JPH0717376Y2 - Ｌ型真空バルブ - Google Patents
Ｌ型真空バルブInfo
- Publication number
- JPH0717376Y2 JPH0717376Y2 JP15316288U JP15316288U JPH0717376Y2 JP H0717376 Y2 JPH0717376 Y2 JP H0717376Y2 JP 15316288 U JP15316288 U JP 15316288U JP 15316288 U JP15316288 U JP 15316288U JP H0717376 Y2 JPH0717376 Y2 JP H0717376Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve body
- opening
- type vacuum
- opened
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 3
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Self-Closing Valves And Venting Or Aerating Valves (AREA)
- Lift Valve (AREA)
- Check Valves (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、真空装置における主バルブ，粗引バルブ，補
助バルブ，ガス導入バルブ，リークバルブ等に利用する
ことができるＬ型真空バルブの改良に関するものであ
る。
助バルブ，ガス導入バルブ，リークバルブ等に利用する
ことができるＬ型真空バルブの改良に関するものであ
る。
〈従来の技術〉 第３図は従来の空圧作動式Ｌ型真空バルブの構造を示す
断面図であり、図において21はＬ型バルブの胴体,22は
該胴体21の側面に形成されているチャンバー接続用のフ
ランジ、23は胴体21の下面に形成されているチャンバー
接続用のフランジ、24はフランジ22,23に接続される２
つのチャンバーの圧力差により生ずるガスの流れを遮断
する弁体で、空圧シリンダ25のロッド26に結合され上下
動される様構成されている。
断面図であり、図において21はＬ型バルブの胴体,22は
該胴体21の側面に形成されているチャンバー接続用のフ
ランジ、23は胴体21の下面に形成されているチャンバー
接続用のフランジ、24はフランジ22,23に接続される２
つのチャンバーの圧力差により生ずるガスの流れを遮断
する弁体で、空圧シリンダ25のロッド26に結合され上下
動される様構成されている。
空圧作動式Ｌ型バルブには、様々なサイズがあり、真空
装置を構成する部品として前記の様なバルブに用いら
れ、空圧シリンダ25により弁体24を上昇させることによ
って、側面のフランジ22に接続されているチャンバー内
と下面のフランジ23に接続されているチャンバー内の圧
力差によるガス流を発生させ、弁体24を下降させること
によって２つのチャンバーの圧力差により生じるガス流
を遮断するよう作用する。
装置を構成する部品として前記の様なバルブに用いら
れ、空圧シリンダ25により弁体24を上昇させることによ
って、側面のフランジ22に接続されているチャンバー内
と下面のフランジ23に接続されているチャンバー内の圧
力差によるガス流を発生させ、弁体24を下降させること
によって２つのチャンバーの圧力差により生じるガス流
を遮断するよう作用する。
〈考案が解決しようとする課題〉 従来のＬ型真空バルブは、上記の様な構成である為、微
妙な流量制御が難しく、不具合が生ずる場合がある。例
えば、油拡散ポンプの主バルブとして使用した場合は、
粗引きと本引きとの切替時に油拡散ポンプ内に正常動作
可能な圧力より高い圧力のガスが瞬時に大量に流れ込む
為、油拡散ポンプの内部の圧力が上昇し、真空室へのオ
イルミストの逆流、補助ポンプ側へオイルミストが引か
れる為に起こる油拡散ポンプ油の減少等の不具合が発生
する。
妙な流量制御が難しく、不具合が生ずる場合がある。例
えば、油拡散ポンプの主バルブとして使用した場合は、
粗引きと本引きとの切替時に油拡散ポンプ内に正常動作
可能な圧力より高い圧力のガスが瞬時に大量に流れ込む
為、油拡散ポンプの内部の圧力が上昇し、真空室へのオ
イルミストの逆流、補助ポンプ側へオイルミストが引か
れる為に起こる油拡散ポンプ油の減少等の不具合が発生
する。
又、粗引バルブとして使用した場合は、引き始める時の
ガスの流れによってゴミが舞い上がり、基板に付着して
ピンホールの原因になる等の不具合が生じる。
ガスの流れによってゴミが舞い上がり、基板に付着して
ピンホールの原因になる等の不具合が生じる。
更に、リークバルブ，ガス導入バルブとして使用した場
合も同様な原因でゴミが舞い上がることがある。このよ
うな不具合が発生しない様にする為、従来はメインに使
用するバルブの他に小型バルブを設け、最初にその小型
バルブにより真空引き，ガス入れを行い、その後メイン
のバルブを開ける様にしてチャンバー内に急激な圧力変
化が起きない様な方法を採用しているが、２つのバルブ
が必要となる為、コストアップとなるとともに操作が複
雑化する問題があった。
合も同様な原因でゴミが舞い上がることがある。このよ
うな不具合が発生しない様にする為、従来はメインに使
用するバルブの他に小型バルブを設け、最初にその小型
バルブにより真空引き，ガス入れを行い、その後メイン
のバルブを開ける様にしてチャンバー内に急激な圧力変
化が起きない様な方法を採用しているが、２つのバルブ
が必要となる為、コストアップとなるとともに操作が複
雑化する問題があった。
本発明の課題は、上記した問題を解決し、１台の２種類
の口径のバルブの役目を果し、チャンバー内に急激な圧
力変化をもたらさないで、排気，リーク，ガス導入を可
能ならしめることができるＬ型真空バルブを得ることに
ある。
の口径のバルブの役目を果し、チャンバー内に急激な圧
力変化をもたらさないで、排気，リーク，ガス導入を可
能ならしめることができるＬ型真空バルブを得ることに
ある。
＜課題を解決するための手段＞ 上記した課題を解決する為、本考案は、真空装置用のＬ
型真空バルブにおいて、主弁体に開口を設けるとともに
同開口を開閉する副弁体を設け、同副弁体及び前記主弁
体を弁開閉ロッドに副弁体が開となった後、主弁体が開
となる様結合したことを特徴とするものである。
型真空バルブにおいて、主弁体に開口を設けるとともに
同開口を開閉する副弁体を設け、同副弁体及び前記主弁
体を弁開閉ロッドに副弁体が開となった後、主弁体が開
となる様結合したことを特徴とするものである。
〈作用〉 本考案は上記の様に構成されている為、バルブの開動作
に際しては、弁開閉ロッドと操作により、先ず副弁体が
動作され、主弁体に設けられている開口を開とし、次い
で主弁体を開くことができるので、１つのバルブで小型
バルブを別に設けた場合と同等の機能を果たすことがで
きる。従って、チャンバー内の急激な圧力変化を押えて
排気，リーク，ガス導入を行うことができる。
に際しては、弁開閉ロッドと操作により、先ず副弁体が
動作され、主弁体に設けられている開口を開とし、次い
で主弁体を開くことができるので、１つのバルブで小型
バルブを別に設けた場合と同等の機能を果たすことがで
きる。従って、チャンバー内の急激な圧力変化を押えて
排気，リーク，ガス導入を行うことができる。
〈実施例〉 以下に本考案の一実施例を第１図及び第２図に基づいて
説明する。
説明する。
第１図及び第２図において、１はＬ型バルブの胴体,2は
胴体１の側面に形成されているチャンバー接続用のフラ
ンジ,3は胴体１の下面に形成されているチャンバー接続
用のフランジ,4はフランジ2,3に接続される２つのチャ
ンバーの圧力差により生じるガスの流れを遮断する為の
主弁体,5は主弁体４に設けられた開口,6は主弁体４の下
面に着脱自在に取付けられ、開口５の口径を変える流量
調整用のフランジ,7は開口５を開閉する副弁体,8は主弁
体４に一体に設けられ、周囲に多数の孔９を有するブラ
ケット,10は主弁体４及び副弁体７を開閉する為の空圧
シリンダ,11は空圧シリンダのロッド,12はロッド11に固
着されたスプリング押え,13はスプリング押え12とブラ
ケット８との間に介装されたスプリングで、上記ロッド
11はブラケット８を摺動自在に貫通し、その先端に副弁
体７が固着され、ロッド11の上昇により先ず副弁体７が
開となり、副弁体７がブラケット８に接触し、更にロッ
ド11が上昇すると主弁体４が開かれる様に構成されてい
る。
胴体１の側面に形成されているチャンバー接続用のフラ
ンジ,3は胴体１の下面に形成されているチャンバー接続
用のフランジ,4はフランジ2,3に接続される２つのチャ
ンバーの圧力差により生じるガスの流れを遮断する為の
主弁体,5は主弁体４に設けられた開口,6は主弁体４の下
面に着脱自在に取付けられ、開口５の口径を変える流量
調整用のフランジ,7は開口５を開閉する副弁体,8は主弁
体４に一体に設けられ、周囲に多数の孔９を有するブラ
ケット,10は主弁体４及び副弁体７を開閉する為の空圧
シリンダ,11は空圧シリンダのロッド,12はロッド11に固
着されたスプリング押え,13はスプリング押え12とブラ
ケット８との間に介装されたスプリングで、上記ロッド
11はブラケット８を摺動自在に貫通し、その先端に副弁
体７が固着され、ロッド11の上昇により先ず副弁体７が
開となり、副弁体７がブラケット８に接触し、更にロッ
ド11が上昇すると主弁体４が開かれる様に構成されてい
る。
第１図はＬ型真空バルブを閉とした状態である。その状
態から排気，リーク或いはガス導入等を行う為に空圧シ
リンダ10を作動させ、そのロッド11を上昇させると、先
ずロッド11の上昇により副弁体７が上昇して開口５を開
く為、ガスは孔９から開口５を経て矢印の様に流れる。
これは開口５と同じ口径の小型バルブを介して徐々にガ
スを流したのと同等の機能を果すことになる。この時、
主弁体４はスプリング13により下方に押し下げられてい
る為に閉じたままである。副弁体７が上昇して第２図に
実線で示すようにブラケット８に接触し、更にロッド11
が上昇すると、これに伴って主弁体４が上昇して開かれ
る。
態から排気，リーク或いはガス導入等を行う為に空圧シ
リンダ10を作動させ、そのロッド11を上昇させると、先
ずロッド11の上昇により副弁体７が上昇して開口５を開
く為、ガスは孔９から開口５を経て矢印の様に流れる。
これは開口５と同じ口径の小型バルブを介して徐々にガ
スを流したのと同等の機能を果すことになる。この時、
主弁体４はスプリング13により下方に押し下げられてい
る為に閉じたままである。副弁体７が上昇して第２図に
実線で示すようにブラケット８に接触し、更にロッド11
が上昇すると、これに伴って主弁体４が上昇して開かれ
る。
この様にして１つのバルブで、大小２つのバルブを用い
たのと同等のスロー排気，スローリーク，スローガス導
入が可能となる為、排気，リーク，ガス導入時の急激な
圧力変化がなくなり、ゴミの舞い上がりによる不具合を
解消し、排気，リーク，ガス導入等を容易に行わしめる
ことができる。
たのと同等のスロー排気，スローリーク，スローガス導
入が可能となる為、排気，リーク，ガス導入時の急激な
圧力変化がなくなり、ゴミの舞い上がりによる不具合を
解消し、排気，リーク，ガス導入等を容易に行わしめる
ことができる。
又、流量調整用のフランジ６を交換することにより、多
種のバルブ口径を再現することができる為、圧力変化の
度合を種々調節することができる。
種のバルブ口径を再現することができる為、圧力変化の
度合を種々調節することができる。
尚、上記実施例では空圧作動式のＬ型真空バルブの場合
について説明したが、手動式のものにも同様に適用でき
ることは言うまでもない。
について説明したが、手動式のものにも同様に適用でき
ることは言うまでもない。
〈考案の効果〉 以上に説明した様に本考案によると、１つのバルブで大
小２つのバルブを用いたのと同様な排気，リーク，ガス
導入を行うことができる為、急激な圧力変化によるゴミ
の舞い上り等を防止して容易に排気，リーク，ガス導入
を行うことができる。又、バルブが１つでよい為配管等
が簡単で装置を安価にできるとともに操作の簡素化を図
ることができる等の効果を奏する。
小２つのバルブを用いたのと同様な排気，リーク，ガス
導入を行うことができる為、急激な圧力変化によるゴミ
の舞い上り等を防止して容易に排気，リーク，ガス導入
を行うことができる。又、バルブが１つでよい為配管等
が簡単で装置を安価にできるとともに操作の簡素化を図
ることができる等の効果を奏する。
第１図及び第２図は、本考案の一実施例を示す図で、 第１図は、弁閉状態の断面図、 第２図は、弁開状態の断面図、 第３図は、従来例を示す断面図である。 尚、図中１はバルブ胴体,2はフランジ,3はフランジ,4は
主弁体,5は開口,6はフランジ,7は副弁体,8はブラケッ
ト,9は孔,10は空圧シリンダ,11はロッド,12はスプリン
グ押え,13はスプリングである。
主弁体,5は開口,6はフランジ,7は副弁体,8はブラケッ
ト,9は孔,10は空圧シリンダ,11はロッド,12はスプリン
グ押え,13はスプリングである。
Claims (1)
- 【請求項１】真空装置用のＬ型真空バルブにおいて、主
弁体に開口を設けるとともに前記開口を開閉する副弁体
を設け、前記副弁体及び前記主弁体を弁開閉ロッドに副
弁体が開となった後、主弁体が開となるよう結合したこ
とを特徴とするＬ型真空バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15316288U JPH0717376Y2 (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | Ｌ型真空バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15316288U JPH0717376Y2 (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | Ｌ型真空バルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0275136U JPH0275136U (ja) | 1990-06-08 |
| JPH0717376Y2 true JPH0717376Y2 (ja) | 1995-04-26 |
Family
ID=31428753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15316288U Expired - Lifetime JPH0717376Y2 (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | Ｌ型真空バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0717376Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-11-25 JP JP15316288U patent/JPH0717376Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0275136U (ja) | 1990-06-08 |
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