JPH07169086A

JPH07169086A - 導波路及びそれを備えた光集積化ピックアップ

Info

Publication number: JPH07169086A
Application number: JP5316277A
Authority: JP
Inventors: Masaaki Doi; 正明土肥; Jun Iwasaki; 純岩崎; Yasushi Oki; 裕史大木; Rieko Arimoto; 理恵子有本
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1993-12-16
Filing date: 1993-12-16
Publication date: 1995-07-04

Abstract

(57)【要約】【目的】光集積化ピックアップを小型化する。【構成】第１の入射端面２２を有し、記録媒体からの
２つの反射光のうち一方の反射光によって第１の入射端
面２２に形成される光スポットの中心を第１の入射端面
２２の中心とずれた位置に形成するように一方の反射光
を第１の入射端面２２に入射するダブルモード導波路３
２と、第２の入射端面２０を有し、２つの反射光のうち
他方の反射光を第２の入射端面２０に入射するシングル
モード導波路７５とから構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フォーカスエラー検出
及びトラッキングエラー検出を行う光集積化ピックアッ
プに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、様々な分野で光導波路が注目され
ている。その理由は光導波路を用いることにより光学系
の小型、軽量化を図ることが可能になり、また、光軸の
調整が不要になるという利点を有しているからである。
導波路は、光導波路（コア部）と基板（クラッド部）と
の屈折率の差、光導波路の幅または屈折率分布によっ
て、０次モードの光だけが励振されるシングルモード導
波路と、０次と１次の２つのモードが励振されるダブル
モード導波路と、０次、１次及び２次以上の３つ以上の
モードが励振されるマルチモード導波路とに分類され
る。

【０００３】このような導波路において、ダブルモード
導波路を用いて被検物体（被検面）の状態を光学的に測
定する構成を本発明者等が提案している〔Ｈ．Ｏｏｋｉ
ａｎｄＪ．Ｉｗａｓａｋｉ，ＯｐｔｉｃｓＣｏ
ｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ８５（１９９１）１７７〕。
ダブルモード導波路にレーザ光を入射すると、導波路に
入射するレーザ光の振幅分布に応じて導波路内に０次モ
ードと１次モードとが励振される。この２つのモードは
導波路内で干渉して、導波路内の光強度分布に非対称性
が生じる。従って、ダブルモード導波路の長さをあらか
じめ最適な寸法に設定し、そのあとに分岐導波路を接続
すると、ダブルモード領域における光強度分布の非対称
性は、分岐した２つの導波路からの出射光量の差を検出
することによって調べることができる。尚、ダブルモー
ド導波路からの出射光を直接検出してダブルモード領域
の光強度分布の非対称性を検出することも可能である
が、分岐導波路（２つのシングルモード導波路）を接続
してそれぞれのシングルモード導波路を伝播する光の出
射光を検出してダブルモード領域の非対称性を検出する
ことが好ましい。

【０００４】ダブルモード領域とは、ダブルモード導波
路の実質的長さである。これは、例えば、ダブルモード
導波路にＹ分岐のシングルモード導波路が接続されてい
る場合（分岐点で２本のシングルモード導波路が接続さ
れている場合）、２つのシングルモード導波路の間があ
まり離れていない領域では、２つのシングルモード導波
路の間で光結合が起こり、この領域では光がダブルモー
ドで伝播することがある。このような場合には、ダブル
モード領域は、光が実質的にダブルモードで伝播してい
る長さをいう。

【０００５】ここで、導波路内の光強度分布の非対称性
をもたらすものとして、２つの要素が考えられる。ひと
つは入射レーザ光の強度分布に非対称性がある場合であ
り、もうひとつは入射レーザ光の位相分布に非対称性が
ある場合である。ダブルモード領域の長さを適当に選べ
ば、いずれの場合の非対称性も効率良く検出できる。強
度分布の非対称性は、被検面の光の反射率の分布等を観
察することができ、位相分布の非対称性は被検面の傾
斜、段差または高さの分布を観察することができる。

【０００６】このダブルモード導波路におけるモード干
渉を利用して光磁気信号を検出する方法を特開平４−２
５２４４４号公報において、本発明者らが開示してい
る。これは、光磁気信号が円偏光に対しては実質的に位
相信号として考えることができることを利用している。
例えば、図９のように、ダブルモード導波路２０９を３
つのシングルモード導波路２０５、２０６、２０７に分
岐し、そのうちの中央のシングルモード導波路２０６を
照明光用に、両端のシングルモード導波路２０５、２０
７を信号検出用に用いる。レーザ光源２０１は、中央の
シングルモード導波路２０６に結合されており、導波光
（０次モード）を励振する。シングルモード導波路２０
６中を伝搬した光は分岐２０８に達し、ダブルモード導
波路２０９に入射する。このとき、シングルモード導波
路２０６の中心線とダブルモード導波路２０９の中心線
とを一致させておけば、ダブルモード導波路２０９中に
は０次モードしか励振されず、ダブルモード導波路２０
９中をシングルモード導波路のように伝搬して出射端２
１２に至る。出射端２１２から出射した直線偏光のレー
ザ光はコリメータレンズ２１３を通った後、１／４波長
板２１４（偏光制御手段）を通り、円偏光となって対物
レンズ２１５に入射し、記録媒体２１６上に集光され
る。記録媒体２１６で反射した光は再び１／４波長板２
１４を通り、出射時とは直交する直線偏光となって、コ
リメータレンズ２１３を経て、ダブルモード導波路２０
９の端面２１２に集光され、ここに光スポットが形成さ
れる。

【０００７】光磁気信号（光磁気ディスク上の記録信
号）は、円偏光に対しては位相信号と同様に考えること
ができるので、光磁気信号に対応した非対称性は、ダブ
ルモード導波路２０９の端面２１２に形成される光スポ
ットの位相分布の非対称性となる。この光スポットの位
相分布の非対称性は、ダブルモード導波路２０９内の光
強度分布に非対称性を生じさせるため、ダブルモード導
波路２０９内には０次及び１次モードが励振し、両方の
モードが干渉しながら伝搬し、分岐２０８に達する。分
岐２０８で分岐された光は各々シングルモード導波路２
０５、２０７を伝搬し、基板２１７に固定された光検出
器２０２、２０３によって独立に検出される。

【０００８】ここで、ダブルモード領域の長さＬを、位
相分布を観察する条件Ｌ＝Ｌｃ（２ｍ＋１）／２〔ｍ＝０，１，２，・・・〕（１）にしておけば、差動演算器２０４で光検出器２０２、２
０３の出力の差動信号２１８をとることによって、光磁
気信号の微分信号を検出することができる。ここで、Ｌ
ｃは完全結合長で、ダブルモード領域を伝搬する０次モ
ードと１次モードの光の位相差がπとなる長さである。

【０００９】導波路基板２１７が電気光学効果を有する
基板であるときは、基板に電極２１０、２１１を設けて
この電極に電圧を印加することによって、導波路に電界
を印加し、ダブルモード領域の完全結合長を変化させる
ことができる。このようにすると、ダブルモード領域の
長さが式（１）からずれている場合に、完全結合長を変
化させることにより、好ましい条件で信号を検出するこ
とが可能になる。

【００１０】図９では、図示してないが、特開平２−４
４５５４号公報にも開示されているように、このような
光集積化ピックアップは、フォーカスエラー検出やトラ
ッキングエラー検出を行う必要がある。そこで、フォー
カスエラー用及びトラッキングエラー用の導波路をそれ
ぞれ設けて、記録媒体の情報の記録や再生を行ってい
た。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光集積化ピックアップでは、フォーカスエラー用及びト
ラッキングエラー用の導波路がそれぞれ別に必要であっ
たため、装置が大きくなるという問題点があった。本発
明は、上記問題点を鑑みてなされたものであり、小型化
することが可能な光集積化ピックアップを提供すること
を目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、鋭意研究
の結果、トラッキングエラー検出は、２つの導波路を用
いてこの２つの導波路に入射する光の強度の差を検出す
ることによって行うことができ、また、フォーカスエラ
ー検出はダブルモード導波路を用いてダブルモード導波
路に入射する光をダブルモード導波路の中心からわずか
にずらせて入射して、ダブルモード導波路に入射する光
の波面の傾きによって生じるダブルモード導波路内を伝
播する光の非対称性を検出することによって行うことが
できることを見出した。

【００１３】つまり、トラッキングエラー検出は導波路
に入射する光の強度を検出すればよいのでダブルモード
導波路を用いてもよい。従って、フォーカスエラー信号
検出とトラッキングエラー信号検出とを同じダブルモー
ド導波路で同時に行うことができることを見出し、本発
明を成すに至った。従って、本発明の光集積化ピックア
ップ用導波路は、第１に、『第１の入射端面を有し、記
録媒体からの２つの反射光のうち一方の反射光によって
該第１の入射端面に形成される光スポットの中心を該第
１の入射端面の中心とずれた位置に形成するように該一
方の反射光を該第１の入射端面に入射するダブルモード
導波路と、第２の入射端面を有し、前記２つの反射光の
うち他方の反射光を該第２の入射端面に入射するシング
ルモード導波路と（請求項１）』から構成する。

【００１４】また、本発明の光集積化ピックアップ用導
波路は、第２に『第３の入射端面を有し、記録媒体から
の２つの反射光のうち一方の反射光によって該第３の入
射端面に形成される光スポットの中心を該第３の入射端
面の中心とずれた位置に形成するように該一方の反射光
を該第３の入射端面に入射するダブルモード導波路と、
第３の入射端面を有し、前記２つの反射光のうち他方の
反射光によって該第３の入射端面に形成される光スポッ
トの中心を該第３の入射端面の中心とずれた位置に形成
するように該他方の反射光を該第３の入射端面に入射す
るダブルモード導波路と（請求項２）』から構成する。

【００１５】また、本発明の光集積化ピックアップ用導
波路は、好ましくは、第３に『前記光集積化ピックアッ
プ用導波路に光の入射及び出射用の導波路を設けたこと
（請求項３）』から構成する。また、本発明の光集積化
ピックアップ用導波路は、好ましくは、第４に『前記ダ
ブルモード導波路を伝播する光を分配する２つの分配用
シングルモード導波路を設けたこと（請求項４）』から
構成する。

【００１６】また、本発明の光集積化ピックアップは、
第５に『２つの光を集光して記録媒体に２つの光スポッ
トを形成し、前記２つの光によって該記録媒体から反射
する２つの反射光の一方の反射光を入射するダブルモー
ド導波路と、前記２つの反射光の他方の反射光の強度を
検出する光検出器と、前記ダブルモード導波路を伝播す
る光の非対称性を検出する２つの光検出器とから（請求
項５）』から構成する。

【００１７】また、本発明の光集積化ピックアップは、
第６に『２つの光を集光して記録媒体に２つの光スポッ
トを形成し、前記２つの光によって該記録媒体から反射
する２つの反射光をそれぞれ入射する２つのダブルモー
ド導波路と、前記２つのダブルモード導波路を伝播する
それぞれの光の非対称性を検出するために該２つのダブ
ルモード導波路にそれぞれ２つずつ設けられた光検出器
とから（請求項６）』から構成する。

【００１８】また、本発明の光集積化ピックアップは、
好ましくは、第７に『前記ダブルモード導波路を伝播す
る光の非対称性を検出する２つの光検出器の信号の和を
とる第１の和演算器と、前記ダブルモード導波路を伝播
する光の非対称性を検出する２つの光検出器からの信号
の差をとる第１の差動演算器と、前記第１の和演算器か
らの信号と前記２つの反射光の他方の反射光の強度を検
出する光検出器からの信号との差をとる第２の差動演算
器とを設けたこと（請求項７）』から構成する。

【００１９】また、本発明の光集積化ピックアップは、
好ましくは、第８に『前記２つのダブルモードのそれぞ
れに２つずつ設けられた光検出器からの信号のそれぞれ
の和をとる第２及び第３の和演算器と、前記２つのダブ
ルモードのそれぞれに２つずつ設けられた光検出器から
の信号のそれぞれの差をとる第３及び第４の差動演算器
と、前記第２の和演算器からの信号と前記第３の和演算
器からの信号との差をとる第５の差動演算器と、前記第
３の差動演算器からの信号と前記第４の差動演算器から
の信号との平均をとる信号平均器と、を設けたこと（請
求項８）』から構成する。

【００２０】また、本発明の光集積化ピックアップは、
好ましくは、第９に『前記記録媒体上に形成される前記
２つの光スポットの間隔は、該記録媒体上の案内溝に垂
直な方向に、該案内溝と記録領域とを合わせた長さを１
ピッチとしてｎ／２ピッチ（ｎは奇数）離れていること
（請求項９）』から構成する。また、本発明の光集積化
ピックアップは、好ましくは、第１０に『前記ダブルモ
ード導波路に入射する前記反射光によって該ダブルモー
ド導波路の端面に形成される光スポットの中心は該ダブ
ルモード導波路端面の中心とずれた位置にあること（請
求項１０）』から構成する。

【００２１】また、本発明の光集積化ピックアップは、
好ましくは、第１１に『前記ダブルモード導波路に電界
を印加するための電極を設けたこと（請求項１１）』か
ら構成する。また、本発明の光集積化ピックアップは、
好ましくは、第１２に『前記ダブルモード導波路内の光
強度分布を分配するための少なくとも２つの分配用シン
グルモード導波路を設け、前記ダブルモード導波路を伝
播する光の非対称性を検出する２つの光検出器は前記２
つの分配用シングルモード導波路からの出射光をそれぞ
れ検出すること（請求項１２）』から構成する。

【００２２】

【作用】本発明では、フォーカスエラー検出とトラッキ
ングエラー検出を同じ導波路を用いて行うため光集積化
ピックアップを小型化することができる。

【００２３】

【実施例】以下、実施例により本発明をより具体的に説
明するが、本発明はこれに限るものではない。図１は、
本発明の第１の実施例による光集積化ピックアップの概
略構成図である。

【００２４】レーザ光源１から出射した光は基板２上に
形成されたシングルモード導波路３を通って、端面４か
ら出射する。本実施例では、簡単のため、シングルモー
ド導波路３はレーザ光を端面４から出射するための導波
路としたが、例えば、特開平２−２５２４４４号公報に
開示されている構成にすると、記録／再生の機能を持つ
構造の小型の光集積化ピックアップが実現できる。

【００２５】第１の実施例では、基板２の材料としてＬ
ｉＮｂＯ₃を用いて、導波路はＴｉを拡散して作製し
た。端面４から出射したレーザビームはコリメータレン
ズ５で平行光となった後、偏光選択性回折格子６、１／
４波長板７を透過する。ここで、偏光選択性回折格子６
は、導波路から記録媒体へ向かう光（往路）は回折し、
記録媒体から導波路へ向かう光（復路）は透過する構成
とする。偏光選択性回折格子６で回折された光は、１／
４波長板７で直線偏光から円偏光に変換され、対物レン
ズ８を透過した０次光、＋１次光、−１次光が、記録媒
体９上の１０、１１、１２にそれぞれ集光される。

【００２６】ここで、図３のように、光スポット１０、
１１、１２を結ぶ直線は、記録媒体９上の案内溝１５に
対して角度θをもって交わるような構成とする。図３
は、基板側から見たときの記録媒体上に形成される光ス
ポットの位置を示す図である。記録媒体９上で反射した
レーザ光は再び、対物レンズ８を透過し、１／４波長板
７を透過して円偏光から直線偏光に変換される。このと
き復路の直線偏光の偏光面と往路の直線偏光の偏光面と
は直交するようになる。従って、復路の光は偏光選択性
回折格子で偏光されない。偏光選択性回折格子６を透過
し、コリメータレンズ５を経て、０次光は端面４に、＋
１次光、−１次光はそれぞれ端面２０、２２に結像す
る。

【００２７】ここで、図４のように、導波路基板２は、
記録媒体９上の案内溝１５に対して角度θをもって交わ
るような構成とする。すなわち、光スポット４、２０、
２２は基板２の端面で、基板表面から同一の深さに結像
する。このようにすることによって導波路に入射する光
の強度分布が導波路によって異なるということを防止で
きる。

【００２８】フォーカスエラー信号及びトラッキングエ
ラー信号検出用のダブルモード導波路３２は、その中心
が、光スポット２２からわずかにずれた構成とする。ダ
ブルモード導波路３２は適当な長さの所でシングルモー
ド導波路４３、４４に分岐する。ダブルモード導波路３
２の実質的な長さであるダブルモード領域の長さＬは式
（１）を満たすように構成する。

【００２９】基板２は、ＬｉＮｂＯ₃であるので電気光
学効果を有する。そこで、基板に電極４７、４８を設け
て、この電極に電圧を印加することによって導波路に電
界を印加し、ダブルモード領域の完全結合長を変化させ
ることができる。このようにすると、ダブルモード領域
の長さが検出するのに好ましい長さからずれている時
に、完全結合長を変化させることにより、好ましい条件
で検出することが可能になる。

【００３０】シングルモード導波路４３、４４からの出
射光量は、それぞれ光検出器５３、５４で検出される。
和演算器７２で光検出器５３、５４からの信号の和をと
り、差動演算器６２で光検出器５３、５４からの信号の
差をとる。また、シングルモード導波路７５からの出射
光は、光検出器７６で検出される。被検面の焦点ずれ
（フォーカスエラー）を検出する場合には、差動演算器
６２の出力信号６４で行う。

【００３１】図６は、この時のフォーカスエラー信号を
示す図であり、縦軸は信号６４を表し、横軸はデフォー
カス量（μｍ）を表す。ダブルモード導波路３２に入射
する光のスポットの中心をダブルモード導波路３２の中
心とずらしてあるためダブルモード導波路３２に入射す
る光の波面の傾きを検出することによってフォーカスが
あっているかずれているかを検出できる。

【００３２】また、トラッキングエラー検出は、差動演
算器７３で和演算器７２と光検出器７６からの信号の差
をとることにより行う。図７は、この時のトラッキング
エラー信号を示す図であり、縦軸は出力信号７４を表
し、横軸はディスク上の光スポットのずれ量（μｍ）を
表す。図１ではトラッキングエラー検出にシングルモー
ド導波路７５を用いているが、これはダブルモード導波
路またはマルチモードの導波路を用いてもよいし、場合
によっては直接反射光を光検出器で検出してもよい。

【００３３】図２は、本発明の第２の実施例による光集
積化ピックアップを示す概略構成図である。尚、第１の
実施例と同じものは同じ番号を付して説明を省く。第１
の実施例のように１つのダブルモード導波路でフォーカ
スエラー検出をおこなう構成で案内溝のある記録媒体の
フォーカスエラー検出を行う場合、図６のフォーカスエ
ラー信号（Ｓ字曲線）の原点が記録媒体上の光スポット
の位置によって前後にシフトすることがあるため、図８
のようにフォーカスオフセットが生じてしまう場合があ
る。図８はフォーカスオフセット量を表す図であり、縦
軸は、フォーカスオフセット量（μｍ）を表し、横軸
は、ディスク上の光スポットの位置（μｍ）を表す。ま
た、図８の下図は上図のフォーカスエラー信号が出力さ
れているときの記録媒体上の光スポットの位置を対比す
る図である。尚、フォーカスオフセット量は、各光スポ
ットの位置で図６のＳ字曲線を求め、その原点からのず
れ量を求めることによって決めている。つまり、焦点が
あっていると認識するときの光軸方向の位置が、媒体上
の光スポットの位置によって異なってしまうのである。
これは、記録媒体表面に案内溝（グルーブ）１５と記録
領域（ランド）１６があり、それぞれの幅が異なるとい
う、記録媒体表面形状の非対称性が原因であり、この表
面形状の非対称性を検出してしまうためであるというこ
とに気が付いた。

【００３４】そこで、このような場合には、第１の実施
例で用いられていたトラッキングエラー検出用のシング
ルモード導波路７５をダブルモード導波路３１にして、
２つのダブルモード導波路でフォーカスエラー検出を行
う。第１の実施例のダブルモード導波路３２と同様に、
ダブルモード導波路３１の端面２１に形成される光スポ
ットの中心とダブルモード導波路の中心とをずらしてお
く。

【００３５】第２の実施例では、ダブルモード導波路３
１、３２の入射端と光スポット２１、２３の中心とのず
れている方向が逆になっているので、信号６３、６４の
極性は逆になっている。従って、光スポット１１、１２
からのフォーカスエラー情報の平均をとるには、差動演
算器６５で、信号６３、６４の差をとればよい。この結
果、フォーカスエラー信号６６のフォーカスオフセット
は図５のように、きわめて小さく抑えることができ、案
内溝がある記録媒体のフォーカスエラー検出を行っても
図６のような精度の良いフォーカスエラー信号が得られ
る。図５の縦軸は、フォーカスオフセット量（μｍ）を
表し、横軸は、ディスク上の光スポットの位置（μｍ）
を表す。また、図５の下図は上図のフォーカスエラー信
号が出力されているときの記録媒体上の光スポットの位
置を対比する図である。

【００３６】このとき、光スポット１１、１２は、案内
溝に垂直な方向の間隔がｎ／２ピッチ（記録媒体９上の
ランド１６の幅とグルーブ１５の幅とを合わせた長さを
１ピッチとする）（ｎは奇数）離れた構成とすることが
フォーカスオフセットを減らすことを考えると好まし
い。第２の実施例ではグルーブの幅を０．４μｍとし
て、ランドの幅を１．６μｍとしたため、光スポット１
１と１２との中心の距離は０．８μｍとした。また、記
録及び再生用の光スポット１０は、記録領域（ランド）
１６の中心に存在するような構成とする。

【００３７】尚、第１及び第２の実施例では、より小型
化にするために、光出射用の導波路を同じ基板に設けて
レーザ光源を一体化しているが、これは、別な場所にレ
ーザ光源を設けて記録媒体に光を照射することによっ
て、光出射用の導波路を省くこともできる。尚、本実施
例では基板としてＬｉＮｂＯ₃を用いて、Ｔｉを拡散さ
せることによって光導波路を形成しているが、プロトン
交換をおこなって光導波路を形成してもよい。この場合
は、ＸカットＹ伝播の基板を用いることが好ましい。ま
た、基板材料としては、ＬｉＴａＯ₃やＧａＡｓ等を用
いてもよい。

【００３８】

【発明の効果】本発明では、フォーカスエラー検出とト
ラッキングエラー検出を同じ導波路を用いて行うことが
できるため、光集積化ピックアップを小型化することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例による光集積化ピックア
ップを示す概略構成図である。

【図２】本発明の第２の実施例による光集積化ピックア
ップを示す概略構成図である。

【図３】記録媒体面上の光スポット配置を説明するため
の図である。

【図４】記録媒体面と導波路デバイスの位置関係を説明
するための図である。

【図５】本発明により得られる光スポット位置とフォー
カスオフセット量を示す図である。

【図６】本発明の第１及び第２の実施例による光集積化
ピックアップにより得られるフォーカスエラー信号を示
す説明図である。

【図７】本発明の第１及び第２の実施例による光集積化
ピックアップにより得られるトラッキングエラー信号を
示す説明図である。

【図８】本発明の第１の実施例による光集積化ピックア
ップにより得られる光スポットとフォーカスオフセット
を示す説明図である。

【図９】従来の導波路を用いた光集積化ピックアップを
示す概略構成図である。

【符号の説明】

１、２０１・・・レーザ光源２、２１７・・・基板３、４１、４２、４３、４４、７５、２０５、２０６、
２０７・・・シングルモード導波路３１、３２、２０９・・・ダブルモード導波路５、２１３・・・コリメータレンズ６・・・偏光選択性回折格子７、２１４・・・１／４波長板８、２１５・・・対物レンズ９、２１６・・・記録媒体５１、５２、５３、５４、、７６、２０２、２０３・・
・光検出器６１、６２、７３、２０４・・・差動演算器７１、７２・・・和演算器１０、１１、１２・・・光スポット１５・・・案内溝（グルーブ）１６・・・記録領域（ランド）

フロントページの続き (72)発明者有本理恵子東京都千代田区丸の内３丁目２番３号株式会社ニコン内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１の入射端面を有し、記録媒体からの
２つの反射光のうち一方の反射光によって該第１の入射
端面に形成される光スポットの中心を該第１の入射端面
の中心とずれた位置に形成するように該一方の反射光を
該第１の入射端面に入射するダブルモード導波路と、第２の入射端面を有し、前記２つの反射光のうち他方の
反射光を該第２の入射端面に入射するシングルモード導
波路とからなることを特徴とする光集積化ピックアップ
用導波路。
【請求項２】第３の入射端面を有し、記録媒体からの
２つの反射光のうち一方の反射光によって該第３の入射
端面に形成される光スポットの中心を該第３の入射端面
の中心とずれた位置に形成するように該一方の反射光を
該第３の入射端面に入射するダブルモード導波路と、第３の入射端面を有し、前記２つの反射光のうち他方の
反射光によって該第３の入射端面に形成される光スポッ
トの中心を該第３の入射端面の中心とずれた位置に形成
するように該他方の反射光を該第３の入射端面に入射す
るダブルモード導波路とからなることを特徴とする光集
積化ピックアップ用導波路。
【請求項３】前記光集積化ピックアップ用導波路に光
の入射及び出射用の導波路を設けたことを特徴とする請
求項１または２記載の導波路。
【請求項４】前記ダブルモード導波路を伝播する光を
分配する２つの分配用シングルモード導波路を設けたこ
とを特徴とする請求項１または２記載の導波路。
【請求項５】２つの光を集光して記録媒体に２つの光
スポットを形成し、前記２つの光によって該記録媒体か
ら反射する２つの反射光の一方の反射光を入射するダブ
ルモード導波路と、前記２つの反射光の他方の反射光の強度を検出する光検
出器と、前記ダブルモード導波路を伝播する光の非対称性を検出
する２つの光検出器とからなることを特徴とする光集積
化ピックアップ。
【請求項６】２つの光を集光して記録媒体に２つの光
スポットを形成し、前記２つの光によって該記録媒体か
ら反射する２つの反射光をそれぞれ入射する２つのダブ
ルモード導波路と、前記２つのダブルモード導波路を伝播するそれぞれの光
の非対称性を検出するために該２つのダブルモード導波
路にそれぞれ２つずつ設けられた光検出器とからなるこ
とを特徴とする光集積化ピックアップ。
【請求項７】前記ダブルモード導波路を伝播する光の
非対称性を検出する２つの光検出器の信号の和をとる第
１の和演算器と、前記ダブルモード導波路を伝播する光の非対称性を検出
する２つの光検出器からの信号の差をとる第１の差動演
算器と、前記第１の和演算器からの信号と前記２つの反射光の他
方の反射光の強度を検出する光検出器からの信号との差
をとる第２の差動演算器とを設けたことを特徴とする請
求項５記載の光集積化ピックアップ。
【請求項８】前記２つのダブルモードのそれぞれに２
つずつ設けられた光検出器からの信号のそれぞれの和を
とる第２及び第３の和演算器と、前記２つのダブルモードのそれぞれに２つずつ設けられ
た光検出器からの信号のそれぞれの差をとる第３及び第
４の差動演算器と、前記第２の和演算器からの信号と前記第３の和演算器か
らの信号との差をとる第５の差動演算器と、前記第３の差動演算器からの信号と前記第４の差動演算
器からの信号との平均をとる信号平均器と、を設けたこ
とを特徴とする請求項６記載の光集積化ピックアップ。
【請求項９】前記記録媒体上に形成される前記２つの
光スポットの間隔は、該記録媒体上の案内溝に垂直な方
向に、該案内溝と記録領域とを合わせた長さを１ピッチ
としてｎ／２ピッチ（ｎは奇数）離れていることを特徴
とする請求項５または６記載の光集積化ピックアップ。
【請求項１０】前記ダブルモード導波路に入射する前
記反射光によって該ダブルモード導波路の端面に形成さ
れる光スポットの中心は該ダブルモード導波路端面の中
心とずれた位置にあることを特徴とする請求項５または
６記載の光集積化ピックアップ。
【請求項１１】前記ダブルモード導波路に電界を印加
するための電極を設けたことを特徴とする請求項５また
は６記載の光集積化ピックアップ。
【請求項１２】前記ダブルモード導波路内の光強度分
布を分配するための少なくとも２つの分配用シングルモ
ード導波路を設け、前記ダブルモード導波路を伝播する光の非対称性を検出
する２つの光検出器は前記２つの分配用シングルモード
導波路からの出射光をそれぞれ検出することを特徴とす
る請求項５または６記載の光集積化ピックアップ。