JPH07190858A - フーリエ変換分光器 - Google Patents
フーリエ変換分光器Info
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- JPH07190858A JPH07190858A JP5330456A JP33045693A JPH07190858A JP H07190858 A JPH07190858 A JP H07190858A JP 5330456 A JP5330456 A JP 5330456A JP 33045693 A JP33045693 A JP 33045693A JP H07190858 A JPH07190858 A JP H07190858A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 空間分解能を維持しつつ、より高い波長分解
能を得ること。 【構成】 測定対象からの入射光を参照光路と測定光路
とに分割する光分割手段(BS)と、参照光路中に固設され
光分割手段からの光を光分割手段へ向けた反射させる固
定反射鏡(M1)と、測定光路中に移動可能に設けられ光分
割手段からの光を光分割手段へ向けて反射させる可動反
射鏡(M2)と、光分割手段を介した参照光路からの光と光
分割手段を介した測定光路からの光とを受光する受光手
段(LC ,Dec) とを有するフーリエ変換分光器において、
測定対象と光分割手段との間の光路中には、拡大倍率を
有するアフォーカル光学系(20)が配置される。
能を得ること。 【構成】 測定対象からの入射光を参照光路と測定光路
とに分割する光分割手段(BS)と、参照光路中に固設され
光分割手段からの光を光分割手段へ向けた反射させる固
定反射鏡(M1)と、測定光路中に移動可能に設けられ光分
割手段からの光を光分割手段へ向けて反射させる可動反
射鏡(M2)と、光分割手段を介した参照光路からの光と光
分割手段を介した測定光路からの光とを受光する受光手
段(LC ,Dec) とを有するフーリエ変換分光器において、
測定対象と光分割手段との間の光路中には、拡大倍率を
有するアフォーカル光学系(20)が配置される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、大気の観測や試料の分
析に好適なフーリエ変換分光器に関する。
析に好適なフーリエ変換分光器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、リモートセンシングによる大気の
状態を観測するものとしては、大気による可視光線、赤
外線または紫外線等の減衰を検出するためにフーリエ変
換分光器を用い、この検出結果より観測点における空気
の組成を測定するものが例えばＳＰＩＥ vol.1129 p42
〜51 (R.Beer and T.Glvaich) に記載されている。この
ーリエ変換分光器の構成を図４に示す。
状態を観測するものとしては、大気による可視光線、赤
外線または紫外線等の減衰を検出するためにフーリエ変
換分光器を用い、この検出結果より観測点における空気
の組成を測定するものが例えばＳＰＩＥ vol.1129 p42
〜51 (R.Beer and T.Glvaich) に記載されている。この
ーリエ変換分光器の構成を図４に示す。
【０００３】図４(a),(b) に示される従来のフーリエ変
換分光器100 は、いわゆるマイケルソン型干渉計であ
り、観測点Ｐからの光を分光するものである。図４(b)
において、フーリエ変換分光器100 は、ビームスプリッ
タＢＳ、固定ミラーＭ1 、可動ミラーＭ2 、集光レンズ
ＬC および受光素子Ｄecを有する。ここで、観測点Ｐか
らの光は、すなわち太陽から大気中の観測点Ｐに達し、
この観測点Ｐにてフーリエ変換分光器100 側へ散乱され
る光は、ビームスプリッタＢＳによって、参照光路と測
定光路とに分割される。このビームスプリッタＢＳの反
射側には、参照ミラーとしての固定ミラーＭ1 が配置さ
れており、ビームスプリッタＢＳにより反射されて参照
光路を進行する光は、固定ミラーＭ1 により反射され、
再びビームスプリッタＢＳに達する。
換分光器100 は、いわゆるマイケルソン型干渉計であ
り、観測点Ｐからの光を分光するものである。図４(b)
において、フーリエ変換分光器100 は、ビームスプリッ
タＢＳ、固定ミラーＭ1 、可動ミラーＭ2 、集光レンズ
ＬC および受光素子Ｄecを有する。ここで、観測点Ｐか
らの光は、すなわち太陽から大気中の観測点Ｐに達し、
この観測点Ｐにてフーリエ変換分光器100 側へ散乱され
る光は、ビームスプリッタＢＳによって、参照光路と測
定光路とに分割される。このビームスプリッタＢＳの反
射側には、参照ミラーとしての固定ミラーＭ1 が配置さ
れており、ビームスプリッタＢＳにより反射されて参照
光路を進行する光は、固定ミラーＭ1 により反射され、
再びビームスプリッタＢＳに達する。
【０００４】また、ビームスプリッタＢＳの透過側に
は、ビームスプリッタＢＳとの光路長を可変にする如く
移動する移動ミラーＭ2 が設けられており、ビームスプ
リッタＢＳを透過して測定光路を進行する光は、この移
動ミラーＭ2 により反射され、再びビームスプリッタに
達する。参照光路を通過した光は、ビームスプリッタＢ
Ｓを透過し、測定光路を通過した光は、ビームスプリッ
タＢＳにて反射され、それぞれ集光レンズＬC に達す
る。この集光レンズＬC の後側焦点位置には、例えば１
次元ＣＣＤから構成される受光素子Ｄecが配置されてい
る。
は、ビームスプリッタＢＳとの光路長を可変にする如く
移動する移動ミラーＭ2 が設けられており、ビームスプ
リッタＢＳを透過して測定光路を進行する光は、この移
動ミラーＭ2 により反射され、再びビームスプリッタに
達する。参照光路を通過した光は、ビームスプリッタＢ
Ｓを透過し、測定光路を通過した光は、ビームスプリッ
タＢＳにて反射され、それぞれ集光レンズＬC に達す
る。この集光レンズＬC の後側焦点位置には、例えば１
次元ＣＣＤから構成される受光素子Ｄecが配置されてい
る。
【０００５】受光素子Ｄec上では、参照光路と測定光路
とを通過した光による干渉縞が形成される。ここで、観
測点Ｐからの光は、所定の波長分布を有しており、可動
ミラーＭ2 とビームスプリッタＢＳとの間隔、すなわち
参照光路と測定光路との光路長に応じて、受光素子Ｄec
上で強め合う波長が変化する。これにより、受光素子Ｄ
ec上での光量変化と、可動ミラーＭ2 の移動量と検出す
れば、観測点Ｐからの光の波長分布を計測することがで
きる。
とを通過した光による干渉縞が形成される。ここで、観
測点Ｐからの光は、所定の波長分布を有しており、可動
ミラーＭ2 とビームスプリッタＢＳとの間隔、すなわち
参照光路と測定光路との光路長に応じて、受光素子Ｄec
上で強め合う波長が変化する。これにより、受光素子Ｄ
ec上での光量変化と、可動ミラーＭ2 の移動量と検出す
れば、観測点Ｐからの光の波長分布を計測することがで
きる。
【０００６】具体的には、制御部110 は、可動ミラーＭ
2 を駆動する駆動部120 を制御して、可動ミラーＭ2 を
移動させる。このとき、図示なき干渉測長器にて可動ミ
ラーＭ2 の移動量は、制御部110 へ伝達される。また、
制御部110 は、可動ミラーＭ 2 の移動中に受光素子Ｄec
からの光電変換出力を受ける。ここで、制御部110 は、
可動ミラーＭ2 の移動した距離に関する受光素子Ｄecか
らの光電変換出力の変化をフーリエ変換し、観測点Ｐか
らの光の波長分布を算出する。
2 を駆動する駆動部120 を制御して、可動ミラーＭ2 を
移動させる。このとき、図示なき干渉測長器にて可動ミ
ラーＭ2 の移動量は、制御部110 へ伝達される。また、
制御部110 は、可動ミラーＭ 2 の移動中に受光素子Ｄec
からの光電変換出力を受ける。ここで、制御部110 は、
可動ミラーＭ2 の移動した距離に関する受光素子Ｄecか
らの光電変換出力の変化をフーリエ変換し、観測点Ｐか
らの光の波長分布を算出する。
【０００７】ここで、上記のフーリエ変換分光器におけ
る弁別可能な波長、すなわち波長分解能は、次式にて表
される。
る弁別可能な波長、すなわち波長分解能は、次式にて表
される。
【０００８】
【数１】 δν≧νmax δＬ2 ／８Ｒ2 …（１） 但し、δν ：波長分解能、 νmax ：観測される最大周波数、 δＬ ：空間分解能、 Ｒ ：観測点からフーリエ変換分光器までの距離、 である。
【０００９】なお、上記（１）式において、空間分解能
δＬとは、受光素子Ｄecの１画素が見込む観測点Ｐ上の
物体の大きさである。
δＬとは、受光素子Ｄecの１画素が見込む観測点Ｐ上の
物体の大きさである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしなから、上述の
如きフーリエ変換分光器においては、より細かく波長を
弁別すること、即ちより精度の高い波長分解能が要求さ
れている。上記（１）式より、波長分解能δνを上げる
ためには、空間分解能δＬを上げる必要があることが理
解される。ここで、空間分解能δＬを向上させた場合に
は、フーリエ変換分光器の受光素子Ｄecの１画素が見込
む観測点Ｐ上の距離が小さくなるため、受光素子Ｄecに
入射する光強度が低下する。すなわち受光素子Ｄecの感
度により、空間分解能δＬの上限が決まり、ひいては波
長分解能δνの精度も決まる。従って、図４(a),(b) に
示す如き従来のフーリエ変換分光器においては、これ以
上、波長分解能を向上させることが困難であった。
如きフーリエ変換分光器においては、より細かく波長を
弁別すること、即ちより精度の高い波長分解能が要求さ
れている。上記（１）式より、波長分解能δνを上げる
ためには、空間分解能δＬを上げる必要があることが理
解される。ここで、空間分解能δＬを向上させた場合に
は、フーリエ変換分光器の受光素子Ｄecの１画素が見込
む観測点Ｐ上の距離が小さくなるため、受光素子Ｄecに
入射する光強度が低下する。すなわち受光素子Ｄecの感
度により、空間分解能δＬの上限が決まり、ひいては波
長分解能δνの精度も決まる。従って、図４(a),(b) に
示す如き従来のフーリエ変換分光器においては、これ以
上、波長分解能を向上させることが困難であった。
【００１１】そこで、本発明は、空間分解能を維持した
まま、より高い波長分解能をうるフーリエ変換分光器を
提供することを目的とする。
まま、より高い波長分解能をうるフーリエ変換分光器を
提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明によるフーリエ変換分光器は、例えば図１
に示す如く、測定対象からの入射光を参照光路と測定光
路とに分割する光分割手段(BS)と、参照光路中に固設さ
れ光分割手段からの光を光分割手段へ向けて反射させる
固定反射鏡(M1)と、測定光路中に移動可能に設けられ光
分割手段からの光を光分割手段へ向けて反射させる可動
反射鏡(M2)と、光分割手段を介した参照光路からの光と
光分割手段を介した測定光路からの光とを受光する受光
手段(LC,Dec) とを有する。
めに、本発明によるフーリエ変換分光器は、例えば図１
に示す如く、測定対象からの入射光を参照光路と測定光
路とに分割する光分割手段(BS)と、参照光路中に固設さ
れ光分割手段からの光を光分割手段へ向けて反射させる
固定反射鏡(M1)と、測定光路中に移動可能に設けられ光
分割手段からの光を光分割手段へ向けて反射させる可動
反射鏡(M2)と、光分割手段を介した参照光路からの光と
光分割手段を介した測定光路からの光とを受光する受光
手段(LC,Dec) とを有する。
【００１３】そして、測定対象と光分割手段との間の光
路中には、拡大倍率を有するアフォーカル光学系(20)が
配置されるように構成される。なお、本発明でいう拡大
倍率とは、アフォーカル光学系の横倍率βが｜β｜＞１
であることを指す。
路中には、拡大倍率を有するアフォーカル光学系(20)が
配置されるように構成される。なお、本発明でいう拡大
倍率とは、アフォーカル光学系の横倍率βが｜β｜＞１
であることを指す。
【００１４】
【作用】以下、図２、図３を参照して本発明の作用を説
明する。以下の説明においては、アフォーカル光学系２
０と距離Ｒだけ離れた位置の測定対象物Ｙに対して測定
する場合を考える。ここで、アフォーカル光学系２０の
倍率がβ（｜β｜＞１）であるとき、フーリエ変換分光
器１０では、アフォーカル光学系２０により形成される
測定対象物の虚像Ｙi を観察することになる。ここで、
測定対象物Ｙにおける空間分解能をδＬ、測定対象物の
像Ｙi における空間分解能をδＬi とするとき、
明する。以下の説明においては、アフォーカル光学系２
０と距離Ｒだけ離れた位置の測定対象物Ｙに対して測定
する場合を考える。ここで、アフォーカル光学系２０の
倍率がβ（｜β｜＞１）であるとき、フーリエ変換分光
器１０では、アフォーカル光学系２０により形成される
測定対象物の虚像Ｙi を観察することになる。ここで、
測定対象物Ｙにおける空間分解能をδＬ、測定対象物の
像Ｙi における空間分解能をδＬi とするとき、
【００１５】
【数２】 δＬi ＝ β・δＬ …（２） なる式が成り立つ。また、測定対象物の像Ｙi とアフォ
ーカル光学系２０との距離をＲi とすると、
ーカル光学系２０との距離をＲi とすると、
【００１６】
【数３】 Ｒi ＝ β2 ・Ｒ …（３） が成立する。これらの（２）式及び（３）式を前述の
（１）式に代入すると、次式の如くなる。
（１）式に代入すると、次式の如くなる。
【００１７】
【数４】 δνi ＝δν／β2 …（４） ここで、本発明では、アフォーカル系２０の倍率βが拡
大倍率、すなわち｜β｜＞１であるため、上記（４）式
より、
大倍率、すなわち｜β｜＞１であるため、上記（４）式
より、
【００１８】
【数５】 δνi ＜ δν …（５） となる。すなわち、拡大倍率のアフォーカル系２０を設
けることにより、空間分解能を維持しつつ波長分解能の
みを向上できる。次に、図３に示す如く、光軸垂直方向
において所定の広がりを持った物体の周辺部、すなわち
受光素子上の所定の像高における波長分解能を考える。
ここで、上述のＳＰＩＥ vol.1129 p42〜51 (R.Beer a
nd T.Glvaich) によると、物体上の測定範囲をＬとする
とき、波長分解能δνf は、
けることにより、空間分解能を維持しつつ波長分解能の
みを向上できる。次に、図３に示す如く、光軸垂直方向
において所定の広がりを持った物体の周辺部、すなわち
受光素子上の所定の像高における波長分解能を考える。
ここで、上述のＳＰＩＥ vol.1129 p42〜51 (R.Beer a
nd T.Glvaich) によると、物体上の測定範囲をＬとする
とき、波長分解能δνf は、
【００１９】
【数６】 δνf ≧νmax ・Ｌ・δＬ／２Ｒ2 …（６） で表される。この場合においても、拡大倍率のアフォー
カル系２０（｜β｜＞１）を設けることにより、フーリ
エ変換分光器１０においては、測定対象物の虚像Ｙi を
観測することになる。
カル系２０（｜β｜＞１）を設けることにより、フーリ
エ変換分光器１０においては、測定対象物の虚像Ｙi を
観測することになる。
【００２０】ここで、アフォーカル系２０によって、測
定対象物の範囲Ｌは、次式に示す如く、
定対象物の範囲Ｌは、次式に示す如く、
【００２１】
【数７】 Ｌi ＝β・Ｌ …（７） 虚像Ｙi の範囲Ｌi に変換される。上記（２）式、
（３）式及び（７）式より、所定の像高における波長分
解能δνfiは、
（３）式及び（７）式より、所定の像高における波長分
解能δνfiは、
【００２２】
【数８】 δνfi≧νmax ・Ｌi ・δＬi ／２Ｒi2 ＝δν／β2 …（８） で示され、｜β｜＞１より、
【００２３】
【数９】 δνfi ＜ δν …（９） となる。すなわち、拡大倍率のアフォーカル系２０を設
けることにより、空間分解能を維持しつつ所定の像高に
おける波長分解能のみを向上できる。なお、（８）式か
ら明らかなように、観測範囲Ｌを広げて空間分解能δＬ
を小さくすることによっても、波長分解能を向上するこ
とは可能であるが、その際には、受光素子の素子数を増
加させる必要があるため好ましくない。
けることにより、空間分解能を維持しつつ所定の像高に
おける波長分解能のみを向上できる。なお、（８）式か
ら明らかなように、観測範囲Ｌを広げて空間分解能δＬ
を小さくすることによっても、波長分解能を向上するこ
とは可能であるが、その際には、受光素子の素子数を増
加させる必要があるため好ましくない。
【００２４】
【実施例】以下、図面を参照して本発明による実施例を
説明する。図１は、本発明による実施例の構成を説明す
る図である。図１において、図示なき観測点からの光
は、アフォーカル系２０を介して、フーリエ変換分光器
１０に入射する。フーリエ変換分光器１０に入射した光
は、ビームスプリッタＢＳによって、参照光路と測定光
路とに２分割される。
説明する。図１は、本発明による実施例の構成を説明す
る図である。図１において、図示なき観測点からの光
は、アフォーカル系２０を介して、フーリエ変換分光器
１０に入射する。フーリエ変換分光器１０に入射した光
は、ビームスプリッタＢＳによって、参照光路と測定光
路とに２分割される。
【００２５】ビームスプリッタＢＳによって反射されて
参照光路を進行する光は、この参照光路中に配置された
固定ミラーＭ1 によって反射され、再びビームスプリッ
タＢＳに達する。また、ビームスプリッタＢＳを透過し
て測定光路を進行する光は、測定光路中に設けられた可
動ミラーＭ2 によって反射され、再びビームスプリッタ
ＢＳに達する。
参照光路を進行する光は、この参照光路中に配置された
固定ミラーＭ1 によって反射され、再びビームスプリッ
タＢＳに達する。また、ビームスプリッタＢＳを透過し
て測定光路を進行する光は、測定光路中に設けられた可
動ミラーＭ2 によって反射され、再びビームスプリッタ
ＢＳに達する。
【００２６】参照光路を経てビームスプリッタＢＳに達
した光は、ビームスプリッタＢＳを透過し、集光レンズ
ＬC へ向かう。一方、測定光路を経てビームスプリッタ
ＢＳに達した光は、ビームスプリッタＢＳにて反射さ
れ、集光レンズＬC へ向かう。集光レンズＬC は、参照
光路及び測定光路を経た光を受光素子Ｄec上にそれぞれ
集光する。これにより、受光素子Ｄec上には、参照光路
を経た光と測定光路を経た光とが干渉することによる干
渉縞が形成される。受光素子Ｄecは、例えば１次元ライ
ンセンサ、２次元ＣＣＤ等の光電変換素子で構成され、
干渉縞の光強度を光電変換し、制御部１１へ出力する。
した光は、ビームスプリッタＢＳを透過し、集光レンズ
ＬC へ向かう。一方、測定光路を経てビームスプリッタ
ＢＳに達した光は、ビームスプリッタＢＳにて反射さ
れ、集光レンズＬC へ向かう。集光レンズＬC は、参照
光路及び測定光路を経た光を受光素子Ｄec上にそれぞれ
集光する。これにより、受光素子Ｄec上には、参照光路
を経た光と測定光路を経た光とが干渉することによる干
渉縞が形成される。受光素子Ｄecは、例えば１次元ライ
ンセンサ、２次元ＣＣＤ等の光電変換素子で構成され、
干渉縞の光強度を光電変換し、制御部１１へ出力する。
【００２７】この制御部１１は、可動ミラーＭ2 をビー
ムスプリッタＢＳとの間隔が変化するように駆動する駆
動部１２の制御を行なう。また、干渉計１３は、可動ミ
ラーＭ2 の位置を検出し、その位置情報を制御部１１へ
出力する。ここで、干渉計１３としては、固定ミラーＭ
1 を参照鏡とし、移動ミラーＭ2 を移動鏡とする構成
や、移動ミラーＭ2 の裏面側からその移動量を検出する
構成などが考えられる。
ムスプリッタＢＳとの間隔が変化するように駆動する駆
動部１２の制御を行なう。また、干渉計１３は、可動ミ
ラーＭ2 の位置を検出し、その位置情報を制御部１１へ
出力する。ここで、干渉計１３としては、固定ミラーＭ
1 を参照鏡とし、移動ミラーＭ2 を移動鏡とする構成
や、移動ミラーＭ2 の裏面側からその移動量を検出する
構成などが考えられる。
【００２８】制御部１１は、受光素子Ｄecからの光電変
換出力と、干渉計による可動ミラーＭ2 の位置情報とに
基づいて、観測点から発する光の波長分布の算出を行な
う。以下、算出方法について簡単に説明する。受光素子
Ｄecからの光電変換出力Ｉ（ｘ）は、次式にて示され
る。
換出力と、干渉計による可動ミラーＭ2 の位置情報とに
基づいて、観測点から発する光の波長分布の算出を行な
う。以下、算出方法について簡単に説明する。受光素子
Ｄecからの光電変換出力Ｉ（ｘ）は、次式にて示され
る。
【００２９】
【数１０】 Ｉ（ｘ）＝∫Ｉ（ｋ）ｃｏｓｋｘｄｋ …（１０） ただし、ｋ＝２π／λ、 ｘ：可動ミラーＭ2 の移動量、 λ：波長、 である。
【００３０】ここで、制御部１１は、この光電変換出力
Ｉ（ｘ）のフーリエ変換を行い、スペクトル関数Ｉ
（ｋ）を得る。このスペクトル関数Ｉ（ｋ）は、次式の
如くなる。
Ｉ（ｘ）のフーリエ変換を行い、スペクトル関数Ｉ
（ｋ）を得る。このスペクトル関数Ｉ（ｋ）は、次式の
如くなる。
【００３１】
【数１１】 Ｉ（ｋ）＝∫Ｉ（ｘ）ｃｏｓｋｘｄｘ …（１１） すなわち、可動ミラーＭ2 の移動量ｘに関する光電変換
出力Ｉ（ｘ）から観測点における波長分布が求まる。
出力Ｉ（ｘ）から観測点における波長分布が求まる。
【００３２】具体的には、図１において、制御部１１
は、駆動部１２を制御して可動ミラーＭ2 を連続的また
は所定の間隔で離散的に移動させる。このとき、制御部
１１は、受光素子Ｄecからの光電変換出力と干渉計１３
からの位置情報とを受け、（１１）式の如く、可動ミラ
ーＭ2 の移動量に関する光電変換出力をフーリエ変換
し、波長分布を得る。
は、駆動部１２を制御して可動ミラーＭ2 を連続的また
は所定の間隔で離散的に移動させる。このとき、制御部
１１は、受光素子Ｄecからの光電変換出力と干渉計１３
からの位置情報とを受け、（１１）式の如く、可動ミラ
ーＭ2 の移動量に関する光電変換出力をフーリエ変換
し、波長分布を得る。
【００３３】ここで、本実施例においては、拡大倍率を
有するアフォーカル系２０がフーリエ変換分光器１０と
観測点との間、正確にはビームスプリッタＢＳと観測点
との間の光路中に配置されている。このアフォーカル系
２０の倍率βは、｜β｜＞１であるため、前述の（５）
式に示す如く、受光素子Ｄecの中心部において、空間分
解能を維持しつつ波長分解能のみを向上できる。また、
前述の（９）式に示す通り、受光素子Ｄecの周辺部にお
いても空間分解能を維持しつつ波長分解能のみを向上で
きる。従って、受光素子Ｄecの画素数を変更せずに波長
分解能を向上できるため、光量不足を招く恐れがない。
有するアフォーカル系２０がフーリエ変換分光器１０と
観測点との間、正確にはビームスプリッタＢＳと観測点
との間の光路中に配置されている。このアフォーカル系
２０の倍率βは、｜β｜＞１であるため、前述の（５）
式に示す如く、受光素子Ｄecの中心部において、空間分
解能を維持しつつ波長分解能のみを向上できる。また、
前述の（９）式に示す通り、受光素子Ｄecの周辺部にお
いても空間分解能を維持しつつ波長分解能のみを向上で
きる。従って、受光素子Ｄecの画素数を変更せずに波長
分解能を向上できるため、光量不足を招く恐れがない。
【００３４】なお、本実施例においては、アフォーカル
系２０が拡大倍率を有するため、空間分解能を一定に維
持するために、受光素子Ｄecの１画素のサイズを小さく
している。ここで、集光レンズＬC の焦点距離をアフォ
ーカル系２０の角倍率分だけ延ばす構成とすれば、受光
素子Ｄecの１画素のサイズを変更しなくとも良い。な
お、アフォーカル系２０としては、観測点側から順に、
正・正の屈折力配置を持つ所謂ケプラー型光学系であっ
ても、負・正の屈折力配置を持つ所謂ガリレオ型光学系
であっても良い。
系２０が拡大倍率を有するため、空間分解能を一定に維
持するために、受光素子Ｄecの１画素のサイズを小さく
している。ここで、集光レンズＬC の焦点距離をアフォ
ーカル系２０の角倍率分だけ延ばす構成とすれば、受光
素子Ｄecの１画素のサイズを変更しなくとも良い。な
お、アフォーカル系２０としては、観測点側から順に、
正・正の屈折力配置を持つ所謂ケプラー型光学系であっ
ても、負・正の屈折力配置を持つ所謂ガリレオ型光学系
であっても良い。
【００３５】また、本発明の如きフーリエ変換分光器の
構成は、例えば膜厚測定器やフーリエ変換分光顕微鏡な
どに応用できる。
構成は、例えば膜厚測定器やフーリエ変換分光顕微鏡な
どに応用できる。
【００３６】
【発明の効果】以上の如く本発明によれば、空間分解能
を維持したまま、より高い波長分解能を得るフーリエ変
換分光器が提供できる。
を維持したまま、より高い波長分解能を得るフーリエ変
換分光器が提供できる。
【図１】本発明による実施例の構成を模式的に示す図で
ある。
ある。
【図２】本発明の作用を説明する図である。
【図３】本発明の作用を説明する図である。
【図４】従来のフーリエ変換分光器の構成を示す図であ
る。
る。
１０ … フーリエ変換分光器、 ２０ … アフォーカル系、 Ｍ1 … 固定ミラー、 Ｍ2 … 可動ミラー、 ＢＳ … ビームスプリッタ、 ＬC … 集光レンズ、 Ｄec … 受光素子、
Claims (1)
- 【請求項１】測定対象からの入射光を参照光路と測定光
路とに分割する光分割手段と、前記参照光路中に固設さ
れ前記光分割手段からの光を前記光分割手段へ向けて反
射させる固定反射鏡と、前記測定光路中に移動可能に設
けられ前記光分割手段からの光を前記光分割手段へ向け
て反射させる可動反射鏡と、前記光分割手段を介した前
記参照光路からの光と前記光分割手段を介した前記測定
光路からの光とを受光する受光手段とを有するフーリエ
変換分光器において、 前記測定対象と前記光分割手段との間の光路中には、拡
大倍率を有するアフォーカル光学系が配置されることを
特徴とするフーリエ変換分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5330456A JPH07190858A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | フーリエ変換分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5330456A JPH07190858A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | フーリエ変換分光器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07190858A true JPH07190858A (ja) | 1995-07-28 |
Family
ID=18232824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5330456A Pending JPH07190858A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | フーリエ変換分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07190858A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010002328A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Otsuka Denshi Co Ltd | 膜厚測定装置 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP5330456A patent/JPH07190858A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010002328A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Otsuka Denshi Co Ltd | 膜厚測定装置 |
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