JPH0717309B2

JPH0717309B2 - 薄膜剥離方法

Info

Publication number: JPH0717309B2
Application number: JP1141969A
Authority: JP
Inventors: 成夫住; 一夫福田
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1989-06-04
Filing date: 1989-06-04
Publication date: 1995-03-01
Anticipated expiration: 2010-03-01
Also published as: US5110393A; CA2018223A1; EP0401702A2; DE69019065D1; DE69019065T2; JPH038660A; EP0401702B1; EP0401702A3

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、基板に張り付けられた薄膜を剥離し、この剥
離された薄膜を排出する薄膜剥離技術に適用して有効な
技術に関するものである。

〔従来の技術〕

コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の両面（又
は片面）に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板の導電層上に、感光
性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性樹
脂製カバーフィルム（以下、カバーフィルムという）と
からなる積層体を熱圧着ラミネートする。この後、配線
パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィルム及
び前記カバーフィルムを通して、感光性樹脂層を所定時
間露光する。そして、カバーフィルムを剥離した後、露
光された感光性樹脂層を現像してエッチングマスクパタ
ーンを形成する。この後、前記導電層の不必要部分をエ
ッチングにより除去し、さらに残存する感光性樹脂層を
除去し、所定の配線パターンを有するプリント配線板を
形成する。

前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性樹
脂層を露光した後現像するに際して、カバーフィルムを
剥離する工程が必要とされている。カバーフィルムの剥
離は、人手作業に頼っており、該フィルムが薄いので、
剥離応力の偏り等による感光性樹脂層の損傷，破壊が生
じないようにするため、指先の器用さ及び非常な熟練を
要する。

そこで、前記薄膜剥離工程を機械で自動的に行う自動薄
膜剥離装置が開発されている。

例えば、本願出願人によって先に出願された特願昭63-1
01909号に記載されるように、基板に張り付けられた薄
膜の一部を剥離し、この剥離された一部分から薄膜を剥
離すると共にこの剥離された薄膜を排出する薄膜剥離装
置において、前記剥離された薄膜の一部を挟持して基板
から薄膜を剥離すると共に、挟持した状態で薄膜を基板
の表面側の上方向に搬送する第１薄膜搬送手段と、該第
１薄膜搬送手段で搬送された薄膜に流体（空気）を吹き
付けて剥離薄膜収容部まで搬送する第２薄膜搬送手段と
を備えた薄膜剥離装置が提案されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、前記の薄膜剥離装置では、前記第１薄膜
搬送手段で搬送された薄膜に空気を吹き付けて剥離薄膜
収容部まで搬送するためのエアーダクトの壁に薄膜が吸
着してつまるという問題があった。

本発明の目的は、基板に張り付けられた薄膜を剥離しな
がら搬送しかつ排出する薄膜剥離方法において、剥離さ
れた薄膜の搬送不良を低減することが可能な技術を提供
することにある。

本発明の他の目的は、薄膜剥離装置の構造を簡単にし、
メンテナンス作業を簡単に行うことが可能な技術を提供
することにある。

なお、本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴
は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになる
であろう。

〔課題を解決するための手段〕

前記課題を解決するため、本発明は、基板に張り付けら
れた薄膜の一部を剥離し、この剥離された一部分から薄
膜を剥離すると共にこの剥離された薄膜を排出する薄膜
剥離方法において、前記剥離された薄膜の一部を挟持し
て基板から薄膜を剥離すると共に、挟持した状態で薄膜
を基板の表面側の上方向に搬送する第１薄膜搬送段階
と、該第１薄膜搬送段階で搬送された薄膜に、除電雰囲
気中で剥離の都度流体を吹き付けて剥離薄膜収容部まで
搬送する第２薄膜搬送段階とを備えたことを最も主要な
特徴とする。

また、前記第１薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対し
て実質的に垂直方向に薄膜を剥離しかつ搬送し、前記第
２薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対して平行な面に
おいて基板の搬送方向と略直交する方向に薄膜に流体を
吹き付け、その吹き付け中の所定時間後さらに搬送路の
中心部に水平流体を当該薄膜に吹き付けることを特徴と
する。

また、前記第２薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対し
て平行な面において基板の搬送方向と略直交する方向に
薄膜にイオンを含む流体を吹き付け、その吹き付け中の
所定時間後さらに搬送路の中心部にイオンを含む水平流
体を当該薄膜に吹き付けると共に、前記流体中にイオン
流を混込したことを特徴とする。

また、前記第２薄膜搬送段階の水平流体の終端部におい
て、薄膜排出垂直路を形成し、該薄膜排出垂直路の前記
水平流体よりも下部において、流体圧を減圧することを
特徴とする。

前記剥離薄膜収容部においては、流体圧を急速に低減し
てほぼ零にすることを特徴とする。

また、前記薄膜剥離方法における前記第２薄膜搬送段階
の水平流体を流すエアーダクトであって、該エアーダク
トを透明材で構成したことを特徴とする。

また、前記エアーダクトの上面部と一側面部を一体に形
成し、蝶番で本体部に開閉自在に取付けたことを特徴と
する。

〔作用〕

前述の手段によれば、前記剥離した薄膜に流体を吹き付
ける流体吹付手段を主体にする第２薄膜搬送方法を備え
たので、基板に張り付けられた薄膜を剥離しながら搬送
しかつ排出する薄膜剥離方法において、剥離された薄膜
の搬送不良を低減することができる。

また、前記第１薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対し
て実質的に垂直方向に薄膜を剥離しかつ搬送し、前記第
２薄膜搬送段階は、前記基板の表面に対して平行な面に
おいて基板の搬送方向と略直交する方向に薄膜に流体を
吹き付け、その吹き付け中の所定時間後さらに搬送路の
中心部に水平流体を当該薄膜に吹き付けるようにし、前
記第２薄膜搬送手段の水平流体の終端部において、薄膜
排出垂直路を形成し、該薄膜排出垂直路の前記水平流体
よりも下部では流体圧を減圧し、前記剥離薄膜収容部で
流体圧を急速に低減してほぼ零するようにしたので、剥
離された薄膜の搬送不良を低減することができ、かつ薄
膜剥離装置の構造を簡単にすることができる。

また、前記第２薄膜搬送段階において、剥離薄膜に吹き
付ける流体中にイオン流を混込したことにより、剥離薄
膜やエアーダクトの内壁の帯電を防止することができる
ので、剥離された薄膜の搬送不良をさらに低減すること
ができる。

また、前記第２薄膜搬送手段の水平流体を流すエアーダ
クトを透明材で構成し、かつ、前記エアーダクトの上面
部と一側面部を一体に形成し、蝶番で本体部に開閉自在
に取付けたので、メンテナンス作業を簡単に行うことが
できる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明をプリント配線用基板のカバーフィルム
（保護膜）剥離装置に適用した一実施例について図面を
用いて説明する。

なお、実施例を説明するための全図において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。

第１図は本発明の一実施例のプリント配線用基板の薄膜
剥離装置の外観概略構成を示す斜視図、第２図は第１図
のエアー搬送ボックスを開いた状態を示す図である。

本実施例の薄膜剥離装置におけるプリント配線用基板の
搬送機構は、第１図及び第２図に示すように、装置本体
100に基板搬送ローラ101,102が設けられている。前記基
板搬送ローラ102の上にエアーダクト載置台103が設けら
れている。

エアーダクト載置台103の上には、透明な材料からなる
エアーダクト104が載置されており、該エアーダクト104
には、多数の減圧孔を有する剥離フィルム排出ダクト10
5が連結されている。

前記エアーダクト104の上面部と一側面部を一体に形成
して蓋部104Aとし、蝶番104Bで本体部104Cに開閉自在に
取付けられている。

また、蓋部104Aの所定位置には、通気孔104Dが設けられ
ている。本体部104Cの通気孔104Dに対向した位置にイオ
ン挿入用の送風用フアン109A,109Bが設けられている。

前記剥離フィルム排出ダクト105の排出口は、剥離フィ
ルムを収容する剥離フィルム収容器106に誘導されてい
る。剥離フィルム収容器106は、多数の減圧孔を有する
孔収容台部材106A、ネット部材106B及びキャスタ106Cか
らなっている。

また、装置本体100の側部には操作パネル107が設けら
れ、装置本体100の最上端には、警報灯108が設けられて
いる。

この搬送機構における基板搬送経路A-Aには、第３図に
示すように、薄膜浮上装置の浮上部材３、流体吹付装置
のノズル４、剥離方向設定板（剥離補助板）５及び薄膜
搬送装置（薄膜排出装置）６が設けられている。

前記プリント配線用基板１は、絶縁性基板の両面（又は
片面）に銅等の導電層が形成されたものである。このプ
リント配線用基板１の導電層上には、感光性樹脂層（フ
ォトレジスト層）とカバーフィルム（保護用薄膜）とか
らなる積層体が熱圧着ラミネートされている。感光性樹
脂層は所定の配線パターンフィルムが重ねられ露光され
た後の状態にある。プリント配線用基板１は、第３図に
示す矢印Ａ方向に基板搬送ローラ101,102の搬送用駆動
ローラ２で搬送されるように構成されている。2Aは基板
押えローラ（ピンチローラ）である。

前記薄膜浮上装置は、第３図に示すように構成されてい
る。

この薄膜浮上装置は、プリント配線用基板１の両面に、
夫々、少なくとも１個の浮上部材３が設けられている。
浮上部材３は、その先端部が針状で構成されている。浮
上部材３は、空気式振動装置によって、振動するように
構成されている。空気式振動装置は、例えば１分間に20
00〜3000ストロークの振動を浮上部材３に与えるように
構成されている。

前記浮上部材３の先端部は、感光性樹脂層とカバーフィ
ルムからなる積層体フィルムの端部を振動押圧すなわち
エネルギを与えるように構成されている。エネルギが与
えられた積層体の端部は、感光性樹脂層からカバーフィ
ルムが浮上（剥離）するようになっている。エネルギが
与えられた積層体の端部において、カバーフィルムのみ
が剥離されるのは、カバーフィルムは感光性樹脂層に比
べて腰があることと感光性樹脂層と導電層とは、前記感
光性樹脂層とカバーフィルムとの接着力に比べて強いた
めによるものと推定される。

前記流体吹付装置は、第３図に示すように、ノズル４か
ら圧力を加えた流体、例えば、空気，不活性ガス等の気
体、水等の液体が吹出すように構成されている。本実施
例は流体として空気を使用している。この流体吹付装置
は、プリント配線用基板１の端部において、前記薄膜浮
上部材３によって感光性樹脂層からカバーフィルムを浮
上させた両者間の隙間部分に流体を直接吹き付けるよう
に構成されている。流体吹付装置のノズル４は、前記隙
間部分に即座に流体を吹き付けられるように、前記浮上
部材３に近接した位置に位置するように構成されてい
る。ノズル４は、浮上部材３の先端部に、両側（２方
向）から流体を吹き付けるように一対の噴射孔4Aを有し
ている。ノズル４には、１つの流体供給管から流体が供
給されるように構成されている。

ノズル４に一対の噴射孔を設けた理由は、薄膜剥離動作
を確実に行うためである。

プリント配線用基板１の積層体の端部を浮上させる動作
及び剥離させる動作についての説明は、特願昭63-10190
9号明細書に記載しているものと同じであるので、ここ
では省略する。

前記流体吹付装置４で剥離された基板搬送方向先端側の
剥離フィルム（カバーフィルム）は、流体吹付装置のノ
ズル４からの流体圧で剥離方向設定板（剥離補助板）５
に付着するようになっている。

前記第３図に示す薄膜浮上装置の部分の各部品のレイア
ウトを第４図に示す。第４図において、薄い基板用ガイ
ド部材10及び薄い基板用ガイドローラ11は、薄い基板の
カバーフィルムを剥離する場合に、薄膜浮上装置の部分
に浮上部材３やノズル４が設置されるため搬送ローラを
組入れることができないから、薄い基板の先端が垂れ下
がらないようにガイドするためのものである。特に薄い
基板用ガイド部材10は、幅が広いものに対して有効に作
用する。

薄膜搬送装置６は、第３図に示すように、主に、プリン
ト配線用基板１の搬送経路A-Aの上側に設けられた上部
薄膜搬送装置と下側に設けられた下部薄膜搬送装置とで
構成されている。上部薄膜搬送装置は、第１薄膜搬送装
置（6A,6B），剥離フィルムガイド部材（6C）及び第２
薄膜搬送装置（6D）で構成されている。

剥離フィルムは、第１薄膜搬送装置（6A,6B），剥離フ
ィルムガイド部材（6C）で矢印Ｍ方向に誘動され、第２
薄膜搬送装置6Dに搬送される。

剥離フィルムガイド部材（6C）は、剥離フィルムの搬送
方向を垂直方向から水平方向に変える（搬送経路A-Aと
平行で基板搬送方向Ａと反対方向に変える）ように構成
されている。剥離フィルムガイド部材（6C）は、剥離フ
ィルムとの接触面積をできる限り小さくできるように棒
状部材によって構成され、プリント配線用基板１の搬送
経路A-Aと交差する方向において複数個設けられてい
る。剥離フィルムガイド部材（6C）は、例えばステンレ
ス鋼等の導電性材料で構成する。導電性材料で構成され
る剥離フィルムガイド部材（6C）は、剥離時や搬送時に
剥離フィルムに発生した静電気を放電できるように構成
されている。

また、剥離フィルムガイド部材（6C）は、第１薄膜搬送
装置（6A及び6B）から第２薄膜搬送装置6Dに剥離フィル
ムを搬送する際に、固定搬送ベルト6Aのローラや可動搬
送ベルト6Bのローラ6Aa,6Baに剥離フィルムが巻き込ま
れることを防止するように構成されている。

剥離フィルムガイド部材（6C）の近傍には、流体噴出装
置12及びイオン発生装置（除電装置）15が設けられてい
る。流体噴出装置12は矢印Ｎ方向に流体を噴出するよう
に構成されている。また、イオン発生装置（除電装置）
15は、第１薄膜搬送装置（6A及び6B）から第２薄膜搬送
装置6Dに剥離フィルムを搬送する際に、剥離フィルムが
静電気を帯び、固定搬送ベルト6Aのローラや可動搬送ベ
ルト6Bのローラに剥離フィルムが巻き込まれることを防
止するために静電気の除去を行うためのものである。

第３図，第４図において、2Cは、Ｌ字形状のロールにブ
レーキをかける押え板、3Bは浮上部材支持回転軸であっ
て、このものは、その両端においてクランク機構に結合
されている。７は固定支持部材、８は薄膜端部検出部
材、９は流体の作用により剥離されたフィルムが、確実
に剥離方向設定板に立ち上がっているかどうかを確認す
るための検出部材である。6Ba′,6Ab,6Bb,6Bcは、それ
ぞれローラである。

なお、上記第１薄膜搬送装置を構成するベルト6A,6Bは
歯付ゴムベルトで構成され、6Bc以外のローラは、各々
歯付プーリで構成されている。ベルトの走行を確実なも
のとするためである。

前記第２薄膜搬送装置6Dは、エアーダクト載置台103の
上に配置されている。

第２薄膜搬送装置6Dは、第１図及び第２図に示すよう
に、エアーダクト104からなり、前述のように、エアー
ダクト104には、カバーフィルム排出ダクト105が連結さ
れている。

また、第５図（イオン発生装置の設置部分の斜視図），
第６図（エアーダクト104の内側から見た正面図）及び
第７図（第６図のA-A線で切った断面図）に示すよう
に、送風用フアン109A,109Bの前面には、イオン発生装
置110が設けられている。

また、前記送風用フアン109Aと109Bとの間に基板搬送面
に対して垂直方向にジエットエアー吹出ノズル111A,111
B,111Cが設けられている。

このジエットエアー吹出ノズル111A,111B,111Cは、エア
ーダクト104内に搬送された剥離フィルムを剥離フィル
ム収容器106まで搬送するためのものである。

次に、第１薄膜搬送装置（6A,6B），剥離フィルムガイ
ド部材（6C）で搬送された剥離フィルムが、第２薄膜搬
送装置6Dで剥離フィルム収容器106まで搬送される動作
について説明する。

第８図に示すように、前記基板の表面に対して平行な面
において基板の搬送方向と略直交する方向すなわち矢印
Ｏ方向に、ジエットエアー吹出ノズル111A及び111Cによ
り剥離フィルムに流体（イオンを含むエアー）を吹き付
け、その吹き付け中の所定時間後さらに搬送路の中心部
に水平流体（イオンを含むエアー）をジエットエアー吹
出ノズル111Bにより当該剥離フィルムに吹き付け、エア
ーダクト104の終端部を通って剥離フィルム排出ダクト1
05の入口まで剥離フィルムを搬送する。この時、剥離フ
ィルム排出ダクト105のエアーダクト104の前記水平流体
よりも下部において、流体圧は剥離フィルム排出ダクト
105に多数の貫通孔が設けられているため減圧される。
そして、剥離フィルムが剥離フィルム収容器106に収納
される時点では、剥離フィルム排出ダクト105に多数の
貫通孔が設けられ、かつ剥離フィルム収容器106がネッ
ト状であるため流体圧が急速に低減してほぼ零になり、
剥離フィルムが自然降下で剥離フィルム収容器106に収
納される。

このように、プリント配線用基板１に張り付けられたカ
バーフィルムの一部を剥離し、この剥離された一部分か
らカバーフィルムを剥離すると共にこの剥離されたフィ
ルムを排出する薄膜剥離装置において、前記剥離された
カバーフィルムの一部を挟持してプリント配線用基板１
からカバーフィルムを剥離すると共に、挟持した状態で
カバーフィルムをプリント配線用基板の表面側の上方向
に搬送する第１薄膜搬送装置（6A及び6B）を設け、該第
１薄膜搬送装置で搬送された剥離フィルムを載置し、こ
の状態でカバーフィルムをプリント配線用基板１の搬送
経路A-Aと交差する方向に流体の吹き付けで搬送する第
２薄膜搬送装置6Dを設けたことにより、剥離フィルムを
挟持した状態で搬送する長さ（第１薄膜搬送装置の搬送
長さ）を第２薄膜搬送装置6Dに相当する分短縮すること
ができるので、剥離フィルムの排出経路における剥離フ
ィルムの搬送不良（ジャム）を低減することができる。
また、前記剥離フィルムに流体を吹き付けるジエットエ
アー吹出ノズル111A乃至111Cを主体に前記第２薄膜搬送
装置6Dを構成し、ローラ、ベルト等の多数の部品を排除
して部品点数そのものを低減することができるので、第
２薄膜搬送装置6Dを簡単な構造で構成することができ
る。この結果、薄膜剥離装置の製造コストを低減するこ
とができ、又薄膜剥離装置のメンテナンス作業を簡単に
することができる。

また、前記構成に、前記第２薄膜搬送装置6Dを前記カバ
ーフィルムを剥離する位置よりも前段側の前記プリント
配線用基板１の搬送経路A-Aの上部に設けた構成を加え
ることにより、前記の効果を有すると共に、剥離された
フィルムに付着する異物や第２薄膜搬送装置6Dからの異
物がカバーフィルムを剥離したプリント配線用基板１の
感光性樹脂層の表面に付着することを低減することがで
きるので、プリント配線用基板１の製造上の歩留りを向
上することができる。

また、前記構成に、前記第２薄膜搬送装置6Dで搬送され
た剥離フィルムを収納する剥離フィルム収容器106を前
記プリント配線用基板１の搬送経路A-Aの側部に設けた
構成を加えることにより、前記効果を有すると共に、前
記剥離フィルム収容器106をプリント配線用基板１の搬
送経路A-Aの側部の低い位置に設けたので、排出された
剥離フィルムの廃棄処理作業等、剥離フィルム収容器10
6の取扱いの作業性を向上することができる。

また、前記剥離フィルム収容器106は、プリント配線用
基板１の上側のカバーフィルムを排出する剥離フィルム
収容器と下側のカバーフィルムを排出する剥離フィルム
収容器とを一体化して構成することにより、サイズを縮
小することができるので、薄膜剥離装置の小型化を図る
ことができる。

また、前記第２薄膜搬送手段を、前記基板の表面に対し
て平行な面において基板の搬送方向と略直交する方向に
剥離フィルムに流体を吹き付け、その吹き付け中の所定
時間後さらに搬送路の中心部に水平流を当該剥離フィル
ムに吹き付けるようにし、前記第２薄膜搬送手段の水平
流体の終端部において、薄膜排出垂直路を形成し、該薄
膜排出垂直路の前記水平流体よりも下部では流体圧を減
圧し、前記剥離フィルム収容部で流体圧を急速に低減し
てほぼ零するようにしたので、剥離された剥離フィルム
の搬送不良を低減することができ、かつ剥離フィルムの
収納を良好にすることができる。

また、エアーダクト104及び剥離フィルム排出ダクト105
を透明にしたこと及びエアーダクト104の一部開閉自在
にするにより、剥離フィルムがつまつた場合に直に目視
することができ、かつ取り除が容易にできるので、保守
管理が容易にできる。

以上、本発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本
発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得ることは勿
論である。

例えば、本発明は、建築用化粧板に張り付けられている
保護膜の剥離装置に適用することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、以下に述べる効
果を得ることができる。

第２薄膜搬送手段を、前記基板の表面に対して平行な面
において基板の搬送方向と略直交する方向に薄膜に流体
を吹き付け、その吹き付け中の所定時間後さらに搬送路
の中心部に水平流を当該薄膜に吹き付けるようにし、前
記第２薄膜搬送手段の水平流体の終端部において、薄膜
排出垂直路を形成し、該薄膜排出垂直路の前記水平流体
よりも下部では流体圧を減圧し、前記剥離薄膜収容部で
流体圧を急速に低減してほぼ零するようにしたので、剥
離された薄膜の搬送不良を低減することができ、かつ薄
膜剥離の収納を良好にすることができる。

また、薄膜剥離装置において、簡単な構造で薄膜の搬送
不良を低減することができる。

また、エアーダクト及び剥離フィルム排出ダクトを透明
にしたこと及びエアーダクトの一部開閉自在にするによ
り、剥離フィルムがつまつた場合に直に目視することが
でき、かつ取り除が容易にできるので、保守管理が容易
にできる。

また、薄膜剥離装置において、薄膜を排出する薄膜排出
収納容器の取扱いの作業性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の薄
膜剥離装置の外観概略構成を示す斜視図、第２図は、第１図のエアー搬送ボックスを開いた状態を
示す図、第３図は、第１図に示す薄膜剥離装置の要部概略構成を
説明するための図、第４図は、第３図に示す薄膜浮上装置の部分の各部品の
レイアウトを示す図、第５図は、イオン発生装置の設置部分の斜視図、第６図は、エアーダクトの内側から見た正面図、第７図は、第６図のA-A線で切って断面図、第８図は、第３図に示す第２薄膜搬送装置の動作を説明
するための図である。図中、１……プリント配線用基板、２……搬送用駆動ロ
ーラ、３……浮上部材、４……ノズル、５……剥離方向
設定板、６……薄膜搬送装置、6A及び6B……第１薄膜搬
送装置、6C……ガイド部材、6D……第２薄膜搬送装置、
104……エアーダクト、104A……蓋部、104C……本体
部、106……剥離フィルム収容器、110……イオン発生装
置、111A,111B,111C……ジェットエアー吹出しノズル。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板に張り付けられている薄膜の一部を剥
離し、この一部の剥離部分を挟持して基板から薄膜を剥
離する薄膜剥離方法であって、前記の一部の剥離部分を
挟持して基板から薄膜を剥離すると共に、挟持した状態
で薄膜を基板の表面側の上方向に搬送する第１薄膜搬送
段階と、該第１薄膜搬送段階で搬送された薄膜に、除電
雰囲気中で、剥離の都度流体を吹き付けて剥離済み薄膜
収容部まで搬送する第２薄膜搬送段階とを備え、前記第
１薄膜搬送段階で、前記基板の表面に対して実質的に垂
直方向に薄膜を剥離しながら搬送し、前記第２薄膜搬送
段階で前記基板の表面に対して平行な面において基板の
搬送方向と略直交する方向に流体を吹き付け、その吹き
付け中の所定時間後さらに搬送路の中心部に水平流体を
当該薄膜に吹き付けることを特徴とする薄膜剥離方法。
【請求項２】前記第２薄膜搬送段階は、前記基板の表面
に対して平行な面と略直交する方向に薄膜にイオンを含
む流体を吹き付け、その吹き付け中の所定時間後さらに
搬送路の中心部に水平流体を吹き付けることを特徴とす
る請求項（１）に記載の薄膜剥離方法。