JPH07185202A

JPH07185202A - 蒸留再生装置およびこの蒸留再生装置を用いた洗浄装置

Info

Publication number: JPH07185202A
Application number: JP33556093A
Authority: JP
Inventors: Masahide Uchino; 正英内野
Original assignee: Japan Field Co Ltd
Current assignee: Japan Field Co Ltd
Priority date: 1993-12-28
Filing date: 1993-12-28
Publication date: 1995-07-25

Abstract

(57)【要約】【目的】高精度の蒸留を可能とするとともに被洗浄物
の蒸気洗浄を可能とする。また、蒸気発生槽の異常過熱
等で大量蒸気の発生があっても爆発の危険を生じない。
また、蒸気発生槽、挿入室、蒸気洗浄槽等を減圧し、低
温での蒸気発生、蒸気洗浄、被洗浄物の減圧乾燥を可能
とする。【構成】蒸気発生槽１に一端を接続した還流筒６の他
端を挿入室１３に挿入する。この挿入室１３に接続した
導出管２４を、収納タンク２３に両端を接続した循環配
管３１に交差して接続する。この循環配管３１内に冷却
凝縮液を流通循環し、導出管との接続部３３に、エゼク
ターによる吸収作用を生じさせ、導出管２４から流入す
る蒸気と冷却凝縮液を接触し凝縮する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、機械部品、電子部品、
プリント基板等の、被洗浄物の洗浄に用いた汚れた溶剤
または清浄な溶剤を蒸留再生する蒸留再生装置およびこ
の蒸留再生装置から発生する蒸気を用いて蒸気洗浄を行
う、蒸留再生装置を用いた洗浄装置に係るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、被洗浄物の洗浄に用いた溶剤を蒸
留再生する蒸留再生装置は、溶剤を加熱し、蒸発した蒸
気を冷却部等に接触させて凝縮する方法が用いられてい
る。しかし、この方法では、蒸留再生の精度を上げよう
とする場合は不充分なものであった。

【０００３】また、従来、被洗浄物の蒸気洗浄を行う蒸
気洗浄槽には、蒸気発生機構を接続しているが、この蒸
気発生機構により、洗浄蒸気の発生のみならず、高精度
の蒸留再生のための、蒸気の発生を行わせることができ
るものは存在しなかった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述のごとき
課題を解決しようとするものであって、蒸留再生の精度
を上げる事ができるとともに必要に応じて、被洗浄物の
蒸気洗浄も行う事ができるものである。また、この目的
を達する装置を小型で簡略な機構により提供しようとす
るものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は上述のごとき課
題を解決するため、溶剤を加熱し蒸気を発生させる蒸気
発生槽を設け、この蒸気発生槽に還流筒の一端を蒸気の
導入可能に接続するとともにこの還流筒の他端を内部に
挿入して挿入室を形成し、この挿入室に一端を接続した
導出管を、冷却凝縮液の収納タンクに両端を接続した循
環配管に交差して接続し、この循環配管の一部に冷却凝
縮液を流通循環する循環ポンプを設け、収納タンクと循
環配管との間で冷却凝縮液を流通循環し、導出管と循環
配管との接続部に、エゼクターによる吸収作用を生じさ
せ、この接続部で導出管から流入する蒸気と冷却凝縮液
を接触させて蒸気を凝縮して成るものである。

【０００６】また、蒸留再生装置を用いた洗浄装置は、
溶剤を加熱し蒸気を発生させる蒸気発生槽を設け、この
蒸気発生槽に還流筒の一端を蒸気の導入可能に接続する
とともにこの還流筒の他端を内部に挿入して挿入室を形
成し、この挿入室に一端を接続した導出管を、冷却凝縮
液の収納タンクに両端を接続した循環配管に交差して接
続し、この循環配管の一部に冷却凝縮液を流通循環する
循環ポンプを設け、収納タンクと循環配管との間で冷却
凝縮液を流通循環し、導出管と循環配管との接続部に、
エゼクターによる吸収作用を生じさせるとともに還流筒
に、導入開閉弁を有する蒸気導入管を介して蒸気洗浄槽
を接続して成るものである。

【０００７】また、挿入室は、蒸気導出弁を有する蒸気
導出管を介して蒸気洗浄槽と接続したものであっても良
い。

【０００８】また、還流筒の上端は、上端開口を一定の
蒸気圧により開口する蓋体により被覆したものであって
も良い。

【０００９】また、還流筒の上端は、上端開口を蓋体に
より被覆せず、内部に気液接触用の充填物を充填したも
のであっても良い。

【００１０】また、収納タンクは、凝縮液中に被洗浄物
を挿入し浸漬洗浄を行うものであっても良い。

【００１１】また、挿入室、蒸気発生槽および蒸気洗浄
槽は、接続部のエゼクター吸引により、内部を減圧する
ものであっても良い。

【００１２】

【作用】本発明は上述のごとく構成したものであるか
ら、蒸留再生装置として使用するには、挿入室と蒸気発
生槽とを接続する蒸気導入管の導入開閉弁、及び蒸気洗
浄槽と挿入室とを接続する蒸気導出弁を閉止し、蒸気発
生槽に溶剤を充填する。そして、この溶剤を加熱して蒸
気を発生させる。この蒸気は、挿入室の還流筒に流入す
る。

【００１３】この還流筒は蒸気温度よりも遥かに低い温
度の外気と接触しているから、この外気によって冷却さ
れ、内部に流入した蒸気の一部を凝縮し加熱槽に還流
し、この還流操作により高精度の蒸留を可能とする。

【００１４】また、還流筒内で凝縮しきれなかった蒸気
は、上端開口から挿入室内に流入し、外気で冷却されて
いる挿入室で更に一部が凝縮する。この挿入室は、導出
管を介して循環配管に接続しているから、還流筒で凝縮
できなかった蒸気は循環配管内で凝縮される。

【００１５】即ち、収納タンクは冷却凝縮液を収納し、
この収納タンクに両端を接続した循環配管は導出管を交
差方向に接続しているから、この循環配管の一部に設け
た循環ポンプを作動すれば、冷却凝縮液は循環配管内を
流通循環する。この流通循環により、導出管と循環配管
との接続部に、エゼクターによる吸収作用を生じさせ、
この接続部で導出管から流入する蒸気と冷却凝縮液を接
触させて蒸気を凝縮する事ができる。

【００１６】また、このエゼクター作用により挿入室内
は減圧され、この減圧は還流筒を介して蒸気発生槽内を
減圧するから、溶剤を低い温度で沸騰し蒸気を発生する
ことができる。そのため、使用エネルギーが少なく経済
的であると共に引火性の強い溶剤の場合も低い温度で蒸
気を作れるから、比較的安全な蒸気発生を可能とする。

【００１７】次に、蒸気洗浄槽を用いて蒸気洗浄を行う
には、蒸気洗浄槽に被洗浄物を収納した後、蒸気洗浄槽
と蒸気発生槽及び挿入室とを接続する配管の導入開閉弁
および蒸気導出弁を開放する。この導入開閉弁および蒸
気導出弁の開放により、蒸気洗浄槽に蒸気が送られ被洗
浄物と蒸気が接触し、被洗浄物の表面で凝縮を生じるこ
とにより、被洗浄物の蒸気洗浄が可能となる。

【００１８】この場合、還流筒の上端開口には蓋体を被
覆し、挿入室への蒸気の流入を防止し、蒸気洗浄槽への
蒸気の流入を可能としている。この場合、蒸気発生槽の
異常過熱により大量の蒸気が発生し爆発の危険が生じた
ときは、その蒸気圧力により蓋体を開放し、挿入室に蒸
気を流入し、この蒸気を接続部のエゼクター作用により
吸引して凝縮することにより、圧力上昇を防止する。

【００１９】また、上記の蒸気洗浄を行う場合の溶剤
は、被洗浄物のシャワー洗浄、浸漬洗浄等に使用した汚
液を蒸気発生槽に充填して用いる事により、蒸気発生と
汚液の蒸留再生を可能とする。また、蒸留再生を行わ
ず、蒸気洗浄のみを行う場合には、溶剤に汚液を用い
ず、未使用または蒸留再生した清浄な溶剤を用いるもの
としてもよい。

【００２０】また、蒸気発生槽、蒸気洗浄槽等を減圧
し、低温での蒸気発生と蒸気洗浄を行う場合には、これ
らの槽内を減圧することにより可能となる。この減圧
は、循環ポンプを作動しエゼクター作用により凝縮液導
出管に吸引作用を生じさせれば、挿入室に蒸気発生槽
と、必要に応じて蒸気洗浄槽を接続することにより、低
温での蒸気発生と蒸気洗浄を可能とする。

【００２１】また、蒸気洗浄槽を減圧することにより、
蒸気洗浄の完了した被洗浄物の乾燥を迅速に行うことが
可能となる。この、乾燥を行う場合には、還流筒の上端
に蓋体を被覆し、蒸気発生槽と挿入室との連通を遮断す
ると共に蒸気発生槽と蒸気洗浄槽との連通を遮断する。
そして、挿入室と蒸気洗浄槽とを連通状態として、減圧
を行えば蒸気洗浄槽内の被洗浄物の乾燥を迅速に行うこ
とができるものとなる。

【００２２】

【実施例】以下本発明の一実施例を図１に於いて説明す
れば、(１)は蒸気発生槽で、導入配管(２)を接続し、こ
の導入配管(２)に溶剤導入管(３)を接続して溶剤(４)の
導入を可能としている。また、蒸気発生槽(１)は内部に
加熱ヒーター(５)を設置し、溶剤(４)を加熱して蒸気を
発生する。この加熱ヒーター(５)は、電気、過熱蒸気等
を熱源としている。

【００２３】また、蒸気発生槽(１)には、蒸気発生槽
(１)と接続し蒸気を導入する還流筒(６)を接続してい
る。この還流筒(６)内には、気液接触用の充填物(７)を
充填するとともに上端開口(８)に、一定圧で開放可能な
重量の蓋体(１０)を、非固定状態で載置している。しか
し、この蓋体(１０)は蒸気洗浄槽(１１)で蒸気洗浄を行
う場合に使用し、蒸留再生作業のみを行う場合には使用
せず、還流筒(６)の上端は開放状態とするものである。
また、上記の還流筒(６)は、放熱用のフィン(１２)を外
周に突出するとともに挿入室(１３)の内部に上端を挿入
している。

【００２４】また、挿入室(１３)と蒸気発生槽(１)との
間の還流筒(６)に、導入開閉弁(１４)を有する蒸気導入
管(１５)を介して蒸気洗浄槽(１１)を接続している。こ
の蒸気洗浄槽(１１)は、被洗浄物(１６)を挿入して蒸気
洗浄を行うもので、凝縮液化した凝縮液(２２)を導出す
る液導出管(１７)を下底に設け、導出弁(１８)を介して
蒸気発生槽(１)に接続している。また、蒸気洗浄槽(１
１)は、発条(２５)等で密閉方向に付勢した密閉蓋体(２
６)を、被洗浄物の密閉蓋体(２７)に開閉可能に形成し
ている。

【００２５】また、蒸気洗浄槽(１１)内で被洗浄物(１
６)と接触しながら凝縮できなかった蒸気を、挿入室(１
３)に流入するための蒸気導出管(２８)を、挿入室(１
３)と蒸気洗浄槽(１１)との間に蒸気導出弁(２１)を介
して接続している。また、挿入室(１３)には、凝縮液
(２２)を収納するための収納タンク(２３)を導出管(２
４)を介して接続している。

【００２６】また、この収納タンク(２３)は、内部に冷
却コイル等の冷却部(３０)を形成し、冷却した凝縮液
(２２)を、循環配管(２８)内を循環できる量だけ予め充
填しておく。また、この収納タンク(２３)は凝縮液(２
２)の収納タンク(２３)として使用するが、被洗浄物(１
６)の浸漬洗浄にも用いるものである。

【００２７】また、凝縮液(２２)の収納タンク(２３)に
は、両端を収納タンク(２３)に接続する循環配管(３１)
を設け、この循環配管(３１)の一部に循環ポンプ(３２)
を設けている。そして、この循環配管(３１)に、挿入室
(１３)内と直通する導出管(２４)を交差方向の略直角に
接続し、この接続部(３３)にエゼクターによる蒸気の吸
引作用を生じさせる事により、挿入室(１３)内を減圧す
るものである。

【００２８】また、この収納タンク(２３)は１個だけ設
けてもよいが、浸漬洗浄を高度に行おうとする場合には
複数個の補助収納タンク(３４)を設け、この複数個の補
助収納タンク(３４)に被洗浄物(１６)を順次浸漬する事
により高精度の浸漬洗浄を可能とする。一実施例では、
１個の補助収納タンク(３４)を設け、この補助収納タン
ク(３４)を１次洗浄に用い、接続部(３３)に近い収納タ
ンク(２３)を仕上げ洗浄として用いるものである。

【００２９】上述のごとく構成したものに於いて、本発
明を蒸留再生装置として使用するには、まず、蒸気洗浄
槽(１１)に接続する挿入室(１３)と蒸気発生槽(１)との
連通を、導入開閉弁(１４)、蒸気導出弁(２１)、導出弁
(１８)を閉止して遮断し、蒸気発生槽(１)に溶剤(４)を
充填する。また、還流筒(６)の上端は開放し、蓋体(１
０)による閉止は行わない。

【００３０】そして、溶剤(４)を加熱ヒーター(５)によ
り加熱して蒸気を発生させる。この蒸気は、還流筒(６)
に流入する。この還流筒(６)は、蒸気よりも温度の低い
外気と接触し放熱用のフィン(１２)を設けているから、
蒸気を冷却してその一部を凝縮する。そして、この凝縮
液(２２)を蒸気発生槽(１)に還流し、蒸気発生槽(１)か
ら上昇する蒸気と向流し、充填物(７)を介して蒸気と凝
縮液(２２)は気液接触を生じ、この還流により高精度の
蒸留を可能とする。

【００３１】また、還流筒(６)内で凝縮しきれなかった
蒸気は、挿入室(１３)内に流入して外気によって冷却さ
れた挿入室(１３)内でその一部を凝縮液化する。この凝
縮により生じた凝縮液(２２)と、凝縮液化されていない
多くの蒸気とは、導出管(２４)から接続部(３３)を介し
て凝縮液(２２)の収納タンク(２３)に流入する。そし
て、還流筒(６)でも挿入室(１３)でも凝縮できなかった
蒸気は、循環配管(３１)内で凝縮される。

【００３２】即ち、収納タンク(２３)は冷却部(３０)で
冷却した凝縮液(２２)を収納し、この収納タンク(２３)
に両端を接続した循環配管(３１)は、導出管(２４)を直
角な交差方向に接続している。そのため、この循環配管
(３１)の一部に設けた循環ポンプ(３２)を作動すれば、
冷却した凝縮液(２２)は循環配管(３１)内を流通循環す
る。この流通循環により、導出管(２４)と循環配管(３
１)との接続部(３３)に、エゼクターによる吸収作用を
生じさせる。この接続部(３３)で、導出管(２４)から流
入する蒸気と冷却した凝縮液(２２)を接触させて蒸気を
凝縮する事ができる。

【００３３】また、収納タンク(２３)は、凝縮液(２２)
の収納だけでなく内部に被洗浄物を挿入して浸漬すれ
ば、浸漬洗浄を行う事ができる。そして、浸漬洗浄を行
う場合の収納タンクは１個でも良いが、２個以上の複数
の収納タンクを使用し、補助収納タンク(３４)としても
良い。この複数の収納タンクを用いる場合には、接続部
(３３)、即ち凝縮液(２２)の導入方向に近い方を仕上げ
洗浄に用いると良い。

【００３４】また、循環配管(３１)の一部に設置した循
環ポンプ(３２)の作動を継続すれば、挿入室(１３)内の
蒸気を吸引し、挿入室(１３)内を減圧することができ
る。この減圧により、挿入室(１３)と連通する蒸気発生
槽(１)内も減圧され、大気圧中での沸点よりも低い温度
で溶剤(４)を蒸気化できるから、可燃性の溶剤の場合に
も、比較的安全な蒸気発生を可能とする。

【００３５】次に、蒸気洗浄槽(１１)を用いて蒸気洗浄
を行うには、密閉蓋体(２６)を開放して蒸気洗浄槽(１
１)に被洗浄物(１６)を収納した後、密閉蓋体(２６)を
閉止密閉する。そして、導入開閉弁(１４)、蒸気導出弁
(２１)、導出弁(１８)を開放し、蒸気洗浄槽(１１)と、
蒸気発生槽(１)及び挿入室(１３)とを接続すする。これ
らの弁の開放により、蒸気洗浄槽(１１)に蒸気が送ら
れ、被洗浄物(１６)と蒸気が蒸気洗浄槽(１１)内で接触
し、被洗浄物(１６)の表面で凝縮を生じることにより、
被洗浄物(１６)の蒸気洗浄が可能となる。

【００３６】この場合、還流筒(６)の上端開口(８)に
は、一定の蒸気圧以上で開口される重量の蓋体(１０)を
載置することにより、挿入室(１３)内への蒸気の流入を
防止しているから、蒸気洗浄槽(１１)への蒸気の流入を
可能する。また、蒸気発生槽(１)の異常過熱等により、
大量の蒸気が異常発生し爆発の危険が生じたときは、そ
の異常な高圧蒸気により蓋体(１０)を開放し、挿入室
(１３)内から接続部(３３)に蒸気を流入して凝縮し、装
置内部の危険な圧力上昇を防止することができる。

【００３７】また、前述の如く、蒸気発生槽(１)、挿入
室(１３)を減圧すれば、これらと連通接続している蒸気
洗浄槽(１１)内も減圧し、低温での蒸気発生と蒸気洗浄
を行うことを可能とする。この減圧は、低温での蒸気発
生と蒸気洗浄を可能とするから、耐熱性の低い樹脂製の
被洗浄物(１６)でも、高沸点の溶剤による蒸気洗浄が可
能となる。

【００３８】また、蒸気洗浄槽(１１)内を減圧すること
により、蒸気洗浄の完了した被洗浄物(１６)の乾燥を迅
速に行うことが可能となる。この、乾燥を行う場合に
は、還流筒(６)の上端に蓋体(１０)を被覆し、蒸気発生
槽(１)と挿入室(１３)との連通を遮断すると共に導入開
閉弁(１４)を閉止し、蒸気発生槽(１)と蒸気洗浄槽(１
１)との連通を遮断する。そして、挿入室(１３)と蒸気
洗浄槽(１１)とを連通状態として、減圧を行えば蒸気洗
浄槽(１１)内の被洗浄物(１６)の乾燥を迅速に行うこと
ができるものとなる。

【００３９】

【発明の効果】本発明は上述のごとく構成したものであ
るから、蒸留再生装置としては還流筒を設ける事により
高精度の蒸留を可能とする。また、この還流筒は挿入室
の中に一端を挿入して設けているから、装置を小型化す
ることができる。

【００４０】また、還流筒は、上端開口を蓋体で被覆す
れば、挿入室への蒸気の流入を防止し蒸気洗浄槽に蒸気
を導くことにより、蒸気洗浄を行うことができる。ま
た、この蓋体は、蒸気発生槽の異常過熱により大量の蒸
気が発生し爆発の危険が生じたときは、その蒸気圧力に
より蓋体を開放し、凝縮室に蒸気を流入して凝縮するこ
とにより、圧力上昇を防止することができる。

【００４１】また、蒸気発生槽、挿入室、蒸気洗浄槽等
を接続部の吸引によって減圧し、低温での蒸気発生と蒸
気洗浄を可能とする。また、蒸気洗浄槽を減圧すること
により、蒸気洗浄の完了した被洗浄物の乾燥を迅速に行
うことが可能となる。

【００４２】また、蒸気の凝縮を、特別の冷却機構を設
ける事なく、冷却凝縮液と接触させることにより凝縮す
るものであるから、凝縮槽が不要となり機構を簡略化し
て廉価な装置を得ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施例の断面図である。

【符号の説明】

１蒸気発生槽４溶剤６還流筒７充填物８上端開口１０蓋体１１蒸気洗浄槽１３挿入室１４導入開閉弁１５蒸気導入管１６被洗浄物２１蒸気導出弁２２凝縮液２３収納タンク２４導出管２８蒸気導出管３１循環配管３２循環ポンプ３３接続部

【手続補正書】

【提出日】平成７年３月１４日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項４

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２２】

【実施例】以下本発明の一実施例を図１に於いて説明
すれば、(１)は蒸気発生槽で、導入配管(２)を接続し、
この導入配管(２)に溶剤導入管(３)を接続して溶剤(４)
の導入を可能としている。また、蒸気発生槽(１)は内部
に加熱ヒーター(５)を設置し、溶剤(４)を加熱して蒸気
を発生する。この加熱ヒーター(５)は、電気、加熱蒸気
等を熱源としている。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３５】次に、蒸気洗浄槽(１１)を用いて蒸気洗
浄を行うには、密閉蓋体(２６)を開放して蒸気洗浄槽
(１１)に被洗浄物(１６)を収納した後、密閉蓋体(２６)
を閉止密閉する。そして、導入開閉弁(１４)、蒸気導出
弁(２１)、導出弁(１８)を開放し、蒸気洗浄槽(１１)
と、蒸気発生槽(１)及び挿入室(１３)とを接続する。こ
れらの弁の開放により、蒸気洗浄槽(１１)に蒸気が送ら
れ、被洗浄物(１６)と蒸気が蒸気洗浄槽(１１)内で接触
し、被洗浄物(１６)の表面で凝縮を生じることにより、
被洗浄物(１６)の蒸気洗浄が可能となる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】溶剤を加熱し蒸気を発生させる蒸気発生
槽を設け、この蒸気発生槽に還流筒の一端を蒸気の導入
可能に接続するとともにこの還流筒の他端を内部に挿入
して挿入室を形成し、この挿入室に一端を接続した導出
管を、冷却凝縮液の収納タンクに両端を接続した循環配
管に交差して接続し、この循環配管の一部に冷却凝縮液
を流通循環する循環ポンプを設け、収納タンクと循環配
管との間で冷却凝縮液を流通循環し、導出管と循環配管
との接続部に、エゼクターによる吸収作用を生じさせ、
この接続部で導出管から流入する蒸気と冷却凝縮液を接
触させて蒸気を凝縮する事を特徴とする蒸留再生装置。
【請求項２】溶剤を加熱し蒸気を発生させる蒸気発生
槽を設け、この蒸気発生槽に還流筒の一端を蒸気の導入
可能に接続するとともにこの還流筒の他端を内部に挿入
して挿入室を形成し、この挿入室に一端を接続した導出
管を、冷却凝縮液の収納タンクに両端を接続した循環配
管に交差して接続し、この循環配管の一部に冷却凝縮液
を流通循環する循環ポンプを設け、収納タンクと循環配
管との間で冷却凝縮液を流通循環し、導出管と循環配管
との接続部に、エゼクターによる吸収作用を生じさせる
とともに還流筒に、導入開閉弁を有する蒸気導入管を介
して蒸気洗浄槽を接続した事を特徴とする蒸留再生装置
を用いた洗浄装置。
【請求項３】挿入室は、蒸気導出弁を有する蒸気導出
管を介して蒸気洗浄槽と接続した事を特徴とする請求項
２の蒸留再生装置を用いた洗浄装置。
【請求項４】還流筒の上端には、上端開口を一定の蒸
気圧により開口する蓋体により被覆したものであるる事
を特徴とする請求項２の蒸留再生装置を用いた洗浄装
置。
【請求項５】還流筒の上端には、上端開口を蓋体によ
り被覆せず、内部に気液接触用の充填物を充填したもの
である事を特徴とする請求項１の蒸留再生装置。
【請求項６】収納タンクは、凝縮液中に被洗浄物を挿
入し浸漬洗浄を行うものである事を特徴とする請求項２
の蒸留再生装置を用いた洗浄装置。
【請求項７】挿入室および蒸気発生槽は、接続部のエ
ゼクター吸引により、内部を減圧するものである事を特
徴とする請求項１の蒸留再生装置。
【請求項８】挿入室、蒸気発生槽および蒸気洗浄槽
は、接続部のエゼクター吸引により、内部を減圧するも
のである事を特徴とする請求項２の蒸留再生装置を用い
た洗浄装置。