JPH07192672A - 荷電粒子線装置における走査コイル - Google Patents
荷電粒子線装置における走査コイルInfo
- Publication number
- JPH07192672A JPH07192672A JP5333959A JP33395993A JPH07192672A JP H07192672 A JPH07192672 A JP H07192672A JP 5333959 A JP5333959 A JP 5333959A JP 33395993 A JP33395993 A JP 33395993A JP H07192672 A JPH07192672 A JP H07192672A
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- JP
- Japan
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- coil
- scanning
- electrodes
- particle beam
- core
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ２つのコイルの直交度が不良な場合、そのコ
イルを巻き直さずに直交度の補正が簡単に行なえる荷電
粒子線装置における走査コイルを提供すること。 【構成】 １はコアであり、コアの周りには水平用走査
コイル２が巻かれている。３および４は、コイル２の外
側に設けられた電極であり、これらの電極は矢印方向に
移動可能である。
イルを巻き直さずに直交度の補正が簡単に行なえる荷電
粒子線装置における走査コイルを提供すること。 【構成】 １はコアであり、コアの周りには水平用走査
コイル２が巻かれている。３および４は、コイル２の外
側に設けられた電極であり、これらの電極は矢印方向に
移動可能である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は、走査電子顕微鏡等の
荷電粒子線装置における走査コイルに関する。
荷電粒子線装置における走査コイルに関する。
【０００２】
【従来の技術】 走査電子顕微鏡において、電子銃より
発生した電子線は走査コイルにより偏向される。この走
査コイルは、ドーナツ形のフェライトコアに１対の水平
用走査コイルと、もう１対の垂直用走査コイルが直に巻
かれて成る。
発生した電子線は走査コイルにより偏向される。この走
査コイルは、ドーナツ形のフェライトコアに１対の水平
用走査コイルと、もう１対の垂直用走査コイルが直に巻
かれて成る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】 水平用走査コイルと
垂直用走査コイルの直交度が悪いと、電子線を試料上の
所定の位置に偏向させることができない。この２のコイ
ルの直交度は、巻き上がった走査コイルより発生する磁
界を測定することにより判断でき、また、走査電子顕微
鏡により得られる画像からも判断することができる。
垂直用走査コイルの直交度が悪いと、電子線を試料上の
所定の位置に偏向させることができない。この２のコイ
ルの直交度は、巻き上がった走査コイルより発生する磁
界を測定することにより判断でき、また、走査電子顕微
鏡により得られる画像からも判断することができる。
【０００４】しかしながら、２つのコイルの直交度が不
良な場合、その直交度を補正する手段はなく、再度コイ
ルを巻き直さなければならない。
良な場合、その直交度を補正する手段はなく、再度コイ
ルを巻き直さなければならない。
【０００５】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、２つのコイルの直交度が不良な場
合、そのコイルを巻き直さずに直交度の補正が簡単に行
なえる荷電粒子線装置における走査コイルを提供するこ
とにある。
ので、その目的は、２つのコイルの直交度が不良な場
合、そのコイルを巻き直さずに直交度の補正が簡単に行
なえる荷電粒子線装置における走査コイルを提供するこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する第
１の本発明の荷電粒子線装置における走査コイルは、コ
アと、該コアに巻かれたコイルと、該コイルに接し且つ
該コイルに交わる方向に移動可能な電極とを備えてい
る。また、第２の本発明の荷電粒子線装置における走査
コイルは、コアと、該コアに巻かれたコイルと、該コイ
ルに接する少なくとも３以上の電極とを備えている。
１の本発明の荷電粒子線装置における走査コイルは、コ
アと、該コアに巻かれたコイルと、該コイルに接し且つ
該コイルに交わる方向に移動可能な電極とを備えてい
る。また、第２の本発明の荷電粒子線装置における走査
コイルは、コアと、該コアに巻かれたコイルと、該コイ
ルに接する少なくとも３以上の電極とを備えている。
【０００７】
【実施例】 以下、図面を用いて本発明の実施例を説明
する。図１は本発明の走査コイルの実施例を示したもの
である。図において、１はコアであり、コアの周りには
水平用走査コイル２が巻かれている。３および４は電極
で、電極３，４の幅はコイルの幅と略等しく、電極３，
４はコイル２の山の部分で接している。また、電極３，
４はコイル２と交わる矢印方向に移動可能である。前記
コイル２の表面は絶縁膜で覆われて絶縁されているが、
電極３，４が移動して接する部分は絶縁膜が取り除かれ
ている。
する。図１は本発明の走査コイルの実施例を示したもの
である。図において、１はコアであり、コアの周りには
水平用走査コイル２が巻かれている。３および４は電極
で、電極３，４の幅はコイルの幅と略等しく、電極３，
４はコイル２の山の部分で接している。また、電極３，
４はコイル２と交わる矢印方向に移動可能である。前記
コイル２の表面は絶縁膜で覆われて絶縁されているが、
電極３，４が移動して接する部分は絶縁膜が取り除かれ
ている。
【０００８】ここで、コイル２と電極３，４の関係を簡
略化した図を図２に示す。図２（ａ）は図１に示した本
発明の実施例のコイルと電極との関係を示し、図２
（ｂ）は従来のそれを示す。従来はコイルの両端に電極
を接続し、コイルに電流を流していた。本発明において
は、コイルの両端は開放され、電極３，４は矢印方向に
移動することができる。このため、コイルの巻数と磁界
位置を任意に設定することができる。なお、ここでは水
平用走査コイルのみについて述べたが、垂直用走査コイ
ルも同様な構成となっており、４つの電極の位置を調整
することにより２つのコイルの直交度を補正することが
できる。
略化した図を図２に示す。図２（ａ）は図１に示した本
発明の実施例のコイルと電極との関係を示し、図２
（ｂ）は従来のそれを示す。従来はコイルの両端に電極
を接続し、コイルに電流を流していた。本発明において
は、コイルの両端は開放され、電極３，４は矢印方向に
移動することができる。このため、コイルの巻数と磁界
位置を任意に設定することができる。なお、ここでは水
平用走査コイルのみについて述べたが、垂直用走査コイ
ルも同様な構成となっており、４つの電極の位置を調整
することにより２つのコイルの直交度を補正することが
できる。
【０００９】図３は本発明の他の実施例を示したもので
ある。図中前記図１と同一番号を付したものは同一構成
要素である。５はコイル２と同じ間隔のプリント板であ
る。プリント板５を移動させることにより、コイルの巻
数と磁界位置を任意に設定することができる。
ある。図中前記図１と同一番号を付したものは同一構成
要素である。５はコイル２と同じ間隔のプリント板であ
る。プリント板５を移動させることにより、コイルの巻
数と磁界位置を任意に設定することができる。
【００１０】図４は本発明の他の実施例を示したもので
ある。図において、６，７〜ｎは電極であり、電極６，
７〜ｎまでの２点を選択してコイルに電流を流しても上
記の実施例と同様な効果が得られる。
ある。図において、６，７〜ｎは電極であり、電極６，
７〜ｎまでの２点を選択してコイルに電流を流しても上
記の実施例と同様な効果が得られる。
【００１１】
【発明の効果】 第１の本発明の走査コイルは、コイル
に接し且つコイルに交わる方向に移動可能な電極を備え
ているので、電極を移動させるだけでコイルの巻数と磁
界位置を任意に設定することができる。また、第２の本
発明の走査コイルは、コイルに接する少なくとも３以上
の電極とを備えているので、２つの電極を選択すること
により、コイルの巻数と磁界位置を任意に設定すること
ができる。このため、２つのコイルの直交度が不良な場
合にも、そのコイルを巻き直さずに直交度の補正が簡単
に行なえる。
に接し且つコイルに交わる方向に移動可能な電極を備え
ているので、電極を移動させるだけでコイルの巻数と磁
界位置を任意に設定することができる。また、第２の本
発明の走査コイルは、コイルに接する少なくとも３以上
の電極とを備えているので、２つの電極を選択すること
により、コイルの巻数と磁界位置を任意に設定すること
ができる。このため、２つのコイルの直交度が不良な場
合にも、そのコイルを巻き直さずに直交度の補正が簡単
に行なえる。
【図１】本発明の走査コイルの実施例を示したものであ
る。
る。
【図２】図１に示した走査コイルの、コイルと電極の関
係を簡略化した図である。
係を簡略化した図である。
【図３】本発明の走査コイルの実施例を示したものであ
る。
る。
【図４】本発明の走査コイルの実施例を示したものであ
る。
る。
１ コア ２ コイル ３ 電極 ４ 電極 ５ プリント板 ６〜ｎ 電極
Claims (2)
- 【請求項１】 コアと、該コアに巻かれたコイルと、該
コイルに接し且つ該コイルに交わる方向に移動可能な電
極とを備えた荷電粒子線装置における走査コイル。 - 【請求項２】 コアと、該コアに巻かれたコイルと、該
コイルに接する少なくとも３以上の電極とを備えた荷電
粒子線装置における走査コイル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33395993A JP3195703B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 荷電粒子線装置における走査コイル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33395993A JP3195703B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 荷電粒子線装置における走査コイル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07192672A true JPH07192672A (ja) | 1995-07-28 |
| JP3195703B2 JP3195703B2 (ja) | 2001-08-06 |
Family
ID=18271906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33395993A Expired - Fee Related JP3195703B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 荷電粒子線装置における走査コイル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3195703B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2308123A (en) | 1995-12-15 | 1997-06-18 | Mitsubishi Chem Corp | Process for the preparation of an aqueous solution or dispersion containing cationic polymer |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP33395993A patent/JP3195703B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3195703B2 (ja) | 2001-08-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010515 |
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