JPH0719038Y2 - 電子線照射装置用短絡装置 - Google Patents
電子線照射装置用短絡装置Info
- Publication number
- JPH0719038Y2 JPH0719038Y2 JP17105488U JP17105488U JPH0719038Y2 JP H0719038 Y2 JPH0719038 Y2 JP H0719038Y2 JP 17105488 U JP17105488 U JP 17105488U JP 17105488 U JP17105488 U JP 17105488U JP H0719038 Y2 JPH0719038 Y2 JP H0719038Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- short
- shield ring
- circuit
- drive shaft
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は電子線照射装置に使用する加速電極の短絡装
置に関する。
置に関する。
（従来の技術） 周知のように電子線照射装置の加速管においては、加速
管の周囲に電界緩和用のシールドリングが各段の加速電
極に対応して設けられ、かつ対応する加速電極と同電位
になるように電気的に接続されてある。
管の周囲に電界緩和用のシールドリングが各段の加速電
極に対応して設けられ、かつ対応する加速電極と同電位
になるように電気的に接続されてある。
ところでこの種装置において最大電圧よりも低い電圧で
運転するとき、加速電極の段数を減少させて使用するこ
とがある。
運転するとき、加速電極の段数を減少させて使用するこ
とがある。
そのため従来では、たとえば特公昭60−44800号公報に
示されてあるように、回転駆動される駆動軸にスライド
ブロックを螺合し、これに各シールドリングと接離する
接触子を設け、更にこの接触子に短絡導体を接続した構
成のものが使用されている。
示されてあるように、回転駆動される駆動軸にスライド
ブロックを螺合し、これに各シールドリングと接離する
接触子を設け、更にこの接触子に短絡導体を接続した構
成のものが使用されている。
これによれば駆動軸を回転させてスライドブロックを昇
降させることによって、接触子、短絡導体を介してシー
ルドリングを短絡することができるようになる。
降させることによって、接触子、短絡導体を介してシー
ルドリングを短絡することができるようになる。
（考案が解決しようとする課題） しかしこのような構成によると、回転駆動される駆動軸
が必要であり、のみならずこの他にスライドブロックの
ためのガイド軸も必要となるため、構成が煩雑となる。
が必要であり、のみならずこの他にスライドブロックの
ためのガイド軸も必要となるため、構成が煩雑となる。
また短絡段数が多いときは、駆動軸、スライド軸がそれ
に応じて長くなり、そのため軸の曲がり、そりなどのた
めの保守点検の注意が必要となる。
に応じて長くなり、そのため軸の曲がり、そりなどのた
めの保守点検の注意が必要となる。
更に短絡作業のために駆動軸を回転させる必要があるた
め、短絡段数が多いときはその短絡処理に要する時間が
長くなる、といった欠点がある。
め、短絡段数が多いときはその短絡処理に要する時間が
長くなる、といった欠点がある。
この考案は簡単な構成で、しかも短時間での短絡処理を
図ることを目的とする。
図ることを目的とする。
（課題を解決するための手段） この考案はシールドリングの周壁の一部に短絡片を、そ
の一端を中心として隣接する他のシールドリングに接触
する位置まで回動自在に設置し、この短絡片の先端に係
合押動アームを、昇降される絶縁性の駆動軸に取付けた
ことを特徴とする。
の一端を中心として隣接する他のシールドリングに接触
する位置まで回動自在に設置し、この短絡片の先端に係
合押動アームを、昇降される絶縁性の駆動軸に取付けた
ことを特徴とする。
（作用） 駆動軸を上昇させたとすると、これにともなって押動ア
ームも上昇されるため、短絡片が回動させられる。この
回動によって短絡片は上方にある他のシールドリングに
接触する。この接触によって隣合うシールドリング同志
は短絡されるようになる。
ームも上昇されるため、短絡片が回動させられる。この
回動によって短絡片は上方にある他のシールドリングに
接触する。この接触によって隣合うシールドリング同志
は短絡されるようになる。
（実施例） この考案の実施例を図によって説明する。１は加速管、
２はシールドリングで、図示しない加速電極に対応して
設置されてあり、かつその加速電極と同電位となるよう
に電気的に接続されてある。これらの構成は従来の装置
と特に相違するものではない。
２はシールドリングで、図示しない加速電極に対応して
設置されてあり、かつその加速電極と同電位となるよう
に電気的に接続されてある。これらの構成は従来の装置
と特に相違するものではない。
この考案にしたがい、シールドリング２の周壁の一部に
導電性の短絡片３を設置する。短絡片３はその一端の軸
４を中心として回動自在とされている。また他端には長
孔５が形成されてあり、この長孔５に、絶縁性の押動ア
ーム６が挿通されるなどして、係合されている。
導電性の短絡片３を設置する。短絡片３はその一端の軸
４を中心として回動自在とされている。また他端には長
孔５が形成されてあり、この長孔５に、絶縁性の押動ア
ーム６が挿通されるなどして、係合されている。
各押動アーム５は絶縁性の駆動軸７に取付けられてあ
る。駆動軸７の下端はモータを備えた昇降機構８に連絡
されてある。この上昇機構８によって駆動軸７は昇降さ
れる。
る。駆動軸７の下端はモータを備えた昇降機構８に連絡
されてある。この上昇機構８によって駆動軸７は昇降さ
れる。
常時は第１図に示すように、短絡片３はシールドリング
２の周壁に嵌合し、その周壁の一部となっている。
２の周壁に嵌合し、その周壁の一部となっている。
シールドリング２を短絡しようとするときは、駆動軸７
を昇降機構８によって上昇させる。この上昇によって押
動アーム６を介して、短絡片３が軸４を中心として回動
する。
を昇降機構８によって上昇させる。この上昇によって押
動アーム６を介して、短絡片３が軸４を中心として回動
する。
この回動によって短絡片３の先端が、上段にあるシール
ドリング２に接触する。この接触によって隣合う、両シ
ールドリング２同志が短絡されるようになる。この状態
を示したのが第２図、第３図である。
ドリング２に接触する。この接触によって隣合う、両シ
ールドリング２同志が短絡されるようになる。この状態
を示したのが第２図、第３図である。
そして図のように最下段のシールドリング２を接地して
おけは、これに短絡される隣のシールドリング２および
これに接続されるシールドリングなどが以下順に接地さ
れるようになる。
おけは、これに短絡される隣のシールドリング２および
これに接続されるシールドリングなどが以下順に接地さ
れるようになる。
なお短絡を解くには、昇降機構８によって駆動軸７を下
降させ、第１図に示すような状態に戻せばよい。
降させ、第１図に示すような状態に戻せばよい。
（考案の効果） 以上詳述したようにこの考案によれば、単に駆動軸を昇
降させるだけの簡単な作業で隣合うシールドリングを短
絡させることができ、かつその作業の短時間のうちに行
なうことができるし、またその構成も駆動軸と押動アー
ムと短絡片のみをもって構成できるため、極めて簡単で
あり、しかも駆動軸の曲がり、そりなどのための保守点
検も厳重に必要ではない、といった効果を奏する。
降させるだけの簡単な作業で隣合うシールドリングを短
絡させることができ、かつその作業の短時間のうちに行
なうことができるし、またその構成も駆動軸と押動アー
ムと短絡片のみをもって構成できるため、極めて簡単で
あり、しかも駆動軸の曲がり、そりなどのための保守点
検も厳重に必要ではない、といった効果を奏する。
第１図はこの考案の実施例を示す正面図、第２図は短絡
状態にある正面図、第３図は要部の斜視図である。 １…加速管、２…シールドリング、３…短絡片、４…
軸、６…押動アーム、７…駆動軸、８…昇降機構、
状態にある正面図、第３図は要部の斜視図である。 １…加速管、２…シールドリング、３…短絡片、４…
軸、６…押動アーム、７…駆動軸、８…昇降機構、
Claims (1)
- 【請求項１】加速管の周囲に設けられているシールドリ
ングの周壁の一部に短絡片を、その一端を中心として隣
接する他のシールドリングに接触する位置まで回動自在
に設置し、前記短絡片の先端に係合し、前記短絡片を回
動させるため押動アームを、昇降される絶縁性の駆動軸
に取付けてなる電子線照射装置用短絡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17105488U JPH0719038Y2 (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | 電子線照射装置用短絡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17105488U JPH0719038Y2 (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | 電子線照射装置用短絡装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0291998U JPH0291998U (ja) | 1990-07-20 |
| JPH0719038Y2 true JPH0719038Y2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=31462537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17105488U Expired - Lifetime JPH0719038Y2 (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | 電子線照射装置用短絡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0719038Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-12-28 JP JP17105488U patent/JPH0719038Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0291998U (ja) | 1990-07-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0719038Y2 (ja) | 電子線照射装置用短絡装置 | |
| DE69738590D1 (de) | Waferelektroentladungskontrolle durch eine Waferhebevorrichtung | |
| JPH06333879A (ja) | プラズマ処理装置 | |
| CN110690309A (zh) | 汇流排安装设备、极耳处理系统及汇流排安装方法 | |
| CN216785602U (zh) | 一种用于新能源汽车的举升机 | |
| US2305578A (en) | Steering assembly for industrial trucks | |
| GB2182293B (en) | Trolley pole raising and lowering apparatus | |
| JPH0719039Y2 (ja) | 電子線照射装置用短絡装置 | |
| JPH0719040Y2 (ja) | 電子線照射装置用短絡装置 | |
| CN211125588U (zh) | 一种晶圆位置偏离识别装置 | |
| DE1052505B (de) | Drehzahlabhaengiger Schalter | |
| CA2065399A1 (en) | Producing electrosuspensions | |
| JP4267131B2 (ja) | 被処理体の載置機構 | |
| US20040118822A1 (en) | Stripping of FFCs | |
| JPH0615388Y2 (ja) | 電子線発生装置 | |
| JPH03101040A (ja) | 電極短絡機構 | |
| JP2000309496A (ja) | リフター | |
| CN213068967U (zh) | 一种多工位分度旋转针盘机构 | |
| JPS6044800B2 (ja) | 荷電粒子加速装置の短絡装置 | |
| JPS6310540A (ja) | 回転試料台 | |
| JP3123342B2 (ja) | ワークの電極のクリーニング装置およびクリーニング方法 | |
| JPH0561999U (ja) | 電子線照射装置用短絡装置 | |
| KR0130137Y1 (ko) | 디스플레이 카운터가 구비된 웨이퍼 로우딩 시스템 | |
| JPS60190800U (ja) | ジヤツキ | |
| JPH08249987A (ja) | ３ポジション開閉器 |