JPH07201298A - 平板状試料の移動ステージ - Google Patents
平板状試料の移動ステージInfo
- Publication number
- JPH07201298A JPH07201298A JP5336683A JP33668393A JPH07201298A JP H07201298 A JPH07201298 A JP H07201298A JP 5336683 A JP5336683 A JP 5336683A JP 33668393 A JP33668393 A JP 33668393A JP H07201298 A JPH07201298 A JP H07201298A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 振動の影響をなくすことができる平板状試料
の移動ステージを実現する。 【構成】 ウエハ６の表面の走査電子顕微鏡像の観察を
行う場合、ウエハ６を回転ステージ４に固定された３つ
の固定式接触子５上に載せ３点支持する。その後、観察
すべき部分を走査電子顕微鏡の電子ビームの光軸上に位
置させる。ここで、観察すべき部分が垂れ下がっている
と、その部分でウエハ６の振動が発生し、像が振動して
解像度が劣化する。その場合、観察部分に接近した可動
接触子１２を対応する押付板９を圧電素子１１を駆動す
ることによって上方に移動させ、可動接触子１２を押し
上げ、ウエハ６の裏面に接触させる。このウエハ６の裏
面と可動接触子１２とを接触させた瞬間、ウエハ６の上
下振動が規制され、像上に現れた水平成分の振幅が減少
する。
の移動ステージを実現する。 【構成】 ウエハ６の表面の走査電子顕微鏡像の観察を
行う場合、ウエハ６を回転ステージ４に固定された３つ
の固定式接触子５上に載せ３点支持する。その後、観察
すべき部分を走査電子顕微鏡の電子ビームの光軸上に位
置させる。ここで、観察すべき部分が垂れ下がっている
と、その部分でウエハ６の振動が発生し、像が振動して
解像度が劣化する。その場合、観察部分に接近した可動
接触子１２を対応する押付板９を圧電素子１１を駆動す
ることによって上方に移動させ、可動接触子１２を押し
上げ、ウエハ６の裏面に接触させる。このウエハ６の裏
面と可動接触子１２とを接触させた瞬間、ウエハ６の上
下振動が規制され、像上に現れた水平成分の振幅が減少
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査電子顕微鏡などで
シリコンウエハのごとき平板状の試料を観察する場合に
使用して最適な平板状試料の移動ステージに関する。
シリコンウエハのごとき平板状の試料を観察する場合に
使用して最適な平板状試料の移動ステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、走査電子顕微鏡でシリコンウエハ
の観察を行っている。その場合、ウエハを移動ステージ
上に載せ、ウエハの観察箇所を電子ビームの光軸上に移
動させ、その観察箇所で電子ビームの走査を行うように
している。この移動ステージ上でウエハを支持するが、
ウエハの上面を何等かの支持部材と接触させることは、
ウエハの観察上好ましくないので、ウエハを下方から点
接触で支持するようにしている。この点接触支持は、３
点以上の接触子（支柱）を設け、この接触子上にウエハ
を載せるようにしている。
の観察を行っている。その場合、ウエハを移動ステージ
上に載せ、ウエハの観察箇所を電子ビームの光軸上に移
動させ、その観察箇所で電子ビームの走査を行うように
している。この移動ステージ上でウエハを支持するが、
ウエハの上面を何等かの支持部材と接触させることは、
ウエハの観察上好ましくないので、ウエハを下方から点
接触で支持するようにしている。この点接触支持は、３
点以上の接触子（支柱）を設け、この接触子上にウエハ
を載せるようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記した接触子上にウ
エハを載せる方式では、ウエハの径が１００mm程度の小
型のものであれば特に問題は発生しないが、径が１５０
mm以上の大きなウエハになると、接触子の間で、ウエハ
自体の重量によりウエハが垂れ下がり、その部分に振動
が発生する。振動が発生すると、走査電子顕微鏡像の解
像度が劣化し所望の観察を行うことができなくなる。こ
の問題は、接触子の数を多くすることによって解決でき
そうであるが、接触子の高さの精度をいくら高くして
も、ウエハの反りによってかならず接触子からウエハが
浮いてしまう部分が生じる。この部分が観察のポイント
になったとき、この上下振動はウエハを電子ビーム光軸
に対して傾斜させたとき、画像上で水平成分となって顕
著に現われる。
エハを載せる方式では、ウエハの径が１００mm程度の小
型のものであれば特に問題は発生しないが、径が１５０
mm以上の大きなウエハになると、接触子の間で、ウエハ
自体の重量によりウエハが垂れ下がり、その部分に振動
が発生する。振動が発生すると、走査電子顕微鏡像の解
像度が劣化し所望の観察を行うことができなくなる。こ
の問題は、接触子の数を多くすることによって解決でき
そうであるが、接触子の高さの精度をいくら高くして
も、ウエハの反りによってかならず接触子からウエハが
浮いてしまう部分が生じる。この部分が観察のポイント
になったとき、この上下振動はウエハを電子ビーム光軸
に対して傾斜させたとき、画像上で水平成分となって顕
著に現われる。
【０００４】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、振動の影響をなくすことができる
平板状試料の移動ステージを実現するにある。
もので、その目的は、振動の影響をなくすことができる
平板状試料の移動ステージを実現するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に基づく平板状試
料の移動ステージは、平板状試料の所定領域で荷電粒子
ビームを走査し、荷電粒子ビームの走査領域の走査像の
観察を行う装置における試料の移動ステージであって、
試料を移動させる移動機構と、平板状試料の裏面から試
料を支持する複数の固定支持部材と、複数箇所に設けら
れ、それぞれが任意に試料の裏面から試料を支持するこ
とができる可動式支持部材とを備えたことを特徴として
いる。
料の移動ステージは、平板状試料の所定領域で荷電粒子
ビームを走査し、荷電粒子ビームの走査領域の走査像の
観察を行う装置における試料の移動ステージであって、
試料を移動させる移動機構と、平板状試料の裏面から試
料を支持する複数の固定支持部材と、複数箇所に設けら
れ、それぞれが任意に試料の裏面から試料を支持するこ
とができる可動式支持部材とを備えたことを特徴として
いる。
【０００６】
【作用】平板状試料を支持するための固定された支持部
材に加えて、試料の裏面に任意に接触することができる
可動式接触部材を設け、試料の観察位置に応じて可動式
接触部材を上昇させ、可動式接触部材を試料の裏面に接
触させる。
材に加えて、試料の裏面に任意に接触することができる
可動式接触部材を設け、試料の観察位置に応じて可動式
接触部材を上昇させ、可動式接触部材を試料の裏面に接
触させる。
【０００７】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図１は本発明の一実施例の移動ステージの
断面を示す図、図２は図１とは異なる作動状態での平面
図である。図中１は基板であり、この基板１上にＹ方向
に移動するＹ動ステージ２が取り付けられている。この
Ｙ動ステージ２は、図示していないモータにより、基板
１に対して第２図の上下方向に移動できるように構成さ
れている。Ｙ動ステージ２上には、図示していないモー
タにより、第２図の左右方向に移動されるＸ動ステージ
３が取り付けられている。
に説明する。図１は本発明の一実施例の移動ステージの
断面を示す図、図２は図１とは異なる作動状態での平面
図である。図中１は基板であり、この基板１上にＹ方向
に移動するＹ動ステージ２が取り付けられている。この
Ｙ動ステージ２は、図示していないモータにより、基板
１に対して第２図の上下方向に移動できるように構成さ
れている。Ｙ動ステージ２上には、図示していないモー
タにより、第２図の左右方向に移動されるＸ動ステージ
３が取り付けられている。
【０００８】Ｘ動ステージ３上には回転ステージ４が取
り付けられているが、この回転ステージ４は図示してい
ない駆動源によりＸ動ステージ上で回転させられる。こ
の回転ステージ４には、３つの固定式接触子５が固定さ
れており、この接触子５上に平板状試料であるウエハ６
が載せられる。７はガイドローラであり、ウエハ６の位
置を規制する。なお、図２の平面図ではＹ動ステージ
２，Ｘ動ステージ３は省略されている。また、図１の断
面図は機構の特徴的部分を示すように切断線を適宜選択
している。
り付けられているが、この回転ステージ４は図示してい
ない駆動源によりＸ動ステージ上で回転させられる。こ
の回転ステージ４には、３つの固定式接触子５が固定さ
れており、この接触子５上に平板状試料であるウエハ６
が載せられる。７はガイドローラであり、ウエハ６の位
置を規制する。なお、図２の平面図ではＹ動ステージ
２，Ｘ動ステージ３は省略されている。また、図１の断
面図は機構の特徴的部分を示すように切断線を適宜選択
している。
【０００９】基板１上にはガイド８が取り付けられてお
り、ガイド８は円板状の押付板９の支柱１０の上下方向
の移動をガイドする。支柱１０とは反対の端部は圧電素
子１１を介して基板１に取り付けられている。この結
果、圧電素子１１を駆動することにより、支柱１０は上
方向に移動し、押付板９を押し上げる。このガイド８、
押付板９、支柱１０、圧電素子１１の組み合わせは、電
子ビームの光軸上に設けられており、回転ステージ４上
の固定接触子５の間には、可動接触子１２が設けられて
いる。各可動接触子１２は、常にスプリング１３により
下方に押付けられているが、押付板９を圧電素子１１を
駆動することによって押し上げるにつれ、スプリング１
３の力に抗して押し上げられ、可動接触子１２はウエハ
６の下面に接触する。なお、Ｌは圧電素子１１に駆動信
号を供給するためのリード線である。このような構成の
動作を次に説明する。
り、ガイド８は円板状の押付板９の支柱１０の上下方向
の移動をガイドする。支柱１０とは反対の端部は圧電素
子１１を介して基板１に取り付けられている。この結
果、圧電素子１１を駆動することにより、支柱１０は上
方向に移動し、押付板９を押し上げる。このガイド８、
押付板９、支柱１０、圧電素子１１の組み合わせは、電
子ビームの光軸上に設けられており、回転ステージ４上
の固定接触子５の間には、可動接触子１２が設けられて
いる。各可動接触子１２は、常にスプリング１３により
下方に押付けられているが、押付板９を圧電素子１１を
駆動することによって押し上げるにつれ、スプリング１
３の力に抗して押し上げられ、可動接触子１２はウエハ
６の下面に接触する。なお、Ｌは圧電素子１１に駆動信
号を供給するためのリード線である。このような構成の
動作を次に説明する。
【００１０】ウエハ６の表面の走査電子顕微鏡像の観察
を行う場合、ウエハ６を回転ステージ４に固定された３
つの固定式接触子５上に載せ３点支持する。その後、Ｙ
動ステージ２、Ｘ動ステージ３、回転ステージ４をそれ
ぞれ任意に駆動し、観察すべき部分を走査電子顕微鏡の
電子ビームの光軸上に位置させる。ここで、観察すべき
部分が図２のＳ部分である場合、このＳ部分は、２つの
固定式接触子５の間であり、この部分でウエハ６が垂れ
下がっていると、Ｓ部分でウエハ６の振動が発生し、像
が振動して解像度が劣化する。
を行う場合、ウエハ６を回転ステージ４に固定された３
つの固定式接触子５上に載せ３点支持する。その後、Ｙ
動ステージ２、Ｘ動ステージ３、回転ステージ４をそれ
ぞれ任意に駆動し、観察すべき部分を走査電子顕微鏡の
電子ビームの光軸上に位置させる。ここで、観察すべき
部分が図２のＳ部分である場合、このＳ部分は、２つの
固定式接触子５の間であり、この部分でウエハ６が垂れ
下がっていると、Ｓ部分でウエハ６の振動が発生し、像
が振動して解像度が劣化する。
【００１１】その場合、光軸に最も近い接触子１２が押
付板９を圧電素子１１を駆動することによって上方に押
し上げられ、ウエハ６の裏面に接触させる。このウエハ
６の裏面と可動接触子１２とを接触させた瞬間、ウエハ
６の上下振動が規制され、像上に現れた水平成分の振幅
が減少する。更に、押付板９を微動させることにより、
観察部分のウエハの振動は著しく減少し、ほとんど無視
することができる。その結果、得られる走査電子顕微鏡
像は振動がほとんどなくなり、優れた解像度となる。
付板９を圧電素子１１を駆動することによって上方に押
し上げられ、ウエハ６の裏面に接触させる。このウエハ
６の裏面と可動接触子１２とを接触させた瞬間、ウエハ
６の上下振動が規制され、像上に現れた水平成分の振幅
が減少する。更に、押付板９を微動させることにより、
観察部分のウエハの振動は著しく減少し、ほとんど無視
することができる。その結果、得られる走査電子顕微鏡
像は振動がほとんどなくなり、優れた解像度となる。
【００１２】図３は本発明の他の実施例の要部を示して
いるが、図１，２の実施例と同一部分ないしは類似部分
には同一番号を付してその説明は省略する。この実施例
では、図１，２の実施例における圧電素子１１に代え、
モータ１４を用いている。このモータ１４の軸と支柱１
０とは螺合されており、従って、モータ１４の回転によ
り、支柱１０が上下動させられる。
いるが、図１，２の実施例と同一部分ないしは類似部分
には同一番号を付してその説明は省略する。この実施例
では、図１，２の実施例における圧電素子１１に代え、
モータ１４を用いている。このモータ１４の軸と支柱１
０とは螺合されており、従って、モータ１４の回転によ
り、支柱１０が上下動させられる。
【００１３】図４も本発明の他の実施例の要部を示して
いる。この図４の実施例では、押付板９の支柱１０をガ
イドするガイド８を基板１に取り付けると共に、基板１
上にＡ点を起点として回動するレバー１５を設け、基板
１とレバー１５との間に挾まれた圧電素子１６を駆動す
ることによってレバー１５を回動させるように構成して
いる。この場合、圧電素子１６を駆動することによって
レバー１５がＡ点を起点として回動し、支柱１０を介し
て押付板９を押上げ、可動接触子１２をウエハ６の裏面
に接触させる。
いる。この図４の実施例では、押付板９の支柱１０をガ
イドするガイド８を基板１に取り付けると共に、基板１
上にＡ点を起点として回動するレバー１５を設け、基板
１とレバー１５との間に挾まれた圧電素子１６を駆動す
ることによってレバー１５を回動させるように構成して
いる。この場合、圧電素子１６を駆動することによって
レバー１５がＡ点を起点として回動し、支柱１０を介し
て押付板９を押上げ、可動接触子１２をウエハ６の裏面
に接触させる。
【００１４】図５の実施例では、回転ステージ４上に片
持ちのレバー１７が取り付けられている。このレバー１
７の自由端には、可動接触子１８がウエハ６の裏面に対
向して固定されている。レバー１７の固定端の近くの回
転ステージ４との間には、圧電素子１９が設けられてい
る。このような構成で、圧電素子１９を駆動すると、レ
バー１７の自由端が持ち上がり、可動接触子１８が上昇
し、ウエハ６の裏面に接触する。
持ちのレバー１７が取り付けられている。このレバー１
７の自由端には、可動接触子１８がウエハ６の裏面に対
向して固定されている。レバー１７の固定端の近くの回
転ステージ４との間には、圧電素子１９が設けられてい
る。このような構成で、圧電素子１９を駆動すると、レ
バー１７の自由端が持ち上がり、可動接触子１８が上昇
し、ウエハ６の裏面に接触する。
【００１５】以上本発明の実施例を説明したが、本発明
はこの実施例に限定されない。例えば、可動接触子の数
は、それぞれ３に限定されない。また、Ｙ動ステージの
上にＸ動ステージがあり、更にその上に回転ステージを
配置した移動ステージを例に説明したが、移動ステージ
の具体的な構成はこのようなステージに限定されず種々
変形が可能である。更に、平板状試料としてウエハを用
いた例を説明したが、本発明を他の平板状試料を観察す
る場合に用いても良い。
はこの実施例に限定されない。例えば、可動接触子の数
は、それぞれ３に限定されない。また、Ｙ動ステージの
上にＸ動ステージがあり、更にその上に回転ステージを
配置した移動ステージを例に説明したが、移動ステージ
の具体的な構成はこのようなステージに限定されず種々
変形が可能である。更に、平板状試料としてウエハを用
いた例を説明したが、本発明を他の平板状試料を観察す
る場合に用いても良い。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に基づく平
板状試料の移動ステージは、平板状試料を支持するため
の固定された支持部材に加えて、試料の裏面に任意に接
触することができる可動式接触部材を設け、常に試料の
観察位置に固定式接触子を設置し、可動式接触部材を試
料の裏面に接触させるように構成したので、試料の観察
位置に振動が発生しても、その振動をほとんどなくし、
振動の影響をなくした走査像の観察を可能とする。
板状試料の移動ステージは、平板状試料を支持するため
の固定された支持部材に加えて、試料の裏面に任意に接
触することができる可動式接触部材を設け、常に試料の
観察位置に固定式接触子を設置し、可動式接触部材を試
料の裏面に接触させるように構成したので、試料の観察
位置に振動が発生しても、その振動をほとんどなくし、
振動の影響をなくした走査像の観察を可能とする。
【図１】本発明に基づく平板状試料の移動ステージの一
実施例を示す断面図である。
実施例を示す断面図である。
【図２】図１の実施例の図１とは異なる作動状態におけ
る平面図である。
る平面図である。
【図３】本発明に基づく平板状試料の移動ステージの他
の実施例を示す図である。
の実施例を示す図である。
【図４】本発明に基づく平板状試料の移動ステージの他
の実施例を示す図である。
の実施例を示す図である。
【図５】本発明に基づく平板状試料の移動ステージの他
の実施例を示す図である。
の実施例を示す図である。
１ 基板 ２ Ｙ動ステージ ３ Ｘ動ステージ ４ 回転ステージ ５ 固定接触子 ６ ウエハ ７ ガイドローラ ８ ガイド ９ 押付板 １０ 支柱 １１ 圧電素子 １２ 可動接触子 １３ スプリング
Claims (1)
- 【請求項１】 平板状試料の所定領域で荷電粒子ビーム
を走査し、荷電粒子ビームの走査領域の走査像の観察を
行う装置における試料の移動ステージであって、試料を
移動させる移動機構と、平板状試料の裏面から試料を支
持する複数の固定支持部材と、複数箇所に設けられ、そ
れぞれが任意に試料の裏面から試料を支持することがで
きる可動式支持部材とを備えたことを特徴とする平板状
試料の移動ステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5336683A JPH07201298A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 平板状試料の移動ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5336683A JPH07201298A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 平板状試料の移動ステージ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07201298A true JPH07201298A (ja) | 1995-08-04 |
Family
ID=18301727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5336683A Withdrawn JPH07201298A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 平板状試料の移動ステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07201298A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000008676A1 (en) * | 1998-08-04 | 2000-02-17 | Micrion Corporation | Workpiece vibration damper |
| WO2001057909A1 (en) * | 2000-02-04 | 2001-08-09 | Philips Electron Optics B.V. | Object carrier for a particle-optical apparatus |
| JP2004273459A (ja) * | 2003-03-10 | 2004-09-30 | Fei Co | 対象を照射するための粒子−光学装置 |
| JP2008047523A (ja) * | 2006-07-24 | 2008-02-28 | Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh | 試料を検査するための荷電粒子ビーム装置および方法 |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP5336683A patent/JPH07201298A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000008676A1 (en) * | 1998-08-04 | 2000-02-17 | Micrion Corporation | Workpiece vibration damper |
| US6113056A (en) * | 1998-08-04 | 2000-09-05 | Micrion Corporation | Workpiece vibration damper |
| JP2002522900A (ja) * | 1998-08-04 | 2002-07-23 | マイクリオン コーポレーション | 被加工物制振装置 |
| WO2001057909A1 (en) * | 2000-02-04 | 2001-08-09 | Philips Electron Optics B.V. | Object carrier for a particle-optical apparatus |
| JP2004273459A (ja) * | 2003-03-10 | 2004-09-30 | Fei Co | 対象を照射するための粒子−光学装置 |
| JP2008047523A (ja) * | 2006-07-24 | 2008-02-28 | Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh | 試料を検査するための荷電粒子ビーム装置および方法 |
| US8008629B2 (en) | 2006-07-24 | 2011-08-30 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Charged particle beam device and method for inspecting specimen |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |