JPH07185256A - 排ガスの乾式吸着処理方法及び装置 - Google Patents
排ガスの乾式吸着処理方法及び装置Info
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- JPH07185256A JPH07185256A JP5347165A JP34716593A JPH07185256A JP H07185256 A JPH07185256 A JP H07185256A JP 5347165 A JP5347165 A JP 5347165A JP 34716593 A JP34716593 A JP 34716593A JP H07185256 A JPH07185256 A JP H07185256A
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Landscapes
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- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高価な検知機や定期校正の手間がいらず、吸
着剤を１００％活用することができ、かつ安全に半導体
や液晶の製造装置から排出される排ガスの処理ができる
乾式吸着処理方法及び装置を提供する。 【構成】 排ガス中の有害物質を吸着剤により除害する
乾式吸着処理方法において、該吸着剤を備えた２基の反
応槽１、２を流路変更可能８〜１２に且つ直列に連結
し、後段の反応槽２重量を測定４することにより前段の
反応槽１の破過を検知６して、破過検知時には該前段の
反応槽１を更新するとともに、前記後段の反応槽２と前
段の反応槽１の被処理ガス通過順序が逆となるようにガ
スの流路を変更８〜１２して処理するものである。
着剤を１００％活用することができ、かつ安全に半導体
や液晶の製造装置から排出される排ガスの処理ができる
乾式吸着処理方法及び装置を提供する。 【構成】 排ガス中の有害物質を吸着剤により除害する
乾式吸着処理方法において、該吸着剤を備えた２基の反
応槽１、２を流路変更可能８〜１２に且つ直列に連結
し、後段の反応槽２重量を測定４することにより前段の
反応槽１の破過を検知６して、破過検知時には該前段の
反応槽１を更新するとともに、前記後段の反応槽２と前
段の反応槽１の被処理ガス通過順序が逆となるようにガ
スの流路を変更８〜１２して処理するものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、排ガスの乾式吸着処理
に係り、特に吸着量を重量として検知する半導体や液晶
の製造排ガスの乾式吸着処理方法及び装置に関する。
に係り、特に吸着量を重量として検知する半導体や液晶
の製造排ガスの乾式吸着処理方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体や液晶の製造装置から排出
されるガス中の有害成分（例えばＣｌ 2 、ＨＣｌ、Ｓｉ
Ｃｌ4 、ＡｌＣｌ3 、ＢＣｌ3 、Ｈ3 ＢＯ3 、Ｆ2 、Ｈ
Ｆ、ＳｉＦ4 、ＡｌＦ3 、ＨＢｒ3 、Ｂｒ2 、ＢＣ
ｌ3 、ＢＦ3 、ＢＢｒ3 、ＴＥＯＳ、ＳｉＨ4 、Ｓｉ2
Ｈ6 、ＳｉＨ2 Ｃｌ2 、ＮＨ3 、ＮＯ2 、ＮＯ等）を活
性炭、金属酸化物、合成ゼオライト、アルカリ金属等の
吸着剤を用いて除去する排ガスの乾式吸着処理におい
て、吸着処理の終点、即ち吸着剤の破過点は、有害成分
の漏出を検知する方法、あるいは、吸着剤の吸着量を検
知する方法によりもとめられている。
されるガス中の有害成分（例えばＣｌ 2 、ＨＣｌ、Ｓｉ
Ｃｌ4 、ＡｌＣｌ3 、ＢＣｌ3 、Ｈ3 ＢＯ3 、Ｆ2 、Ｈ
Ｆ、ＳｉＦ4 、ＡｌＦ3 、ＨＢｒ3 、Ｂｒ2 、ＢＣ
ｌ3 、ＢＦ3 、ＢＢｒ3 、ＴＥＯＳ、ＳｉＨ4 、Ｓｉ2
Ｈ6 、ＳｉＨ2 Ｃｌ2 、ＮＨ3 、ＮＯ2 、ＮＯ等）を活
性炭、金属酸化物、合成ゼオライト、アルカリ金属等の
吸着剤を用いて除去する排ガスの乾式吸着処理におい
て、吸着処理の終点、即ち吸着剤の破過点は、有害成分
の漏出を検知する方法、あるいは、吸着剤の吸着量を検
知する方法によりもとめられている。
【０００３】有害成分の漏出を検知する方法は、有害成
分そのもの又は有害成分の存在を示唆する物質を検知器
により検知するもので、反応槽の後段に設置すれば正確
な吸着剤の破過検知が行える。検知器としては、ガス検
知器や色検知器があるが、ガス検知器はイニシャルコス
トや定期校正のコストがかかり、色検知器は排ガス中の
混在成分の影響を受けやすく、信頼性に欠けるうらみが
ある。また、このような方法は、微量とはいえ有害成分
の漏出を待って検知するため安全性に問題がある。
分そのもの又は有害成分の存在を示唆する物質を検知器
により検知するもので、反応槽の後段に設置すれば正確
な吸着剤の破過検知が行える。検知器としては、ガス検
知器や色検知器があるが、ガス検知器はイニシャルコス
トや定期校正のコストがかかり、色検知器は排ガス中の
混在成分の影響を受けやすく、信頼性に欠けるうらみが
ある。また、このような方法は、微量とはいえ有害成分
の漏出を待って検知するため安全性に問題がある。
【０００４】吸着剤の吸着量を検知する方法は、ロード
セル（ひずみ秤）のような重量計測手段により反応槽全
体の重量を計測し、所定の重量値を超えた場合に吸着剤
あるいは反応槽の変換をするものである。この方法は、
イニシャルコストが安く、定期校正のコストもいらない
上、有害成分の吸着量を連続して計測できるという利点
がある。しかしながら、微少な重量変化を正確に測定す
る事が難しいため、所定の重量を吸着剤の予想破過点と
想定し、更にこの方法は、単一の反応槽を持つ処理装置
に多く用いられていることから、安全のため、例えば、
該所定重量−０．５ｋｇ程度の重量値を吸着剤あるいは
反応槽の交換時期の目安としていた。
セル（ひずみ秤）のような重量計測手段により反応槽全
体の重量を計測し、所定の重量値を超えた場合に吸着剤
あるいは反応槽の変換をするものである。この方法は、
イニシャルコストが安く、定期校正のコストもいらない
上、有害成分の吸着量を連続して計測できるという利点
がある。しかしながら、微少な重量変化を正確に測定す
る事が難しいため、所定の重量を吸着剤の予想破過点と
想定し、更にこの方法は、単一の反応槽を持つ処理装置
に多く用いられていることから、安全のため、例えば、
該所定重量−０．５ｋｇ程度の重量値を吸着剤あるいは
反応槽の交換時期の目安としていた。
【０００５】吸着剤の破過点とは処理の対象となる排ガ
スのリーク量がＴＬＶ値になる点とされている。ここで
Ｃｌ2 を例とすると、そのＴＬＶ値は０．５ｐｐｍであ
る。通常の処理条件であるガス量１５ＳＬＭにおいて、
ＴＬＶ値０．５ｐｐｍは１５×０．５／１０6 ×７１／
２２．４＝２３．８×１０-6ｇ＝０．０２３８ｍｇに過
ぎない。実用上このような微少な重量変化を検知するこ
とは不可能に近い。一方、流入する排ガスの濃度は０〜
数％の範囲を短時間で変化しており、破過すれば排ガス
のリークは速やかにおこる。従って重量計測手段によ
り、ガス検知機に替えることはできない。
スのリーク量がＴＬＶ値になる点とされている。ここで
Ｃｌ2 を例とすると、そのＴＬＶ値は０．５ｐｐｍであ
る。通常の処理条件であるガス量１５ＳＬＭにおいて、
ＴＬＶ値０．５ｐｐｍは１５×０．５／１０6 ×７１／
２２．４＝２３．８×１０-6ｇ＝０．０２３８ｍｇに過
ぎない。実用上このような微少な重量変化を検知するこ
とは不可能に近い。一方、流入する排ガスの濃度は０〜
数％の範囲を短時間で変化しており、破過すれば排ガス
のリークは速やかにおこる。従って重量計測手段によ
り、ガス検知機に替えることはできない。
【０００６】実際は、上記の条件ならば、容量５０リッ
トルの反応槽の重量６５ｋｇ、ガス吸着量７ｋｇとして
交換時重量７２ｋｇといったレベルの計測によってい
る。図４にこの方法の考え方を示したが、予想破過点Ｗ
B の前に交換重量ＷS を設定するものである。また、排
ガスを生じるプロセス装置、例えばエッチング装置にお
いては、運転中に排ガスのリークがあっても、そのロッ
トの処理が終わるまでは運転を停止できないという事情
もある。従って、反応槽中の吸着能力に余裕がある状態
で変換することとなり、吸着剤を１００％活用すること
ができなかった。
トルの反応槽の重量６５ｋｇ、ガス吸着量７ｋｇとして
交換時重量７２ｋｇといったレベルの計測によってい
る。図４にこの方法の考え方を示したが、予想破過点Ｗ
B の前に交換重量ＷS を設定するものである。また、排
ガスを生じるプロセス装置、例えばエッチング装置にお
いては、運転中に排ガスのリークがあっても、そのロッ
トの処理が終わるまでは運転を停止できないという事情
もある。従って、反応槽中の吸着能力に余裕がある状態
で変換することとなり、吸着剤を１００％活用すること
ができなかった。
【０００７】近年、複数の反応槽を用いる装置が開発さ
れている。例えば、特願平４−２２４５４３号等に安全
上の対応として補助的な反応槽を主反応槽の後段に設け
られたものの例がある。しかし、後段の反応槽は主反応
槽の５／１００程度の小容積とされることが多く、更に
重量による破過の検知はより困難となる。従って安全上
の対応や、切り換え時用の予備機として使用されるにと
どまり、複数の反応槽を主反応槽としてシリーズに排ガ
スを通過させる装置、ならびにその運転方法は知られて
いない。
れている。例えば、特願平４−２２４５４３号等に安全
上の対応として補助的な反応槽を主反応槽の後段に設け
られたものの例がある。しかし、後段の反応槽は主反応
槽の５／１００程度の小容積とされることが多く、更に
重量による破過の検知はより困難となる。従って安全上
の対応や、切り換え時用の予備機として使用されるにと
どまり、複数の反応槽を主反応槽としてシリーズに排ガ
スを通過させる装置、ならびにその運転方法は知られて
いない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来技
術の問題点を解消し、高価な検知機や定期校正の手間が
いらず、吸着剤を１００％活用することができ、且つ安
全に半導体や液晶の製造装置から排出される排ガスの処
理ができる乾式吸着処理方法及び処理装置を提供するこ
とを課題とする。
術の問題点を解消し、高価な検知機や定期校正の手間が
いらず、吸着剤を１００％活用することができ、且つ安
全に半導体や液晶の製造装置から排出される排ガスの処
理ができる乾式吸着処理方法及び処理装置を提供するこ
とを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明では、排ガス中の有害物質を吸着剤により除
害する乾式吸着処理方法において、該吸着剤を備えた２
基の反応槽を流路変更可能に且つ直列に連結し、後段の
反応槽重量を測定することにより前段の反応槽の破過を
検知して、破過検知時には該前段の反応槽を更新すると
ともに、前記後段の反応槽と前段の反応槽の被処理ガス
通過順序が逆となるようにガスの流路を変更して処理す
ることとしたものである。
に、本発明では、排ガス中の有害物質を吸着剤により除
害する乾式吸着処理方法において、該吸着剤を備えた２
基の反応槽を流路変更可能に且つ直列に連結し、後段の
反応槽重量を測定することにより前段の反応槽の破過を
検知して、破過検知時には該前段の反応槽を更新すると
ともに、前記後段の反応槽と前段の反応槽の被処理ガス
通過順序が逆となるようにガスの流路を変更して処理す
ることとしたものである。
【００１０】また、本発明では、排ガス中の有害物質を
吸着剤により除害する乾式吸着処理装置において、該吸
着剤を備えた２基の反応槽と、第１の反応槽へ排ガスを
導く配管と、第２の反応槽へ排ガスを導く配管と、第１
の反応槽から第２の反応槽へガスを導く配管と、第２の
反応槽から第１の反応槽へガスを導く配管と、第１の反
応槽から処理ガスを系外へ導く配管と、第２の反応槽か
ら処理ガスを系外へ導く配管と、第１の反応槽からの流
出ガス流を第２の反応槽又は系外に切り替え分配する弁
と、第２の反応槽からの流出ガス流を第１の反応槽又は
系外に切り替え分配する弁とを配備し、２基の反応槽を
流路変更可能かつ直列に連絡するとともに、前記２基の
反応槽に各々少なくとも該反応槽の重量を計測する重量
計測装置を付設したものである。前記処理装置におい
て、２基の反応槽は、吸着剤層を空間部を介して複数段
備えたものであるのがよい。
吸着剤により除害する乾式吸着処理装置において、該吸
着剤を備えた２基の反応槽と、第１の反応槽へ排ガスを
導く配管と、第２の反応槽へ排ガスを導く配管と、第１
の反応槽から第２の反応槽へガスを導く配管と、第２の
反応槽から第１の反応槽へガスを導く配管と、第１の反
応槽から処理ガスを系外へ導く配管と、第２の反応槽か
ら処理ガスを系外へ導く配管と、第１の反応槽からの流
出ガス流を第２の反応槽又は系外に切り替え分配する弁
と、第２の反応槽からの流出ガス流を第１の反応槽又は
系外に切り替え分配する弁とを配備し、２基の反応槽を
流路変更可能かつ直列に連絡するとともに、前記２基の
反応槽に各々少なくとも該反応槽の重量を計測する重量
計測装置を付設したものである。前記処理装置におい
て、２基の反応槽は、吸着剤層を空間部を介して複数段
備えたものであるのがよい。
【００１１】本発明は、吸着反応が反応槽の入り口の吸
着剤から順に進行するという特性に基づき、複数の反応
槽を直列に設置し、前段の反応槽の破過を後段の反応槽
へのガスのリークにより検知することを要点とする。こ
れにより、前段の反応槽の吸着剤を１００％活用し、破
過確認と交換を行うことができる。また、後段の反応槽
により安全を確保されているので、シビアなガス検知が
不要であり、ロードセル等による重量変化による方法が
適用でき、ガス検知のための高価な測定機やそのメンテ
ナンスがいらない。さらに反応槽は前段後段の順を交互
に入れ替えるため、いずれかの反応槽を予備的なものと
することなく吸着剤を１００％活用できる。
着剤から順に進行するという特性に基づき、複数の反応
槽を直列に設置し、前段の反応槽の破過を後段の反応槽
へのガスのリークにより検知することを要点とする。こ
れにより、前段の反応槽の吸着剤を１００％活用し、破
過確認と交換を行うことができる。また、後段の反応槽
により安全を確保されているので、シビアなガス検知が
不要であり、ロードセル等による重量変化による方法が
適用でき、ガス検知のための高価な測定機やそのメンテ
ナンスがいらない。さらに反応槽は前段後段の順を交互
に入れ替えるため、いずれかの反応槽を予備的なものと
することなく吸着剤を１００％活用できる。
【００１２】なお、本発明は、前段と後段の２基の反応
槽として説明しているが、前段の１基の反応槽を多段に
設けて３基以上の多段としてもよいが、最終段（後段）
の重量変化がそれ以前の段にある反応槽の破過を検知す
る手段であることは同じであり、効果、作用とも差異は
ない。更に、各反応槽は単段の吸着剤層を有しても良
く、多段の吸着剤層を内蔵するものでも良い。特に多段
の吸着剤層を空間を介して配備すれば、ガスの短絡する
連通孔を生じるような事故を防止できる。各段の容積比
は適宜選定できる。従来の補助反応槽を備えたものを利
用しても良い。いずれにせよ各反応槽は等容積とするこ
とが好ましい。
槽として説明しているが、前段の１基の反応槽を多段に
設けて３基以上の多段としてもよいが、最終段（後段）
の重量変化がそれ以前の段にある反応槽の破過を検知す
る手段であることは同じであり、効果、作用とも差異は
ない。更に、各反応槽は単段の吸着剤層を有しても良
く、多段の吸着剤層を内蔵するものでも良い。特に多段
の吸着剤層を空間を介して配備すれば、ガスの短絡する
連通孔を生じるような事故を防止できる。各段の容積比
は適宜選定できる。従来の補助反応槽を備えたものを利
用しても良い。いずれにせよ各反応槽は等容積とするこ
とが好ましい。
【００１３】
【作用】本発明は、吸着剤が吸着処理中に流入側から順
次吸着力を失っていくという性質のため、後段の反応槽
へは前段の反応槽が破過した後、ガス中の除害対象成分
が流入するという知見を利用したものである。その概念
をグラフで示したものが図３である。図３は横軸が運転
時間で、縦軸が吸着重量である。図３において、前段の
Ｎｏ１反応槽の交換時期を示す後段のＮｏ２反応槽のＷ
I はＮｏ２反応槽の破過点ＷB までに十分に余裕をもっ
て設定できるので、即時にプロセスを停止できなくても
差支えない。また、極めて微量な重量変化を検知する必
要もなく、従来の処理装置を大幅に変更することなく、
本発明を実施できる。
次吸着力を失っていくという性質のため、後段の反応槽
へは前段の反応槽が破過した後、ガス中の除害対象成分
が流入するという知見を利用したものである。その概念
をグラフで示したものが図３である。図３は横軸が運転
時間で、縦軸が吸着重量である。図３において、前段の
Ｎｏ１反応槽の交換時期を示す後段のＮｏ２反応槽のＷ
I はＮｏ２反応槽の破過点ＷB までに十分に余裕をもっ
て設定できるので、即時にプロセスを停止できなくても
差支えない。また、極めて微量な重量変化を検知する必
要もなく、従来の処理装置を大幅に変更することなく、
本発明を実施できる。
【００１４】また、吸着剤は１００％使用した後交換す
るため、交換の手間が減少し、省資源的であり、ガス中
の有害物のリークは構造的になくなった。更に、前段の
反応槽の吸着剤層中にガスが短絡する連通孔を生じるよ
うな事故を生じた場合においても、次段導入部で一旦ガ
スが拡散するため、後段反応槽では有害物のリークを吸
着剤層の全断面で回収することができる。
るため、交換の手間が減少し、省資源的であり、ガス中
の有害物のリークは構造的になくなった。更に、前段の
反応槽の吸着剤層中にガスが短絡する連通孔を生じるよ
うな事故を生じた場合においても、次段導入部で一旦ガ
スが拡散するため、後段反応槽では有害物のリークを吸
着剤層の全断面で回収することができる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。 実施例１ 図１及び図２を用いて、本発明を２槽を設置した場合を
例として説明する。図において、１はＮｏ１反応槽、２
はＮｏ２反応槽で、３と４は重量計測用のロードセル
で、５，６は重量指示警報器であり、２つの反応槽は切
換弁を有する配管系で連結されている。
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。 実施例１ 図１及び図２を用いて、本発明を２槽を設置した場合を
例として説明する。図において、１はＮｏ１反応槽、２
はＮｏ２反応槽で、３と４は重量計測用のロードセル
で、５，６は重量指示警報器であり、２つの反応槽は切
換弁を有する配管系で連結されている。
【００１６】排ガス処理の第１の段階において、処理装
置は図１のように設定されている。即ち２槽の反応槽
１，２はガスの流路を切り換え可能に弁を配備した配管
群により連結され、各々の反応槽には該反応槽１，２の
重量を計測するロートセル３，４が付設され、その重量
は重量指示警報器（ＷＩＡと略記する）５，６により表
示され、設定値に達すれば警報等の信号が発せられる。
以下の弁体の開閉は手動でも自動としても良い。
置は図１のように設定されている。即ち２槽の反応槽
１，２はガスの流路を切り換え可能に弁を配備した配管
群により連結され、各々の反応槽には該反応槽１，２の
重量を計測するロートセル３，４が付設され、その重量
は重量指示警報器（ＷＩＡと略記する）５，６により表
示され、設定値に達すれば警報等の信号が発せられる。
以下の弁体の開閉は手動でも自動としても良い。
【００１７】図１の状態では弁７，１０，１２を開、
８，９，１１を閉として、ガスは反応槽１次いで反応槽
２を通過して処理され排出される。処理の進行に従って
反応槽１の重量は増加し、やがて破過重量ＷB に達す
る。処理はそのまま続けられ反応槽１の重量はＷB を維
持し、反応槽２の重量が増加してくる。やがて反応槽２
の重量が所定の重量値ＷI に達すれば、反応槽１は破過
したことが確認できるので弁７，１０を閉とし弁８を開
として反応槽２のみで処理を進行させつつ、反応槽１を
交換する。
８，９，１１を閉として、ガスは反応槽１次いで反応槽
２を通過して処理され排出される。処理の進行に従って
反応槽１の重量は増加し、やがて破過重量ＷB に達す
る。処理はそのまま続けられ反応槽１の重量はＷB を維
持し、反応槽２の重量が増加してくる。やがて反応槽２
の重量が所定の重量値ＷI に達すれば、反応槽１は破過
したことが確認できるので弁７，１０を閉とし弁８を開
として反応槽２のみで処理を進行させつつ、反応槽１を
交換する。
【００１８】その後、この処理装置は図２に示すような
第２の段階の処理を行う。即ち、弁８，９，１１を開と
し、弁７，１０，１２を閉とし、配管１３，１５，２０
を経由してガスは反応槽２へ送られる。反応槽２は一部
の吸着剤が既に使用された状態から続けてガスを処理す
る。反応槽２を出たガスは配管２１，１６，１４を経由
して更新された反応槽１へと送られる。即ち、反応槽２
を前段として反応槽１を後段とした訳である。この状態
で処理を行い反応槽１の重量が所定の重量ＷIに達すれ
ば、反応槽２を交換する。これは第１の段階と同様の方
法であり、第２の段階での交換が終了すれば再び第１の
段階、即ち図１の状態にして連続して処理を行うことが
できる。
第２の段階の処理を行う。即ち、弁８，９，１１を開と
し、弁７，１０，１２を閉とし、配管１３，１５，２０
を経由してガスは反応槽２へ送られる。反応槽２は一部
の吸着剤が既に使用された状態から続けてガスを処理す
る。反応槽２を出たガスは配管２１，１６，１４を経由
して更新された反応槽１へと送られる。即ち、反応槽２
を前段として反応槽１を後段とした訳である。この状態
で処理を行い反応槽１の重量が所定の重量ＷIに達すれ
ば、反応槽２を交換する。これは第１の段階と同様の方
法であり、第２の段階での交換が終了すれば再び第１の
段階、即ち図１の状態にして連続して処理を行うことが
できる。
【００１９】実施例２ 次に、実施例１の装置を用いて、ＢＣｌ3 、Ｃｌ2 系の
エッチャ排ガスの処理を行った。図１、２に示した装置
構成とし、流入ガス条件をＮ2 ベース１０リットル／ｍ
ｉｎに対して、Ｃｌ2 濃度平均：１０００ｐｐｍ、ＢＣ
ｌ3 濃度平均：３０００ｐｐｍとした。処理経過に伴う
各槽の重量と出口側濃度の変化を表１に示す。
エッチャ排ガスの処理を行った。図１、２に示した装置
構成とし、流入ガス条件をＮ2 ベース１０リットル／ｍ
ｉｎに対して、Ｃｌ2 濃度平均：１０００ｐｐｍ、ＢＣ
ｌ3 濃度平均：３０００ｐｐｍとした。処理経過に伴う
各槽の重量と出口側濃度の変化を表１に示す。
【００２０】
【表１】
【００２１】表１の結果より、ＷB は、７．５〜８．０
ｋｇの間になることが分かる。従来よりの装置では、Ｗ
S ＝７．５ｋｇにおいて、反応槽の使用を終了しなけれ
ばならない。Ｎｏ．２層のＷI ＝０．５ｋｇに設定すれ
ば、Ｎｏ．１槽の寿命は吸着重量ベースで約１０％アッ
プすることになることが、上記結果より判かる。上表よ
りさらに通ガスを継続した場合、Ｎｏ．１は飽和吸着状
態にあるため重量増加はなくなり、Ｎｏ．２層のみ重量
増加する。
ｋｇの間になることが分かる。従来よりの装置では、Ｗ
S ＝７．５ｋｇにおいて、反応槽の使用を終了しなけれ
ばならない。Ｎｏ．２層のＷI ＝０．５ｋｇに設定すれ
ば、Ｎｏ．１槽の寿命は吸着重量ベースで約１０％アッ
プすることになることが、上記結果より判かる。上表よ
りさらに通ガスを継続した場合、Ｎｏ．１は飽和吸着状
態にあるため重量増加はなくなり、Ｎｏ．２層のみ重量
増加する。
【００２２】
【発明の効果】本発明の方法及び装置によれば、次のよ
うな効果を奏する。 （１）反応槽の処理能力を１００％利用できる。 （２）反応槽交換時期を後段反応槽の初期吸着時期にず
らすことによって、正確な破過検知が不要となり、処理
ガス中に有害ガスをリークせずに交換できる。 （３）簡便な重量計で安全に交換時期を検知できる。 （４）プロセス装置が運転中であっても運転に支障なく
反応槽の交換ができる（プロセス装置のダウンタイムが
ゼロになる。）
うな効果を奏する。 （１）反応槽の処理能力を１００％利用できる。 （２）反応槽交換時期を後段反応槽の初期吸着時期にず
らすことによって、正確な破過検知が不要となり、処理
ガス中に有害ガスをリークせずに交換できる。 （３）簡便な重量計で安全に交換時期を検知できる。 （４）プロセス装置が運転中であっても運転に支障なく
反応槽の交換ができる（プロセス装置のダウンタイムが
ゼロになる。）
【図１】本発明の処理装置を用いた系統図。
【図２】本発明の処理装置を用いた他の系統図。
【図３】本発明による反応槽交換時期を説明するグラ
フ。
フ。
【図４】従来の反応槽の交換時期を説明するグラフ。
１：Ｎｏ１反応槽、２：Ｎｏ２反応槽、３，４：ロード
セル、５，６：重量指示警報器、７〜１２：切換弁、１
３〜２２：配管、ＷB ：破過点の重量、ＷS ：反応槽交
換重量（ＷB −（１〜０．５ｋｇ）） ＷI ：前段反応器交換時の後段反応器重量（例、０．５
ｋｇ）
セル、５，６：重量指示警報器、７〜１２：切換弁、１
３〜２２：配管、ＷB ：破過点の重量、ＷS ：反応槽交
換重量（ＷB −（１〜０．５ｋｇ）） ＷI ：前段反応器交換時の後段反応器重量（例、０．５
ｋｇ）
Claims (3)
- 【請求項１】 排ガス中の有害物質を吸着剤により除害
する乾式吸着処理方法において、該吸着剤を備えた２基
の反応槽を流路変更可能に且つ直列に連結し、後段の反
応槽重量を測定することにより前段の反応槽の破過を検
知して、破過検知時には該前段の反応槽を更新するとと
もに、前記後段の反応槽と前記前段の反応槽の被処理ガ
ス通過順序が逆となるようにガスの流路を変更して処理
することを特徴とする排ガスの乾式吸着処理方法。 - 【請求項２】 排ガス中の有害物質を吸着剤により除害
する乾式吸着処理装置において、該吸着剤を備えた２基
の反応槽と、第１の反応槽へ排ガスを導く配管と、第２
の反応槽へ排ガスを導く配管と、第１の反応槽から第２
の反応槽へガスを導く配管と、第２の反応槽から第１の
反応槽へガスを導く配管と、第１の反応槽から処理ガス
を系外へ導く配管と、第２の反応槽から処理ガスを系外
へ導く配管と、第１の反応槽からの流出ガス流を第２の
反応槽又は系外に切り替え分配する弁と、第２の反応槽
からの流出ガス流を第１の反応槽又は系外に切り替え分
配する弁とを配備し、２基の反応槽を流路変更可能かつ
直列に連絡するとともに、前記２基の反応槽に各々少な
くとも該反応槽の重量を計測する重量計測装置を付設し
たことを特徴とする排ガスの乾式吸着処理装置。 - 【請求項３】 前記２基の反応槽は、吸着剤層を空間部
を介して複数段備えたものであることを特徴とする請求
項２記載の排ガスの乾式吸着処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5347165A JPH07185256A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 排ガスの乾式吸着処理方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5347165A JPH07185256A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 排ガスの乾式吸着処理方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07185256A true JPH07185256A (ja) | 1995-07-25 |
Family
ID=18388357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5347165A Pending JPH07185256A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 排ガスの乾式吸着処理方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07185256A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010184229A (ja) * | 2009-01-19 | 2010-08-26 | Hitachi Ltd | 二酸化炭素吸着材及びこれを用いた二酸化炭素回収装置 |
| JP2010214285A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Jfe Engineering Corp | ガス処理方法 |
| JP2011218288A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 不純物除去装置及び不純物除去方法 |
| CN107670629A (zh) * | 2017-11-09 | 2018-02-09 | 大丰鑫源达化工有限公司 | 一种利用尾气酸气析盐的装置 |
| JP2019002841A (ja) * | 2017-06-16 | 2019-01-10 | 株式会社島津製作所 | ガス吸着器およびこれを備える煙道排ガス分析装置 |
| CN109252168A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-01-22 | 珠海市智宝化工有限公司 | 一种高效活化酸性蚀刻液的装置及其方法 |
| CN112495155A (zh) * | 2021-02-07 | 2021-03-16 | 瑞燃(上海)环境工程技术有限公司 | 一种干式化学过滤装置处理有毒有害尾气的工艺系统 |
| JP2025016348A (ja) * | 2023-07-21 | 2025-01-31 | エスケー イノベーション カンパニー リミテッド | 複数のベッドへの流体供給経路を制御する吸収塔及びその駆動制御方法 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP5347165A patent/JPH07185256A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010184229A (ja) * | 2009-01-19 | 2010-08-26 | Hitachi Ltd | 二酸化炭素吸着材及びこれを用いた二酸化炭素回収装置 |
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| JP2011218288A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | 不純物除去装置及び不純物除去方法 |
| JP2019002841A (ja) * | 2017-06-16 | 2019-01-10 | 株式会社島津製作所 | ガス吸着器およびこれを備える煙道排ガス分析装置 |
| CN107670629A (zh) * | 2017-11-09 | 2018-02-09 | 大丰鑫源达化工有限公司 | 一种利用尾气酸气析盐的装置 |
| CN107670629B (zh) * | 2017-11-09 | 2023-08-22 | 大丰鑫源达化工有限公司 | 一种利用尾气酸气析盐的装置 |
| CN109252168A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-01-22 | 珠海市智宝化工有限公司 | 一种高效活化酸性蚀刻液的装置及其方法 |
| CN109252168B (zh) * | 2018-11-29 | 2024-01-12 | 珠海市智宝化工有限公司 | 一种高效活化酸性蚀刻液的装置及其方法 |
| CN112495155A (zh) * | 2021-02-07 | 2021-03-16 | 瑞燃(上海)环境工程技术有限公司 | 一种干式化学过滤装置处理有毒有害尾气的工艺系统 |
| CN112495155B (zh) * | 2021-02-07 | 2021-05-14 | 瑞燃(上海)环境工程技术有限公司 | 一种干式化学过滤装置处理有毒有害尾气的工艺系统 |
| JP2025016348A (ja) * | 2023-07-21 | 2025-01-31 | エスケー イノベーション カンパニー リミテッド | 複数のベッドへの流体供給経路を制御する吸収塔及びその駆動制御方法 |
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