JPH07174099A - Vacuum pump cooling device - Google Patents
Vacuum pump cooling deviceInfo
- Publication number
- JPH07174099A JPH07174099A JP21689292A JP21689292A JPH07174099A JP H07174099 A JPH07174099 A JP H07174099A JP 21689292 A JP21689292 A JP 21689292A JP 21689292 A JP21689292 A JP 21689292A JP H07174099 A JPH07174099 A JP H07174099A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- vacuum pump
- heat exchanger
- liquid
- cooling device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 外部から冷却水を導くための配管工事を省略
でき、真空ポンプの設置場所の制約を受けず、複数個所
に冷却部を形成した真空ポンプであっても、その複数個
の冷却部を個々に適正温度に、確実に冷却し得る真空ポ
ンプの冷却装置を提供すること。
【構成】 複数個の冷却部を形成した真空ポンプにおい
て、第１，第２の熱交換器１５ａ，１５ｂと、これら第
１，第２熱交換器１５ａ，１５ｂに対向させて配置され
た第１，第２の冷却ファン１６ａ，１６ｂとを備えた空
冷式熱交換器を設置し、前記第１，第２の熱交換器１５
ａ，１５ｂと真空ポンプの各冷却部とを、第１，第２の
熱交換器１５ａ，１５ｂに取り付けられた給液通路１７
ａ，１７ｂと冷却液循環ポンプ１３を含む冷却液循環系
統により完全閉ループに接続し、前記第１，第２の冷却
ファン１６ａ，１６ｂの動力源を個々に制御する冷却フ
ァン制御部２０を設けて構成した。
(57) [Summary] [Purpose] The piping work for guiding cooling water from the outside can be omitted, and there is no restriction on the installation location of the vacuum pump. To provide a cooling device for a vacuum pump capable of reliably cooling a plurality of cooling parts to proper temperatures. In a vacuum pump having a plurality of cooling parts, first and second heat exchangers 15a and 15b and a first and second heat exchangers 15a and 15b arranged to face each other. , An air-cooled heat exchanger provided with second cooling fans 16a and 16b, and the first and second heat exchangers 15
a, 15b and respective cooling parts of the vacuum pump, the liquid supply passage 17 attached to the first and second heat exchangers 15a, 15b.
A cooling fan control unit 20 is provided which is connected to a completely closed loop by a cooling liquid circulation system including a and 17b and a cooling liquid circulation pump 13 and individually controls the power sources of the first and second cooling fans 16a and 16b. Configured.
Description
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体製造装置
の排気ポンプとして用いられる真空ポンプの冷却装置に
係り、さらに詳しくは吐出口を大気圧近傍の圧力で運転
する真空ポンプの冷却装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cooling device for a vacuum pump used as, for example, an exhaust pump of a semiconductor manufacturing apparatus, and more particularly to a cooling device for a vacuum pump which operates a discharge port at a pressure near atmospheric pressure.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ドライ型の真空ポンプは、吸気口から流
入する気体が通過する流路に油や水が無いため、クリー
ンな真空が得られるという優れた特性を持っている。一
方、このドライ型の真空ポンプは気体を圧縮する際の発
熱を取り去る効果がなくなるため、ポンプ内の温度が高
くなり、またモータにより駆動されるため、ポンプ内部
およびモータ部を冷却する必要がある。その冷却装置と
しては、従来特開昭６４−２４１８１号公報、特開平１
−１９５９９３号公報および特開平３−２９００９１号
公報に記載の技術がある。2. Description of the Related Art A dry type vacuum pump has an excellent characteristic that a clean vacuum can be obtained because there is no oil or water in a flow path through which a gas flowing from an intake port passes. On the other hand, this dry type vacuum pump loses the effect of removing the heat generated when the gas is compressed, so the temperature inside the pump rises and it is driven by the motor, so it is necessary to cool the inside of the pump and the motor section. . As the cooling device, there have been conventionally known Japanese Patent Laid-Open Nos. 64-24181 and 1-
There are techniques described in Japanese Patent Laid-Open No. 195993 and Japanese Patent Laid-Open No. 3-290091.
【０００３】前掲特開昭６４−２４１８１号公報に記載
の技術では、真空ポンプの周りに水冷ジャケットを設
け、真空ポンプの外部に恒温槽を設置し、この恒温槽と
水冷ジャケットとを給水路と排水路とにより連結してい
る。また、真空ポンプの吐出口側には吐出側温度センサ
を設け、恒温槽側には温度コントロール部を設け、前記
吐出側温度センサと温度コントロール部とを、温度フィ
ードバック回路を介して接続している。そして、吐出側
温度センサにより真空ポンプの吐出口付近の温度を検出
し、その検出値を温度フィードバック回路を通じて温度
コントロール部に送り、この温度コントロール部により
恒温槽から給水路→水冷ジャケット→排水路に流れる水
量を制御し、吐出口付近の温度を所定温度に制御するよ
うにしている。In the technique described in Japanese Patent Laid-Open No. 64-24181, a water cooling jacket is provided around the vacuum pump, a constant temperature tank is installed outside the vacuum pump, and the constant temperature tank and the water cooling jacket form a water supply passage. It is connected to the drainage channel. Further, a discharge side temperature sensor is provided on the discharge port side of the vacuum pump, a temperature control section is provided on the constant temperature chamber side, and the discharge side temperature sensor and the temperature control section are connected via a temperature feedback circuit. . Then, the discharge side temperature sensor detects the temperature near the discharge port of the vacuum pump, and sends the detected value to the temperature control section through the temperature feedback circuit, and this temperature control section changes from the constant temperature bath to the water supply channel → water cooling jacket → drainage channel. The amount of water flowing is controlled to control the temperature near the discharge port to a predetermined temperature.
【０００４】一方、前掲特開平１−１９５９９３号公報
に記載の技術では、ベース部上にポンプ本体を据え付
け、ベース部下にオイルタンクを連設し、前記ベース部
とオイルタンクの少なくとも一方に冷却水パイプを巻装
し、前記ポンプ本体の外筒部外周にも冷却水パイプを巻
装し、各冷却水パイプに冷却水を流し、冷却するように
している。On the other hand, in the technique described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-195993, the pump body is installed on the base portion, the oil tank is continuously provided under the base portion, and cooling water is provided on at least one of the base portion and the oil tank. A pipe is wound, a cooling water pipe is also wound around the outer cylindrical portion of the pump body, and cooling water is supplied to each cooling water pipe for cooling.
【０００５】他方、前掲特開平３−２９００９１号公報
に記載の技術では、真空ポンプの外周に冷却ジャケット
を設け、真空ポンプの外部にオイルクーラを設置してい
る。前記オイルクーラと冷却ジャケットとを、オイルポ
ンプを有する給油系統と、排油系統とにより閉ループに
接続している。前記オイルクーラには、給水管と排水管
とを結び、給水管を通じてオイルクーラに、その外部よ
り冷却水を挿通するようになっている。そして、オイル
ポンプを有する給油系統を通じて前記冷却ジャケットに
冷却液体として油を送り、この油により、気体を圧縮す
ることによってポンプ機構部の周りに発生した熱を奪
い、高温になった油を排油系統を通じてオイルクーラに
導き、このオイルクーラで高温の油と冷却水とを熱交換
し、油を冷却したのち、その油をオイルポンプを通じて
再び循環させるようにしている。On the other hand, in the technique described in Japanese Patent Laid-Open No. 3-290091, a cooling jacket is provided on the outer circumference of the vacuum pump and an oil cooler is provided outside the vacuum pump. The oil cooler and the cooling jacket are connected in a closed loop by an oil supply system having an oil pump and an oil discharge system. A water supply pipe and a drainage pipe are connected to the oil cooler, and cooling water is inserted into the oil cooler from the outside through the water supply pipe. Then, oil is sent as a cooling liquid to the cooling jacket through an oil supply system having an oil pump, and this oil deprives the heat generated around the pump mechanism section by compressing the gas and drains the oil having a high temperature. It guides to an oil cooler through a system, heat-exchanges high temperature oil and cooling water with this oil cooler, cools the oil, and then circulates the oil again through an oil pump.
【０００６】また、同じく特開平３−２９００９１号公
報には、真空ポンプの他の冷却装置も記載されている。
すなわち、真空ポンプの外部に水タンクを設置し、この
水タンクとポンプ機構部のステータの外周に設けられた
冷却ジャケットとを、給液ポンプを有する給水系統と、
排水系統とにより閉ループに接続している。前記水タン
クには給水管と、温調弁を有する排水管とを設け、水タ
ンクに外部より冷却水を入れ、冷却ジャケットに供給す
る水の温度を冷却するようにしている。前記温調弁は、
水タンクから排出する水量を制御し、水タンク内の水温
を調整するようになっている。そして、この冷却装置で
は水タンク内の水を、給液ポンプを有する給水系統を通
じて冷却ジャケット内に水を供給し、この水により、気
体を圧縮することによってポンプ機構部の周りに発生し
た熱を奪い、高温になった水を（温水）を排水系統を通
じて水タンクに戻す。ついで、水タンクに戻した温水
と、給水管を通じて水タンク内に導入した冷却水とを混
合し、さらに温調弁を通じて水タンクから排水する水量
を調整することによって、水タンク内の水温を調整した
うえで、その水を再び給液ポンプを介して循環させるよ
うにしている。Similarly, Japanese Patent Laid-Open No. 3-290091 discloses another cooling device for a vacuum pump.
That is, a water tank is installed outside the vacuum pump, and the water tank and a cooling jacket provided on the outer circumference of the stator of the pump mechanism are provided with a water supply system having a liquid supply pump,
It is connected to the closed loop by the drainage system. The water tank is provided with a water supply pipe and a drain pipe having a temperature control valve, and cooling water is put into the water tank from the outside to cool the temperature of the water supplied to the cooling jacket. The temperature control valve,
The amount of water discharged from the water tank is controlled, and the water temperature in the water tank is adjusted. Then, in this cooling device, the water in the water tank is supplied into the cooling jacket through the water supply system having the liquid supply pump, and by this water, the heat generated around the pump mechanism part is generated by compressing the gas. Deprive and return the hot water (warm water) to the water tank through the drainage system. Next, the water temperature in the water tank is adjusted by mixing the warm water returned to the water tank with the cooling water introduced into the water tank through the water supply pipe and adjusting the amount of water drained from the water tank through the temperature control valve. After that, the water is circulated again via the liquid supply pump.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来技術
は真空ポンプの発熱部を、外部から供給された水により
冷却するか、または真空ポンプの発熱部に送る冷却液
を、外部から供給された水で温度調整するようにしてい
る。However, in the prior art, the heat generating portion of the vacuum pump is cooled by the water supplied from the outside or the cooling liquid to be sent to the heat generating portion of the vacuum pump is supplied from the outside. I try to adjust the temperature with water.
【０００８】したがって、従来技術では真空ポンプの設
置時、外部から導く水の流入，流出配管工事を行わなけ
ればならず、その配管工事に多くの機材や手数を要する
問題がある。また、外部から冷却用または温度調整用の
水を導くための配管工事を少なくするには、真空ポンプ
を冷却水源に近い場所に設置しなければならず、その場
合には真空ポンプの設置場所に制約を受けるという問題
が生じる。さらに、季節により冷却水源の気温が異なっ
たり、冷却水源の近くに水温を左右するような熱源が存
在したり、冷却水源の水量が大幅に変動するような場合
には、真空ポンプの冷却温度にバラツキが生じ、思わぬ
事態が生じる可能性がある。そして、従来技術ではその
いずれも、真空ポンプの複数個所に冷却部を形成した場
合に、その冷却部を個々に適正温度に冷却することが難
しいという問題もある。Therefore, in the prior art, when the vacuum pump is installed, it is necessary to carry out inflow and outflow piping work of water introduced from the outside, and there is a problem that a lot of equipment and labor are required for the piping work. In addition, in order to reduce the piping work for introducing cooling water or temperature control water from the outside, the vacuum pump must be installed near the cooling water source. The problem of being constrained arises. In addition, if the temperature of the cooling water source differs depending on the season, there is a heat source that affects the water temperature near the cooling water source, or the water volume of the cooling water source fluctuates significantly, Variations may occur and unexpected situations may occur. In addition, in any of the conventional techniques, when the cooling parts are formed at a plurality of positions of the vacuum pump, it is difficult to individually cool the cooling parts to an appropriate temperature.
【０００９】本発明の目的は、外部から冷却水を導くた
めの配管工事を省略でき、真空ポンプの設置場所の制約
を受けず、複数個所に冷却部を形成した真空ポンプであ
っても、その複数個の冷却部を個々に適正温度に、しか
も確実に冷却し得る真空ポンプの冷却装置を提供するこ
とにある。The object of the present invention is to eliminate the need for piping work for introducing cooling water from the outside, to avoid restrictions on the installation location of the vacuum pump, and to provide a vacuum pump having cooling sections at a plurality of locations. An object of the present invention is to provide a cooling device for a vacuum pump, which can cool each of a plurality of cooling parts to an appropriate temperature and surely.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】前記目的は、熱交換器
と、この熱交換器に対向させかつ互いに間隔をおいて配
置された複数個の冷却ファンとを備えた空冷式熱交換器
を設置し、前記熱交換器と真空ポンプの各冷却部とを、
熱交換器における互いに異なる位置に取り付けられた給
液通路を有する冷却液循環系統により完全閉ループに接
続するとともに、前記冷却ファンの動力源を個々に制御
し、真空ポンプの各冷却部に供給する冷却液の温度を調
整する制御部を設けたことにより、達成される。The object is to install an air-cooling type heat exchanger having a heat exchanger and a plurality of cooling fans facing the heat exchanger and spaced from each other. The cooling unit of the heat exchanger and the vacuum pump,
Cooling, which is connected to a completely closed loop by a cooling liquid circulation system having liquid supply passages attached to different positions in a heat exchanger, and individually controls the power source of the cooling fan to supply each cooling part of a vacuum pump. This is achieved by providing a control unit that adjusts the temperature of the liquid.
【００１１】また、前記目的は熱交換器と、この熱交換
器に対向させて配置された冷却ファンとを備えた空冷式
熱交換器を設置し、前記熱交換器と真空ポンプの各冷却
部とを、熱交換器に取り付けられた給液通路を有する冷
却液循環系統により完全閉ループに接続するとともに、
前記熱交換器に取り付けられた給液通路側に冷却液流量
制御手段を設け、この冷却液流量制御手段を制御し、真
空ポンプの各冷却部に冷却液を適正流量配分する制御部
を設けたことによっても、達成される。Further, the object is to install an air-cooling type heat exchanger having a heat exchanger and a cooling fan arranged so as to face the heat exchanger, and the heat exchanger and each cooling section of the vacuum pump. And are connected to a completely closed loop by a cooling liquid circulation system having a liquid supply passage attached to the heat exchanger,
A cooling liquid flow rate control means was provided on the liquid supply passage side attached to the heat exchanger, and a control part was provided for controlling this cooling liquid flow rate control means and distributing the cooling fluid to each cooling part of the vacuum pump at an appropriate flow rate. It can also be achieved.
【００１２】さらに、本発明の目的は前記冷却液流量制
御手段として電磁流量制御弁を用い、前記冷却ファンま
たは冷却液流量制御手段の制御部としてマイコンを用
い、前記真空ポンプの冷却器と熱交換器と冷却液循環系
統の少なくとも一つに状態変化検出器を設け、この状態
変化検出器を制御部に接続することにより、前記状態変
化検出器として温度センサを用い、前記冷却液として
水，エチレングリコール，アルコール，鉱物油の単体ま
たはこれらの混合物を用い、前記冷却ファンを電気式，
流体式，油圧式または燃焼式動力源により駆動するよう
に構成することによって、より良く達成される。Further, an object of the present invention is to use an electromagnetic flow rate control valve as the cooling liquid flow rate control means, use a microcomputer as a control unit of the cooling fan or the cooling liquid flow rate control means, and exchange heat with the cooler of the vacuum pump. A state change detector is provided in at least one of the cooling device and the cooling liquid circulation system, and by connecting this state change detector to the control unit, a temperature sensor is used as the state change detector, and water or ethylene is used as the cooling liquid. Using glycol, alcohol, mineral oil alone or a mixture thereof, the cooling fan is electrically operated,
It is better achieved by being configured to be driven by a fluid, hydraulic or combustion power source.
【００１３】[0013]
【作用】本発明では、熱交換器と、複数個の冷却ファン
とを備えた空冷式熱交換器を設置している。また、前記
熱交換器と、真空ポンプの複数個の冷却部とを、冷却液
循環系統により完全閉ループに接続している。前記冷却
液循環系統における熱交換器と各冷却部とを結ぶ給液通
路を、熱交換器における互いに異なる位置に取り付けて
いる。さらに、前記冷却ファンの動力源を制御部により
個々に制御し、真空ポンプの各冷却部に供給する冷却液
の温度を調整するようにしている。In the present invention, the air-cooling type heat exchanger having the heat exchanger and the plurality of cooling fans is installed. Further, the heat exchanger and a plurality of cooling parts of the vacuum pump are connected in a completely closed loop by a cooling liquid circulation system. Liquid supply passages connecting the heat exchanger and each cooling unit in the cooling liquid circulation system are attached to different positions in the heat exchanger. Further, the power source of the cooling fan is individually controlled by the control unit to adjust the temperature of the cooling liquid supplied to each cooling unit of the vacuum pump.
【００１４】このように、本発明では空冷式熱交換器を
用い、しかも冷却液を循環させる回路を完全閉ループに
構成しているので、外部から冷却水を導くための配管工
事を省略できるし、真空ポンプを冷却水源近くに設置す
る必要がないので、真空ポンプの設置場所の自由度を広
げることができる。また、熱交換器と真空ポンプの各冷
却部とを結ぶ給液通路を、熱交換器における互いに異な
る位置に取り付け、さらに熱交換器に対向させかつ互い
に間隔をおいて配置された複数個の冷却ファンの動力源
を、制御部により個々に制御するようにしているので、
真空ポンプの複数個所に形成された各冷却部を個々に適
正温度に、確実に冷却することができる。As described above, according to the present invention, since the air-cooling type heat exchanger is used and the circuit for circulating the cooling liquid is constructed in the completely closed loop, the piping work for guiding the cooling water from the outside can be omitted, Since it is not necessary to install the vacuum pump near the cooling water source, the degree of freedom of the installation location of the vacuum pump can be increased. Further, the liquid supply passages connecting the heat exchanger and the respective cooling parts of the vacuum pump are installed at different positions in the heat exchanger, and further, a plurality of cooling units are arranged facing each other and spaced from each other. Since the power source of the fan is controlled individually by the control unit,
It is possible to surely cool each cooling unit formed at a plurality of places of the vacuum pump to an appropriate temperature.
【００１５】また、本発明では冷却液循環系統の給液通
路側に冷却液流量制御手段を設け、この冷却液流量制御
手段を制御部により、真空ポンプの各冷却部に冷却液を
適正流量配分すべく制御するようにしている。Further, according to the present invention, a cooling liquid flow rate control means is provided on the side of the liquid supply passage of the cooling liquid circulation system, and the cooling liquid flow rate control means is controlled by the control part to distribute the cooling liquid to each cooling part of the vacuum pump at an appropriate flow rate. I am trying to control it.
【００１６】したがって、この発明によっても、真空ポ
ンプの複数個所に形成された各冷却部を個々に適正温度
に、確実に冷却することができる。Therefore, according to the present invention as well, it is possible to surely cool each cooling section formed at a plurality of locations of the vacuum pump to an appropriate temperature.
【００１７】さらに、本発明では冷却液流量制御手段と
して電磁流量制御弁を用い、前記制御部としてマイコン
を用いており、それぞれ真空ポンプの各冷却部を適正温
度に、より一層確実に冷却することが可能となる。Further, in the present invention, the electromagnetic flow rate control valve is used as the cooling liquid flow rate control means, and the microcomputer is used as the control section, so that each cooling section of the vacuum pump can be cooled to a proper temperature more surely. Is possible.
【００１８】さらにまた、本発明では前記真空ポンプの
冷却部と熱交換器と冷却液循環系統の少なくとも一つ
に、状態変化検出器を設け、この状態変化検出器を前記
制御部に接続しており、また前記状態変化検出器として
温度センサを用いているので、それぞれ真空ポンプの各
冷却部を適正温度に、より一層確実に冷却することが可
能となる。Furthermore, in the present invention, a state change detector is provided in at least one of the cooling unit, the heat exchanger, and the coolant circulation system of the vacuum pump, and the state change detector is connected to the control unit. In addition, since the temperature sensor is used as the state change detector, it is possible to more reliably cool each cooling unit of the vacuum pump to an appropriate temperature.
【００１９】そして、本発明では前記冷却液として水，
エチレングリコール，アルコール，鉱物油の単体または
これらの混合物を用いており、また前記冷却ファンを電
気式，流体式，油圧式または燃焼式動力源により駆動す
るようにしているので、それぞれ真空ポンプの各冷却部
を適正温度に、より一層確実に冷却することが可能とな
る。In the present invention, water is used as the cooling liquid,
Since ethylene glycol, alcohol, mineral oil or a mixture thereof is used, and the cooling fan is driven by an electric type, a fluid type, a hydraulic type or a combustion type power source, each of the vacuum pumps is used. It is possible to more reliably cool the cooling unit to the proper temperature.
【００２０】[0020]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面により説明す
る。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２１】図１は本発明の第１の実施例を示す縦断側
面図、図２は要部である冷却装置の系統図である。FIG. 1 is a vertical sectional side view showing a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a system diagram of a cooling device which is a main part.
【００２２】その図１に示す真空ポンプでは、ハウジン
グ１は円筒体１ａと、上端板１ｂと、下端板１ｃとで構
成されている。前記上端板１ｂには、吸気口２が形成さ
れており、下端板１ｃには排気口３が形成され、また下
端板１ｃの下方にはモータハウジング４が設けられてい
る。In the vacuum pump shown in FIG. 1, the housing 1 is composed of a cylindrical body 1a, an upper end plate 1b and a lower end plate 1c. An intake port 2 is formed in the upper end plate 1b, an exhaust port 3 is formed in the lower end plate 1c, and a motor housing 4 is provided below the lower end plate 1c.
【００２３】前記モータハウジング４の内部は、仕切り
板によりモータ室２７と、油タンク２１とに区画されて
いる。前記ハウジング１の下端板１ｃにはころがり軸受
５ａが設けられ、前記仕切り板にはころがり軸受５ｂが
設けられている。さらに、前記仕切り板には油通過孔が
形成されている。The interior of the motor housing 4 is divided into a motor chamber 27 and an oil tank 21 by a partition plate. The lower end plate 1c of the housing 1 is provided with a rolling bearing 5a, and the partition plate is provided with a rolling bearing 5b. Furthermore, an oil passage hole is formed in the partition plate.
【００２４】前記ころがり軸受５ａ，５ｂにはモータシ
ャフト２２が支持されている。このモータシャフト２２
は、前記モータ室２７内に設置されたロータ用のモータ
６に連結されている。また、前記モータシャフト２２の
内部には油通路２３が形成され、さらにモータシャフト
２２における前記下端板１ｃ寄りの部分には油通路２３
の開口端２４が設けられており、しかもモータシャフト
２２の下端部は前記油タンク２１内に溜められた潤滑油
の中に挿入されている。A motor shaft 22 is supported on the rolling bearings 5a and 5b. This motor shaft 22
Is connected to the rotor motor 6 installed in the motor chamber 27. An oil passage 23 is formed inside the motor shaft 22, and an oil passage 23 is formed in a portion of the motor shaft 22 near the lower end plate 1c.
Of the motor shaft 22 and the lower end of the motor shaft 22 is inserted into the lubricating oil stored in the oil tank 21.
【００２５】前記モータシャフト２２におけるハウジン
グ１の円筒体１ａ側に延びている部分には、ロータ７が
取り付けられている。一方、前記円筒体１ａの内部に
は、ロータ７を囲むようにステータ８が取り付けられて
いる。そして、前記ロータ７とステータ８とにより、ポ
ンプ機構部９が構成されている。A rotor 7 is attached to a portion of the motor shaft 22 extending toward the cylindrical body 1a side of the housing 1. On the other hand, a stator 8 is attached inside the cylindrical body 1a so as to surround the rotor 7. The rotor 7 and the stator 8 constitute a pump mechanism section 9.
【００２６】前記ポンプ機構部９と、下端版１ｃに設け
られたころがり軸受５ａ間には、軸封部２５が設けられ
ている。この軸封部２５には、下端版１ｃに形成された
シールガス供給口２６を通じて外部からシールガスが供
給されるようになっている。このシールガスとしては、
吸気口２から吸入される気体と反応することがないよう
に、乾燥窒素などが用いられる。A shaft seal portion 25 is provided between the pump mechanism portion 9 and the rolling bearing 5a provided on the lower end plate 1c. A seal gas is supplied to the shaft seal portion 25 from the outside through a seal gas supply port 26 formed in the lower plate 1c. As this seal gas,
Dry nitrogen or the like is used so that it does not react with the gas sucked from the intake port 2.
【００２７】前記真空ポンプには、図１に示すように、
発熱部を冷却する冷却部として、ポンプ機構部９のステ
ータ８の外周に冷却ジャケット１０が形成され、モータ
ハウジング４の外周にモータ冷却部１１が形成され、油
タンク２１の外周に潤滑油冷却部１２が形成されてい
る。In the vacuum pump, as shown in FIG.
As a cooling unit that cools the heat generating unit, a cooling jacket 10 is formed on the outer periphery of the stator 8 of the pump mechanism unit 9, a motor cooling unit 11 is formed on the outer periphery of the motor housing 4, and a lubricating oil cooling unit is formed on the outer periphery of the oil tank 21. 12 are formed.
【００２８】一方、真空ポンプの冷却装置は図１および
図２に示すように、真空ポンプ取り付け架台１４上に設
置された空冷式熱交換器と、モータハウジング４の下方
の外周部に取り付けられた冷却液循環ポンプ１３を含む
冷却液循環系統と、状態変化検出器である第１，第２の
温度センサ１９ａ，１９ｂと、冷却ファン制御部２０と
を備えて構成されている。On the other hand, as shown in FIGS. 1 and 2, the cooling device for the vacuum pump is attached to the air-cooling type heat exchanger installed on the vacuum pump mounting base 14 and the outer peripheral portion below the motor housing 4. A cooling liquid circulation system including a cooling liquid circulation pump 13, first and second temperature sensors 19a and 19b which are state change detectors, and a cooling fan control unit 20 are provided.
【００２９】前記空冷式熱交換器は、図２に示すよう
に、シリーズに連結された第１，第２の熱交換器１５
ａ，１５ｂと、第１，第２の熱交換器１５ａ，１５ｂに
対向させて配置された第１，第２の冷却ファン１６ａ，
１６ｂとで構成されている。この第１，第２の熱交換器
１５ａ，１５ｂには、好ましくは一般乗用車に使用され
ているような、ラジエータが用いられる。前記第１，第
２の冷却ファン１６ａ，１６ｂは、動力源である電動機
により回転駆動されるようになっている。As shown in FIG. 2, the air-cooled heat exchanger includes first and second heat exchangers 15 connected in series.
a, 15b and first and second cooling fans 16a, which are arranged to face the first and second heat exchangers 15a, 15b,
16b and. The first and second heat exchangers 15a and 15b are preferably radiators such as those used in general passenger cars. The first and second cooling fans 16a and 16b are rotationally driven by an electric motor which is a power source.
【００３０】前記冷却液循環系統は、第１の熱交換器１
５ａと前記ポンプ機構部９のステータ８の外周に形成さ
れた冷却ジャケット１０の下部とを結ぶ給液通路１７ａ
と、第２の熱交換器１５ｂとモータハウジング４の外周
に形成されたモータ冷却部１１とを結ぶ給液通路１７ｂ
と、前記モータ冷却部１１とモータハウジング４の下方
の油タンク２１の外周に形成された潤滑油冷却部１２と
を結ぶ給液通路１７ｃと、前記冷却ジャケット１０の上
部に結ばれた排出通路１８ａと、前記潤滑油冷却部１２
に結ばれた排出通路１８ｂと、前記排出通路１８ａ，１
８ｂと第１の熱交換器１５ａの入口側とを結ぶ排出通路
１８ｃと、この排出通路１８ｃの途中に設けられた冷却
液循環ポンプ１３とにより完全閉ループに構成されてい
る。The cooling fluid circulation system is the first heat exchanger 1
5a and a liquid supply passage 17a connecting the lower part of the cooling jacket 10 formed on the outer periphery of the stator 8 of the pump mechanism section 9
And a liquid supply passage 17b connecting the second heat exchanger 15b and the motor cooling portion 11 formed on the outer periphery of the motor housing 4.
And a liquid supply passage 17c connecting the motor cooling portion 11 and the lubricating oil cooling portion 12 formed on the outer periphery of the oil tank 21 below the motor housing 4, and a discharge passage 18a connected to the upper portion of the cooling jacket 10. And the lubricating oil cooling unit 12
Discharge passage 18b connected to the discharge passages 18a and 1
A discharge passage 18c connecting 8b and the inlet side of the first heat exchanger 15a and a cooling liquid circulation pump 13 provided in the middle of the discharge passage 18c constitute a completely closed loop.
【００３１】前記第１の温度センサ１９ａは、第１の熱
交換器１５ａの出口側に挿入されており、前記第２の温
度センサ１９ｂは第２の熱交換器１５ｂの出口側に挿入
されていて、当該第１，第２の熱交換器１５ａ，１５ｂ
内の冷却液の温度を検出し、その検出値を冷却ファン制
御部２０に送り込むようになっている。The first temperature sensor 19a is inserted in the outlet side of the first heat exchanger 15a, and the second temperature sensor 19b is inserted in the outlet side of the second heat exchanger 15b. The first and second heat exchangers 15a and 15b.
The temperature of the cooling liquid therein is detected, and the detected value is sent to the cooling fan control unit 20.
【００３２】前記冷却ファン制御部２０には、マイコン
が用いられている。そして、この冷却ファン制御部２０
は第１，第２の温度センサ１９ａ，１９ｂからそれぞれ
第１，第２の熱交換器１５ａ，１５ｂ内の冷却液の温度
を個別に取り込み、その検出値に基づいて第１，第２の
冷却ファン１６ａ，１６ｂの電動機を個々に制御し、第
１，第２の冷却ファン１６ａ，１６ｂを介して第１，第
２の熱交換器１５ａ，１５ｂ内の冷却液をそれぞれ設定
温度に調整するようになっている。A microcomputer is used for the cooling fan controller 20. Then, this cooling fan control unit 20
Individually takes in the temperatures of the cooling liquids in the first and second heat exchangers 15a and 15b from the first and second temperature sensors 19a and 19b, respectively, and based on the detected values, the first and second cooling The electric motors of the fans 16a and 16b are individually controlled so that the cooling liquids in the first and second heat exchangers 15a and 15b are respectively adjusted to set temperatures via the first and second cooling fans 16a and 16b. It has become.
【００３３】前記冷却液には、例えば水，エチレングリ
コール，アルコール，鉱物油の単体またはこれらの混合
物が用いられるが、好ましくは防食性がありかつ経年劣
化に強く、エンジン冷却用として使用されているエチレ
ングリコールが用いられる。As the cooling liquid, for example, water, ethylene glycol, alcohol, mineral oil, or a mixture thereof is used, but it is preferably used for engine cooling because it has anticorrosive properties and is resistant to deterioration over time. Ethylene glycol is used.
【００３４】次に、前記第１の実施例の真空ポンプおよ
び冷却装置の動作を説明する。Next, the operation of the vacuum pump and the cooling device of the first embodiment will be described.
【００３５】真空ポンプに起動指令が発せられると、モ
ータ６が高速回転し、これに連結されたロータ７がモー
タ６の回転力を受けて高速回転する。When a start command is issued to the vacuum pump, the motor 6 rotates at high speed, and the rotor 7 connected thereto receives the rotational force of the motor 6 and rotates at high speed.
【００３６】前記ロータ７が回転すると、ハウジング１
に設けられた吸気口２から気体が吸い込まれる。この吸
気口２から吸い込まれた気体は、ロータ７とステータ８
から成るポンプ機構部９の流路内で順次圧縮され、ハウ
ジング１に設けられた排気口３を通って大気へ排出され
る。When the rotor 7 rotates, the housing 1
Gas is sucked in through the intake port 2 provided in the. The gas sucked from the intake port 2 is used for the rotor 7 and the stator 8.
Is sequentially compressed in the flow path of the pump mechanism portion 9 and is discharged to the atmosphere through the exhaust port 3 provided in the housing 1.
【００３７】一方、モータ６の回転に伴い、油タンク２
１内の潤滑油がモータシャフト２２に形成された油通路
２３をリフトコーン作用により上昇し、油通路２３の上
部の開口端２４から飛散し、モータシャフト２２のころ
がり軸受５ａ，５ｂに供給され、各ころがり軸受５ａ，
５ｂを潤滑しかつ冷却する。On the other hand, as the motor 6 rotates, the oil tank 2
The lubricating oil in 1 rises in the oil passage 23 formed in the motor shaft 22 by the lift cone action, scatters from the open end 24 of the upper portion of the oil passage 23, and is supplied to the rolling bearings 5a, 5b of the motor shaft 22, Each rolling bearing 5a,
Lubricate and cool 5b.
【００３８】他方、ハウジング１の下端板１ｃに形成さ
れシールガス供給口２６に外部からシールガスが供給さ
れ、そのシールガスはポンプ機構部９ところがり軸受５
ａ間に設けられた軸封部２５に供給され、この軸封部２
５で上下２方向に分かれて流れる。前記軸封部２５で分
かれたシールガスの一部は、ポンプ機構部９へ流入し、
吸気口２から吸入した気体と一緒に排気口３から排気さ
れ、残りは上部のころがり軸受５ａを通ってモータ室２
７へ流入する。この２方向に分かれて流れるシールガス
によりころがり軸受５ａに供給された潤滑油がポンプ機
構部９に流入するのを防ぐとともに、吸気口２から吸入
した気体がモータ室２７に流入するのを防止している。On the other hand, the seal gas is externally supplied to the seal gas supply port 26 formed on the lower end plate 1c of the housing 1, and the seal gas is supplied to the pump mechanism section 9 and the rolling bearing 5
It is supplied to the shaft sealing portion 25 provided between the a and the shaft sealing portion 2
At 5, the flow splits into two directions. A part of the sealing gas separated by the shaft sealing portion 25 flows into the pump mechanism portion 9,
The gas that has been sucked in through the intake port 2 is exhausted through the exhaust port 3 and the rest passes through the upper rolling bearing 5a and the motor chamber 2
Inflow to 7. The sealing gas flowing in two directions prevents the lubricating oil supplied to the rolling bearing 5a from flowing into the pump mechanism section 9 and prevents the gas sucked from the intake port 2 from flowing into the motor chamber 27. ing.
【００３９】以上の動作中、排気過程において、ロータ
７が高速回転している部分では気体が高温になり、その
熱がステータ７に伝導され、そのままでは気体温度が高
くなり、ポンプ機構部９での圧縮性能が低下し、ポンプ
性能の低下または熱変形によりロータ７とステータ８と
が接触するおそれがある。したがって、冷却ジャケット
１０を介してポンプ機構部９の周りを冷却し、一定温度
に保つ必要がある。During the above operation, in the exhaust process, the temperature of the gas becomes high in the portion where the rotor 7 is rotating at high speed, the heat is conducted to the stator 7, and the temperature of the gas becomes high as it is. There is a possibility that the rotor 7 and the stator 8 may come into contact with each other due to a decrease in the compression performance of the pump and a deterioration in the pump performance or thermal deformation. Therefore, it is necessary to cool the circumference of the pump mechanism section 9 through the cooling jacket 10 and maintain it at a constant temperature.
【００４０】しかし、例えば真空ポンプの吸気口２が半
導体製造装置のアルミドライエッチング装置の反応炉に
連結されている場合は、エッチング後の反応生成物とし
て塩化アルミニウム（Ａｌｃｌ3）が生成される。この
場合、冷却温度が低いとＡｌｃｌ3が固体化し、ステー
タ８の内壁にＡｌｃｌ3が付着堆積し、ロータ７とステ
ータ８間で固着を惹き起こすという問題があり、冷却ジ
ャケット１０の冷却温度をモータ６の冷却温度に対して
ある程度高めに維持する必要がある。したがって、モー
タ冷却部６と冷却ジャケット１０に流入させる冷却液の
温度を異なる温度に調整する必要がある。However, for example, when the intake port 2 of the vacuum pump is connected to the reaction furnace of the aluminum dry etching apparatus of the semiconductor manufacturing apparatus, aluminum chloride (Alcl 3 ) is produced as a reaction product after etching. In this case, the cooling temperature is low and AlCl 3 solidifies, AlCl 3 adheres deposited on the inner wall of the stator 8, there is a problem that causes a fixation between the rotor 7 and the stator 8, the motor cooling temperature of the cooling jacket 10 It is necessary to maintain the temperature somewhat higher than the cooling temperature of 6. Therefore, it is necessary to adjust the temperatures of the cooling liquids flowing into the motor cooling unit 6 and the cooling jacket 10 to different temperatures.
【００４１】そこで、この第１の実施例の冷却装置で
は、冷却液循環系統を通じて冷却ジャケット１０とモー
タ冷却部１１とに異なる温度の冷却液を供給し得るよう
にしている。Therefore, in the cooling device of the first embodiment, cooling liquids of different temperatures can be supplied to the cooling jacket 10 and the motor cooling portion 11 through the cooling liquid circulation system.
【００４２】すなわち、冷却液循環ポンプ１３から圧送
された冷却液は、第１の熱交換器１５ａに流入する。こ
の第１の熱交換器１５ａに流入した冷却液は、第１の冷
却ファン１６ａにより冷却され、その冷却液の一部は給
液通路１７ａを通って冷却ジャケット１０の下部に流入
し、上部に向かって流れる。前記冷却ジャケット１０内
に流入した冷却液は、ポンプ機構部９で発生した気体の
圧縮熱を奪い、温度が上昇し、温まった冷却液は冷却ジ
ャケット１０の上部より排出通路１８ａ→排出通路１８
ｃを通り、冷却液循環ポンプ１３により第１の熱交換器
１５ａに循環する。That is, the cooling liquid pumped from the cooling liquid circulation pump 13 flows into the first heat exchanger 15a. The cooling liquid that has flowed into the first heat exchanger 15a is cooled by the first cooling fan 16a, and a part of the cooling liquid flows into the lower portion of the cooling jacket 10 through the liquid supply passage 17a and then to the upper portion. Flowing toward. The cooling liquid that has flowed into the cooling jacket 10 robs the compression heat of the gas generated in the pump mechanism section 9 and the temperature rises, and the warmed cooling liquid is discharged from the upper part of the cooling jacket 10 to the discharge passage 18a → the discharge passage 18
It circulates to the 1st heat exchanger 15a by the cooling liquid circulation pump 13 through c.
【００４３】前記第１の熱交換器１５ａで冷却された冷
却液の残部は、第２の熱交換器１５ｂに流入する。この
第２の熱交換器１５ｂに流入した冷却液は、第２の冷却
ファン１６ｂにより冷却され、給液通路１７ｂを通じて
モータ冷却部１１に流入する。The balance of the cooling liquid cooled in the first heat exchanger 15a flows into the second heat exchanger 15b. The cooling liquid that has flowed into the second heat exchanger 15b is cooled by the second cooling fan 16b and flows into the motor cooling unit 11 through the liquid supply passage 17b.
【００４４】このモータ冷却部１１に流入した冷却液
は、モータ６で発生した熱を奪ったのち、給液通路１７
ｃを通って潤滑油冷却部１２に流入する。この潤滑油冷
却部１２に流入した冷却液は、油タンク２１内の潤滑油
を冷却したのち、排出通路１８ｂ→排出通路１８ｃに流
れ、この排出通路１８ｃで冷却ジャケット１０から排出
された冷却液と合流し、冷却液循環ポンプ１３により再
び第１の熱交換器１５ａへ循環する。The cooling liquid flowing into the motor cooling section 11 takes away the heat generated in the motor 6, and then the liquid supply passage 17
It flows into the lubricating oil cooling part 12 through c. The cooling liquid that has flowed into the lubricating oil cooling unit 12 cools the lubricating oil in the oil tank 21, and then flows from the discharge passage 18b to the discharge passage 18c, and the cooling liquid discharged from the cooling jacket 10 is discharged through the discharge passage 18c. They are merged and circulated again by the cooling liquid circulation pump 13 to the first heat exchanger 15a.
【００４５】また、前記第１の熱交換器１５ａで冷却さ
れた冷却液の温度は、第１の熱交換器１５ａの出口側に
挿入された第１の温度センサ１９ａにより検出され、そ
の検出値は冷却ファン制御部２０に送り込まれる。さら
に、前記第２の熱交換器１５ｂで冷却された冷却液の温
度は、第２の熱交換器１５ｂの出口側に挿入された第２
の温度センサ１９ｂにより検出され、この検出値も冷却
ファン制御部２０に送り込まれる。The temperature of the cooling liquid cooled by the first heat exchanger 15a is detected by the first temperature sensor 19a inserted at the outlet side of the first heat exchanger 15a, and the detected value is obtained. Is sent to the cooling fan controller 20. Further, the temperature of the cooling liquid cooled in the second heat exchanger 15b is the same as that of the second liquid inserted in the outlet side of the second heat exchanger 15b.
Detected by the temperature sensor 19b, and the detected value is also sent to the cooling fan controller 20.
【００４６】而して、冷却ファン制御部２０では、第１
の温度センサ１９ａから送り込まれた検出値に基づき、
第１の熱交換器１５ａ内の冷却液を、冷却ジャケット１
０の冷却に適する設定温度に冷却すべく、第１の冷却フ
ァン１６ａの電動機の回転数を制御する。また、同冷却
ファン制御部２０は第２の温度センサ１９ｂから送り込
まれた検出値に基づき、第２の熱交換器１５ｂ内の冷却
液を、モータ冷却部１１や潤滑油冷却部１２の冷却に適
する設定温度に冷却すべく、前記第１の冷却ファン１６
ａの電動機とは別に第２の冷却ファン１６ｂの電動機の
回転数を制御する。これにより、冷却ジャケット１０
と、モータ冷却部１１や潤滑油冷却部１２に、それぞれ
適正温度の冷却液を供給することができる。Thus, in the cooling fan control unit 20, the first
Based on the detection value sent from the temperature sensor 19a of
The cooling liquid in the first heat exchanger 15a is supplied to the cooling jacket 1
The number of rotations of the electric motor of the first cooling fan 16a is controlled in order to cool the set temperature suitable for cooling to zero. Further, the cooling fan control unit 20 uses the cooling liquid in the second heat exchanger 15b to cool the motor cooling unit 11 and the lubricating oil cooling unit 12 based on the detection value sent from the second temperature sensor 19b. In order to cool to a suitable set temperature, the first cooling fan 16
The rotation speed of the electric motor of the second cooling fan 16b is controlled separately from the electric motor of a. As a result, the cooling jacket 10
With this, it is possible to supply the cooling liquid having an appropriate temperature to the motor cooling unit 11 and the lubricating oil cooling unit 12, respectively.
【００４７】また、この第１の実施例の冷却装置では、
完全閉ループに構成しているので、従来技術においては
必要であった外部から冷却水を導くための配管工事を省
略することができるし、真空ポンプを冷却水の水源近く
に設置する必要がなく、したがって真空ポンプの設置場
所の自由度を広げることができる。Further, in the cooling device of the first embodiment,
Since it is configured in a completely closed loop, it is possible to omit the piping work for guiding the cooling water from the outside, which is required in the prior art, and it is not necessary to install the vacuum pump near the cooling water source, Therefore, the degree of freedom of the installation location of the vacuum pump can be increased.
【００４８】さらに、この第１の実施例では、図１に示
すように、真空ポンプ取り付け架台１４上に空冷式熱交
換器を取り付け、モータハウジング４の外周の一部に冷
却液循環ポンプ１３を取り付けているので、真空ポンプ
とその冷却装置とをコンパクトにまとめることができ
る。Further, in this first embodiment, as shown in FIG. 1, an air-cooling type heat exchanger is mounted on a vacuum pump mounting base 14 and a cooling liquid circulating pump 13 is mounted on a part of the outer periphery of the motor housing 4. Since it is attached, the vacuum pump and its cooling device can be compactly integrated.
【００４９】ついで、図３は本発明の第２の実施例を示
すもので、要部の系統図である。Next, FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention and is a systematic diagram of the main part.
【００５０】この図３に示す第２の実施例では、第２の
熱交換器１５ｂのほぼ中間部に、冷却ジャケット１０に
冷却液を供給する給液通路１７ａが結ばれている。な
お、モータ冷却部１１や潤滑油冷却部１２に冷却液を供
給する給液通路１７ｂは、前記第１の実施例と同様、第
２の熱交換器１５ｂの出口側の部分に結ばれている。In the second embodiment shown in FIG. 3, a liquid supply passage 17a for supplying a cooling liquid to the cooling jacket 10 is connected to a substantially middle portion of the second heat exchanger 15b. The liquid supply passage 17b for supplying the cooling liquid to the motor cooling unit 11 and the lubricating oil cooling unit 12 is connected to the outlet side portion of the second heat exchanger 15b, as in the first embodiment. .
【００５１】ところで、真空ポンプの吸気口２が半導体
製造装置のシリコンエッチング装置の反応炉に連結され
ている場合は、弗素系ガスが使用されることが多く、反
応炉より酸性雰囲気のガスが流入する。この場合、ロー
タ７とステータ８の設定温度が高いと、ポンプ部品の酸
化が促進され、ポンプ部品の母材が腐食し、真空ポンプ
の性能が低下する問題がある。その場合、冷却ジャケッ
ト１０に流入する冷却液の温度を低く抑える必要があ
り、第１の熱交換器１５ａだけでは冷却能力が足りない
場合がある。By the way, when the intake port 2 of the vacuum pump is connected to the reaction furnace of the silicon etching apparatus of the semiconductor manufacturing apparatus, a fluorine-based gas is often used, and a gas in an acidic atmosphere flows in from the reaction furnace. To do. In this case, if the set temperatures of the rotor 7 and the stator 8 are high, there is a problem that the oxidation of the pump parts is promoted, the base material of the pump parts is corroded, and the performance of the vacuum pump deteriorates. In that case, it is necessary to keep the temperature of the cooling liquid flowing into the cooling jacket 10 low, and the cooling capacity may not be sufficient with only the first heat exchanger 15a.
【００５２】そこで、この第２の実施例では第２の熱交
換器１５ｂの途中から冷却ジャケット１０に冷却液を流
入させるようにしているので、低温の冷却液を供給する
ことが可能となる。Therefore, in the second embodiment, since the cooling liquid is made to flow into the cooling jacket 10 from the middle of the second heat exchanger 15b, it is possible to supply the low temperature cooling liquid.
【００５３】なお、この第２の実施例の他の構成，作用
については、前記第１の実施例と同様である。The other structure and operation of the second embodiment are the same as those of the first embodiment.
【００５４】続いて、図４は本発明の第３の実施例を示
すもので、要部の系統図である。Next, FIG. 4 shows a third embodiment of the present invention and is a systematic diagram of the main part.
【００５５】この図４に示す第３の実施例では、空冷式
熱交換器が１個の熱交換器１５と、これに対向させて配
置された１個の冷却ファン１６とで構成されている。In the third embodiment shown in FIG. 4, the air-cooling type heat exchanger is composed of one heat exchanger 15 and one cooling fan 16 arranged so as to face the heat exchanger 15. .
【００５６】前記熱交換器１５の出口側の部分には、給
液通路１７が接続されており、この給液通路１７には冷
却ジャケット１０に冷却液を供給する給液通路１７ａ
と、モータ冷却部１１側に冷却液を供給する給液通路１
７ｂとが結ばれている。また、熱交換器１５の出口側に
は、状態変化検出器として温度センサ１９が挿入されて
いる。A liquid supply passage 17 is connected to a portion of the heat exchanger 15 on the outlet side, and the liquid supply passage 17 a supplies a cooling liquid to the cooling jacket 10.
And the liquid supply passage 1 for supplying the cooling liquid to the motor cooling unit 11 side.
7b is tied. A temperature sensor 19 is inserted as a state change detector on the outlet side of the heat exchanger 15.
【００５７】前記給液通路１７ａには、冷却液流量制御
手段として電磁流量制御弁２９が設けられている。前記
電磁流量制御弁２９には、冷却水流量制御部３０が接続
されており、この冷却水流量制御部３０にはマイコンが
用いられている。また、冷却水流量制御部３０には前記
温度センサ１９が接続されており、前記冷却水流量制御
部３０は温度センサ１９により検出された冷却液の温度
に基づいて、冷却ジャケット１０とモータ冷却部１１側
に冷却液を適正流量配分するように構成されている。The liquid supply passage 17a is provided with an electromagnetic flow control valve 29 as a cooling liquid flow control means. A cooling water flow rate control unit 30 is connected to the electromagnetic flow rate control valve 29, and a microcomputer is used for the cooling water flow rate control unit 30. Further, the temperature sensor 19 is connected to the cooling water flow rate control unit 30, and the cooling water flow rate control unit 30 determines the cooling jacket 10 and the motor cooling unit based on the temperature of the cooling liquid detected by the temperature sensor 19. The cooling fluid is distributed to the 11 side appropriately.
【００５８】この第３の実施例における他の構成は、前
記第１の実施例と同様である。The other structure of the third embodiment is the same as that of the first embodiment.
【００５９】前記構成の第３の実施例では、冷却液循環
ポンプ１３から圧送された冷却液は熱交換器１５に流入
する。In the third embodiment having the above-mentioned structure, the cooling liquid pumped from the cooling liquid circulation pump 13 flows into the heat exchanger 15.
【００６０】前記熱交換器１５に流入した冷却液は、冷
却ファン１６により冷却され、給液通路１７から取り出
され、ついで給液通路１７ａ，１７ｂに分岐される。The cooling liquid flowing into the heat exchanger 15 is cooled by the cooling fan 16, taken out from the liquid supply passage 17, and then branched into the liquid supply passages 17a and 17b.
【００６１】そして、温度センサ１９により熱交換器１
５で冷却された冷却液の温度が検出され、その検出値は
冷却水流量制御部３０に送り込まれる。この冷却水流量
制御部３０では、熱交換器１５で冷却された冷却液の温
度が設定以上のときは、冷却ジャケット１０に分配する
冷却液の流量を増加させるべく、電磁流量制御弁２９の
開度を制御する。一方、熱交換器１５で冷却された冷却
液の温度が設定値未満のときは、冷却ジャケット１０に
分配する冷却液の流量を減少させるべく、電磁流量制御
弁２９の開度を制御する。なお、前記冷却ジャケット１
０に分配する冷却液の流量を増加させると、モータ冷却
部１１側に分配される冷却液の流量が相対的に減少し、
反対に冷却ジャケット１０に分配する冷却液の流量を減
少させると、モータ冷却部１１に分配される冷却液の流
量が相対的に増加する。これにより、冷却ジャケット１
０に供給される冷却液の流量を適正に制御し、真空ポン
プの冷却上、最も重要なポンプ機構部９を適正温度に的
確に冷却することが可能となる。Then, the temperature sensor 19 is used to heat the heat exchanger 1.
The temperature of the cooling liquid cooled in 5 is detected, and the detected value is sent to the cooling water flow rate control unit 30. In the cooling water flow rate control unit 30, when the temperature of the cooling liquid cooled by the heat exchanger 15 is equal to or higher than the setting, the electromagnetic flow control valve 29 is opened to increase the flow rate of the cooling liquid to be distributed to the cooling jacket 10. Control the degree. On the other hand, when the temperature of the cooling liquid cooled in the heat exchanger 15 is less than the set value, the opening degree of the electromagnetic flow control valve 29 is controlled so as to reduce the flow amount of the cooling liquid distributed to the cooling jacket 10. The cooling jacket 1
When the flow rate of the cooling liquid distributed to 0 is increased, the flow rate of the cooling liquid distributed to the motor cooling unit 11 side relatively decreases,
On the contrary, when the flow rate of the cooling liquid distributed to the cooling jacket 10 is decreased, the flow rate of the cooling liquid distributed to the motor cooling unit 11 relatively increases. This allows the cooling jacket 1
By appropriately controlling the flow rate of the cooling liquid supplied to 0, it becomes possible to accurately cool the pump mechanism section 9, which is the most important for cooling the vacuum pump, to an appropriate temperature.
【００６２】この第３の実施例の他の作用については、
前記第１の実施例と同様である。Regarding the other operation of the third embodiment,
This is the same as the first embodiment.
【００６３】なお、本発明では冷却ファンの動力源は、
図面に示す電気式としての電動機に限らず、流体式、油
圧式または燃焼式等のいずれであってもよい。In the present invention, the power source of the cooling fan is
The electric motor shown in the drawings is not limited to an electric motor, and may be a fluid type, a hydraulic type, a combustion type, or the like.
【００６４】また、状態変化検出器も図面に示す温度セ
ンサに限らず、熱歪センサ等を用いてもよい。Further, the state change detector is not limited to the temperature sensor shown in the drawing, but a thermal strain sensor or the like may be used.
【００６５】[0065]
【発明の効果】以上説明した本発明の請求項１記載の発
明によれば、空冷式熱交換器を用い、しかも冷却液を循
環させる回路を完全閉ループに構成しているので、外部
から冷却水を導くための配管工事を省略し得る効果があ
り、真空ポンプを冷却水源近くに設置する必要がないの
で、真空ポンプの設置場所の自由度を広げることができ
るという効果もある。また、熱交換器と真空ポンプの各
冷却部とを結ぶ給液通路を、熱交換器における互いに異
なる位置に取り付け、さらに熱交換器に対向させかつ互
いに間隔をおいて配置された複数個の冷却ファンの動力
源を、制御部により個々に制御するようにしているの
で、真空ポンプの複数個所に形成された各冷却部を個々
に適正温度に、しかも確実に冷却し得る効果もある。According to the invention described in claim 1 of the present invention described above, since the air-cooling type heat exchanger is used and the circuit for circulating the cooling liquid is constructed in a completely closed loop, cooling water is externally supplied. Since there is an effect that the piping work for guiding the vacuum pump can be omitted and there is no need to install the vacuum pump near the cooling water source, there is also an effect that the degree of freedom of the installation location of the vacuum pump can be expanded. Further, the liquid supply passages connecting the heat exchanger and the respective cooling parts of the vacuum pump are installed at different positions in the heat exchanger, and further, a plurality of cooling units are arranged facing each other and spaced from each other. Since the power source of the fan is individually controlled by the control unit, there is an effect that each cooling unit formed at a plurality of locations of the vacuum pump can be individually cooled to an appropriate temperature and reliably.
【００６６】また、本発明の請求項２記載の発明によれ
ば、冷却液循環系統の給液通路側に冷却液流量制御手段
を設け、この冷却液流量制御手段を制御部により、真空
ポンプの各冷却部に冷却液を適正流量配分するように制
御するようにしているので、この発明によっても真空ポ
ンプの複数個所に形成された各冷却部を個々に適正温度
に、確実に冷却し得る効果がある。According to the second aspect of the present invention, the cooling liquid flow rate control means is provided on the side of the liquid supply passage of the cooling liquid circulation system, and the cooling liquid flow rate control means is controlled by the control portion of the vacuum pump. Since the cooling liquid is controlled so as to be distributed to each cooling portion at an appropriate flow rate, the present invention can also reliably cool each cooling portion formed at a plurality of locations of the vacuum pump to an appropriate temperature. There is.
【００６７】さらに、本発明の請求項３記載の発明によ
れば、前記真空ポンプの冷却部として、少なくともステ
ータの周りに形成された冷却ジャケットと、ロータ用の
モータの周りに形成されたモータ冷却部と、油タンクの
周りに形成された潤滑油冷却部とを有しているので、こ
れらの冷却部をそれぞれ適正温度に、確実に冷却し得る
効果がある。Further, according to the third aspect of the present invention, as the cooling portion of the vacuum pump, a cooling jacket formed around at least the stator and a motor cooling formed around the motor for the rotor. Since it has a portion and a lubricating oil cooling portion formed around the oil tank, there is an effect that each of these cooling portions can be surely cooled to an appropriate temperature.
【００６８】また、本発明の請求項４記載の発明によれ
ば、前記冷却液流量制御手段として電磁流量制御弁を用
い、さらに本発明の請求項５記載の発明によれば、前記
制御部としてマイコンを用い、さらにまた本発明の請求
項６記載の発明によれば、前記真空ポンプの冷却部と熱
交換器と冷却液循環系統の少なくとも一つに状態変化検
出器を設け、この状態変化検出器を前記制御部に接続し
ており、また本発明の請求項７記載の発明によれば、前
記状態変化検出器として温度センサを用い、さらに本発
明の請求項８記載の発明によれば、前記冷却液として
水，エチレングリコール，アルコール，鉱物油の単体ま
たは混合物を用い、そして本発明の請求項９記載の発明
では、前記冷却ファンを電気式，流体式，油圧式，燃焼
式動力源のいずれかにより駆動するように構成している
ので、それぞれ真空ポンプの各冷却部を適正温度に、よ
り一層確実に冷却し得る効果がある。According to a fourth aspect of the present invention, an electromagnetic flow control valve is used as the cooling liquid flow rate control means, and further according to the fifth aspect of the present invention, the control section is used. According to the invention of claim 6 of the present invention, a state change detector is provided in at least one of the cooling unit of the vacuum pump, the heat exchanger, and the cooling liquid circulation system. According to the invention of claim 7 of the present invention, a temperature sensor is used as the state change detector, and further, according to the invention of claim 8 of the present invention, As the cooling liquid, simple substance or mixture of water, ethylene glycol, alcohol and mineral oil is used, and in the invention according to claim 9 of the present invention, the cooling fan is of an electric type, a fluid type, a hydraulic type or a combustion type power source. either Since it configured to more drive, the appropriate temperature of each cooling section of each vacuum pump, the effect capable of more reliably cooled.
【図１】本発明の第１の実施例を示す縦断側面図であ
る。FIG. 1 is a vertical cross-sectional side view showing a first embodiment of the present invention.
【図２】図１に示す実施例の要部である冷却装置の系統
図である。FIG. 2 is a system diagram of a cooling device that is a main part of the embodiment shown in FIG.
【図３】本発明の第２の実施例を示すもので、要部であ
る冷却装置の系統図である。FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention and is a system diagram of a cooling device which is a main part.
【図４】本発明の第３の実施例を示すもので、要部であ
る冷却装置の系統図である。FIG. 4 shows a third embodiment of the present invention and is a system diagram of a cooling device which is a main part.
１…ハウジング、２…吸気口、３…排気口、６…モー
タ、７…ロータ、８…ステータ、９…ポンプ機構部、１
０…冷却ジャケット、１１…モータ冷却部、１２…潤滑
油冷却部、１３…冷却液循環ポンプ、１５ａ，１５ｂ…
第１，第２の熱交換器、１５…熱交換器、１６ａ，１６
ｂ…第１，第２の冷却ファン、１６…冷却ファン、１
７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃ…給液通路、１８ａ，１８
ｂ，１８ｃ…排出通路、１９，１９ａ，１９ｂ…温度セ
ンサ、２０…冷却ファン制御部、２９…電磁流量制御
弁、３０…冷却水流量制御部。1 ... Housing, 2 ... Intake port, 3 ... Exhaust port, 6 ... Motor, 7 ... Rotor, 8 ... Stator, 9 ... Pump mechanism part, 1
0 ... Cooling jacket, 11 ... Motor cooling section, 12 ... Lubricating oil cooling section, 13 ... Coolant circulation pump, 15a, 15b ...
1st, 2nd heat exchanger, 15 ... Heat exchanger, 16a, 16
b ... 1st, 2nd cooling fans, 16 ... cooling fans, 1
7, 17a, 17b, 17c ... Liquid supply passages, 18a, 18
b, 18c ... Discharge passage, 19, 19a, 19b ... Temperature sensor, 20 ... Cooling fan control unit, 29 ... Electromagnetic flow control valve, 30 ... Cooling water flow control unit.
Claims (9)
おいて、熱交換器と、この熱交換器に対向させかつ互い
に間隔をおいて配置された複数個の冷却ファンとを備え
た空冷式熱交換器を設置し、前記熱交換器と真空ポンプ
の各冷却部とを、熱交換器における互いに異なる位置に
取り付けられた給液通路を有する冷却液循環系統により
完全閉ループに接続するとともに、前記冷却ファンの動
力源を個々に制御し、真空ポンプの各冷却部に供給する
冷却液の温度を調整する制御部を設けたことを特徴とす
る真空ポンプの冷却装置。1. A vacuum pump having a plurality of cooling parts, comprising an air-cooling type heat exchanger having a heat exchanger and a plurality of cooling fans arranged facing each other and spaced apart from each other. An exchanger is installed, and the heat exchanger and each cooling unit of the vacuum pump are connected to a completely closed loop by a cooling liquid circulation system having liquid supply passages attached at different positions in the heat exchanger, and the cooling is performed. A cooling device for a vacuum pump, comprising a control unit for individually controlling a power source of a fan and adjusting a temperature of a cooling liquid supplied to each cooling unit of the vacuum pump.
おいて、熱交換器と、この熱交換器に対向させて配置さ
れた冷却ファンとを備えた空冷式熱交換器を設置し、前
記熱交換器と真空ポンプの各冷却部とを、熱交換器に取
り付けられた給液通路を有する冷却液循環系統により完
全閉ループに接続するとともに、前記熱交換器に取り付
けられた給液通路側に冷却液流量制御手段を設け、この
冷却液流量制御手段を制御し、真空ポンプの各冷却部に
冷却液を適正流量配分する制御部を設けたことを特徴と
する真空ポンプの冷却装置。2. A vacuum pump having a plurality of cooling parts, wherein an air-cooling type heat exchanger including a heat exchanger and a cooling fan arranged to face the heat exchanger is installed, The exchanger and each cooling part of the vacuum pump are connected to a completely closed loop by a cooling liquid circulation system having a liquid supply passage attached to the heat exchanger, and cooled to the liquid supply passage side attached to the heat exchanger. A cooling device for a vacuum pump, characterized in that a liquid flow rate control means is provided, and the cooling liquid flow rate control means is controlled to provide a control section for distributing an appropriate flow rate of the cooling liquid to each cooling section of the vacuum pump.
ともステータの周りに形成された冷却ジャケットと、ロ
ータ用のモータの周りに形成されたモータ冷却部と、油
タンクの周りに形成された潤滑油冷却部とを設けたこと
を特徴とする請求項１または２記載の真空ポンプの冷却
装置。3. A cooling jacket for the vacuum pump, which is formed around at least a stator, a motor cooling section formed around a motor for a rotor, and a lubricating oil formed around an oil tank. The cooling device for a vacuum pump according to claim 1 or 2, further comprising a cooling unit.
量制御弁を用いたことを特徴とする請求項２記載の真空
ポンプの冷却装置。4. The cooling device for a vacuum pump according to claim 2, wherein an electromagnetic flow control valve is used as the cooling liquid flow control means.
とを特徴とする請求項１または２記載の真空ポンプの冷
却装置。5. The cooling device for a vacuum pump according to claim 1, wherein a microcomputer is used as the control unit.
却液循環系統の少なくとも一つに状態変化検出器を設
け、この状態変化検出器を前記制御部に接続したことを
特徴とする請求項１または２記載の真空ポンプの冷却装
置。6. A state change detector is provided in at least one of a cooling unit, a heat exchanger, and a coolant circulation system of the vacuum pump, and the state change detector is connected to the control unit. Item 3. A cooling device for a vacuum pump according to item 1 or 2.
を用いたことを特徴とする請求項６記載の真空ポンプの
冷却装置。7. The cooling device for a vacuum pump according to claim 6, wherein a temperature sensor is used as the state change detector.
ール，アルコール，鉱物油の単体とこれらの混合物のい
ずれかを用いたことを特徴とする請求項１または２記載
の真空ポンプの冷却装置。8. The cooling device for a vacuum pump according to claim 1, wherein water, ethylene glycol, alcohol, mineral oil, or a mixture thereof is used as the cooling liquid.
式，燃焼式動力源のいずれかにより駆動するように構成
したことを特徴とする請求項１または２記載の真空ポン
プの冷却装置。9. The cooling device for a vacuum pump according to claim 1, wherein the cooling fan is configured to be driven by any one of an electric type, a fluid type, a hydraulic type, and a combustion type power source.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21689292A JPH07174099A (en) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | Vacuum pump cooling device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21689292A JPH07174099A (en) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | Vacuum pump cooling device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07174099A true JPH07174099A (en) | 1995-07-11 |
Family
ID=16695554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21689292A Pending JPH07174099A (en) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | Vacuum pump cooling device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07174099A (en) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001096744A1 (en) * | 2000-06-15 | 2001-12-20 | Alcatel | Temperature control with constant cooling flow and temperature for vacuum generating device |
| JP2002039092A (en) * | 2000-07-25 | 2002-02-06 | Shimadzu Corp | Turbo dry pump |
| JP2002535671A (en) * | 1999-01-27 | 2002-10-22 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Test gas leak detector |
| CN103089668A (en) * | 2011-11-08 | 2013-05-08 | 株式会社岛津制作所 | Integrated-type turbo molecular pump |
| WO2022210118A1 (en) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | エドワーズ株式会社 | Vacuum pump |
| CN115823023A (en) * | 2022-09-07 | 2023-03-21 | 势加透博洁净动力如皋有限公司 | An air compressor with multi-stage cooling |
| CN116979581A (en) * | 2023-07-05 | 2023-10-31 | 江苏致能杰能源科技有限公司 | Energy storage system capable of reducing light rejection and operation method thereof |
-
1992
- 1992-08-14 JP JP21689292A patent/JPH07174099A/en active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002535671A (en) * | 1999-01-27 | 2002-10-22 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Test gas leak detector |
| WO2001096744A1 (en) * | 2000-06-15 | 2001-12-20 | Alcatel | Temperature control with constant cooling flow and temperature for vacuum generating device |
| FR2810375A1 (en) * | 2000-06-15 | 2001-12-21 | Cit Alcatel | THERMAL CONTROL WITH CONSTANT COOLING RATE AND TEMPERATURE FOR VACUUM GENERATION DEVICE |
| JP2002039092A (en) * | 2000-07-25 | 2002-02-06 | Shimadzu Corp | Turbo dry pump |
| CN103089668A (en) * | 2011-11-08 | 2013-05-08 | 株式会社岛津制作所 | Integrated-type turbo molecular pump |
| WO2022210118A1 (en) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | エドワーズ株式会社 | Vacuum pump |
| JP2022156223A (en) * | 2021-03-31 | 2022-10-14 | エドワーズ株式会社 | Vacuum pump |
| CN115823023A (en) * | 2022-09-07 | 2023-03-21 | 势加透博洁净动力如皋有限公司 | An air compressor with multi-stage cooling |
| CN116979581A (en) * | 2023-07-05 | 2023-10-31 | 江苏致能杰能源科技有限公司 | Energy storage system capable of reducing light rejection and operation method thereof |
| CN116979581B (en) * | 2023-07-05 | 2024-05-03 | 江苏致能杰能源科技有限公司 | Energy storage system capable of reducing light rejection and operation method thereof |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0451708B1 (en) | Vacuum pump | |
| US7232295B2 (en) | Tempering method for a screw-type vacuum pump | |
| US2891391A (en) | Refrigerated hermetically sealed motors | |
| KR101712962B1 (en) | Vacuum pump with cooling device | |
| WO2008007052A2 (en) | Motor with improved cooling | |
| EP2789855B1 (en) | Temperature control for compressor | |
| US6599097B2 (en) | Dry vacuum pump with improved gas discharging speed and pump cooling | |
| US6121698A (en) | Oil cooled motor and pump apparatus | |
| US20060018773A1 (en) | Air-cooled dry vacuum pump | |
| JP3102322U (en) | Cooling system with refrigerant for air conditioning and engine temperature cooling | |
| RU2520301C2 (en) | High-pressure moulding machine | |
| JPH09275664A (en) | Motor controlling system | |
| RU2768116C1 (en) | Balancing and sealing piston and corresponding cooling circuit and method | |
| US6019581A (en) | Friction vacuum pump with cooling arrangement | |
| US3960467A (en) | Cooling device for a pump motor | |
| JP3724101B2 (en) | Bearing lubrication device and its self-pump structure | |
| KR20010088583A (en) | the self circulation cooling system vacuum pump | |
| JP4237574B2 (en) | Cabinet-type water supply equipment | |
| JP2875335B2 (en) | Vacuum pump | |
| JP2002039092A (en) | Turbo dry pump | |
| JP2005054730A (en) | Feed water device of cabinet type | |
| JPH01116297A (en) | Air-cooled oil-free rotary compressor | |
| JPH0742693A (en) | Dry vacuum pump | |
| JPH06210542A (en) | Liquid temperature controller | |
| US5636707A (en) | Lubrication system for an electric apparatus journalled by means of sliding bearings |