JPH0718442A - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
- Publication number
- JPH0718442A JPH0718442A JP5161072A JP16107293A JPH0718442A JP H0718442 A JPH0718442 A JP H0718442A JP 5161072 A JP5161072 A JP 5161072A JP 16107293 A JP16107293 A JP 16107293A JP H0718442 A JPH0718442 A JP H0718442A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- insulator
- evaporation source
- film
- radiant heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空蒸着装置の輻射加熱方式に用いられる蒸
発源のヒータ碍子は構造状破損しやすく、この破損によ
り蒸発源ヒータの断線が発生し、スプラッシュや蒸着膜
厚不良発生の要因となっていた。本発明はヒータ碍子の
機械的強度向上を図り、かかる問題を解決することを目
的としたものである。 【構成】 ヒータ碍子の形状を従来の複雑形状から円筒
形状に改良することで、ヒータ碍子の機械的強度が向上
し、且つ熱歪みによる破壊が大幅に低下し、蒸着フィル
ムの蒸着品質が向上する。
発源のヒータ碍子は構造状破損しやすく、この破損によ
り蒸発源ヒータの断線が発生し、スプラッシュや蒸着膜
厚不良発生の要因となっていた。本発明はヒータ碍子の
機械的強度向上を図り、かかる問題を解決することを目
的としたものである。 【構成】 ヒータ碍子の形状を従来の複雑形状から円筒
形状に改良することで、ヒータ碍子の機械的強度が向上
し、且つ熱歪みによる破壊が大幅に低下し、蒸着フィル
ムの蒸着品質が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フィルムコンデンサや
パッケージング用の蒸着フィルムを製造する真空蒸着装
置に関するものである。
パッケージング用の蒸着フィルムを製造する真空蒸着装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空蒸着装置の蒸発源はヒータチ
ューブの外周にヒータ及びヒータ碍子を配し遠赤外線に
よる輻射加熱により被蒸発物を加熱蒸発させる方式が用
いられている。
ューブの外周にヒータ及びヒータ碍子を配し遠赤外線に
よる輻射加熱により被蒸発物を加熱蒸発させる方式が用
いられている。
【０００３】図５は従来の輻射加熱方式の蒸発源を示す
ものであり、図５においてｂは亜鉛等の被蒸発物で８の
ルツボに収納される。６は蒸発源ヒータであり、この蒸
発源ヒータ６が複数本１組として複雑な形状のヒータ碍
子９に配され、蒸発源ヒータ６の輻射熱によりルツボ８
内の被蒸発物ｂが溶融、図示しないフィルム等に飛翔蒸
着する構成となっていた。
ものであり、図５においてｂは亜鉛等の被蒸発物で８の
ルツボに収納される。６は蒸発源ヒータであり、この蒸
発源ヒータ６が複数本１組として複雑な形状のヒータ碍
子９に配され、蒸発源ヒータ６の輻射熱によりルツボ８
内の被蒸発物ｂが溶融、図示しないフィルム等に飛翔蒸
着する構成となっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この種
の真空蒸着装置に蒸発源は、ヒータチューブの外周に配
したヒータ碍子が特に機械的強度の弱い薄肉部分で破損
しやすく、このヒータ碍子の破損により蒸発源ヒータと
ヒータチューブ等の接触により、電気的ショートサーキ
ットが発生し、蒸発源ヒータが断線し、被蒸発物が十分
に加熱出来ずスプラッシュや蒸着膜厚不良発生の要因と
なっていた。また、この従来のヒータ碍子は、円筒状の
ヒータチューブ５の外周に配置させるため、形状が複雑
で設備コストアップの要因にもなっていた。
の真空蒸着装置に蒸発源は、ヒータチューブの外周に配
したヒータ碍子が特に機械的強度の弱い薄肉部分で破損
しやすく、このヒータ碍子の破損により蒸発源ヒータと
ヒータチューブ等の接触により、電気的ショートサーキ
ットが発生し、蒸発源ヒータが断線し、被蒸発物が十分
に加熱出来ずスプラッシュや蒸着膜厚不良発生の要因と
なっていた。また、この従来のヒータ碍子は、円筒状の
ヒータチューブ５の外周に配置させるため、形状が複雑
で設備コストアップの要因にもなっていた。
【０００５】本発明は上記の問題点を解決し、ヒータ碍
子寿命の長期化、蒸着フィルムの蒸着品質の向上を目的
とする。
子寿命の長期化、蒸着フィルムの蒸着品質の向上を目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の真空蒸着装置は、ヒータ碍子形状を円筒形状
とすると共に、少なくともこのヒータ碍子および蒸発源
ヒータを含む蒸発源を一式以上配設した構成としたもの
である。
に本発明の真空蒸着装置は、ヒータ碍子形状を円筒形状
とすると共に、少なくともこのヒータ碍子および蒸発源
ヒータを含む蒸発源を一式以上配設した構成としたもの
である。
【０００７】
【作用】この構成によれば、ヒータ碍子形状を円筒状に
することでヒータ碍子の機械的強度が増し、熱収縮歪み
に対しても強い構造となり、ヒータ碍子の寿命が大幅に
延命化できることとなる。またヒータ碍子の破壊の激減
により蒸発源ヒータの断線の機会が低下し、被蒸発物の
スプラッシュや蒸着膜厚不良が低減して蒸着品質の向上
が達成されることとなる。
することでヒータ碍子の機械的強度が増し、熱収縮歪み
に対しても強い構造となり、ヒータ碍子の寿命が大幅に
延命化できることとなる。またヒータ碍子の破壊の激減
により蒸発源ヒータの断線の機会が低下し、被蒸発物の
スプラッシュや蒸着膜厚不良が低減して蒸着品質の向上
が達成されることとなる。
【０００８】
（実施例１）以下本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【０００９】図１は本発明のヒータ碍子形状を円筒状に
変更した蒸発源４の構造図である。ヒータチューブ５の
外周に蒸発源ヒータ６及びヒータ碍子７を配する構造と
なっている。ヒータチューブ５の内部には被蒸発物ｂお
よびその容器であるルツボ８を配している。蒸発源４は
主に亜鉛等の金属を真空蒸着するために遠赤外線輻射加
熱するものであり、蒸発温度にあわせ数個の蒸発源ヒー
タ６およびヒータ碍子７を設置できる構造としている。
変更した蒸発源４の構造図である。ヒータチューブ５の
外周に蒸発源ヒータ６及びヒータ碍子７を配する構造と
なっている。ヒータチューブ５の内部には被蒸発物ｂお
よびその容器であるルツボ８を配している。蒸発源４は
主に亜鉛等の金属を真空蒸着するために遠赤外線輻射加
熱するものであり、蒸発温度にあわせ数個の蒸発源ヒー
タ６およびヒータ碍子７を設置できる構造としている。
【００１０】図２は本蒸発源の断面図である。図３は本
発明の蒸発源を真空蒸着機に設置した実施例である。巻
出し部１に取り付けられたフィルム等のウエブａは搬送
ロールによりクーリングロール２に連続して搬送され
る。クーリングロール２の下部には輻射加熱方式の蒸発
源４を設置しており、フィルム等の表面に被蒸発物ｂが
蒸着されたあと巻取り部３でロール状に巻取る構造とな
っている。
発明の蒸発源を真空蒸着機に設置した実施例である。巻
出し部１に取り付けられたフィルム等のウエブａは搬送
ロールによりクーリングロール２に連続して搬送され
る。クーリングロール２の下部には輻射加熱方式の蒸発
源４を設置しており、フィルム等の表面に被蒸発物ｂが
蒸着されたあと巻取り部３でロール状に巻取る構造とな
っている。
【００１１】本発明ではヒータ碍子形状を従来の複雑形
状から円筒形状に改良することにより、ヒータ碍子の機
械的強度を向上させ、ヒータ碍子破損およびそれに伴う
蒸発源ヒータの断線を防止することができる。
状から円筒形状に改良することにより、ヒータ碍子の機
械的強度を向上させ、ヒータ碍子破損およびそれに伴う
蒸発源ヒータの断線を防止することができる。
【００１２】（実施例２）図４はフィルム等の裏表両面
に被蒸発物を蒸着する為、本発明の輻射加熱方式の蒸発
源４を２式装着した実施例である。
に被蒸発物を蒸着する為、本発明の輻射加熱方式の蒸発
源４を２式装着した実施例である。
【００１３】
【発明の効果】以上のように本発明は、ヒータ碍子をシ
ンプルで機械的強度の強い円筒状とすることによりヒー
タ碍子寿命を大幅に延命化でき、蒸着品質を向上させる
と共に安価な蒸発源を得ることが出来る。
ンプルで機械的強度の強い円筒状とすることによりヒー
タ碍子寿命を大幅に延命化でき、蒸着品質を向上させる
と共に安価な蒸発源を得ることが出来る。
【図１】本発明の一実施例における輻射加熱方式の蒸発
源の詳細図
源の詳細図
【図２】本発明の一実施例における輻射加熱方式の蒸発
源の断面図
源の断面図
【図３】本発明の第１の実施例における真空蒸着装置の
内部構造図
内部構造図
【図４】本発明の第２の実施例における両面真空蒸着装
置の内部構造図
置の内部構造図
【図５】従来の輻射加熱方式の蒸発源の詳細図
ａ フィルム等のウエブ ｂ 被蒸発物 １ 巻出し部 ２ クーリングロール ３ 巻取り部 ４ 蒸発源 ５ ヒータチューブ ６ 蒸発源ヒータ ７ ヒータ碍子 ８ ルツボ ９ 従来のヒータ碍子
Claims (3)
- 【請求項１】 真空槽内にて被蒸発物を輻射加熱方式に
より蒸発させ、フィルム等に被蒸発物を蒸着させる装置
において、上記輻射加熱方式に用いられる蒸発源ヒータ
のヒータ碍子形状を円筒形状とした事を特徴とする真空
蒸着装置。 - 【請求項２】 フィルム等に真空蒸着する為、前記蒸発
源ヒータおよびヒータ碍子をそれぞれ一個以上設けたこ
とを特徴とする請求項１記載の真空蒸着装置。 - 【請求項３】 フィルム等の裏表両面もしくは片面に真
空蒸着する為、少なくとも前記蒸発源ヒータとヒータ碍
子とからなる蒸発源を一式以上設けたことを特徴とする
請求項１記載の真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5161072A JPH0718442A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5161072A JPH0718442A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 真空蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0718442A true JPH0718442A (ja) | 1995-01-20 |
Family
ID=15728095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5161072A Pending JPH0718442A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0718442A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2339800A (en) * | 1998-07-24 | 2000-02-09 | Gen Vacuum Equip Ltd | Vacuum deposition on a moving web using a radiant heat supply |
| EP1662017A1 (de) * | 2004-11-20 | 2006-05-31 | Applied Films GmbH & Co. KG | Vorrichtung zum Verdampfen von Materialien |
| JP2018012872A (ja) * | 2016-07-22 | 2018-01-25 | マシン・テクノロジー株式会社 | 蒸発装置およびそれに用いる固定具 |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP5161072A patent/JPH0718442A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2339800A (en) * | 1998-07-24 | 2000-02-09 | Gen Vacuum Equip Ltd | Vacuum deposition on a moving web using a radiant heat supply |
| GB2339800B (en) * | 1998-07-24 | 2003-04-09 | Gen Vacuum Equipment Ltd | A vacuum process for depositing zinc sulphide and other coatings on flexible moving web |
| EP1662017A1 (de) * | 2004-11-20 | 2006-05-31 | Applied Films GmbH & Co. KG | Vorrichtung zum Verdampfen von Materialien |
| JP2006144113A (ja) * | 2004-11-20 | 2006-06-08 | Applied Films Gmbh & Co Kg | 材料を気化するための装置 |
| JP2018012872A (ja) * | 2016-07-22 | 2018-01-25 | マシン・テクノロジー株式会社 | 蒸発装置およびそれに用いる固定具 |
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