JPH07168184A - ラビング装置 - Google Patents
ラビング装置Info
- Publication number
- JPH07168184A JPH07168184A JP31492093A JP31492093A JPH07168184A JP H07168184 A JPH07168184 A JP H07168184A JP 31492093 A JP31492093 A JP 31492093A JP 31492093 A JP31492093 A JP 31492093A JP H07168184 A JPH07168184 A JP H07168184A
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- rubbing
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- rubbing roller
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ステージとラビングローラとの間隔がラビング
中に変化した場合でもステージとラビングローラとの間
隔を許容範囲内に保つことのできるラビング装置を提供
する。 【構成】ステージ１とラビングローラ４との間隔を検出
する間隔検出手段としての反射型光検出器１９ａ，１９
ｂをステージ１に設けると共に、これら反射型光検出器
１９ａ，１９ｂから出力された信号に基づいてステージ
昇降機構８のステージ昇降用モータ１１を駆動制御する
コントローラ２０を設けたことを特徴とする。
中に変化した場合でもステージとラビングローラとの間
隔を許容範囲内に保つことのできるラビング装置を提供
する。 【構成】ステージ１とラビングローラ４との間隔を検出
する間隔検出手段としての反射型光検出器１９ａ，１９
ｂをステージ１に設けると共に、これら反射型光検出器
１９ａ，１９ｂから出力された信号に基づいてステージ
昇降機構８のステージ昇降用モータ１１を駆動制御する
コントローラ２０を設けたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示素子を製造す
る際の配向膜の配向処理に用いられるラビング装置に関
する。
る際の配向膜の配向処理に用いられるラビング装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置の表示体として使用される
液晶表示素子は、ガラス等からなる２枚の透明基板を有
し、これらの透明基板に形成された透明電極を互いに対
向させるとともに、これら透明電極の間に液晶層を形成
している。また、このような液晶表示素子は透明電極の
上にポリイミド等からなる配向膜を形成しており、この
配向膜の表面を図５乃至図７に示すラビング装置で一定
方向にラビングすることによって液晶層の液晶分子を所
定の方向へ配向させるようにしている。
液晶表示素子は、ガラス等からなる２枚の透明基板を有
し、これらの透明基板に形成された透明電極を互いに対
向させるとともに、これら透明電極の間に液晶層を形成
している。また、このような液晶表示素子は透明電極の
上にポリイミド等からなる配向膜を形成しており、この
配向膜の表面を図５乃至図７に示すラビング装置で一定
方向にラビングすることによって液晶層の液晶分子を所
定の方向へ配向させるようにしている。
【０００３】図５乃至図７において符号１は配向膜（図
示せず）が形成された透明基板２を置くためのステージ
であり、このステージ１の上方には周面にラビング布３
を巻き付けたラビングローラ４が設けられている。この
ラビングローラ４は左右一対のローラ支持体５ａ，５ｂ
により回転可能に支持されていると共にステージ１に対
して水平に支持されており、これらローラ支持体５ａ，
５ｂのうち一方のローラ支持体５ａには、ラビングロー
ラ４を回転駆動するローラ駆動機構としてのローラ駆動
用モータ６が取り付けられている。
示せず）が形成された透明基板２を置くためのステージ
であり、このステージ１の上方には周面にラビング布３
を巻き付けたラビングローラ４が設けられている。この
ラビングローラ４は左右一対のローラ支持体５ａ，５ｂ
により回転可能に支持されていると共にステージ１に対
して水平に支持されており、これらローラ支持体５ａ，
５ｂのうち一方のローラ支持体５ａには、ラビングロー
ラ４を回転駆動するローラ駆動機構としてのローラ駆動
用モータ６が取り付けられている。
【０００４】また、符号７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄはステ
ージ１の上下方向への移動をガイドするガイドロッドで
あり、これらのガイドロッド７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄに
沿ってステージ１を昇降駆動するステージ昇降機構８
は、ステージ１の下面中央に固定された昇降部材９と、
この昇降部材９をリードスクリュー１０を介して上下方
向に昇降駆動するステージ昇降用モータ１１とで構成さ
れている。
ージ１の上下方向への移動をガイドするガイドロッドで
あり、これらのガイドロッド７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄに
沿ってステージ１を昇降駆動するステージ昇降機構８
は、ステージ１の下面中央に固定された昇降部材９と、
この昇降部材９をリードスクリュー１０を介して上下方
向に昇降駆動するステージ昇降用モータ１１とで構成さ
れている。
【０００５】また、符号１２はガイドロッド７ａ，７
ｂ，７ｃ，７ｄおよびステージ昇降用モータ１１が固定
された移動台、１３ａ，１３ｂは移動台１２を水平方向
に移動可能に支持するガイドシャフトであり、これらの
ガイドシャフト１３ａ，１３ｂに沿ってステージ１をラ
ビングローラ４の軸方向と直交する方向に水平移動させ
るステージ移動機構１４は、移動台１２の下面中央に設
けられた移動部材１５と、この移動部材１５をラビング
ローラ４の軸方向と直交する方向に水平移動させるリー
ドスクリュー１６と、このリードスクリュー１６をギヤ
機構１７を介して回転駆動するステージスライド用モー
タ１８とで構成されている。
ｂ，７ｃ，７ｄおよびステージ昇降用モータ１１が固定
された移動台、１３ａ，１３ｂは移動台１２を水平方向
に移動可能に支持するガイドシャフトであり、これらの
ガイドシャフト１３ａ，１３ｂに沿ってステージ１をラ
ビングローラ４の軸方向と直交する方向に水平移動させ
るステージ移動機構１４は、移動台１２の下面中央に設
けられた移動部材１５と、この移動部材１５をラビング
ローラ４の軸方向と直交する方向に水平移動させるリー
ドスクリュー１６と、このリードスクリュー１６をギヤ
機構１７を介して回転駆動するステージスライド用モー
タ１８とで構成されている。
【０００６】このような構成において透明基板２に形成
された配向膜の表面をラビングする場合には、まずステ
ージ１の上に透明基板２を載置した後、ステージ昇降用
モータ１１の駆動力によりステージ１を上方に押し上
げ、透明基板２に形成された配向膜をラビングローラ４
に巻き付けられたラビング布３に接触させる。次に、ス
テージ昇降用モータ１１の回転を停止させた後、ローラ
駆動用モータ６の駆動力によりラビングローラ４を回転
させる。そして、ラビングローラ４を回転させながらス
テージスライド用モータ１８の駆動力によりステージ１
をラビングローラ４の軸方向と直交する方向に水平移動
させると、透明基板２に形成された配向膜の表面がラビ
ング布３によって一定方向にラビングされる。
された配向膜の表面をラビングする場合には、まずステ
ージ１の上に透明基板２を載置した後、ステージ昇降用
モータ１１の駆動力によりステージ１を上方に押し上
げ、透明基板２に形成された配向膜をラビングローラ４
に巻き付けられたラビング布３に接触させる。次に、ス
テージ昇降用モータ１１の回転を停止させた後、ローラ
駆動用モータ６の駆動力によりラビングローラ４を回転
させる。そして、ラビングローラ４を回転させながらス
テージスライド用モータ１８の駆動力によりステージ１
をラビングローラ４の軸方向と直交する方向に水平移動
させると、透明基板２に形成された配向膜の表面がラビ
ング布３によって一定方向にラビングされる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
ラビング装置を用いて配向膜の表面をラビングする際に
は、ステージ１とラビングローラ４との間隔を予め設定
された許容範囲内に保つ必要があり、従来では配向膜に
対するラビングが終了する度に作業員がステージ１とラ
ビングローラ４との間隔を隙間ゲージで測定し、この隙
間ゲージの測定値に基づいてステージ１とラビングロー
ラ４との間隔を調整していた。このため、上述した従来
のラビング装置では、ステージ１とラビングローラ４と
の間隔がラビング中に変化してもそれを調整できないた
め、配向膜の表面にラビング不良が発生し易いという問
題があった。
ラビング装置を用いて配向膜の表面をラビングする際に
は、ステージ１とラビングローラ４との間隔を予め設定
された許容範囲内に保つ必要があり、従来では配向膜に
対するラビングが終了する度に作業員がステージ１とラ
ビングローラ４との間隔を隙間ゲージで測定し、この隙
間ゲージの測定値に基づいてステージ１とラビングロー
ラ４との間隔を調整していた。このため、上述した従来
のラビング装置では、ステージ１とラビングローラ４と
の間隔がラビング中に変化してもそれを調整できないた
め、配向膜の表面にラビング不良が発生し易いという問
題があった。
【０００８】本発明は上記のような実情に鑑みてなされ
たもので、その目的はステージとラビングローラとの間
隔がラビング中に変化した場合でもステージとラビング
ローラとの間隔を許容範囲内に保つことのできるラビン
グ装置を提供することである。
たもので、その目的はステージとラビングローラとの間
隔がラビング中に変化した場合でもステージとラビング
ローラとの間隔を許容範囲内に保つことのできるラビン
グ装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、配向膜が形成された透明基板を置くための
ステージと、このステージの上方に設けられたラビング
ローラと、このラビングローラを回転駆動するローラ駆
動機構と、前記ステージを上下方向に移動させて前記配
向膜を前記ラビングローラに巻き付けられたラビング布
に接触させるステージ昇降機構と、前記ステージを前記
ラビングローラの軸方向と直交する方向に水平移動させ
るステージ移動機構とを具備してなるラビング装置にお
いて、前記ステージと前記ラビングローラとの間隔を検
出する間隔検出手段と、この間隔検出手段から出力され
た信号に基づいて前記ステージ昇降機構を駆動制御する
制御手段とを設けたことを特徴とする。
に本発明は、配向膜が形成された透明基板を置くための
ステージと、このステージの上方に設けられたラビング
ローラと、このラビングローラを回転駆動するローラ駆
動機構と、前記ステージを上下方向に移動させて前記配
向膜を前記ラビングローラに巻き付けられたラビング布
に接触させるステージ昇降機構と、前記ステージを前記
ラビングローラの軸方向と直交する方向に水平移動させ
るステージ移動機構とを具備してなるラビング装置にお
いて、前記ステージと前記ラビングローラとの間隔を検
出する間隔検出手段と、この間隔検出手段から出力され
た信号に基づいて前記ステージ昇降機構を駆動制御する
制御手段とを設けたことを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明においては、ステージとラビングローラ
との間隔が変化すると、間隔検出手段がその変化量を検
出し、この検出信号に基づきステージを昇降させる信号
が制御手段からステージ昇降機構に送出され、制御手段
からの信号によりステージ昇降機構が駆動制御される。
との間隔が変化すると、間隔検出手段がその変化量を検
出し、この検出信号に基づきステージを昇降させる信号
が制御手段からステージ昇降機構に送出され、制御手段
からの信号によりステージ昇降機構が駆動制御される。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図４を参
照して説明する。なお、図５乃至図７に示したものと同
一部分には同一符号を付し、その部分の説明は省略す
る。図１は、本発明の一実施例に係るラビング装置の正
面図であり、このラビング装置が図５乃至図７に示した
ラビング装置と異なる点は、図１に示すように、ステー
ジ１とラビングローラ４との間隔を検出する間隔検出手
段としての反射型光検出器１９ａ，１９ｂをステージ１
に設けると共に、これら反射型光検出器１９ａ，１９ｂ
から出力された信号に基づいてステージ昇降機構８のス
テージ昇降用モータ１１を駆動制御するコントローラ２
０を設けた点である。
照して説明する。なお、図５乃至図７に示したものと同
一部分には同一符号を付し、その部分の説明は省略す
る。図１は、本発明の一実施例に係るラビング装置の正
面図であり、このラビング装置が図５乃至図７に示した
ラビング装置と異なる点は、図１に示すように、ステー
ジ１とラビングローラ４との間隔を検出する間隔検出手
段としての反射型光検出器１９ａ，１９ｂをステージ１
に設けると共に、これら反射型光検出器１９ａ，１９ｂ
から出力された信号に基づいてステージ昇降機構８のス
テージ昇降用モータ１１を駆動制御するコントローラ２
０を設けた点である。
【００１２】前記反射型光検出器１９ａ，１９ｂはラビ
ングローラ４の周面に巻き付けられた帯状反射体２６
ａ，２６ｂに向けて光を出射する発光部と、帯状反射体
２６ａ，２６ｂで反射した光を受光する受光部とからな
り、これら反射型光検出器１９ａ，１９ｂの受光部から
はステージ１とラビングローラ４との間隔に応じた信号
（図３参照）が出力されるようになっている。
ングローラ４の周面に巻き付けられた帯状反射体２６
ａ，２６ｂに向けて光を出射する発光部と、帯状反射体
２６ａ，２６ｂで反射した光を受光する受光部とからな
り、これら反射型光検出器１９ａ，１９ｂの受光部から
はステージ１とラビングローラ４との間隔に応じた信号
（図３参照）が出力されるようになっている。
【００１３】前記コントローラ２０は、図２に示すよう
に、中央処理装置（以下、ＣＰＵと称す。）２１、メモ
リ２２、Ｉ／Ｏポート２３等から構成され、メモリ２２
にはステージ１とラビングローラ４との間隔を許容範囲
内に保つための最大設定値と最小設定値が記憶されてい
る。
に、中央処理装置（以下、ＣＰＵと称す。）２１、メモ
リ２２、Ｉ／Ｏポート２３等から構成され、メモリ２２
にはステージ１とラビングローラ４との間隔を許容範囲
内に保つための最大設定値と最小設定値が記憶されてい
る。
【００１４】なお、図２において２４ａ，２４ｂは反射
型光検出器１９ａ，１９ｂから出力された信号を増幅す
る増幅器、２５はＣＰＵ２１から送出された信号に基づ
いてステージ昇降用モータ１１を駆動制御するモータコ
ントローラである。
型光検出器１９ａ，１９ｂから出力された信号を増幅す
る増幅器、２５はＣＰＵ２１から送出された信号に基づ
いてステージ昇降用モータ１１を駆動制御するモータコ
ントローラである。
【００１５】このような構成において、反射型光検出器
１９ａ，１９ｂの信号出力が増幅器２４ａ，２４ｂを介
してコントローラ２０に入力されると、コントローラ２
０のＣＰＵ２１は、図４に示すように、反射型光検出器
１９ａ，１９ｂの信号出力からステージ１とラビングロ
ーラ４との間隔を算出した（ステップＳ１）後、次のス
テップＳ２で求めたデータ（ステージ１とラビングロー
ラ４との間隔）をメモリ２２に記憶された最大設定値と
比較する。ここで、ステップＳ１で求めたデータがメモ
リ２２に記憶された最大設定値よりも大きい場合には、
ＣＰＵ２１はステージ昇降機構８のステージ昇降用モー
タ１１にステージ上昇信号を送出する。これによりステ
ージ１が上昇し、ステージ１とラビングローラ４との間
隔が許容範囲内に保たれる。
１９ａ，１９ｂの信号出力が増幅器２４ａ，２４ｂを介
してコントローラ２０に入力されると、コントローラ２
０のＣＰＵ２１は、図４に示すように、反射型光検出器
１９ａ，１９ｂの信号出力からステージ１とラビングロ
ーラ４との間隔を算出した（ステップＳ１）後、次のス
テップＳ２で求めたデータ（ステージ１とラビングロー
ラ４との間隔）をメモリ２２に記憶された最大設定値と
比較する。ここで、ステップＳ１で求めたデータがメモ
リ２２に記憶された最大設定値よりも大きい場合には、
ＣＰＵ２１はステージ昇降機構８のステージ昇降用モー
タ１１にステージ上昇信号を送出する。これによりステ
ージ１が上昇し、ステージ１とラビングローラ４との間
隔が許容範囲内に保たれる。
【００１６】また、ステップＳ１で求めたデータがメモ
リ２２に記憶された最大設定値よりも小さい場合には、
ＣＰＵ２１はステップＳ１で求めたデータをメモリ２２
に記憶された最小設定値と比較する（ステップ３）。こ
こで、ステップＳ１で求めたデータがメモリ２２に記憶
された最小設定値よりも小さい場合には、ＣＰＵ２１は
ステージ昇降機構８のステージ昇降用モータ１１にステ
ージ下降信号を送出する。これによりステージ１が下降
し、ステージ１とラビングローラ４との間隔が許容範囲
内に保たれる。
リ２２に記憶された最大設定値よりも小さい場合には、
ＣＰＵ２１はステップＳ１で求めたデータをメモリ２２
に記憶された最小設定値と比較する（ステップ３）。こ
こで、ステップＳ１で求めたデータがメモリ２２に記憶
された最小設定値よりも小さい場合には、ＣＰＵ２１は
ステージ昇降機構８のステージ昇降用モータ１１にステ
ージ下降信号を送出する。これによりステージ１が下降
し、ステージ１とラビングローラ４との間隔が許容範囲
内に保たれる。
【００１７】このように本発明の一実施例に係るラビン
グ装置では、ステージ１とラビングローラ４との間隔が
変化すると、コントローラ２０からステージ昇降機構８
にステージ昇降信号が送出され、このステージ昇降信号
によってステージ昇降機構８のステージ昇降用モータ１
１が駆動制御される。したがって、配向膜に対するラビ
ングが終了する度にステージ１とラビングローラ４との
間隔を隙間ゲージ等で測定し、この隙間ゲージの測定値
に基づいてステージ１とラビングローラ４との間隔を手
動調整する必要がないので、ステージ１とラビングロー
ラ４との間隔がラビング中に変化した場合でもステージ
１とラビングローラ４との間隔を許容範囲内に保つこと
ができ、ラビングに起因する配向不良率を更に下げるこ
とができる。
グ装置では、ステージ１とラビングローラ４との間隔が
変化すると、コントローラ２０からステージ昇降機構８
にステージ昇降信号が送出され、このステージ昇降信号
によってステージ昇降機構８のステージ昇降用モータ１
１が駆動制御される。したがって、配向膜に対するラビ
ングが終了する度にステージ１とラビングローラ４との
間隔を隙間ゲージ等で測定し、この隙間ゲージの測定値
に基づいてステージ１とラビングローラ４との間隔を手
動調整する必要がないので、ステージ１とラビングロー
ラ４との間隔がラビング中に変化した場合でもステージ
１とラビングローラ４との間隔を許容範囲内に保つこと
ができ、ラビングに起因する配向不良率を更に下げるこ
とができる。
【００１８】又、光検出器１９ａ、１９ｂの各検出値の
差を算出することにより、ラビングローラ４の軸方向に
おけるステージ１とラビングローラ４との間隔のズレを
見地することができる。この場合、警報器を設けてお
き、間隔のズレが一定値以上になった時点でＣＰＵ２１
が警報器に信号を出力して警報を発生させればよい。こ
れにより、作業者がラビング装置を停止させ、ラビング
ローラ４或いはステージ１の各支持機構を調節して傾き
を調整することができ、ラビングローラ族方向の間隔不
良に対する処置を迅速に実施でき、ラビングに起因する
配向不良率を更に下げることができる。
差を算出することにより、ラビングローラ４の軸方向に
おけるステージ１とラビングローラ４との間隔のズレを
見地することができる。この場合、警報器を設けてお
き、間隔のズレが一定値以上になった時点でＣＰＵ２１
が警報器に信号を出力して警報を発生させればよい。こ
れにより、作業者がラビング装置を停止させ、ラビング
ローラ４或いはステージ１の各支持機構を調節して傾き
を調整することができ、ラビングローラ族方向の間隔不
良に対する処置を迅速に実施でき、ラビングに起因する
配向不良率を更に下げることができる。
【００１９】なお、光検出器をラビングローラ側の支持
フレーム等に設けることができる。この場合、ステージ
表面の光検出器と対向する帯状反射体を設ければよい。
これにより、ステージ移動方向におけるステージとラビ
ングローラの間隔の変化をも検知することができる。
フレーム等に設けることができる。この場合、ステージ
表面の光検出器と対向する帯状反射体を設ければよい。
これにより、ステージ移動方向におけるステージとラビ
ングローラの間隔の変化をも検知することができる。
【００２０】又、上述した一実施例ではステージ１とラ
ビングローラ４との間隔を検出する間隔検出手段として
反射型光検出器１９ａ，１９ｂを用いたが、反射型光検
出器１９ａ，１９ｂの代わりに渦電流式の変位センサを
用いても良い。この場合、対向側に反射部材等の部品を
設ける必要がないので、ラビリングローラ４側に間隔検
出手段を設ける方式に好適である。
ビングローラ４との間隔を検出する間隔検出手段として
反射型光検出器１９ａ，１９ｂを用いたが、反射型光検
出器１９ａ，１９ｂの代わりに渦電流式の変位センサを
用いても良い。この場合、対向側に反射部材等の部品を
設ける必要がないので、ラビリングローラ４側に間隔検
出手段を設ける方式に好適である。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ステージ
とラビングローラとの間隔を光学的若しくは電気的に検
出する間隔検出手段と、この間隔検出手段から出力され
た信号に基づいてステージ昇降機構を駆動制御する制御
手段とを設けたことを特徴とする。したがって、ステー
ジとラビングローラとの間隔がラビング中に変化した場
合でも即座に調整しステージとラビングローラとの間隔
を許容範囲内に安定して保つことのできるラビング装置
を提供できる。
とラビングローラとの間隔を光学的若しくは電気的に検
出する間隔検出手段と、この間隔検出手段から出力され
た信号に基づいてステージ昇降機構を駆動制御する制御
手段とを設けたことを特徴とする。したがって、ステー
ジとラビングローラとの間隔がラビング中に変化した場
合でも即座に調整しステージとラビングローラとの間隔
を許容範囲内に安定して保つことのできるラビング装置
を提供できる。
【図１】本発明の一実施例に係るラビング装置の正面
図。
図。
【図２】同装置のステージ昇降機構を駆動制御するコン
トローラのブロック構成図。
トローラのブロック構成図。
【図３】同装置のステージとラビングローラとの間隔を
検出する反射型光検出器の信号出力特性を示す線図。
検出する反射型光検出器の信号出力特性を示す線図。
【図４】同装置のステージ昇降機構を駆動制御するコン
トローラの作用説明図。
トローラの作用説明図。
【図５】従来のラビング装置の正面図。
【図６】同装置の側面図。
【図７】図６のＡ−Ａ線に沿った断面図。
１…ステージ ２…透明基板 ３…ラビング布 ４…ラビングローラ ６…ローラ駆動用モータ ８…ステージ昇降機構 １４…ステージ移動機構 １９ａ，１９ｂ…反射型光検出器 ２０…コントローラ
Claims (1)
- 【請求項１】 配向膜が形成された透明基板を置くため
のステージと、このステージの上方に設けられたラビン
グローラと、このラビングローラを回転駆動するローラ
駆動機構と、前記ステージを上下方向に移動させて前記
配向膜を前記ラビングローラに巻き付けられたラビング
布に接触させるステージ昇降機構と、前記ステージを前
記ラビングローラの軸方向と直交する方向に水平移動さ
せるステージ移動機構とを具備してなるラビング装置に
おいて、前記ステージと前記ラビングローラとの間隔を
検出する間隔検出手段と、この間隔検出手段から出力さ
れた信号に基づいて前記ステージ昇降機構を駆動制御す
る制御手段とを設けたことを特徴とするラビング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31492093A JP3265774B2 (ja) | 1993-12-15 | 1993-12-15 | ラビング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31492093A JP3265774B2 (ja) | 1993-12-15 | 1993-12-15 | ラビング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07168184A true JPH07168184A (ja) | 1995-07-04 |
| JP3265774B2 JP3265774B2 (ja) | 2002-03-18 |
Family
ID=18059242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31492093A Expired - Fee Related JP3265774B2 (ja) | 1993-12-15 | 1993-12-15 | ラビング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3265774B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0915364A3 (en) * | 1997-11-04 | 2001-08-08 | Nec Corporation | Rubbing apparatus and rubbing method for preparing orientation layers |
| JP2005352368A (ja) * | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Joyo Kogaku Kk | ラビング装置およびラビング方法 |
| KR100700075B1 (ko) * | 2000-04-14 | 2007-03-27 | 삼성에스디아이 주식회사 | 액정 표시소자 제작용 러빙 장치 |
| KR100860480B1 (ko) * | 2007-05-22 | 2008-09-26 | 위아무역주식회사 | 패널기판의 위치보정기능을 갖는 러빙장치 |
-
1993
- 1993-12-15 JP JP31492093A patent/JP3265774B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| EP0915364A3 (en) * | 1997-11-04 | 2001-08-08 | Nec Corporation | Rubbing apparatus and rubbing method for preparing orientation layers |
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