JPH07174944A - 光送受信装置 - Google Patents
光送受信装置Info
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- JPH07174944A JPH07174944A JP32066093A JP32066093A JPH07174944A JP H07174944 A JPH07174944 A JP H07174944A JP 32066093 A JP32066093 A JP 32066093A JP 32066093 A JP32066093 A JP 32066093A JP H07174944 A JPH07174944 A JP H07174944A
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- Japan
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Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】光送受モジュールにおける光ファイバと光素子
を無調整で容易に光軸結合する光送受信装置を提供す
る。 【構成】光素子部は高精度にエッチングされたＶ字突起
３を有するサブマウント基板２上に高位置精度に実装さ
れた光素子１とから成る。光ファイバ部はシリコンの異
方性エッチングにより形成されたＶ字溝４，５と溝１
１，１２を有するシリコン基板６上に光ファイバ７と光
ファイバ被覆部８を入れ、上から樹脂接着剤とトップガ
イド９でＶ字溝５にファイバを固定した構造になってい
る。Ｖ字突起３をＶ字溝４にかみ合せるだけで光軸結合
でき、その後、サブマウント基板２、シリコン基板６、
ケース１０、を同時に樹脂接着剤で固定する。
を無調整で容易に光軸結合する光送受信装置を提供す
る。 【構成】光素子部は高精度にエッチングされたＶ字突起
３を有するサブマウント基板２上に高位置精度に実装さ
れた光素子１とから成る。光ファイバ部はシリコンの異
方性エッチングにより形成されたＶ字溝４，５と溝１
１，１２を有するシリコン基板６上に光ファイバ７と光
ファイバ被覆部８を入れ、上から樹脂接着剤とトップガ
イド９でＶ字溝５にファイバを固定した構造になってい
る。Ｖ字突起３をＶ字溝４にかみ合せるだけで光軸結合
でき、その後、サブマウント基板２、シリコン基板６、
ケース１０、を同時に樹脂接着剤で固定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光通信用モジュールの光
送受信装置に関し、特に光ファイバと光素子との無調整
光学結合が行える光送受信装置に関する。
送受信装置に関し、特に光ファイバと光素子との無調整
光学結合が行える光送受信装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光ファイバと光素子または、光集
積回路との結合に関する技術としては、例えば特開平１
−１２６６０８号公報に開示されている技術が知られて
いる。
積回路との結合に関する技術としては、例えば特開平１
−１２６６０８号公報に開示されている技術が知られて
いる。
【０００３】これは、図３に示すようにシリコンの異方
性エッチングを用いてファイバ固定用のＶ字溝１５をシ
リコン基板１９上に形成し、さらにこのシリコン基板１
９上に光導波路１３を形成する。この後、Ｖ字溝１５に
光ファイバ１４を固定することにより、光ファイバと光
導波路を無調整で光軸結合させるものである。
性エッチングを用いてファイバ固定用のＶ字溝１５をシ
リコン基板１９上に形成し、さらにこのシリコン基板１
９上に光導波路１３を形成する。この後、Ｖ字溝１５に
光ファイバ１４を固定することにより、光ファイバと光
導波路を無調整で光軸結合させるものである。
【０００４】従って、シリコン基板上にこのようなＶ字
溝、光導波路を複数形成することにより、複数の光ファ
イバと光導波路を同時に無調整で光軸結合させるという
ものである。
溝、光導波路を複数形成することにより、複数の光ファ
イバと光導波路を同時に無調整で光軸結合させるという
ものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような従来技術で
は光ファイバを固定するシリコン基板と、光ファイバと
光軸結合される対象物（光集積回路、光素子等）が同一
のシリコン基板に形成されており、シリコン基板に形成
できる対象物については、光ファイバとの無調整光軸結
合が達成できた。
は光ファイバを固定するシリコン基板と、光ファイバと
光軸結合される対象物（光集積回路、光素子等）が同一
のシリコン基板に形成されており、シリコン基板に形成
できる対象物については、光ファイバとの無調整光軸結
合が達成できた。
【０００６】しかし、シリコン基板上に形成困難な化合
物半導体光素子等は、シリコン基板上に形成することが
困難であり、光素子と光ファイバは別々の基板に固定
し、光軸調整を行わなくてはならないという問題点があ
った。
物半導体光素子等は、シリコン基板上に形成することが
困難であり、光素子と光ファイバは別々の基板に固定
し、光軸調整を行わなくてはならないという問題点があ
った。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の光送受信装置
は、光ファイバ固定溝を有するシリコン基板と、光素子
が位置決めされて搭載されているサブマウント基板を有
する光送受信装置であって、シリコン基板は位置決め用
Ｖ字溝を有し、サブマウント基板は、前記位置決め用Ｖ
字溝とかみ合う構造となるようなＶ字型の突起を有し、
このサブマウント基板のＶ字型突起と、シリコン基板の
位置決め用Ｖ字溝をかみ合わせて結合した時に光素子と
光ファイバが光軸結合されることを特徴とする。
は、光ファイバ固定溝を有するシリコン基板と、光素子
が位置決めされて搭載されているサブマウント基板を有
する光送受信装置であって、シリコン基板は位置決め用
Ｖ字溝を有し、サブマウント基板は、前記位置決め用Ｖ
字溝とかみ合う構造となるようなＶ字型の突起を有し、
このサブマウント基板のＶ字型突起と、シリコン基板の
位置決め用Ｖ字溝をかみ合わせて結合した時に光素子と
光ファイバが光軸結合されることを特徴とする。
【０００８】また、前記シリコン基板上の光ファイバ固
定溝は複数本あり、前記サブマウント上に位置決め搭載
されている光素子も複数あって、当該複数の光ファイバ
と光素子が同時に光軸結合されることを特徴とする。
定溝は複数本あり、前記サブマウント上に位置決め搭載
されている光素子も複数あって、当該複数の光ファイバ
と光素子が同時に光軸結合されることを特徴とする。
【０００９】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１０】図１は、本発明の一実施例である光並列送
受信装置の光結合部の斜視図である。
受信装置の光結合部の斜視図である。
【００１１】光素子１は高精度にエッチングされたＶ字
突起３を含む段差構造を有する構造のサブマウント基板
２上に高位置精度に実装されている。
突起３を含む段差構造を有する構造のサブマウント基板
２上に高位置精度に実装されている。
【００１２】シリコン基板６には、シリコンの異方性エ
ッチングにより光素子位置決め用Ｖ字溝４と光ファイバ
固定用Ｖ字溝５、及び溝１１，１２が形成されている。
ッチングにより光素子位置決め用Ｖ字溝４と光ファイバ
固定用Ｖ字溝５、及び溝１１，１２が形成されている。
【００１３】シリコン基板６上に形成したファイバ固定
用Ｖ字溝５及び溝１１，１２に光ファイバ７と光ファイ
バ被覆部８を入れ、上から樹脂接着剤とトップガイド９
によって光ファイバは位置決めされて固定されている。
用Ｖ字溝５及び溝１１，１２に光ファイバ７と光ファイ
バ被覆部８を入れ、上から樹脂接着剤とトップガイド９
によって光ファイバは位置決めされて固定されている。
【００１４】サブマウント基板２は図２の斜視図に示す
ように高精度にエッチングされたＶ字突起３を有してお
り、このＶ字突起３をシリコン基板６に形成されている
光素子位置決め用Ｖ字溝にかみ合わせることにより光結
合が行われる。
ように高精度にエッチングされたＶ字突起３を有してお
り、このＶ字突起３をシリコン基板６に形成されている
光素子位置決め用Ｖ字溝にかみ合わせることにより光結
合が行われる。
【００１５】このようにして光結合を行った後、ケース
１０、とサブマウント基板２、ケース１０とシリコン基
板６、サブマウント基板２とシリコン基板６、をそれぞ
れ樹脂接着剤で固定する。
１０、とサブマウント基板２、ケース１０とシリコン基
板６、サブマウント基板２とシリコン基板６、をそれぞ
れ樹脂接着剤で固定する。
【００１６】この時、光ファイバ７、も光素子１と光フ
ァイバ７の端面距離ができるだけ小さくなるようにシリ
コン基板６に固定している。この構造により容易に光素
子１と光ファイバ７の光軸結合を複数個同時に無調整で
行うことができる。
ァイバ７の端面距離ができるだけ小さくなるようにシリ
コン基板６に固定している。この構造により容易に光素
子１と光ファイバ７の光軸結合を複数個同時に無調整で
行うことができる。
【００１７】
【発明の効果】本発明では、あらかじめ光ファイバをＶ
字溝に固定し、サブマウント基板に高精度に光素子を搭
載しておけば、光軸調整を行う時間が大幅に短縮され、
無調整で複数個光ファイバと光素子の光軸結合が可能で
ある。
字溝に固定し、サブマウント基板に高精度に光素子を搭
載しておけば、光軸調整を行う時間が大幅に短縮され、
無調整で複数個光ファイバと光素子の光軸結合が可能で
ある。
【００１８】また、光ファイバ固定用の基板上に形成す
ることが困難な光素子、光集積回路等の光結合無調整化
を実現できる。
ることが困難な光素子、光集積回路等の光結合無調整化
を実現できる。
【図１】本発明の一実施例である光並列送受信モジュー
ルの光結合部の斜視図。
ルの光結合部の斜視図。
【図２】本発明の一実施例である光並列送受信モジュー
ルのサブマウント基板の斜視図。
ルのサブマウント基板の斜視図。
【図３】従来技術の一実施例である光出力装置で、
（ａ）は上面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側断面図で
ある。
（ａ）は上面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側断面図で
ある。
１ 光素子 ２ サブマウント基板 ３ Ｖ字突起 ４ 光素子位置決め用Ｖ字溝 ５ ファイバ整列用Ｖ字溝 ６ シリコン基板 ７ 光ファイバ ８ 光ファイバ被覆部 ９ トップガイド １０ ケース １１，１２ 溝 １３ 光導波路 １４ 光ファイバ １５ Ｖ字溝 １６ 垂直溝 １７ 光ファイバのコア １８ クラッド １９ シリコン基板 ２０ バッファ層
Claims (2)
- 【請求項１】 光ファイバ固定用のＶ字溝が形成された
シリコン基板と、光素子が位置決め搭載されているサプ
マウント基板を有する光送受信装置において、前記シリ
コン基板は位置決め用Ｖ字溝を有し、前記サブマウント
基板は位置決め用Ｖ字型突起を有し、前記位置決め用Ｖ
字溝と前記位置決め用Ｖ字型突起を結合することによっ
て光ファイバと光素子の光軸結合を行うことを特徴とす
る光送受信装置。 - 【請求項２】 前記シリコ基板は複数の光ファイバ固定
用Ｖ字溝を有し、前記サブマウント基板は光素子が複数
位置決め搭載され、複数の光ファイバと複数の光素子が
同時に光軸結合されることを特徴とする請求項１に記載
の光送受信装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5320660A JP2630236B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 光送受信装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5320660A JP2630236B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 光送受信装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07174944A true JPH07174944A (ja) | 1995-07-14 |
| JP2630236B2 JP2630236B2 (ja) | 1997-07-16 |
Family
ID=18123903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5320660A Expired - Lifetime JP2630236B2 (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 光送受信装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2630236B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6042276A (en) * | 1997-07-02 | 2000-03-28 | Nec Corporation | Light receiving module |
| US6075911A (en) * | 1997-02-13 | 2000-06-13 | Nec Corporation | Optical coupling system using gel resin and the mounting structure |
| EP1202092A1 (en) * | 2000-10-17 | 2002-05-02 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical fibre array, method for fabricating the same, and optical device using the fibre array |
| EP1279982A3 (de) * | 2001-07-17 | 2004-05-19 | Harting Elektro-optische Bauteile GmbH & Co. KG. | Substrat für eine opto-elektronische Baugruppe |
| JP2009198649A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 光ファイバアレイ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52148140A (en) * | 1976-06-04 | 1977-12-09 | Oki Electric Ind Co Ltd | Joint structure of optical fibre with optical semiconductor component |
| JPS6177025A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-19 | Shimadzu Corp | 光分流器の作成方法 |
| JPS6235308U (ja) * | 1985-08-20 | 1987-03-02 |
-
1993
- 1993-12-20 JP JP5320660A patent/JP2630236B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2002196179A (ja) * | 2000-10-17 | 2002-07-10 | Ngk Insulators Ltd | ファイバアレイ及びその製造方法並びにファイバアレイを用いた光デバイス |
| US6798969B2 (en) | 2000-10-17 | 2004-09-28 | Ngk Insulators, Ltd. | Fiber array, method for fabricating the same and optical device using the fiber array |
| EP1279982A3 (de) * | 2001-07-17 | 2004-05-19 | Harting Elektro-optische Bauteile GmbH & Co. KG. | Substrat für eine opto-elektronische Baugruppe |
| JP2009198649A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 光ファイバアレイ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2630236B2 (ja) | 1997-07-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970304 |