JPH07176708A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
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- JPH07176708A JPH07176708A JP5321524A JP32152493A JPH07176708A JP H07176708 A JPH07176708 A JP H07176708A JP 5321524 A JP5321524 A JP 5321524A JP 32152493 A JP32152493 A JP 32152493A JP H07176708 A JPH07176708 A JP H07176708A
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- light receiving
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 すべての色の光が効率良く受光部に到達する
ようにし、これにより、固体撮像装置の感度及び色再現
性を向上させる。 【構成】 第１、第２及び第３のマイクロレンズ層７
Ａ，７Ｂ，７Ｃの高さは、レッド、グリーン及びブルー
のカラーフィルター層５をそれぞれ通過したレッド光、
グリーン光及びブルー光の焦点が、それぞれ対応する受
光部２上に形成されるように設定されている。
ようにし、これにより、固体撮像装置の感度及び色再現
性を向上させる。 【構成】 第１、第２及び第３のマイクロレンズ層７
Ａ，７Ｂ，７Ｃの高さは、レッド、グリーン及びブルー
のカラーフィルター層５をそれぞれ通過したレッド光、
グリーン光及びブルー光の焦点が、それぞれ対応する受
光部２上に形成されるように設定されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像装置に関し、
特に感度及び色再現性の向上に有効なマイクロレンズ層
を備えた固体撮像装置に関するものである。
特に感度及び色再現性の向上に有効なマイクロレンズ層
を備えた固体撮像装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、固体撮像装置にカラーフィルター
及びマイクロレンズを形成する方法として、ウェハ上に
直接カラーフィルター又はマイクロレンズを形成する方
法（オンチップフィルター）が主流となってきている。
及びマイクロレンズを形成する方法として、ウェハ上に
直接カラーフィルター又はマイクロレンズを形成する方
法（オンチップフィルター）が主流となってきている。
【０００３】以下、従来の固体撮像装置について説明す
る。
る。
【０００４】図４は従来の固体撮像装置の断面構造を示
しており、図４において、１はシリコンからなる半導体
基板、２はフォトダイオードからなる受光部、３はアル
ミニウムからなる遮光部、４はアクリル系透明樹脂から
なる平坦化層、５はゼラチン系樹脂からなり所定の色、
例えばレッド、グリーン又はブルーに染色されたカラー
フィルター層、６はアクリル系透明樹脂からなる中間
層、７はフェノール系樹脂からなり互いに同一の形状に
形成されたマイクロレンズ層である。
しており、図４において、１はシリコンからなる半導体
基板、２はフォトダイオードからなる受光部、３はアル
ミニウムからなる遮光部、４はアクリル系透明樹脂から
なる平坦化層、５はゼラチン系樹脂からなり所定の色、
例えばレッド、グリーン又はブルーに染色されたカラー
フィルター層、６はアクリル系透明樹脂からなる中間
層、７はフェノール系樹脂からなり互いに同一の形状に
形成されたマイクロレンズ層である。
【０００５】以下、前記のように構成された固体撮像装
置の動作について説明する。
置の動作について説明する。
【０００６】まず、受光部２の上方だけでなく遮光部３
の上方にも入射した入射光は、マイクロレンズ層７を通
って集光された後、中間層６を通ってカラーフィルター
層５に至る。そして、カラーフィルター層５の色と対応
する所定の波長を持つ光のみが、カラーフィルター層５
を通過した後、平坦化層４を通って受光部２に入射す
る。受光部２に入射した光は、該受光部２においてその
光量に応じて信号電荷に変換される。
の上方にも入射した入射光は、マイクロレンズ層７を通
って集光された後、中間層６を通ってカラーフィルター
層５に至る。そして、カラーフィルター層５の色と対応
する所定の波長を持つ光のみが、カラーフィルター層５
を通過した後、平坦化層４を通って受光部２に入射す
る。受光部２に入射した光は、該受光部２においてその
光量に応じて信号電荷に変換される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の構成の固体撮像装置においては、以下のような問題
点が存在する。すなわち、マイクロレンズ層７に入射す
る光の波長は様々であり、光の波長によってマイクロレ
ンズ層７における光の屈折率は異なる。
来の構成の固体撮像装置においては、以下のような問題
点が存在する。すなわち、マイクロレンズ層７に入射す
る光の波長は様々であり、光の波長によってマイクロレ
ンズ層７における光の屈折率は異なる。
【０００８】マイクロレンズ層７の焦点距離ｆは、一般
的に ｆ＝ｎｒ／（ｎ−１）で表される。ここに、ｎ；
屈折率、ｒ；マイクロレンズ層の曲率である。
的に ｆ＝ｎｒ／（ｎ−１）で表される。ここに、ｎ；
屈折率、ｒ；マイクロレンズ層の曲率である。
【０００９】従って、光の屈折率が異なると焦点距離も
異なってくる。また、固体撮像装置の小型化及び高画素
化が進むにつれて、受光部２の面積つまり遮光部３の開
口部の面積が減少してくる。このため、可視光（波長：
４００〜７００ｎｍの光）のすべてを受光部２に入射さ
せることが困難になる。
異なってくる。また、固体撮像装置の小型化及び高画素
化が進むにつれて、受光部２の面積つまり遮光部３の開
口部の面積が減少してくる。このため、可視光（波長：
４００〜７００ｎｍの光）のすべてを受光部２に入射さ
せることが困難になる。
【００１０】以下、図４に基づき前記の理由を説明す
る。すなわち、従来の固体撮像装置においては、マイク
ロレンズ層７の形状はカラーフィルター層５の色に関係
なく同一に形成されている。このため、図４に示すよう
に、グリーン光が最も効率良く受光部２に入射するよう
にマイクロレンズ層７の形状が設計されている場合に
は、グリーンのカラーフィルター層５と対応する受光部
２には光が効果的に入射するが、レッド又はブルーのカ
ラーフィルター層５と対応する受光部２には、グリーン
光と焦点距離が異なるレッド光又はブルー光のみが到達
するため、レッド又はブルーのカラーフィルター層５と
対応する受光部２には効果的に集光できないという問題
がある。
る。すなわち、従来の固体撮像装置においては、マイク
ロレンズ層７の形状はカラーフィルター層５の色に関係
なく同一に形成されている。このため、図４に示すよう
に、グリーン光が最も効率良く受光部２に入射するよう
にマイクロレンズ層７の形状が設計されている場合に
は、グリーンのカラーフィルター層５と対応する受光部
２には光が効果的に入射するが、レッド又はブルーのカ
ラーフィルター層５と対応する受光部２には、グリーン
光と焦点距離が異なるレッド光又はブルー光のみが到達
するため、レッド又はブルーのカラーフィルター層５と
対応する受光部２には効果的に集光できないという問題
がある。
【００１１】前記に鑑み、本発明は、すべての色の光が
効率良く受光部に到達できるようにすることにより、固
体撮像装置の感度及び色再現性を向上させることを目的
とする。
効率良く受光部に到達できるようにすることにより、固
体撮像装置の感度及び色再現性を向上させることを目的
とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明は、各マイクロレンズ層により集光される入
射光の焦点が対応する受光部上に形成されるようにする
ものである。
め、本発明は、各マイクロレンズ層により集光される入
射光の焦点が対応する受光部上に形成されるようにする
ものである。
【００１３】具体的に請求項１の発明が講じた解決手段
は、半導体基板上に設けられた複数の受光部と、該複数
の受光部のそれぞれに対応して設けられ入射光を対応す
る受光部に集光するためのマイクロレンズ層とを備えた
固体撮像装置を前提とし、各マイクロレンズ層の形状又
は材質は、当該マイクロレンズ層により集光される入射
光の焦点が対応する受光部上に形成されるようにそれぞ
れ設定されている構成とするものである。
は、半導体基板上に設けられた複数の受光部と、該複数
の受光部のそれぞれに対応して設けられ入射光を対応す
る受光部に集光するためのマイクロレンズ層とを備えた
固体撮像装置を前提とし、各マイクロレンズ層の形状又
は材質は、当該マイクロレンズ層により集光される入射
光の焦点が対応する受光部上に形成されるようにそれぞ
れ設定されている構成とするものである。
【００１４】また、請求項２の発明が講じた解決手段
は、半導体基板上に設けられた複数の受光部と、該複数
の受光部のそれぞれに対応して設けられ入射光を対応す
る受光部に集光するためのマイクロレンズ層とを備えた
固体撮像装置を前提とし、各マイクロレンズ層の下面か
ら対応する受光部までの距離は、当該マイクロレンズ層
により集光される入射光の焦点が対応する受光部上に形
成されるようにそれぞれ設定されている構成とするもの
である。
は、半導体基板上に設けられた複数の受光部と、該複数
の受光部のそれぞれに対応して設けられ入射光を対応す
る受光部に集光するためのマイクロレンズ層とを備えた
固体撮像装置を前提とし、各マイクロレンズ層の下面か
ら対応する受光部までの距離は、当該マイクロレンズ層
により集光される入射光の焦点が対応する受光部上に形
成されるようにそれぞれ設定されている構成とするもの
である。
【００１５】
【作用】請求項１の構成により、各マイクロレンズ層の
形状又は材質は、当該マイクロレンズ層により集光され
る入射光の焦点が対応する受光部上に形成されるように
それぞれ設定されているため、各マイクロレンズ層に入
射した光は効率的に受光部に到達する。
形状又は材質は、当該マイクロレンズ層により集光され
る入射光の焦点が対応する受光部上に形成されるように
それぞれ設定されているため、各マイクロレンズ層に入
射した光は効率的に受光部に到達する。
【００１６】請求項２の構成により、各マイクロレンズ
層の下面から対応する受光部までの距離は、当該マイク
ロレンズ層により集光される入射光の焦点が対応する受
光部上に形成されるようにそれぞれ設定されているた
め、各マイクロレンズ層に入射した光は効率的に受光部
に到達する。
層の下面から対応する受光部までの距離は、当該マイク
ロレンズ層により集光される入射光の焦点が対応する受
光部上に形成されるようにそれぞれ設定されているた
め、各マイクロレンズ層に入射した光は効率的に受光部
に到達する。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の第１の実施例について図面を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
【００１８】図１は第１の実施例に係る固体撮像装置の
断面構造を示し、図１において、１はシリコンからなる
半導体基板、２はフォトダイオードからなる受光部、３
はアルミニウムからなる遮光部、４はアクリル系透明樹
脂からなる平坦化層、５はゼラチン系樹脂からなり、所
定の色、例えばレッド、グリーン、ブルーに染色された
カラーフィルター層、６はアクリル系透明樹脂からなる
中間層、７Ａはレッドに染色されたカラーフィルター層
の上方に設けられた第１のマイクロレンズ層、７Ｂはグ
リーンに染色されたカラーフィルター層の上方に設けら
れた第２のマイクロレンズ層、７Ｃはブルーに染色され
たカラーフィルター層の上方に設けられた第３のマイク
ロレンズ層であり、第１、第２及び第３のマイクロレン
ズ層７Ａ、７Ｂ、７Ｃはいずれもフェノール系樹脂から
なる。そして、第１の実施例においては、受光部２の上
面から中間層６の上端面までの距離は６μｍに設定され
ている。
断面構造を示し、図１において、１はシリコンからなる
半導体基板、２はフォトダイオードからなる受光部、３
はアルミニウムからなる遮光部、４はアクリル系透明樹
脂からなる平坦化層、５はゼラチン系樹脂からなり、所
定の色、例えばレッド、グリーン、ブルーに染色された
カラーフィルター層、６はアクリル系透明樹脂からなる
中間層、７Ａはレッドに染色されたカラーフィルター層
の上方に設けられた第１のマイクロレンズ層、７Ｂはグ
リーンに染色されたカラーフィルター層の上方に設けら
れた第２のマイクロレンズ層、７Ｃはブルーに染色され
たカラーフィルター層の上方に設けられた第３のマイク
ロレンズ層であり、第１、第２及び第３のマイクロレン
ズ層７Ａ、７Ｂ、７Ｃはいずれもフェノール系樹脂から
なる。そして、第１の実施例においては、受光部２の上
面から中間層６の上端面までの距離は６μｍに設定され
ている。
【００１９】第１、第２及び第３のマイクロレンズ層７
Ａ，７Ｂ，７Ｃを構成するフェノール樹脂は、レッド光
の屈折率が１．５５８であり、グリーン光の屈折率が
１．５６０であり、ブルー光の屈折率が１．５６２であ
る。そこで、第１の実施例の特徴として、第１のマイク
ロレンズ層７Ａは幅が６μｍ、高さが２．５１０μｍの
球状に、第２のマイクロレンズ層７Ｂは幅が６μｍ、高
さが２．４９８μｍの球状に、第３のマイクロレンズ層
７Ｃは幅が６μｍ、高さが２．４８６μｍの球状にそれ
ぞれ形成されている。
Ａ，７Ｂ，７Ｃを構成するフェノール樹脂は、レッド光
の屈折率が１．５５８であり、グリーン光の屈折率が
１．５６０であり、ブルー光の屈折率が１．５６２であ
る。そこで、第１の実施例の特徴として、第１のマイク
ロレンズ層７Ａは幅が６μｍ、高さが２．５１０μｍの
球状に、第２のマイクロレンズ層７Ｂは幅が６μｍ、高
さが２．４９８μｍの球状に、第３のマイクロレンズ層
７Ｃは幅が６μｍ、高さが２．４８６μｍの球状にそれ
ぞれ形成されている。
【００２０】以下、前記構成の固体撮像装置の動作につ
いて説明する。
いて説明する。
【００２１】図１は、第１の実施例に係る固体撮像装置
に光が入射したときの状態を示している。
に光が入射したときの状態を示している。
【００２２】まず、受光部２の上方だけでなく遮光部３
の上方にも入射した入射光は、第１〜第３のマイクロレ
ンズ層７Ａ〜７Ｃを通って集光された後、中間層６を通
ってカラーフィルター層５に至る。そして、カラーフィ
ルター層５の色と対応する所定の波長を持つ光のみがカ
ラーフィルター層５を通過し、その後、平坦化層４を通
って受光部２に入射する。この場合、第１〜第３のマイ
クロレンズ層７Ａ〜７Ｃの高さが前記のように設定され
ているため、カラーフィルター層５を通過したそれぞれ
の光の焦点は、いずれも対応する受光部２上に形成され
る。このため、カラーフィルター層５を通過する光は効
果的に受光部２に入射するため、固体撮像装置の感度及
び色再現性が向上する。
の上方にも入射した入射光は、第１〜第３のマイクロレ
ンズ層７Ａ〜７Ｃを通って集光された後、中間層６を通
ってカラーフィルター層５に至る。そして、カラーフィ
ルター層５の色と対応する所定の波長を持つ光のみがカ
ラーフィルター層５を通過し、その後、平坦化層４を通
って受光部２に入射する。この場合、第１〜第３のマイ
クロレンズ層７Ａ〜７Ｃの高さが前記のように設定され
ているため、カラーフィルター層５を通過したそれぞれ
の光の焦点は、いずれも対応する受光部２上に形成され
る。このため、カラーフィルター層５を通過する光は効
果的に受光部２に入射するため、固体撮像装置の感度及
び色再現性が向上する。
【００２３】また、第１〜第３のマイクロレンズ層７Ａ
〜７Ｃが選択的に特定の波長の光を受光部２に入射させ
るため、これら第１〜第３のマイクロレンズ層７Ａ〜７
Ｃはカラーフィルターとしての役目も果たす。従って、
第１〜第３のマイクロレンズ層７Ａ〜７Ｃはカラーフィ
ルター層５の分光特性を補うことができ、カラーフィル
ター層５のプロセス余裕が増大する。
〜７Ｃが選択的に特定の波長の光を受光部２に入射させ
るため、これら第１〜第３のマイクロレンズ層７Ａ〜７
Ｃはカラーフィルターとしての役目も果たす。従って、
第１〜第３のマイクロレンズ層７Ａ〜７Ｃはカラーフィ
ルター層５の分光特性を補うことができ、カラーフィル
ター層５のプロセス余裕が増大する。
【００２４】以上説明したように、第１の実施例による
と、カラーフィルター層５の色と対応する所定の波長を
持つ光が効果的に受光部２に入射するので、固体撮像装
置の感度及び色再現性は向上する。
と、カラーフィルター層５の色と対応する所定の波長を
持つ光が効果的に受光部２に入射するので、固体撮像装
置の感度及び色再現性は向上する。
【００２５】以下、本発明の第２の実施例について図面
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
【００２６】図２は第２の実施例に係る固体撮像装置の
断面構造を示し、図２において、１はシリコンからなる
半導体基板、２はフォトダイオードからなる受光部、３
はアルミニウムからなる遮光部、４はアクリル系透明樹
脂からなる平坦化層、６はアクリル系透明樹脂からなる
中間層、７Ａ、７Ｂ、７Ｃはそれぞれフェノール樹脂か
らなる第１、第２及び第３のマイクロレンズ層である。
そして、第２の実施例においても、受光部２の表面から
中間層６の上端面までの距離は６μｍに設定されてい
る。
断面構造を示し、図２において、１はシリコンからなる
半導体基板、２はフォトダイオードからなる受光部、３
はアルミニウムからなる遮光部、４はアクリル系透明樹
脂からなる平坦化層、６はアクリル系透明樹脂からなる
中間層、７Ａ、７Ｂ、７Ｃはそれぞれフェノール樹脂か
らなる第１、第２及び第３のマイクロレンズ層である。
そして、第２の実施例においても、受光部２の表面から
中間層６の上端面までの距離は６μｍに設定されてい
る。
【００２７】第１、第２及び第３のマイクロレンズ層７
Ａ，７Ｂ，７Ｃを構成するフェノール樹脂は、レッド光
の屈折率が１．５５８であり、グリーン光の屈折率が
１．５６０であり、ブルー光の屈折率が１．５６２であ
る。そこで、第２の実施例においても、第１の実施例と
同様に、第１のマイクロレンズ層７Ａは幅が６μｍ、高
さが２．５１０μｍの球状に、第２のマイクロレンズ層
７Ｂは幅が６μｍ、高さが２．４９８μｍの球状に、第
３のマイクロレンズ層７Ｃは幅が６μｍ、高さが２．４
８６μｍの球状にそれぞれ形成されている。
Ａ，７Ｂ，７Ｃを構成するフェノール樹脂は、レッド光
の屈折率が１．５５８であり、グリーン光の屈折率が
１．５６０であり、ブルー光の屈折率が１．５６２であ
る。そこで、第２の実施例においても、第１の実施例と
同様に、第１のマイクロレンズ層７Ａは幅が６μｍ、高
さが２．５１０μｍの球状に、第２のマイクロレンズ層
７Ｂは幅が６μｍ、高さが２．４９８μｍの球状に、第
３のマイクロレンズ層７Ｃは幅が６μｍ、高さが２．４
８６μｍの球状にそれぞれ形成されている。
【００２８】第２の実施例の特徴として、第１の実施例
に設けられていたカラーフィルター層５が形成されてお
らず、平坦化層４の上には中間層６が形成されている。
に設けられていたカラーフィルター層５が形成されてお
らず、平坦化層４の上には中間層６が形成されている。
【００２９】以下、前記構成の固体撮像装置の動作につ
いて説明する。
いて説明する。
【００３０】図２は、第２の実施例に係る固体撮像装置
に光が入射したときの状態を示している。
に光が入射したときの状態を示している。
【００３１】まず、受光部２の上方だけでなく遮光部３
の上方にも入射した入射光は、第１〜第３のマイクロレ
ンズ層７Ａ〜７Ｃを通って集光された後、中間層６及び
平坦化層４を通って受光部２に入射する。この場合、第
１〜第３のマイクロレンズ層７Ａ〜７Ｃの高さが前記の
ように設定されているため、第１のマイクロレンズ層７
Ａを通過した光のうち、レッド光の焦点は第１のマイク
ロレンズ層７Ａ下方の受光部２に形成され、グリーン光
の焦点は第２のマイクロレンズ層７Ｂ下方の受光部２に
形成され、ブルー光の焦点は第３のマイクロレンズ層７
Ｃ下方の受光部２に形成される。従って、それぞれの受
光部２には、入射した光のうちレッド光、グリーン光又
はブルー光が選択されて入射する。
の上方にも入射した入射光は、第１〜第３のマイクロレ
ンズ層７Ａ〜７Ｃを通って集光された後、中間層６及び
平坦化層４を通って受光部２に入射する。この場合、第
１〜第３のマイクロレンズ層７Ａ〜７Ｃの高さが前記の
ように設定されているため、第１のマイクロレンズ層７
Ａを通過した光のうち、レッド光の焦点は第１のマイク
ロレンズ層７Ａ下方の受光部２に形成され、グリーン光
の焦点は第２のマイクロレンズ層７Ｂ下方の受光部２に
形成され、ブルー光の焦点は第３のマイクロレンズ層７
Ｃ下方の受光部２に形成される。従って、それぞれの受
光部２には、入射した光のうちレッド光、グリーン光又
はブルー光が選択されて入射する。
【００３２】このため、第２の実施例に係る固体撮像装
置によると、受光部２毎に色分解が可能になるので、カ
ラーフィルター層を形成しなくとも、カラー固体撮像装
置として動作させることができる。
置によると、受光部２毎に色分解が可能になるので、カ
ラーフィルター層を形成しなくとも、カラー固体撮像装
置として動作させることができる。
【００３３】なお、前記第１及び第２の実施例において
は、第１〜第３のマイクロレンズ層７Ａ〜７Ｃの高さを
変えることにより、第１〜第３のマイクロレンズ層７Ａ
〜７Ｃを通過した光の焦点が、それぞれ対応する受光部
２上に形成されるようにしたが、これに代えて、第１〜
第３のマイクロレンズ層７Ａ〜７Ｃの幅を変えることに
より、又は第１〜第３のマイクロレンズ層７Ａ〜７Ｃの
材質を変えて屈折率を変えることにより、第１〜第３の
マイクロレンズ層７Ａ〜７Ｃを通過した光の焦点が、そ
れぞれ対応する受光部２上に形成されるようにしてもよ
い。
は、第１〜第３のマイクロレンズ層７Ａ〜７Ｃの高さを
変えることにより、第１〜第３のマイクロレンズ層７Ａ
〜７Ｃを通過した光の焦点が、それぞれ対応する受光部
２上に形成されるようにしたが、これに代えて、第１〜
第３のマイクロレンズ層７Ａ〜７Ｃの幅を変えることに
より、又は第１〜第３のマイクロレンズ層７Ａ〜７Ｃの
材質を変えて屈折率を変えることにより、第１〜第３の
マイクロレンズ層７Ａ〜７Ｃを通過した光の焦点が、そ
れぞれ対応する受光部２上に形成されるようにしてもよ
い。
【００３４】また、前記第１の実施例においては、カラ
ーフィルター層５の色の波長を持つ光が効果的に受光部
２に入射するように第１〜第３のマイクロレンズ層７Ａ
〜７Ｃの形状を設計したが、逆に、第１〜第３のマイク
ロレンズ層７Ａ〜７Ｃの形状又は材質を変えることによ
り、受光部２に入射する光の光量を制御することも可能
である。これにより、色特性の制御が可能になる。
ーフィルター層５の色の波長を持つ光が効果的に受光部
２に入射するように第１〜第３のマイクロレンズ層７Ａ
〜７Ｃの形状を設計したが、逆に、第１〜第３のマイク
ロレンズ層７Ａ〜７Ｃの形状又は材質を変えることによ
り、受光部２に入射する光の光量を制御することも可能
である。これにより、色特性の制御が可能になる。
【００３５】以下、本発明の第３の実施例について図面
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
【００３６】図３は第３の実施例に係る固体撮像装置の
断面構造を示し、図３において、１はシリコンからなる
半導体基板、２はフォトダイオードからなる受光部、３
はアルミニウムからなる遮光部、４はアクリル系透明樹
脂からなる平坦化層、５はゼラチン系樹脂からなり、所
定の色、例えばレッド、グリーン、ブルーに染色された
カラーフィルター層、６Ａ、６Ｂ及び６Ｃはそれぞれア
クリル系透明樹脂からなる第１、第２及び第３の中間
層、７はフェノール系樹脂からなるマイクロレンズ層で
ある。
断面構造を示し、図３において、１はシリコンからなる
半導体基板、２はフォトダイオードからなる受光部、３
はアルミニウムからなる遮光部、４はアクリル系透明樹
脂からなる平坦化層、５はゼラチン系樹脂からなり、所
定の色、例えばレッド、グリーン、ブルーに染色された
カラーフィルター層、６Ａ、６Ｂ及び６Ｃはそれぞれア
クリル系透明樹脂からなる第１、第２及び第３の中間
層、７はフェノール系樹脂からなるマイクロレンズ層で
ある。
【００３７】第３の実施例の特徴として、第１、第２及
び第３の中間層６Ａ，６Ｂ，６Ｃの高さは、レッド、グ
リーン又はブルーに染色されたカラーフィルター層５を
通過した光の焦点が対応する受光部２上にそれぞれ形成
されるように設定されている。つまり第３の実施例にお
いては、マイクロレンズ層７の形状又は材質を変えるこ
となく、マイクロレンズ層７から受光部２までの距離を
変えることにより、各マイクロレンズ層７を通過した光
の焦点が対応する受光部２上にそれぞれ形成されるよう
にしている。
び第３の中間層６Ａ，６Ｂ，６Ｃの高さは、レッド、グ
リーン又はブルーに染色されたカラーフィルター層５を
通過した光の焦点が対応する受光部２上にそれぞれ形成
されるように設定されている。つまり第３の実施例にお
いては、マイクロレンズ層７の形状又は材質を変えるこ
となく、マイクロレンズ層７から受光部２までの距離を
変えることにより、各マイクロレンズ層７を通過した光
の焦点が対応する受光部２上にそれぞれ形成されるよう
にしている。
【００３８】このようにすることにより、第１又は第２
の実施例と同様、カラーフィルター層５の色と対応する
所定の波長を持つ光が効果的に受光部２に入射するの
で、固体撮像装置の感度及び色再現性が向上する。
の実施例と同様、カラーフィルター層５の色と対応する
所定の波長を持つ光が効果的に受光部２に入射するの
で、固体撮像装置の感度及び色再現性が向上する。
【００３９】
【発明の効果】請求項１の発明に係る固体撮像装置によ
ると、各マイクロレンズ層の形状又は材質を、当該マイ
クロレンズ層により集光される入射光の焦点が対応する
受光部上に形成されるようにそれぞれ設定したため、各
マイクロレンズ層に入射した光は効率的に受光部に到達
するので、固体撮像装置の感度及び色再現性が向上す
る。
ると、各マイクロレンズ層の形状又は材質を、当該マイ
クロレンズ層により集光される入射光の焦点が対応する
受光部上に形成されるようにそれぞれ設定したため、各
マイクロレンズ層に入射した光は効率的に受光部に到達
するので、固体撮像装置の感度及び色再現性が向上す
る。
【００４０】請求項２の発明に係る固体撮像装置による
と、各マイクロレンズ層の下面から対応する受光部まで
の距離を、当該マイクロレンズ層により集光される入射
光の焦点が対応する受光部上に形成されるようにそれぞ
れ設定したため、各マイクロレンズ層に入射した光は効
率的に受光部に到達するので、固体撮像装置の感度及び
色再現性が向上する。
と、各マイクロレンズ層の下面から対応する受光部まで
の距離を、当該マイクロレンズ層により集光される入射
光の焦点が対応する受光部上に形成されるようにそれぞ
れ設定したため、各マイクロレンズ層に入射した光は効
率的に受光部に到達するので、固体撮像装置の感度及び
色再現性が向上する。
【図１】本発明の第１の実施例に係る固体撮像装置の断
面図である。
面図である。
【図２】本発明の第２の実施例に係る固体撮像装置の断
面図である。
面図である。
【図３】本発明の第３の実施例に係る固体撮像装置の断
面図である。
面図である。
【図４】従来の固体撮像装置の断面図である。
１ 半導体基板 ２ 受光部 ３ 遮光部 ４ 平坦化層 ５ カラーフィルター層 ６ 中間層 ６Ａ 第１の中間層 ６Ｂ 第２の中間層 ６Ｃ 第３の中間層 ７ マイクロレンズ層 ７Ａ 第１のマイクロレンズ層 ７Ｂ 第２のマイクロレンズ層 ７Ｃ 第３のマイクロレンズ層
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体基板上に設けられた複数の受光部
と、該複数の受光部のそれぞれに対応して設けられ入射
光を対応する受光部上に集光するためのマイクロレンズ
層とを備えた固体撮像装置において、各マイクロレンズ
層の形状又は材質は、当該マイクロレンズ層により集光
される入射光の焦点が対応する受光部上に形成されるよ
うにそれぞれ設定されていることを特徴とする固体撮像
装置。 - 【請求項２】 半導体基板上に設けられた複数の受光部
と、該複数の受光部のそれぞれに対応して設けられ入射
光を対応する受光部上に集光するためのマイクロレンズ
層とを備えた固体撮像装置において、各マイクロレンズ
層の下面から対応する受光部までの距離は、当該マイク
ロレンズ層により集光される入射光の焦点が対応する受
光部上に形成されるようにそれぞれ設定されていること
を特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5321524A JPH07176708A (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5321524A JPH07176708A (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07176708A true JPH07176708A (ja) | 1995-07-14 |
Family
ID=18133538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5321524A Withdrawn JPH07176708A (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07176708A (ja) |
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1993
- 1993-12-21 JP JP5321524A patent/JPH07176708A/ja not_active Withdrawn
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