JPH07174802A - 電子部品の内部クラック検出方法 - Google Patents

電子部品の内部クラック検出方法

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JPH07174802A
JPH07174802A JP34402893A JP34402893A JPH07174802A JP H07174802 A JPH07174802 A JP H07174802A JP 34402893 A JP34402893 A JP 34402893A JP 34402893 A JP34402893 A JP 34402893A JP H07174802 A JPH07174802 A JP H07174802A
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JP
Japan
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electronic part
resonance
internal
internal cracks
internal crack
Prior art date
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Pending
Application number
JP34402893A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshio Kawaguchi
慶雄 川口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 電歪効果を有する材料を用いた電子部品の内
部クラックを、電子部品を破壊することなく、容易かつ
確実に、しかも速やかに検出することを可能にする。 【構成】 電子部品に電圧を印加して共振特性を測定
し、同様の方法で測定した内部クラックのない電子部品
の共振特性と比較することにより内部クラックの有無を
検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、高誘電率系のセラミ
ック材料を用いた積層セラミックコンデンサなどのよう
に、電歪効果を有する材料の所定の位置に電極を配設し
てなる電子部品の内部クラックの検出方法に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、高誘電率系のセラミック材料を
用いた積層セラミックコンデンサの内部クラックの検出
方法としては、従来、以下の2つの方法が一般的に用い
られている。
【0003】積層セラミックコンデンサを切断し、断
面を研磨して顕微鏡で観察することにより内部クラック
の有無を検出する方法。
【0004】超音波探傷装置を使用する方法であっ
て、試料に超音波をあて、内部クラックなどの欠陥部が
ある場合にその欠陥部で反射して戻ってくる音波の強度
及び戻ってくるまでの時間などにより内部クラックなど
の欠陥部の有無及びその位置を検出する方法。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の方法
は、切断と研磨の工程が必要で検出に時間がかかるばか
りでなく、積層セラミックコンデンサを破壊してしまう
ので、良品と不良品の選別方法としては使用することが
できないという問題点がある。
【0006】また、の方法は、積層セラミックコンデ
ンサを切断したりすることなく、非破壊の方法で内部ク
ラックなどの欠陥部の有無を検出することができるとい
う特徴を有しているが、内部クラックの面に音波が垂直
にあたらなかった場合のように、音波の方向と内部クラ
ックの面方向との関係などによっては内部クラックなど
の欠陥部を検出することができない場合があり、信頼性
が必ずしも十分ではないという問題点がある。さらに、
通常は、複数方向から超音波をあててその反射を測定す
る方法をとることが必要になるため、測定に時間がかか
り、効率が悪いという問題点がある。
【0007】この発明は、上記問題点を解決するもので
あり、電歪効果を有する材料を用いた高誘電率系の積層
セラミックコンデンサなどの電子部品の内部クラック
を、電子部品を破壊することなく、速やかに検出するこ
とが可能で、良品と不良品の選別方法として用いること
が可能な電子部品の内部クラック検出方法を提供するこ
とを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、発明者は、種々の実験、検討を行い、電歪効果を有
する材料に電極を配設してなる電子部品に電圧を印加し
た場合、内部クラックがある電子部品には共振特性に確
実に変化が現れることを知り、さらに実験、検討を重ね
てこの発明を完成した。
【0009】すなわち、この発明の電子部品の内部クラ
ック検出方法は、電歪効果を有する材料の所定の位置に
電極を配設してなる電子部品の内部クラックを検出する
方法において、電子部品に電圧を印加して共振特性を測
定し、同様の方法で測定した内部クラックのない電子部
品の共振特性と比較することにより内部クラックの有無
を検出することを特徴としている。
【0010】
【作用】電歪効果を有する材料の所定の位置に電極を配
設してなる電子部品に電圧を印加すると、電歪効果によ
り、特定の周波数で電気・機械的共振が引き起こされ
る。そして、このときの周波数や共振の大きさは、概ね
電子部品の寸法や、材料固有の電歪定数により決定され
る。ところが、電子部品に内部クラックがある場合に
は、その影響により、共振の周波数や大きさに変化が現
れる。
【0011】したがって、電子部品の共振特性を、イン
ピーダンス−周波数特性測定装置などを用いて測定し、
同様の方法により測定した内部クラックのない電子部品
の共振特性と比較することにより、電子部品を切断(破
壊)したりすることなく内部クラックの有無を容易かつ
確実に、しかも速やかに検出することができるようにな
る。なお、この発明における電歪効果なる用語は、広義
の意味で用いられており、電歪効果のみならず逆圧電効
果をも含む広い概念である。
【0012】
【実施例】以下、この発明の実施例を示して、その特徴
とするところをさらに詳しく説明する。
【0013】この実施例では、内部クラックの検出対象
となる電子部品として、BaTiO 3系の高誘電率セラ
ミック中の所定の位置に内部電極を配設するとともに、
両端側に該内部電極と導通する外部電極を配設すること
により形成された積層セラミックコンデンサを用いた。
【0014】そして、この実施例では、内部クラックの
ない積層セラミックコンデンサと内部クラックのある積
層セラミックコンデンサをそれぞれ複数個用意し、各積
層セラミックコンデンサに直流電圧を印加して、インピ
ーダンス−周波数特性測定装置によりその共振特性を調
べた。
【0015】図1(a),(b),(c)、及び図2(a),
(b),(c)に、周波数とインピーダンス中の等価直列抵
抗成分の関係を示す。なお、図1は、内部クラックのな
い積層セラミックコンデンサの共振特性を示しており、
図2は、内部クラックのある積層セラミックコンデンサ
の共振特性を示している。
【0016】図1及び図2より、内部クラックのない積
層セラミックコンデンサと内部クラックのある積層セラ
ミックコンデンサの間には、共振のピーク周波数に明ら
かな差が生じており、このピーク周波数から、内部クラ
ックの有無を確実に検出することができた。したがっ
て、共振のピーク周波数を調べることにより、内部クラ
ックのない積層セラミックコンデンサと内部クラックの
ある積層セラミックコンデンサとを容易かつ確実に、し
かも速やかに選別することができる。
【0017】なお、上記実施例では、ピーク周波数に着
目して内部クラックの有無を検出した場合について説明
したが、図1及び図2に示すように、内部クラックのな
い積層セラミックコンデンサと内部クラックのある積層
セラミックコンデンサでは、共振のピークの大きさにも
明らかな差が生じている。したがって、共振のピークの
大きさを調べることによっても、内部クラックのない積
層セラミックコンデンサと内部クラックのある積層セラ
ミックコンデンサとを容易に選別することができる。
【0018】また、ピーク周波数の測定結果と共振のピ
ークの大きさの測定結果を組み合わせて、検出の信頼性
をさらに向上させることも可能である。
【0019】なお、上記実施例では、直流電圧を印加し
ながら共振特性を測定した場合について説明したが、分
極処理により同様の電気・機械的共振を発生させること
も可能である。
【0020】さらに、上記実施例では、高誘電率系のセ
ラミック材料を用いた積層セラミックコンデンサの内部
クラックの検出方法について説明したが、この発明の方
法は、これに限られるものではなく、電歪効果を有する
セラミック材料を用いたインダクタやLC複合部品にも
適用することが可能であり、その場合にも上記実施例と
同様の効果を得ることができる。
【0021】この発明は、さらにその他の点においても
上記実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範
囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能で
ある。
【0022】
【発明の効果】上述のように、この発明の電子部品の内
部クラック検出方法は、電子部品に電圧を印加して共振
特性を測定し、同様の方法で測定した内部クラックのな
い電子部品の共振特性と比較することにより内部クラッ
クの有無を検出するようにしているので、電子部品を切
断したりすることなく内部クラックの有無を容易かつ確
実に検出することができる。
【0023】したがって、この発明の電子部品の内部ク
ラック検出方法は、内部クラックのない電子部品と内部
クラックのある電子部品とを選別するためのスクリーニ
ング方法として極めて有意義である。
【0024】また、超音波探傷装置を用いた検出方法の
ように音波の方向と内部クラックの面方向などにより誤
検出が生じるようなことがなく、高い検出信頼性を実現
することができる。
【0025】さらに、超音波探傷装置を用いた検出方法
のように検出時間が長くかからず、短時間で効率よく内
部クラックの検出を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a),(b),(c)はいずれも内部クラックのな
い積層セラミックコンデンサについて測定した周波数と
インピーダンス中の等価直列抵抗成分の関係を示す線図
である。
【図2】(a),(b),(c)はいずれも内部クラックのあ
る積層セラミックコンデンサについて測定した周波数と
インピーダンス中の等価直列抵抗成分の関係を示す線図
である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電歪効果を有する材料の所定の位置に電
    極を配設してなる電子部品の内部クラックを検出する方
    法において、 電子部品に電圧を印加して共振特性を測定し、同様の方
    法で測定した内部クラックのない電子部品の共振特性と
    比較することにより内部クラックの有無を検出すること
    を特徴とする電子部品の内部クラック検出方法。
JP34402893A 1993-12-16 1993-12-16 電子部品の内部クラック検出方法 Pending JPH07174802A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002208829A (ja) * 2001-01-09 2002-07-26 Murata Mfg Co Ltd 圧電共振素子の不良検出方法
JP2008171949A (ja) * 2007-01-10 2008-07-24 Tdk Corp 電子部品の製造方法
KR20230027599A (ko) 2021-08-19 2023-02-28 삼성전기주식회사 전자부품의 결함 검출장치 및 검출방법
CN117929127A (zh) * 2024-01-25 2024-04-26 哈尔滨工业大学 一种多层陶瓷电容断裂测试装置及断裂分析方法
US12117478B2 (en) 2022-09-21 2024-10-15 Yuri Holdings Co., Ltd. Capacitor inspection method and inspection apparatus used for same
US12140644B2 (en) 2021-10-26 2024-11-12 Yuri Holdings Co., Ltd. Capacitor inspection method and inspection apparatus used for same

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002208829A (ja) * 2001-01-09 2002-07-26 Murata Mfg Co Ltd 圧電共振素子の不良検出方法
JP2008171949A (ja) * 2007-01-10 2008-07-24 Tdk Corp 電子部品の製造方法
KR20230027599A (ko) 2021-08-19 2023-02-28 삼성전기주식회사 전자부품의 결함 검출장치 및 검출방법
US12140644B2 (en) 2021-10-26 2024-11-12 Yuri Holdings Co., Ltd. Capacitor inspection method and inspection apparatus used for same
US12117478B2 (en) 2022-09-21 2024-10-15 Yuri Holdings Co., Ltd. Capacitor inspection method and inspection apparatus used for same
CN117929127A (zh) * 2024-01-25 2024-04-26 哈尔滨工业大学 一种多层陶瓷电容断裂测试装置及断裂分析方法
CN117929127B (zh) * 2024-01-25 2024-09-17 哈尔滨工业大学 一种多层陶瓷电容断裂测试装置及断裂分析方法

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Effective date: 20010522