の配管構成要素（例え
ば、ゲート弁２６、ターボポンプ２８、遮断弁３０及び
可撓性の排気ライン２２等）に手を加える必要性が回避
される。これらの構成要素或は弁のいずれも、分解中及
び再組立て中に損傷を受ける可能性がある。本発明の構
成は、構成要素のシールがクリーニング作業中に繰り返
し破棄され再び組み付けられる場合に、構成要素内或は
構成要素間で生ずる真空漏れの可能性を除去する。
【００１５】アセンブリ２５のくさび６３は、固定の外
部ハウジング３５の底部に挿入される（図１及び図
４）。このくさび６３は傾斜平面（ランプ：ramp）を形
成し、その上に内部弁アセンブリ６９が置かれる。内部
弁アセンブリ６９の内部ハウジング７０は、平坦な上面
７１と、傾斜した底面７３とを有している。傾斜底面７
３の角度はくさび６３の上面の傾斜に一致している。内
部弁アセンブリ６９の側部フランジ７４が固定の外部ハ
ウジング３５の側面３８に当接されると、内部ハウジン
グ７０の傾斜底面７３はくさび６３をほぼ覆う。これら
の角度が付けられた部材の正確な寸法は、くさび６３、
内部ハウジング７０及び外部ハウジング３５の上面と底
面の相互間で締まりばめを形成するものである。
部ハウジング３５の底部に挿入される（図１及び図
４）。このくさび６３は傾斜平面（ランプ：ramp）を形
成し、その上に内部弁アセンブリ６９が置かれる。内部
弁アセンブリ６９の内部ハウジング７０は、平坦な上面
７１と、傾斜した底面７３とを有している。傾斜底面７
３の角度はくさび６３の上面の傾斜に一致している。内
部弁アセンブリ６９の側部フランジ７４が固定の外部ハ
ウジング３５の側面３８に当接されると、内部ハウジン
グ７０の傾斜底面７３はくさび６３をほぼ覆う。これら
の角度が付けられた部材の正確な寸法は、くさび６３、
内部ハウジング７０及び外部ハウジング３５の上面と底
面の相互間で締まりばめを形成するものである。
【００１６】図４に示すように、固定の外部ハウジング
３５は内部底面４１を有している。この内部底面４１
は、くさび６３を着座させ位置決めするための段付き円
形ランド部を有している。くさび６３の底面は、外部ハ
ウジング３５の円形ランド部４４内に嵌合される起立フ
ランジ６５を有している。くさび６３の穴６６は、取外
し可能な内部ハウジング７０及び外部ハウジング３５の
穴と整列され、アセンブリ２５全体を貫通する実質的に
連続的な一様な断面の穴を形成するようになっている。
３５は内部底面４１を有している。この内部底面４１
は、くさび６３を着座させ位置決めするための段付き円
形ランド部を有している。くさび６３の底面は、外部ハ
ウジング３５の円形ランド部４４内に嵌合される起立フ
ランジ６５を有している。くさび６３の穴６６は、取外
し可能な内部ハウジング７０及び外部ハウジング３５の
穴と整列され、アセンブリ２５全体を貫通する実質的に
連続的な一様な断面の穴を形成するようになっている。
【００１７】くさび６３の上面６４は４度の角度で傾斜
されており、内部ハウジング７０の４度の傾斜底面７３
に一致している。内部ハウジング７０の上面７１は平坦
であり、固定の外部ハウジング３５の平坦な内部上面と
接触するようになっている。内部ハウジング７０の平坦
な上面７１に、その穴を囲むようにして、Ｏリング７８
を有する上面Ｏリング溝７２（図９）を設けてもよい。
Ｏリングの有無に拘らず、内部ハウジング７０の上面と
外部ハウジング３５の平坦な内部上面との間の締まりば
めは、噴漏れ（blow-by ）を最小化及び／又は防止する
タイト（気密）シール（tight seal）を提供する。この
弁は絞り弁として機能し、シャットオフバルブ（shut-o
ff valve）としては機能しないので、内部弁アセンブリ
の周囲の僅かな漏れは許容することができる。しかしな
がら、タイトシールでないにしても、最大の封止効果を
得ることができるように、アセンブリの隙間は殆どない
状態、即ちタイトな状態とされている。前述の構成はバ
タフライ形絞り弁についてであるが、配管及び処理の条
件に適合するのに必要とされる如く、内部ハウジングと
外部ハウジングとの間の所望の封止がタイトないしは気
密とされる限り、同様な二重ハウジング構造はシャット
オフバルブやその他の型式の弁についても用いることが
できる。
されており、内部ハウジング７０の４度の傾斜底面７３
に一致している。内部ハウジング７０の上面７１は平坦
であり、固定の外部ハウジング３５の平坦な内部上面と
接触するようになっている。内部ハウジング７０の平坦
な上面７１に、その穴を囲むようにして、Ｏリング７８
を有する上面Ｏリング溝７２（図９）を設けてもよい。
Ｏリングの有無に拘らず、内部ハウジング７０の上面と
外部ハウジング３５の平坦な内部上面との間の締まりば
めは、噴漏れ（blow-by ）を最小化及び／又は防止する
タイト（気密）シール（tight seal）を提供する。この
弁は絞り弁として機能し、シャットオフバルブ（shut-o
ff valve）としては機能しないので、内部弁アセンブリ
の周囲の僅かな漏れは許容することができる。しかしな
がら、タイトシールでないにしても、最大の封止効果を
得ることができるように、アセンブリの隙間は殆どない
状態、即ちタイトな状態とされている。前述の構成はバ
タフライ形絞り弁についてであるが、配管及び処理の条
件に適合するのに必要とされる如く、内部ハウジングと
外部ハウジングとの間の所望の封止がタイトないしは気
密とされる限り、同様な二重ハウジング構造はシャット
オフバルブやその他の型式の弁についても用いることが
できる。
【００１８】図９から分かるように、内部ハウジング７
０の側部フランジ７４は、弁軸穴を囲む一体的な弁軸カ
ラー７７を備えている。弁軸７９は、ブッシュ端部部分
８０と、フラッパ部分８３と、シール部分８６と、ドラ
イブ部分８７とから成っている。弁棒（valve stem）、
即ち弁軸（valve shaft ）７９は、弁軸端部用ブッシュ
８１及び弁軸シール用ブッシュ９２により支持される。
弁軸７９のブッシュ端部部分８０はブッシュ８１に挿入
され、弁軸７９は内部ハウジング７０の穴の弁軸穴８２
に取り付けられる。弁軸７９のフラッパ部分８３の両側
にはねじ穴８４が配設されており、フラッパ取付け用締
結具１００（図１０）を用いることにより上部フラッパ
９８と下部フラッパ９９を取り付けるようになってい
る。弁軸７９のシール部分８６は、内側の軸シール用溝
８８及び外側の軸シール用溝９０を有している。内側の
軸シール用溝８８にはカルレツ（Kalrez）又はケムラツ
（Chemraz ）から成るグロメット若しくはＯリング８９
が配置され、外側の軸シール用溝９０には、ビトン（Vi
ton ）から成る「クウォードシール（quad seal ）」形
状のＯリング９１が配置される。弁軸７９のドライブ部
分８７の径は、シール部分８６及びフラッパ部分８３よ
りも小さい。弁軸シール用ブッシュ９２はドライブ部分
８７上に嵌め込まれ、大径のシール部分８６に当接され
る。波形（ばね）ワッシャ９３（弁軸を取付状態に維持
するためのもの）が弁軸シール用ブッシュ９２に隣接し
て配置され、その上に平ワッシャ９４が重ねられる。軸
保持用スナップリング９５は、弁軸カラー７７のスナッ
プリング溝９６内にスナップ止めされる（図４）。抜取
り用プラグ若しくはサンプリングプラグ７６は、側部フ
ランジ７４の計装サンプリング継手（instrument sampl
ing connections ）のための開口部を提供する。
０の側部フランジ７４は、弁軸穴を囲む一体的な弁軸カ
ラー７７を備えている。弁軸７９は、ブッシュ端部部分
８０と、フラッパ部分８３と、シール部分８６と、ドラ
イブ部分８７とから成っている。弁棒（valve stem）、
即ち弁軸（valve shaft ）７９は、弁軸端部用ブッシュ
８１及び弁軸シール用ブッシュ９２により支持される。
弁軸７９のブッシュ端部部分８０はブッシュ８１に挿入
され、弁軸７９は内部ハウジング７０の穴の弁軸穴８２
に取り付けられる。弁軸７９のフラッパ部分８３の両側
にはねじ穴８４が配設されており、フラッパ取付け用締
結具１００（図１０）を用いることにより上部フラッパ
９８と下部フラッパ９９を取り付けるようになってい
る。弁軸７９のシール部分８６は、内側の軸シール用溝
８８及び外側の軸シール用溝９０を有している。内側の
軸シール用溝８８にはカルレツ（Kalrez）又はケムラツ
（Chemraz ）から成るグロメット若しくはＯリング８９
が配置され、外側の軸シール用溝９０には、ビトン（Vi
ton ）から成る「クウォードシール（quad seal ）」形
状のＯリング９１が配置される。弁軸７９のドライブ部
分８７の径は、シール部分８６及びフラッパ部分８３よ
りも小さい。弁軸シール用ブッシュ９２はドライブ部分
８７上に嵌め込まれ、大径のシール部分８６に当接され
る。波形（ばね）ワッシャ９３（弁軸を取付状態に維持
するためのもの）が弁軸シール用ブッシュ９２に隣接し
て配置され、その上に平ワッシャ９４が重ねられる。軸
保持用スナップリング９５は、弁軸カラー７７のスナッ
プリング溝９６内にスナップ止めされる（図４）。抜取
り用プラグ若しくはサンプリングプラグ７６は、側部フ
ランジ７４の計装サンプリング継手（instrument sampl
ing connections ）のための開口部を提供する。
【００１９】固定の外部ハウジング３５は、ヒータアセ
ンブリ４６によって外側から加熱される（図７及び図
８）。このヒータアセンブリは、内面に接着剤による裏
塗り部４８を有するヒータパッド４７を備えており、こ
れは、外部ハウジング３５の上部フランジと下部フラン
ジとの間で、外部ハウジング３５の外面に直接貼り付け
られる。また、配管弁の穴と側面３８との間における外
部ハウジング（プラグ）の金属部分（metal mass）の温
度を上げ維持するために、カートリッジヒータ用開口部
４２に１対のカートリッジヒータ５０（一方のみを図示
する）が配置される。カートリッジヒータ５０及びヒー
タパッド４７は、サーモスタット式コントローラ（図示
しない）及び過温度スイッチ（overtemperature switc
h）５２により制御される。ヒータパッド４７はヒータ
カバー４９によりカバーされ、また、過温度スイッチ５
２はスイッチカバー５３によりカバーされる。
ンブリ４６によって外側から加熱される（図７及び図
８）。このヒータアセンブリは、内面に接着剤による裏
塗り部４８を有するヒータパッド４７を備えており、こ
れは、外部ハウジング３５の上部フランジと下部フラン
ジとの間で、外部ハウジング３５の外面に直接貼り付け
られる。また、配管弁の穴と側面３８との間における外
部ハウジング（プラグ）の金属部分（metal mass）の温
度を上げ維持するために、カートリッジヒータ用開口部
４２に１対のカートリッジヒータ５０（一方のみを図示
する）が配置される。カートリッジヒータ５０及びヒー
タパッド４７は、サーモスタット式コントローラ（図示
しない）及び過温度スイッチ（overtemperature switc
h）５２により制御される。ヒータパッド４７はヒータ
カバー４９によりカバーされ、また、過温度スイッチ５
２はスイッチカバー５３によりカバーされる。
【００２０】絞り弁アセンブリ２５の外面の温度は約１
０６℃に維持される。試験により、弁フラッパ９８，９
９が主として外部ハウジングからのふく射熱伝導により
加熱されること、及び、フラッパ温度が隣接の配管構成
要素及び設備、例えばチャンバ本体及やゲート弁等の温
度のダイレクト関数（direct function ）となっている
ことが分かっている。例えば、チャンバ温度が約８０
℃、ゲート弁温度が約９５℃、ターボポンプ温度が約８
０℃、外部絞り弁温度が約９５℃である場合、フラッパ
温度は約８５℃に維持され、この温度においては、絞り
弁アセンブリの内部の面上及びフラッパの表面上のポリ
マー付着の割合が減じられ或は防止される。
０６℃に維持される。試験により、弁フラッパ９８，９
９が主として外部ハウジングからのふく射熱伝導により
加熱されること、及び、フラッパ温度が隣接の配管構成
要素及び設備、例えばチャンバ本体及やゲート弁等の温
度のダイレクト関数（direct function ）となっている
ことが分かっている。例えば、チャンバ温度が約８０
℃、ゲート弁温度が約９５℃、ターボポンプ温度が約８
０℃、外部絞り弁温度が約９５℃である場合、フラッパ
温度は約８５℃に維持され、この温度においては、絞り
弁アセンブリの内部の面上及びフラッパの表面上のポリ
マー付着の割合が減じられ或は防止される。
【００２１】内部ハウジングと外部ハウジングの非接触
部分間の径方向の空間（間隙）は約０．０２０in.
（０．５mm）であるが、内部ハウジングの加熱は接触面
を通る熱伝導及び前記間隙を横切る放射伝熱によるの
で、間隙の寸法は外部から弁の内面にかけての温度勾配
に殆ど影響を与えない。
部分間の径方向の空間（間隙）は約０．０２０in.
（０．５mm）であるが、内部ハウジングの加熱は接触面
を通る熱伝導及び前記間隙を横切る放射伝熱によるの
で、間隙の寸法は外部から弁の内面にかけての温度勾配
に殆ど影響を与えない。
【００２２】固定の外部ハウジング３５の側面３８は側
部真空シール用溝３９を有しており、内部ハウジング７
０の側部フランジ７４の内側面を外側ハウジング３５の
側面３８に接触させた場合に強い真空シール（vacuum t
ight seal ）ができるよう、溝３９にＯリング４０を配
置することができる。４本のねじが両者を結合する。取
外しの場合、内部アセンブリ６９を取り外して、クリー
ニング及び保守のために弁軸７９のフラッパ部分８３及
びフラッパ９８，９９に接近すると共に、スクリーンア
センブリ５７に接近するためには、この４本のねじのみ
を取り外し、前記の１つの真空シールを壊すだけでよ
い。
部真空シール用溝３９を有しており、内部ハウジング７
０の側部フランジ７４の内側面を外側ハウジング３５の
側面３８に接触させた場合に強い真空シール（vacuum t
ight seal ）ができるよう、溝３９にＯリング４０を配
置することができる。４本のねじが両者を結合する。取
外しの場合、内部アセンブリ６９を取り外して、クリー
ニング及び保守のために弁軸７９のフラッパ部分８３及
びフラッパ９８，９９に接近すると共に、スクリーンア
センブリ５７に接近するためには、この４本のねじのみ
を取り外し、前記の１つの真空シールを壊すだけでよ
い。
【００２３】スクリーンアセンブリ５７は外部ハウジン
グ３５の穴上部に配置される。このスクリーンアセンブ
リ５７は、スクリーンスカート５９と多孔部分５８とか
ら成っている。固定の外部ハウジング３５の穴上部内面
における保持リング用溝５５はスクリーン保持リング６
０を受け、スクリーンアセンブリ５７を支持するように
なっている。
グ３５の穴上部に配置される。このスクリーンアセンブ
リ５７は、スクリーンスカート５９と多孔部分５８とか
ら成っている。固定の外部ハウジング３５の穴上部内面
における保持リング用溝５５はスクリーン保持リング６
０を受け、スクリーンアセンブリ５７を支持するように
なっている。
【００２４】図１１は、ゲート弁２６の上方の適所に配
置された絞り弁アセンブリ２５を示している。また、フ
ラッパが完全に開放された状態で示されている。フラッ
パの最上部部分及び最下部部分はそれぞれ外部ハウジン
グ３５の上面及び下部フランジ面を越えて延びている。
スクリーンスカート５９はスクリーンの多孔部分５８を
弁フラッパ９８，９９が届かない位置まで持ち上げてい
る。
置された絞り弁アセンブリ２５を示している。また、フ
ラッパが完全に開放された状態で示されている。フラッ
パの最上部部分及び最下部部分はそれぞれ外部ハウジン
グ３５の上面及び下部フランジ面を越えて延びている。
スクリーンスカート５９はスクリーンの多孔部分５８を
弁フラッパ９８，９９が届かない位置まで持ち上げてい
る。
【００２５】弁軸駆動アセンブリ１０１は、弁軸（弁
棒）７９を回転させその絞り機能を制御するために、弁
軸７９に取り付けられている。
棒）７９を回転させその絞り機能を制御するために、弁
軸７９に取り付けられている。
【００２６】図２、図５、図６、図１２、図１３及び図
１４は本発明の別の実施例を示している。この実施例に
おいて、外部ハウジング１１０は互いに平行な内部上面
と内部底面とを有しているが、内部底面にはくさびを受
けるためのランド部は設けられていない。また、この実
施例において、くさびは使用されない。内部ハウジング
１１２の回りの封止は、内部ハウジング１１２の側面
（径方向の面）と、これに対向する外部ハウジング１１
０の内面との間でなされる。シール保持溝１１３には開
放端形Ｏリング１１５（他の断面形状の可撓性シール部
材及びそれに対応する溝を用いることもできる）が収容
される。完全に挿入されたとき、Ｏリング１１５の厚さ
は押し潰され、内部ハウジング１１２の側面及び円弧部
に沿ってタイトシールを提供する。側面は内部ハウジン
グに隣接する２つの垂直な側面と平行となっているが、
フランジシール用ねじによりきつく押圧された場合に、
最後の１／４in. （６．３５mm）の最終移動に至るまで
は内部ハウジングを外部ハウジングに挿入することによ
っては側部Ｏリングが破断され或は過度に引っ張られな
いよう、円形の穴を囲む領域にかけて緩やかなテーパが
付けられた構成としてもよい。
１４は本発明の別の実施例を示している。この実施例に
おいて、外部ハウジング１１０は互いに平行な内部上面
と内部底面とを有しているが、内部底面にはくさびを受
けるためのランド部は設けられていない。また、この実
施例において、くさびは使用されない。内部ハウジング
１１２の回りの封止は、内部ハウジング１１２の側面
（径方向の面）と、これに対向する外部ハウジング１１
０の内面との間でなされる。シール保持溝１１３には開
放端形Ｏリング１１５（他の断面形状の可撓性シール部
材及びそれに対応する溝を用いることもできる）が収容
される。完全に挿入されたとき、Ｏリング１１５の厚さ
は押し潰され、内部ハウジング１１２の側面及び円弧部
に沿ってタイトシールを提供する。側面は内部ハウジン
グに隣接する２つの垂直な側面と平行となっているが、
フランジシール用ねじによりきつく押圧された場合に、
最後の１／４in. （６．３５mm）の最終移動に至るまで
は内部ハウジングを外部ハウジングに挿入することによ
っては側部Ｏリングが破断され或は過度に引っ張られな
いよう、円形の穴を囲む領域にかけて緩やかなテーパが
付けられた構成としてもよい。
【００２７】図４及び図５は、シール用フランジの内側
面におけるシール保持用溝に保持されている際の側部シ
ール構造（Ｏリング）の位置を示している。開放端形Ｏ
リング１１５はＯリング保持用溝１１３に保持されてい
る。
面におけるシール保持用溝に保持されている際の側部シ
ール構造（Ｏリング）の位置を示している。開放端形Ｏ
リング１１５はＯリング保持用溝１１３に保持されてい
る。
【００２８】図１２、図１３及び図１４は、シール用フ
ランジの内側面、Ｏリング１１９及び連続的なリングシ
ール用溝１１８に相接した状態における開放端形Ｏリン
グ１１５と溝１１３の詳細を示している。開放端形シー
ル用溝１１３は、シール端穴（凹部）１１４で終端して
いる。２つのシール用Ｏリング（開放端形とリング形）
１１５，１１９及びそれぞれの保持用溝１１３，１１８
の軸線ないしは通り道（path）は、２つのシールが互い
に交差して接するようにされており、内部ハウジング１
１２と外部ハウジング１１０が互いに締結された場合、
Ｏリング同士の圧縮により、開放端形Ｏリングシールの
自由端の回りからの漏れの可能性が減じられる。シール
端穴１１４は、圧縮時に圧縮されたＯリングが膨張し得
る空間を形成する。内部ハウジングと外部ハウジングと
の間をシールするためのＯリングの能力は、所望の処理
サイクル全体を通して維持され得る圧縮力の大きさ及び
Ｏリングの材料特性に依存する。温度勾配による熱膨張
差も考慮しなければならない。
ランジの内側面、Ｏリング１１９及び連続的なリングシ
ール用溝１１８に相接した状態における開放端形Ｏリン
グ１１５と溝１１３の詳細を示している。開放端形シー
ル用溝１１３は、シール端穴（凹部）１１４で終端して
いる。２つのシール用Ｏリング（開放端形とリング形）
１１５，１１９及びそれぞれの保持用溝１１３，１１８
の軸線ないしは通り道（path）は、２つのシールが互い
に交差して接するようにされており、内部ハウジング１
１２と外部ハウジング１１０が互いに締結された場合、
Ｏリング同士の圧縮により、開放端形Ｏリングシールの
自由端の回りからの漏れの可能性が減じられる。シール
端穴１１４は、圧縮時に圧縮されたＯリングが膨張し得
る空間を形成する。内部ハウジングと外部ハウジングと
の間をシールするためのＯリングの能力は、所望の処理
サイクル全体を通して維持され得る圧縮力の大きさ及び
Ｏリングの材料特性に依存する。温度勾配による熱膨張
差も考慮しなければならない。
【００２９】全ての接液部分（wetted part ）は、半導
体ウェハ処理中に存する化学的環境に適合性のある陽極
処理されたアルミニウム（anodized aluminum ）から作
られている。処理ガスにさらされる部分であり、陽極処
理されたアルミニウムから作られていない部分は、弁軸
７９、弁フラッパ９８，９９、フラッパ取付ねじ１０
０、スクリーンの多孔部分５８及びスクリーンスカート
５９であり、これらは全て３０４ＳＳ（ステンレス鋼）
から作られている。
体ウェハ処理中に存する化学的環境に適合性のある陽極
処理されたアルミニウム（anodized aluminum ）から作
られている。処理ガスにさらされる部分であり、陽極処
理されたアルミニウムから作られていない部分は、弁軸
７９、弁フラッパ９８，９９、フラッパ取付ねじ１０
０、スクリーンの多孔部分５８及びスクリーンスカート
５９であり、これらは全て３０４ＳＳ（ステンレス鋼）
から作られている。
【００３０】以上、本発明を特定の実施例に関して説明
したが、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく形
態や詳細部を種々変更し得ることは当業者ならば理解で
きるであろう。ここで述べた例は本発明の典型例に過ぎ
ず、本発明の範囲を上記構成や方法に限定して解釈すべ
きではない。
したが、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく形
態や詳細部を種々変更し得ることは当業者ならば理解で
きるであろう。ここで述べた例は本発明の典型例に過ぎ
ず、本発明の範囲を上記構成や方法に限定して解釈すべ
きではない。
【００３１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、絞
り弁アセンブリの分解、再組立てが容易となり、弁内部
のクリーニングやその周囲部分の点検、保守等を迅速に
且つ容易に行うことが可能となる。
り弁アセンブリの分解、再組立てが容易となり、弁内部
のクリーニングやその周囲部分の点検、保守等を迅速に
且つ容易に行うことが可能となる。
【００３２】また、絞り弁アセンブリへの加熱により、
絞り弁アセンブリの内部でのポリマー等の付着を防止す
ることができ、よって、ウェハ上への粒子汚染を防止す
ることができる。
絞り弁アセンブリの内部でのポリマー等の付着を防止す
ることができ、よって、ウェハ上への粒子汚染を防止す
ることができる。
【図１】本発明による加熱式絞り弁アセンブリの分解斜
視図である。
視図である。
【図２】本発明による加熱式絞り弁アセンブリの他の実
施例の分解斜視図である。
施例の分解斜視図である。
【図３】典型的なプラズマメタルエッチング処理真空配
管における加熱式絞り弁アセンブリの代表的な位置を示
す概略図である。
管における加熱式絞り弁アセンブリの代表的な位置を示
す概略図である。
【図４】図１の３−３線に沿っての断面図であり、組立
状態を示す図である。
状態を示す図である。
【図５】図２の３Ａ−３Ａ線に沿っての断面図であり、
組立状態を示す図である。
組立状態を示す図である。
【図６】図５の３Ｂ部の拡大図である。
【図７】外部ハウジングに取り付けられるべき加熱要素
及びセンサを示している図。
及びセンサを示している図。
【図８】スクリーンアセンブリと共に外部ハウジングを
示す図である。
示す図である。
【図９】内部ハウジングと、弁棒（弁軸）の分解図を示
している。
している。
【図１０】内部ハウジングと弁棒（弁軸）へのフラッパ
の組付けを示す分解図である。
の組付けを示す分解図である。
【図１１】処理チャンバと真空ポンプとの間で配管（ポ
ンプスタック）に取り付けられた状態を示す本発明によ
る加熱式絞り弁の断面図である。
ンプスタック）に取り付けられた状態を示す本発明によ
る加熱式絞り弁の断面図である。
【図１２】図５の９−９線に沿っての断面図である。
【図１３】図１２の９Ａ部の拡大図である。
【図１４】図１２の１０−１０線に沿っての断面図であ
る。
る。
２０…処理チャンバ、２５…バタフライ形絞り弁アセン
ブリ、２６…ゲート弁、２８…真空ポンプ、３０…遮断
弁、３５…外部ハウジング、４１…内部底面、４６…ヒ
ータアセンブリ、４７…ヒータアセンブリ、５０…カー
トリッジヒータ、５７…スクリーンアセンブリ、５８…
多孔部分、５９…スクリーンスカート、６３…くさび、
６９…内部弁アセンブリ、７０…内部ハウジング、７９
…弁軸（弁棒）、９８，９９…フラッパ、１０１…駆動
アセンブリ、１１０…外部ハウジング、１１２…内部ハ
ウジング。
ブリ、２６…ゲート弁、２８…真空ポンプ、３０…遮断
弁、３５…外部ハウジング、４１…内部底面、４６…ヒ
ータアセンブリ、４７…ヒータアセンブリ、５０…カー
トリッジヒータ、５７…スクリーンアセンブリ、５８…
多孔部分、５９…スクリーンスカート、６３…くさび、
６９…内部弁アセンブリ、７０…内部ハウジング、７９
…弁軸（弁棒）、９８，９９…フラッパ、１０１…駆動
アセンブリ、１１０…外部ハウジング、１１２…内部ハ
ウジング。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年１０月１１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ペトル エヌ． ニテスク アメリカ合衆国， カリフォルニア州 95035， ミルピタス， バークシャー プレイス 687 (72)発明者 グレグ マッドワイルダー アメリカ合衆国， カリフォルニア州 95139， サン ノゼ， フィネイ ウェ イ 7363 (72)発明者 リチャード クロケット アメリカ合衆国， カリフォルニア州 95035， ミルピタス， マウント シャ スタ アヴェニュー 1385
Claims (14)
- 【請求項１】 貫通した流体流用穴と、側部開口と、内
部底面にほぼ平行な内部上面とを有する外部ハウジン
グ、 貫通した流体流用穴を有し、前記外部ハウジングの前記
内部底面上で支持されるよう形成され、第１の所定角度
でテーパが付けられているくさび、及び、 貫通した流体流用穴を有すると共に、上面（top side）
と底面（bottom side）とを有する内部ハウジング、を
備えており、 前記底面は前記上面に対して前記第１の所定角度でテー
パが付けられており、 前記内部ハウジングが前記外部ハウジング内に設置され
た場合に、前記くさびが前記内部ハウジングの前記テー
パ付き底面と接触し、 前記内部ハウジングの前記流体流用穴内には、調節可能
な流れ制限用バリヤ（barrier ）が設けられ、 前記内部ハウジングが、前記外部ハウジングの前記側部
開口を封止するように配置された場合、流体が前記外部
ハウジングの前記流体流用穴を流通するのを実質的に防
止すると共に、前記内部ハウジングの前記流体流用穴も
流通することがないように、前記内部ハウジングと前記
外部ハウジングとの間に実質的に緊密な（tight ）嵌合
いが形成された状態で、前記外部ハウジングの前記流体
流用穴が前記内部ハウジングの前記流体流用穴と連通す
るようになっている、弁。 - 【請求項２】 前記流れ制限用バリヤは、前記内部ハウ
ジングのプラグ部分に支持され該プラグ部分を封止状態
で貫通する弁棒によって調節可能となっている、請求項
１記載の弁。 - 【請求項３】 前記外部ハウジングの外面は加熱され
る、請求項２記載の弁。 - 【請求項４】 前記流れ制限用バリヤは、フラッパを伴
う弁棒を有するバタフライ形弁である、請求項２記載の
弁。 - 【請求項５】 前記外部ハウジングの前記流体流用穴内
に設けられたスクリーンアセンブリを更に備えており、 前記スクリーンアセンブリは、スクリーン支持アセンブ
リにより前記流体流用穴内で前記内部ハウジングに隣接
して支持されており、前記スクリーンアセンブリは、前
記スクリーン支持アセンブリが前記スクリーンアセンブ
リの支持を解除するように調節された場合に、前記側部
開口を通して前記外部ハウジングから取り外すことがで
きると共に、前記外部ハウジング内に再設置することが
できるようになっている、請求項２記載の弁。 - 【請求項６】 前記スクリーン支持アセンブリは、弾性
保持ワイヤを部分的に受け入れるための、前記外部ハウ
ジングの前記穴内に設けられた溝を備えており、前記ス
クリーンアセンブリは、外縁部で多孔部分を支持する中
空の円筒形スカート部分を備えており、前記スカート部
分の外径は、前記外部ハウジングの前記穴の径よりも小
さく、前記ワイヤが前記溝内に配置された場合における
前記弾性保持ワイヤの内径よりも大きい、請求項５記載
の弁。 - 【請求項７】 流体の流れのための外部ハウジング穴が
貫通して設けられていると共に、内部ハウジングを受け
入れるための側部開口を備える外部ハウジングであっ
て、前記内部ハウジングが、前記内部ハウジングにより
支持され前記内部ハウジングを貫通する弁棒に結合され
た流れ制限用バリヤを内包する中空の円筒形通路を備え
ると共に、ほぼ平坦な上面とほぼ平坦な底面とを有し、
前記底面が前記上面に対して前記上面から所定角度でテ
ーパが付けられている、外部ハウジングと、 前記外部ハウジング内に配置され、前記内部ハウジング
のテーパ付き底面の前記所定角度と一致する角度のほぼ
平坦な傾斜面を備え、前記外部ハウジングを通る流路の
一部を形成するくさび穴が貫通して設けられているくさ
び板と、を具備しており、 前記内部ハウジングが前記外部ハウジング内に配置され
且つ前記内部ハウジングが前記側部開口を封止した場合
に、前記内部ハウジングのテーパ付き底面が前記くさび
板の前記平坦な傾斜面と緊密に当接すると共に、前記円
筒形通路が前記外部ハウジングを通る前記流体流路の一
部を形成し、この場合に、前記円筒形通路の中心線が前
記外部ハウジング穴の中心線及び前記くさび穴の中心線
にほぼ一致するようになっている、弁。 - 【請求項８】 前記弁の外面に熱的エネルギを与える加
熱装置（heating system）を更に備えている、請求項７
記載の弁。 - 【請求項９】 流体流用穴が貫通して設けられ、側部開
口を有する外部ハウジングと、 流体流用穴が貫通して設けられ、前記外部ハウジングの
前記側部開口に封止状態で嵌合される内部ハウジングで
あって、前記内部ハウジング及び前記外部ハウジングが
前記外部ハウジングの前記流体流用穴を通り前記内部ハ
ウジングの回りからの流体の流れを防止するように形成
されている、内部ハウジングと、 前記内部ハウジングの前記流体流用穴を流通する流体の
制限が、制限機構の位置に応じて調整されるようにして
前記内部ハウジングの前記流体流用穴内に設けられた調
節可能な流れ制限用バリヤと、を備えている弁。 - 【請求項１０】 前記弁の外面に熱的エネルギを与える
加熱装置を更に備えている、請求項９記載の弁。 - 【請求項１１】 前記外部ハウジングは内部底面にほぼ
平行な内部上面を有し、前記内部ハウジングはほぼ平坦
な上面及びほぼ平坦な底面を有し、前記上面及び前記底
面は互いに所定角度でテーパが付けられており、 前記弁は、更に、前記外部ハウジングと前記内部ハウジ
ングの前記テーパ付き底面との間に配置されたくさびを
備えており、前記内部ハウジングが前記外部ハウジング
内の所定位置に封止状態で配置された場合に、前記内部
ハウジングが、前記くさびと前記外部ハウジングの前記
内部上面との間、及び、前記くさびと前記外部ハウジン
グの前記内部底面との間で、前記外部ハウジング内に実
質的に固定されるよう、前記内部ハウジングと、前記く
さびと、前記外部ハウジングとが形成されている、請求
項９記載の弁。 - 【請求項１２】 前記流れ制限用バリヤは前記内部ハウ
ジングを貫通する弁棒に連結されており、前記内部ハウ
ジングはシール構造を有し、前記シール構造は、所定の
耐化学性（chemical resistance ）を有する内側シール
と、前記内側シールの所定の耐化学性よりも低い耐化学
性を有する外側シールとを備えている、請求項９記載の
弁。 - 【請求項１３】 流れ制限用バリヤに連結された弁棒を
備えている弁であって、 前記弁棒は弁ハウジングを貫通し、前記弁ハウジングは
前記弁棒を封止するためのシール構造を有し、前記シー
ル構造は、所定の耐化学性を有する内側シールと、前記
内側シールの所定の耐化学性よりも低い耐化学性を有す
る外側シールとを備えている弁。 - 【請求項１４】 前記弁はバタフライ形弁であり、前記
流れ制限構造は、弁棒と、前記弁棒に取り付けられたフ
ラッパとを備えている、請求項１３記載の弁。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/114893 | 1993-08-31 | ||
| US08/114,893 US5462080A (en) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Heated removable throttle valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07167307A true JPH07167307A (ja) | 1995-07-04 |
Family
ID=22358066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6207691A Withdrawn JPH07167307A (ja) | 1993-08-31 | 1994-08-31 | 取外し可能な加熱式絞り弁 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5462080A (ja) |
| EP (1) | EP0640784A1 (ja) |
| JP (1) | JPH07167307A (ja) |
| KR (1) | KR950006287A (ja) |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| KR950006287A (ko) | 1995-03-20 |
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