JPH07185457A - 超音波振動子駆動回路 - Google Patents

超音波振動子駆動回路

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JPH07185457A
JPH07185457A JP5332964A JP33296493A JPH07185457A JP H07185457 A JPH07185457 A JP H07185457A JP 5332964 A JP5332964 A JP 5332964A JP 33296493 A JP33296493 A JP 33296493A JP H07185457 A JPH07185457 A JP H07185457A
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JP
Japan
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drive
vibrator
circuit
pass filter
oscillator
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JP5332964A
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Inventor
Koji Fujio
浩司 藤尾
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Olympus Corp
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Olympus Optical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 小型化および低コスト化を図ることができる
と共に、振動子を定電流で共振駆動できる超音波振動子
駆動回路を提供する。 【構成】 超音波振動子1を駆動する超音波振動子駆動
回路であって、超音波振動子1に並列に接続した整合用
インダクタンス39と、これら並列接続した超音波振動子
1および整合用インダクタンス39に接続したローパスフ
ィルタ38とを有し、ローパスフィルタ38のカットオフ周
波数を超音波振動子1の共振駆動周波数と一致またはほ
ぼ一致させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、超音波振動子を共振
点駆動する超音波振動子駆動回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、外科手術用の超音波メスや超音
波加工装置等の強力な超音波を発生する機器において
は、大きな超音波振動振幅を得るために、超音波振動子
(以下、単に振動子という)をその共振周波数もしくは
その近傍で駆動するようにしている。このような振動子
駆動回路として、例えば、振動子の駆動電圧と電流との
位相を比較して、振動子の駆動周波数を共振周波数に一
致させるように制御するPLL(位相固定ループ)方式
によるものが知られている。
【0003】図5は、かかるPLL方式の振動子駆動回
路の構成を示すものである。図5において、振動子1は
電力増幅器15で駆動されるが、この振動子駆動回路に
おいては、振動子1を医用目的で使用するため、振動子
1と電力増幅器15との間を、トランス3で絶縁分離し
ている。また、振動子1は、インダクタンス、キャパシ
タンスおよび抵抗の直列共振回路に、制動容量を並列接
続した等価回路で表されるため、図5では、振動子1と
並列に整合用インダクタンスLdを接続して、振動子1
の制動容量をキャンセルするようにしている。したがっ
て、振動子1のインピーダンスの周波数特性は、共振周
波数で実抵抗成分のみとなって、振動子1の駆動電圧お
よび電流の位相差が0となり、そのときの周波数が振動
子1の共振周波数となる。
【0004】図5に示す振動子駆動回路では、振動子1
を共振周波数で駆動するために、振動子1の駆動電圧お
よび電流をトランス4および5でそれぞれ検出し、それ
らの出力をそれぞれ増幅回路6および7で増幅した後、
2値化回路8および9で2値化し、それらの出力を位相
比較回路10に供給して電圧と電流との位相を比較して
いる。この位相比較回路10の比較出力は、ローパスフ
ィルタ(LPF)11を経て電圧制御発振回路(VC
O)12に供給し、ここで位相差に応じた発振信号を出
力させ、その発振信号出力を電圧制御発振増幅器(VC
A)13で増幅した後、ローパスフィルタ14を経て電
力増幅器15に供給して、振動子1を駆動するようにし
ている。
【0005】一方、振動子1の駆動電流は、電流値設定
回路17で設定して、差動増幅回路18の一方の入力端
子に供給している。この差動増幅回路18の他方の入力
端子には、増幅回路7から出力される実際の駆動電流
を、整流回路16で整流して供給し、この差動増幅回路
18の出力をローパスフィルタ19を経て電圧制御発振
増幅器13に供給して、振動子1の駆動電流が電流値設
定回路17で設定した一定の駆動電流となるように制御
している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
のPLL方式の振動子駆動回路においては、電力増幅器
15としてリニアアンプを用いるようにしているため、
駆動回路が大型になると共に、発熱対策および放熱構造
が必要になる等、装置の小型化および低コスト化が妨げ
られるという不具合がある。
【0007】かかる従来の不具合を解決するものとし
て、本願人は、例えば、特開平4−247268号公報
において、図6(a)および(b)に示すようなスイッ
チング方式の振動子駆動回路を提案している。図6
(a)に示す振動子駆動回路は、2個のスイッチングM
OSトランジスタ21,22のソースを共通接続して、
それらのドレインを絶縁分離用のトランス23の一次側
入力端子に接続し、このトランス23の二次側に振動子
1を接続して、振動子駆動信号をバッファ24を介して
一方のスイッチングMOSトランジスタ21のゲートに
印加すると共に、反転増幅器25を介して他方のスイッ
チングMOSトランジスタ22のゲートに印加すること
により、スイッチングMOSトランジスタ21,22の
ソースと、トランス23の一次側のセンタータップとの
間に接続した直流駆動電源26の出力電圧をスイッチン
グして、振動子1を駆動するようにしたものである。ま
た、図6(b)に示す振動子駆動回路は、図6(a)に
示す振動子駆動回路において、トランス23の二次側に
振動子1と直列にインダクタンス27を接続したもので
ある。
【0008】しかしながら、本発明者による種々の実験
によれば、上記のスイッチング方式には、以下のような
改良すべき点があることが判明した。すなわち、図6
(a)に示す振動子駆動回路では、スイッチングによる
振動子駆動電圧の波形が矩形波で、駆動電流波形が電圧
波形の微分波形となり、また、図6(b)に示す振動子
駆動回路では、振動子1に直列にインダクタンス27を
接続しているので、このインダクタンス27と振動子1
の制動容量とによって、振動子駆動電圧および駆動電流
波形はそれぞれ正弦波に近づくが、高周波成分を多く含
んだものとなる。このため、これらの振動子駆動回路で
は、振動子1を共振点駆動するためのPLL駆動が極め
て困難になる。
【0009】このような問題は、図7に示すように、振
動子1の制動容量をキャンセルするために、振動子1と
並列にインダクタンスLdを接続して、共振点での振動
子1のインピーダンスを実抵抗成分のみとしても、依然
として振動子駆動電圧および電流波形は歪んだものとな
るため、同様に生じることになる。
【0010】このように、従来のスイッチング方式の振
動子駆動回路は、小型化および低コスト化は図れても、
共振点駆動を行うことができず、また振動子の定電流駆
動も実現されていないため、振動子を定電流で共振駆動
する駆動回路においては実用の域に達していなかった。
【0011】この発明は、このような従来の問題点に着
目してなされたもので、小型化および低コスト化を図る
ことができると共に、振動子を定電流で共振駆動できる
よう適切に構成した超音波振動子駆動回路を提供するこ
とを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、超音波振動子を駆動する超音波振動子
駆動回路であって、前記超音波振動子に並列に接続した
整合用インダクタンスと、これら並列接続した超音波振
動子および整合用インダクタンスに接続したローパスフ
ィルタとを有し、前記ローパスフィルタのカットオフ周
波数を前記超音波振動子の共振駆動周波数と一致または
ほぼ一致させる。
【0013】
【作用】かかる構成において、超音波振動子の制動容量
は、これと並列に接続した整合用インダクタンスにより
キャンセルされ、超音波振動子のインピーダンスは、共
振点で実抵抗成分のみとなる。また、この超音波振動子
と整合用インダクタンスとの並列回路に、カットオフ周
波数を超音波振動子の共振駆動周波数と一致またはほぼ
一致させたローパスフィルタを経て駆動電圧を印加する
と、ローパスフィルタの入力側の駆動電圧波形が矩形波
状であっても、その駆動電圧波形はローパスフィルタに
より正弦波状に波形整形される。したがって、超音波振
動子の駆動電圧波形および駆動電流波形は、それぞれ正
弦波状になるので、それらの位相比較によるPLL制御
により、超音波振動子をその共振駆動周波数で駆動する
ことが可能となる。また、共振駆動時は、超音波振動子
のインピーダンスが実抵抗成分だけとなるので、振動子
負荷の変動に伴う実抵抗成分の変化にかかわらず、超音
波振動子を定電流駆動することが可能となる。
【0014】
【実施例】図1は、この発明の第1実施例の要部の構成
を示すものである。この実施例では、振動子1をスイッ
チング方式により駆動する。このため、例えばn型のパ
ワーMOS電界効果型トランジスタ等の2個のスイッチ
ング手段31,32を用い、振動子1の駆動信号をバッ
ファ33を介して一方のスイッチング手段31のゲート
に印加すると共に、反転増幅器34を介して他方のスイ
ッチング手段32のゲートに印加するようにする。スイ
ッチング手段31,32のソースは、共通接続して図示
しない直流駆動電源の基準電位端子に接続し、それらの
ドレインはセンタータップを有する昇圧比1:nの絶縁
分離用の昇圧トランス35の一次側に接続する。この昇
圧トランス35の一次側センタータップは、上記直流駆
動電源の高電位出力端子に接続する。
【0015】また、昇圧トランス35の二次側には、コ
イル36およびコンデンサ37を有するローパスフィル
タ38を介して振動子1を接続すると共に、この振動子
1の制動容量をキャンセルするための整合用コイル39
を、振動子1と並列に接続する。ここで、ローパスフィ
ルタ38のカットオフ周波数は、振動子1の共振駆動周
波数と一致またはほぼ一致するように、コイル36およ
びコンデンサ37の値を設定する。また、昇圧トランス
35の二次側から見たインピーダンスは、極力0〔Ω〕
に近くなるように、昇圧トランス35のインピーダンス
や、スイッチング手段31,32のオン抵抗を小さくし
て構成する。
【0016】以下、この実施例の動作を説明する。図1
において、振動子1の共振駆動周波数の駆動信号を、バ
ッファ33を介してスイッチング手段31のゲートに印
加すると共に、反転増幅器34を介してスイッチング手
段32のゲートに印加すると、これらスイッチング手段
31,32は、相補的にスイッチング動作し、これによ
り図示しない直流駆動電源の出力電圧がスイッチングさ
れて、昇圧トランス35の二次側に、電源電圧の2n倍
のプッシュプルスイッチング出力が現れる。この昇圧ト
ランス35の二次側の出力電圧は、ローパスフィルタ3
8を経て整合用コイル39および振動子1に印加され、
これにより振動子1が共振駆動周波数で駆動される。
【0017】ここで、ローパスフィルタ38のカットオ
フ周波数は、振動子1の共振駆動周波数と一致またはほ
ぼ一致しているので、矩形波状のスイッチング出力電圧
波形およびその微分波形状の駆動電流波形は、ローパス
フィルタ38を通ることによって共振駆動周波数の正弦
波となる。したがって、振動子1は、その制動容量が整
合用コイル39によりキャンセルされて、インピーダン
スが実抵抗成分のみとなり、振動子駆動電圧と電流との
位相差がなくなる。
【0018】この実施例によれば、振動子1をスイッチ
ング方式で駆動しても、スイッチング出力がローパスフ
ィルタ38により正弦波に波形整形されて振動子1に印
加されるので、スイッチング手段31,32に印加する
駆動信号を、図5で説明したような共振点追尾回路によ
り生成して、振動子1を共振駆動することが可能とな
る。
【0019】また、ローパスフィルタ38のカットオフ
周波数と、振動子1の共振周波数とが一致またはほぼ一
致していれば、共振駆動時の振動子1のインピーダンス
は実抵抗成分のみとなるので、振動子1に流れる電流は
振動子負荷の変動に伴う振動子1の実抵抗成分の変化に
かかわらず、常に一定となり、したがってローパスフィ
ルタ38の入力電圧と、ローパスフィルタ38を構成す
るコイル36およびコンデンサ37の値で一義的に定め
られる電流値によって、振動子1を定電流駆動すること
が可能となる。
【0020】図2は、図1においてローパスフィルタ3
8のカットオフ周波数と、振動子1の共振周波数との比
によって、振動子実抵抗成分が変化したときの振動子駆
動電流特性を示すものである。図2から明らかなよう
に、ローパスフィルタ38のカットオフ周波数と、振動
子1の共振周波数とが完全に一致していないほぼ一致状
態の場合でも、ある程度の振動子実抵抗成分変動範囲内
では、定電流特性を示すことがわかる。したがって、実
際の振動子1の使用状態に基づく振動子負荷変動、すな
わち振動子実抵抗変化範囲を考慮すれば、ローパスフィ
ルタ38のカットオフ周波数は、振動子1の共振周波数
に完全に一致させなくてもよいことが理解される。例え
ば、振動子1の実抵抗成分が1〔kΩ〕程度まで変動す
るとした場合には、ローパスフィルタ38のカットオフ
周波数を、共振周波数に対して±2%程度の範囲内で一
致させればよいことになる。
【0021】一方、図1において、振動子1の実抵抗成
分が増加すると、その増加に従ってローパスフィルタ3
8の入力インピーダンスが低下する。このため、昇圧ト
ランス35の出力インピーダンスが大きいと、振動子1
の抵抗増加に従って昇圧トランス35の二次側出力電圧
が降下し、その結果、振動子1に流れる電流が低下して
定電流特性を示さなくなる。
【0022】図3は、この様子を示すもので、昇圧トラ
ンス35の二次側出力インピーダンスrの違いによる振
動子電流の定電流特性劣化の様子を表している。この定
電流の特性劣化を防止するためには、上述したように、
ローパスフィルタ38に接続される回路の出力インピー
ダンス(内部抵抗)を極力0、すなわち理想状態に近づ
ける。これは、例えば、昇圧トランス35のインピーダ
ンスや、スイッチング手段31,32のオン抵抗を小さ
くしたり、駆動電源電圧を大きくして昇圧トランス35
の昇圧比を小さくする等によりある程度達成することが
でき、これにより定電流特性の劣化を最小限に抑えるこ
とができる。
【0023】以上のように、この実施例によれば、スイ
ッチング駆動によって振動子1を共振駆動することと、
定電流駆動することとが同時に可能となり、スイッチン
グアンプによる高効率駆動が行えるばかりでなく、定電
流駆動のための制御も必要とせず、受動部品だけで定電
流駆動を達成することができる。したがって、従来のリ
ニアアンプを用いた駆動回路や、定電流制御回路を有す
る駆動回路に比べ、飛躍的に簡便な構成で振動子1を定
電流共振駆動でき、振動子駆動回路の部品点数の削減、
低コスト化と、回路並びに装置の小型化が可能になる。
【0024】図4は、この発明の第2実施例を示すもの
である。この実施例は、図1に示す実施例において、P
LL制御および定電流制御を行うようにしたもので、図
1と同様の作用を行う素子には、同一の符号を付してそ
の説明を省略する。PLL制御を行うため、昇圧トラン
ス35の二次側には、駆動電圧を検出するトランス41
を並列に接続すると共に、駆動電流を検出するトランス
42を直列に接続する。これらトランス41および42
でそれぞれ検出される駆動電圧信号および駆動電流信号
は、それぞれ増幅回路43および44で増幅した後、2
値化回路45および46で2値化し、それらの出力を位
相比較回路47に供給して電圧と電流との位相を比較す
る。位相比較回路47の比較出力は、必要に応じてロー
パスフィルタ(LPF)48で低域濾波した後、電圧制
御発振回路(VCO)49に供給し、ここで位相差に応
じた発振信号を出力させて、その発振信号出力をバッフ
ァ33および反転増幅器34に供給する。
【0025】一方、定電流制御を行うため、振動子1の
駆動電源として出力電圧可変の可変電源回路50を用
い、その基準電位出力端をスイッチング手段31,32
のソースに、高電位出力端を昇圧トランス35の一次側
センタータップにそれぞれ接続する。また、振動子1の
駆動電流を設定するため、電流値設定回路51を設け、
その設定値を差動増幅回路52の一方の入力端子に供給
する。この差動増幅回路52の他方の入力端子には、増
幅回路44から出力される実際の駆動電流を整流回路5
3で整流して供給し、この差動増幅回路52の出力をロ
ーパスフィルタ(LPF)54を経て可変電源回路50
の制御端子に供給して、その出力電圧を制御するように
する。
【0026】この実施例において、ローパスフィルタ3
8は、第1実施例と同様にそのカットオフ周波数が、振
動子1の共振駆動周波数に一致またはほぼ一致するよう
に構成されている。したがって、第1実施例におけると
同様に、スイッチング駆動による矩形駆動波形は、ロー
パスフィルタ38で正弦波に波形整形されるので、振動
子1は、その駆動電圧および駆動電流の位相差が0とな
るように、PLLによる駆動周波数が制御されて共振駆
動される。
【0027】また、ローパスフィルタ38のカットオフ
周波数が、振動子1の共振駆動周波数に一致またはほぼ
一致していることから、振動子駆動電流は、第1実施例
と同様に、振動子負荷によらず定電流となる。ここで、
第1実施例の場合には、上述したように、昇圧トランス
35の出力インピーダンス、すなわち昇圧トランス35
を含むスイッチング回路の出力インピーダンスが大きい
と、振動子負荷の増大に伴って駆動電流が低下して、振
動子1を定電流駆動することができなくなるが、この実
施例では、差動増幅回路52において、電流値設定回路
51での設定値をもとに、トランス42で検出される実
際の駆動電流の変化分を補正する制御信号を生成し、こ
の制御信号に基づいて可変電源回路50の出力電圧を制
御するようにしているので、振動子1は常に設定した電
流値で駆動されることになる。
【0028】したがって、この実施例によれば、スイッ
チング方式により振動子1を共振駆動できるだけでな
く、ローパスフィルタ38に接続される回路の出力イン
ピーダンス(内部抵抗)が無視できない程度に大きい場
合でも、その影響を受けることなく、振動子1を定電流
駆動することができる。
【0029】なお、この発明は、上述した実施例にのみ
限定されるものではなく、幾多の変形または変更が可能
である。例えば、上述した実施例では、プッシュプルス
イッチング方式により駆動電源をスイッチングし、その
スイッチング出力を昇圧トランスを経て振動子に印加す
るようにしたが、例えばシングルエンドスイッチング方
式で駆動電源をスイッチングする場合や、昇圧トランス
を用いない場合にも、この発明を有効に適用することが
できる。また、この発明は、スイッチング方式による駆
動に限らず、リニアアンプを用いる場合にも有効に適用
することができる。この場合には、共振駆動時におい
て、振動子は、ローパスフィルタの入力電圧と、ローパ
スフィルタを構成するコイルおよびコンデンサの値で一
義的に定められる電流値で定電流駆動されるので、定電
流制御回路が不要となり、その分、部品点数の削減、低
コスト化および小型化を図ることができる。
【0030】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、スイ
ッチング駆動によっても、超音波振動子を共振駆動でき
ると同時に定電流駆動することができるので、超音波振
動子をスイッチングアンプによって効率良く駆動するこ
とが可能になると共に、受動部品だけで定電流駆動を行
うことができる。したがって、従来のリニアアンプおよ
び定電流駆動回路を用いる駆動回路に比べ、簡便な構成
で、超音波振動子を定電流共振駆動でき、部品点数の削
減、低コスト化および回路並びに装置の小型化を図るこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1実施例の要部の構成を示す図で
ある。
【図2】図1に示す構成において、ローパスフィルタの
カットオフ周波数と振動子の共振駆動周波数との比をパ
ラメータとする振動子駆動電流特性を示す図である。
【図3】図1に示す構成において、昇圧トランスの二次
側出力インピーダンスの違いによる振動子電流の定電流
特性劣化の様子を示す図である。
【図4】この発明の第2実施例を示す図である。
【図5】従来のリニアアンプを用いる超音波振動子駆動
回路を示す図である。
【図6】従来のスイッチング方式による超音波振動子駆
動回路の要部の二つの例を示す図である。
【図7】同じく、従来のスイッチング方式による超音波
振動子駆動回路の要部の他の例を示す図である。
【符号の説明】
1 超音波振動子 31,32 スイッチング手段 33 バッファ 34 反転増幅器 35 昇圧トランス 36 コイル 37 コンデンサ 38 ローパスフィルタ 39 整合用コイル 41,42 トランス 43,44 増幅回路 45,46 2値化回路 47 位相比較回路 48 ローパスフィルタ(LPF) 49 電圧制御発振回路(VCO) 50 可変電源回路 51 電流値設定回路 52 差動増幅回路 53 整流回路 54 ローパスフィルタ(LPF)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 超音波振動子を駆動する超音波振動子駆
    動回路であって、前記超音波振動子に並列に接続した整
    合用インダクタンスと、これら並列接続した超音波振動
    子および整合用インダクタンスに接続したローパスフィ
    ルタとを有し、前記ローパスフィルタのカットオフ周波
    数を前記超音波振動子の共振駆動周波数と一致またはほ
    ぼ一致させたことを特徴とする超音波振動子駆動回路。
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