JPH07201647A - フィルムコンデンサの製造方法及び製造装置 - Google Patents
フィルムコンデンサの製造方法及び製造装置Info
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- JPH07201647A JPH07201647A JP5336374A JP33637493A JPH07201647A JP H07201647 A JPH07201647 A JP H07201647A JP 5336374 A JP5336374 A JP 5336374A JP 33637493 A JP33637493 A JP 33637493A JP H07201647 A JPH07201647 A JP H07201647A
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- film capacitor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 フィルムコンデンサの電極引き出し端面の有
機物選択除去において、フィルムコンデンサを耐熱温度
以下に保ちながら、除去速度を低下させずに選択除去す
る製造装置及び製造方法を提供する。 【構成】 真空保持可能な反応容器３と、複数の電極と
前記電極間に配置されている少なくとも１層の有機材料
からなる誘電体との積層物あるいは巻回物からなるフィ
ルムコンデンサ１を保持する手段と、前記フィルムコン
デンサに対向する位置に高周波電力２が印加される反応
ガス吹き出し電極４を有し、前記誘電体との積層物ある
いは巻回物１と高周波電極４間の距離を１５ｍｍ以下の
狭間隔にし、前記反応ガス吹き出し電極４表面から供給
された反応ガスに実効電力を変化させながら一定周期で
間欠的に放電を発生させる高周波電源２を有し、前記積
層物あるいは巻回物からなるフィルムコンデンサ１の融
電体の電極引き出し端面側部分を選択的に除去する。
機物選択除去において、フィルムコンデンサを耐熱温度
以下に保ちながら、除去速度を低下させずに選択除去す
る製造装置及び製造方法を提供する。 【構成】 真空保持可能な反応容器３と、複数の電極と
前記電極間に配置されている少なくとも１層の有機材料
からなる誘電体との積層物あるいは巻回物からなるフィ
ルムコンデンサ１を保持する手段と、前記フィルムコン
デンサに対向する位置に高周波電力２が印加される反応
ガス吹き出し電極４を有し、前記誘電体との積層物ある
いは巻回物１と高周波電極４間の距離を１５ｍｍ以下の
狭間隔にし、前記反応ガス吹き出し電極４表面から供給
された反応ガスに実効電力を変化させながら一定周期で
間欠的に放電を発生させる高周波電源２を有し、前記積
層物あるいは巻回物からなるフィルムコンデンサ１の融
電体の電極引き出し端面側部分を選択的に除去する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフィルムコンデンサの製
造方法及び製造装置に関するものである。
造方法及び製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、電子部品に対して小型化、軽量
化、高性能化、低価格化が要望されており、フィルムコ
ンデンサについても小型化、高性能化のための開発が盛
んに行われている。
化、高性能化、低価格化が要望されており、フィルムコ
ンデンサについても小型化、高性能化のための開発が盛
んに行われている。
【０００３】以下、従来のフィルムコンデンサの製造過
程において、誘電体の電極引き出し端面部分を選択的に
除去する肯定の一例について説明する。
程において、誘電体の電極引き出し端面部分を選択的に
除去する肯定の一例について説明する。
【０００４】図７は従来の誘電体の電極取り出し端面部
分を酸素プラズマにより選択的に除去する工程と装置を
示すものである。図７において、１はフィルムコンデン
サ素体で、１ａは誘電体となるポリフェニレンサルファ
イドフィルム（以下ＰＰＳフィルムと略す）、１ｂは電
極となるアルミ蒸着膜、２は高周波電源、３は真空保持
可能な真空容器、４は酸素ガス噴き出し口を有し高周波
電力が印加される上部電極、５は水冷された下部電極、
６はフィルムコンデンサ素体１の電極取り出し端面以外
の面が酸素プラズマに接触しないようになるアルミニウ
ムのマスク材である。
分を酸素プラズマにより選択的に除去する工程と装置を
示すものである。図７において、１はフィルムコンデン
サ素体で、１ａは誘電体となるポリフェニレンサルファ
イドフィルム（以下ＰＰＳフィルムと略す）、１ｂは電
極となるアルミ蒸着膜、２は高周波電源、３は真空保持
可能な真空容器、４は酸素ガス噴き出し口を有し高周波
電力が印加される上部電極、５は水冷された下部電極、
６はフィルムコンデンサ素体１の電極取り出し端面以外
の面が酸素プラズマに接触しないようになるアルミニウ
ムのマスク材である。
【０００５】同図において、フィルムコンデンサ素体１
の電極取り出し端面部は、上部電極と下部電極５間に発
生させた酸素プラズマに接触することにより、有機材料
であるＰＰＳフィルム１ａの電極取り出し端面側部分が
選択的に除去されアルミ電極１ｂが露出し、またＰＰＳ
フィルム１ａの端部が電極取り出し端面内で凹凸を形成
することとなる。
の電極取り出し端面部は、上部電極と下部電極５間に発
生させた酸素プラズマに接触することにより、有機材料
であるＰＰＳフィルム１ａの電極取り出し端面側部分が
選択的に除去されアルミ電極１ｂが露出し、またＰＰＳ
フィルム１ａの端部が電極取り出し端面内で凹凸を形成
することとなる。
【０００６】次に前記電極取り出し端面にメタリコンに
より黄銅の端面電極（図示せず）を形成することにより
アルミ電極１ｂと端面電極の電気的接触を得ることがで
きる。
より黄銅の端面電極（図示せず）を形成することにより
アルミ電極１ｂと端面電極の電気的接触を得ることがで
きる。
【０００７】ここで図６はＰＰＳフィルム１ａを選択的
に除去する工程における処理時間とフィルムコンデンサ
素体１の上昇温度およびＰＰＳフィルム除去量の関係を
示したものである。尚、図７に示した装置における処理
条件は、Ｏ2流量３０ＳＣＣＭ、圧力０．５Ｔｏｒｒ、
電極間距離５０ｍｍ、高周波電力は３００Ｗ、５００
Ｗ、７００Ｗの各々である。
に除去する工程における処理時間とフィルムコンデンサ
素体１の上昇温度およびＰＰＳフィルム除去量の関係を
示したものである。尚、図７に示した装置における処理
条件は、Ｏ2流量３０ＳＣＣＭ、圧力０．５Ｔｏｒｒ、
電極間距離５０ｍｍ、高周波電力は３００Ｗ、５００
Ｗ、７００Ｗの各々である。
【０００８】図６よりまず第１に印加高周波電力が大き
いほどＰＰＳフィルム１ａの除去速度が速くまた温度上
昇速度が速いこと、第２に一定強度の高周波電力を印加
すれば一定時間が経過すれば上昇温度は一定となるこ
と、また第３に所望量である５０μｍのＰＰＳフィルム
１ａ端部を除去するには７００Ｗの高周波電力ではＰＰ
Ｓフィルム１ａの耐熱温度以上に温度が上昇してしま
い、耐熱温度以下で処理できず５００Ｗの高周波電力の
印加では耐熱温度以上に温度が上昇せず処理時間４５分
で所望量である５０μｍのＰＰＳフィルム１ａの端部が
除去でき、また３００Ｗの高周波電力の印加では処理時
間が６０分必要であることから５００Ｗの高周波電力の
印加が最短の処理時間４５分であることがわかる。
いほどＰＰＳフィルム１ａの除去速度が速くまた温度上
昇速度が速いこと、第２に一定強度の高周波電力を印加
すれば一定時間が経過すれば上昇温度は一定となるこ
と、また第３に所望量である５０μｍのＰＰＳフィルム
１ａ端部を除去するには７００Ｗの高周波電力ではＰＰ
Ｓフィルム１ａの耐熱温度以上に温度が上昇してしま
い、耐熱温度以下で処理できず５００Ｗの高周波電力の
印加では耐熱温度以上に温度が上昇せず処理時間４５分
で所望量である５０μｍのＰＰＳフィルム１ａの端部が
除去でき、また３００Ｗの高周波電力の印加では処理時
間が６０分必要であることから５００Ｗの高周波電力の
印加が最短の処理時間４５分であることがわかる。
【０００９】このことは言い換えれば、印加高周波電力
が大きくなれば酸素プラズマ密度が上がりＰＰＳフィル
ム１ａの除去速度が速くなるが、過大な高周波電力の印
加はＰＰＳフィルム１ａの耐熱温度以上に温度が上昇
し、ＰＰＳフィルム１ａが融解してしまう。そのため、
従来のＰＰＳフィルム１ａの除去工程では、ＰＰＳフィ
ルム１ａを所望量除去するまでＰＰＳフィルム１ａの耐
熱温度以上に温度が上昇しないような高周波電力でかつ
その中で最も除去速度の速い高周波電力である５００Ｗ
で処理していた。
が大きくなれば酸素プラズマ密度が上がりＰＰＳフィル
ム１ａの除去速度が速くなるが、過大な高周波電力の印
加はＰＰＳフィルム１ａの耐熱温度以上に温度が上昇
し、ＰＰＳフィルム１ａが融解してしまう。そのため、
従来のＰＰＳフィルム１ａの除去工程では、ＰＰＳフィ
ルム１ａを所望量除去するまでＰＰＳフィルム１ａの耐
熱温度以上に温度が上昇しないような高周波電力でかつ
その中で最も除去速度の速い高周波電力である５００Ｗ
で処理していた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前記のよ
うな低い一定の高周波電力を印加していたのでは、第１
点目に有機材料からなる誘電体と反応性の成分の生成量
が少なく、誘電体の除去速度が遅いため処理時間が長い
という問題点を有し、また第２点目に一般に有機材料の
除去速度は温度が高いほど大きいと知られていること
と、低い一定の高周波電力の印加では温度上昇速度が遅
いということから処理時間が長くなるという問題点を有
していた。
うな低い一定の高周波電力を印加していたのでは、第１
点目に有機材料からなる誘電体と反応性の成分の生成量
が少なく、誘電体の除去速度が遅いため処理時間が長い
という問題点を有し、また第２点目に一般に有機材料の
除去速度は温度が高いほど大きいと知られていること
と、低い一定の高周波電力の印加では温度上昇速度が遅
いということから処理時間が長くなるという問題点を有
していた。
【００１１】本発明は前記問題点に鑑み、誘電体の電極
取り出し端面部分を選択的に除去する工程の処理時間の
短縮方法を提供するものである。
取り出し端面部分を選択的に除去する工程の処理時間の
短縮方法を提供するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記課題を達成するため
に本発明のフィルムコンデンサの製造方法は、有機材料
と反応性を有する成分の生成に高周波電力によるプラズ
マを利用し前記高周波電力が印加される電極と、前記積
層物あるいは巻回物の誘電体間の距離を１５ｍｍ以下の
狭間隔に配置した構成を有するものである。
に本発明のフィルムコンデンサの製造方法は、有機材料
と反応性を有する成分の生成に高周波電力によるプラズ
マを利用し前記高周波電力が印加される電極と、前記積
層物あるいは巻回物の誘電体間の距離を１５ｍｍ以下の
狭間隔に配置した構成を有するものである。
【００１３】また本発明は、前記高周波電力が印加され
る電極に高周波電源から実効電力を変化させながら一定
周期に間欠的に発生させたプラズマを用いて処理するも
のである。
る電極に高周波電源から実効電力を変化させながら一定
周期に間欠的に発生させたプラズマを用いて処理するも
のである。
【００１４】さらに本発明は、前記高周波電力が印加さ
れる電極と前記積層物あるいは巻回物の誘電体間の距離
を１５ｍｍ以下の狭間隔に配置し、かつ前記高周波電力
が印加される電極に高周波電源から実効電力を変化させ
ながら一定周期で間欠的に発生させたプラズマを用いて
処理するものである。
れる電極と前記積層物あるいは巻回物の誘電体間の距離
を１５ｍｍ以下の狭間隔に配置し、かつ前記高周波電力
が印加される電極に高周波電源から実効電力を変化させ
ながら一定周期で間欠的に発生させたプラズマを用いて
処理するものである。
【００１５】
【作用】本発明は有機材料と反応性を有する成分の生成
に高周波電力によるプラズマを利用し前記高周波電力が
印加される電極と、前記積層物あるいは巻回物の誘電体
間の距離を１５ｍｍ以下の狭間隔に配置することによ
り、プラズマ密度を従来法より増加させることで有機材
料と反応性の成分を多量に生成し、誘電体の除去速度を
速め処理時間を短縮することができる。
に高周波電力によるプラズマを利用し前記高周波電力が
印加される電極と、前記積層物あるいは巻回物の誘電体
間の距離を１５ｍｍ以下の狭間隔に配置することによ
り、プラズマ密度を従来法より増加させることで有機材
料と反応性の成分を多量に生成し、誘電体の除去速度を
速め処理時間を短縮することができる。
【００１６】また本発明は、高周波電力が印加される電
極に高周波電源から実効電力を変化させながら一定周期
で間欠的に発生させたプラズマを用いて処理すること
で、従来印加していたのと同じ電力で積層物あるいは巻
回物の誘電体の除去が前記誘電体の耐熱温度以上になる
ことがなく処理でき、誘電体の除去速度を速め処理時間
を短縮することができる。
極に高周波電源から実効電力を変化させながら一定周期
で間欠的に発生させたプラズマを用いて処理すること
で、従来印加していたのと同じ電力で積層物あるいは巻
回物の誘電体の除去が前記誘電体の耐熱温度以上になる
ことがなく処理でき、誘電体の除去速度を速め処理時間
を短縮することができる。
【００１７】さらに本発明では、前記高周波電力が印加
される電極と前記積層物あるいは巻回物の誘電体間の距
離を１５ｍｍ以下の狭間隔に配置し、かつ前記高周波電
力が印加される電極に高周波電源から実効電力を変化さ
せながら一定周期で間欠的に発生させたプラズマを用い
て処理することで、プラズマ密度を従来法より増加させ
有機材料と反応性の成分を多量に生成し、かつ従来印加
していたのと同じ電力で積層物あるいは巻回物の誘電体
の除去が前記誘電体の耐熱温度以上になることがなく処
理でき、誘電体の除去速度を速め処理時間を短縮するこ
とができる。
される電極と前記積層物あるいは巻回物の誘電体間の距
離を１５ｍｍ以下の狭間隔に配置し、かつ前記高周波電
力が印加される電極に高周波電源から実効電力を変化さ
せながら一定周期で間欠的に発生させたプラズマを用い
て処理することで、プラズマ密度を従来法より増加させ
有機材料と反応性の成分を多量に生成し、かつ従来印加
していたのと同じ電力で積層物あるいは巻回物の誘電体
の除去が前記誘電体の耐熱温度以上になることがなく処
理でき、誘電体の除去速度を速め処理時間を短縮するこ
とができる。
【００１８】
【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
【００１９】図１は本発明の実施例における誘電体の電
極取り出し端面部分を選択的に除去する装置を示すもの
である。フィルムコンデンサ素子１に対向して両側にフ
ィルムコンデンサ１との距離（以下電極間距離と示す）
が可変可能な構造の高周波電力が印加される電極４が配
設されている。なお、高周波電力と電極間距離以外の処
理条件及び装置は従来技術で示したものと同様である。
極取り出し端面部分を選択的に除去する装置を示すもの
である。フィルムコンデンサ素子１に対向して両側にフ
ィルムコンデンサ１との距離（以下電極間距離と示す）
が可変可能な構造の高周波電力が印加される電極４が配
設されている。なお、高周波電力と電極間距離以外の処
理条件及び装置は従来技術で示したものと同様である。
【００２０】図２は高周波電力を５００Ｗで電極間距離
を８〜３０ｍｍに変化させた場合のＰＰＳフィルム１ａ
の選択的除去工程での除去速度を示すものである。同図
より電極間距離を１５ｍｍ以下とした場合にＰＰＳフィ
ルム１ａの除去速度が増加することがわかる。
を８〜３０ｍｍに変化させた場合のＰＰＳフィルム１ａ
の選択的除去工程での除去速度を示すものである。同図
より電極間距離を１５ｍｍ以下とした場合にＰＰＳフィ
ルム１ａの除去速度が増加することがわかる。
【００２１】図３は本発明の第１の実施例における誘電
体の電極取り出し端面側部分の選択的除去法工程での、
処理時間とフィルムコンデンサ素体１の上昇温度および
ＰＰＳフィルム除去量の関係を示したものである。第１
の実施例では、有機材料からなる誘電体であるＰＰＳフ
ィルム１ａの電極取り出し端面側部分を酸素プラズマに
接触させることにより、ＰＰＳフィルム１ａの電極取り
出し端面側部分を選択的に除去する工程において、前記
フィルムコンデンサ素体１と高周波電力が印加される電
極４間の距離を１５ｍｍとし低温酸素プラズマを発生さ
せ、ＰＰＳフィルム１ａの電極取り出し端面側部分を選
択的に除去する。
体の電極取り出し端面側部分の選択的除去法工程での、
処理時間とフィルムコンデンサ素体１の上昇温度および
ＰＰＳフィルム除去量の関係を示したものである。第１
の実施例では、有機材料からなる誘電体であるＰＰＳフ
ィルム１ａの電極取り出し端面側部分を酸素プラズマに
接触させることにより、ＰＰＳフィルム１ａの電極取り
出し端面側部分を選択的に除去する工程において、前記
フィルムコンデンサ素体１と高周波電力が印加される電
極４間の距離を１５ｍｍとし低温酸素プラズマを発生さ
せ、ＰＰＳフィルム１ａの電極取り出し端面側部分を選
択的に除去する。
【００２２】以上のように第一の実施例によれば、フィ
ルムコンデンサ素体１と高周波電力が印加される電極４
間を１５ｍｍとすることで酸素ラジカル量を増加させた
高密度低温酸素プラズマを発生させることにより、酸素
プラズマ中にＰＰＳフィルム１ａと反応性の成分を多量
に生成しＰＰＳフィルム１ａの除去速度を速め処理時間
の短縮を図るとともに、フィルムコンデンサ素体１の温
度を短時間で耐熱温度付近である２７０度まで上昇さ
せ、かつ２７０度で一定温度を保ちながら処理を行うこ
とで３００Ｗの高周波電力を印可することでは従来法と
同等、５００Ｗの高周波電力を印加することで従来法よ
りも速い除去速度でＰＰＳフィルム１ａを除去すること
ができ処理時間を３０分間に短縮することができる。フ
ィルムコンデンサ素体１と高周波電力が印可される電極
４間を１５ｍｍ以下とし高密度低温酸素プラズマを発生
させることにより、５００Ｗの高周波電力により従来法
の処理時間４５分間よりも３０分間に処理時間を短縮で
きる。
ルムコンデンサ素体１と高周波電力が印加される電極４
間を１５ｍｍとすることで酸素ラジカル量を増加させた
高密度低温酸素プラズマを発生させることにより、酸素
プラズマ中にＰＰＳフィルム１ａと反応性の成分を多量
に生成しＰＰＳフィルム１ａの除去速度を速め処理時間
の短縮を図るとともに、フィルムコンデンサ素体１の温
度を短時間で耐熱温度付近である２７０度まで上昇さ
せ、かつ２７０度で一定温度を保ちながら処理を行うこ
とで３００Ｗの高周波電力を印可することでは従来法と
同等、５００Ｗの高周波電力を印加することで従来法よ
りも速い除去速度でＰＰＳフィルム１ａを除去すること
ができ処理時間を３０分間に短縮することができる。フ
ィルムコンデンサ素体１と高周波電力が印可される電極
４間を１５ｍｍ以下とし高密度低温酸素プラズマを発生
させることにより、５００Ｗの高周波電力により従来法
の処理時間４５分間よりも３０分間に処理時間を短縮で
きる。
【００２３】図４は本発明の第二の実施例における誘電
体の電極取り出し端面側部分の選択的除去工程での、処
理時間とフィルムコンデンサ素体１の上昇温度及びＰＰ
Ｓフィルム除去量の関係を示したものである。第二の実
施例では、有機材料からなる誘電体であるＰＰＳフィル
ム１ａの電極取り出し端面側部分を酸素プラズマに接触
させることにより、ＰＰＳフィルム１ａの電極取り出し
端面側部分を選択的に除去する工程において前記酸素プ
ラズマの発生エネルギー源である高周波電極２の電力実
効値を一定時間間隔で変化させ、さらに一定の周期で放
電をオン・オフさせるパルス放電により低温酸素プラズ
マを発生させ、ＰＰＳフィルム１ａの電極取り出し端面
側部分を選択的に除去する。
体の電極取り出し端面側部分の選択的除去工程での、処
理時間とフィルムコンデンサ素体１の上昇温度及びＰＰ
Ｓフィルム除去量の関係を示したものである。第二の実
施例では、有機材料からなる誘電体であるＰＰＳフィル
ム１ａの電極取り出し端面側部分を酸素プラズマに接触
させることにより、ＰＰＳフィルム１ａの電極取り出し
端面側部分を選択的に除去する工程において前記酸素プ
ラズマの発生エネルギー源である高周波電極２の電力実
効値を一定時間間隔で変化させ、さらに一定の周期で放
電をオン・オフさせるパルス放電により低温酸素プラズ
マを発生させ、ＰＰＳフィルム１ａの電極取り出し端面
側部分を選択的に除去する。
【００２４】以上のように第二の実施例によれば、プラ
ズマの発生エネルギー源である高周波電力２の電力実効
値を一定時間間隔で変化させさらに一定の周期で放電を
オン・オフさせるパルス放電によりフィルムコンデンサ
素体１と高周波電力が印加される電極４に低温酸素プラ
ズマを発生させることにより、７００Ｗの高周波電力を
印加させても耐熱温度である２８５度以上に上昇させ
ず、２７０度で一定温度を保ちながら処理を行い７００
Ｗの高周波電力を印加することで酸素ラジカルが多い酸
素プラズマを発生でき、従来法よりも速い除去速度でＰ
ＰＳフィルム１ａを除去することができ処理時間を従来
の４５分間から３０分間に短縮することができる。パル
ス条件は１周期が１００〜１０００ｍｓで１周期中の放
電時間が５０％以上の範囲がよい。図５は本発明の第三
の実施例における誘電体の電極取り出し端面側部分の選
択的除去工程での、処理時間とフィルムコンデンサ素体
１の上昇温度及びＰＰＳフィルム除去量の関係を示した
ものである。
ズマの発生エネルギー源である高周波電力２の電力実効
値を一定時間間隔で変化させさらに一定の周期で放電を
オン・オフさせるパルス放電によりフィルムコンデンサ
素体１と高周波電力が印加される電極４に低温酸素プラ
ズマを発生させることにより、７００Ｗの高周波電力を
印加させても耐熱温度である２８５度以上に上昇させ
ず、２７０度で一定温度を保ちながら処理を行い７００
Ｗの高周波電力を印加することで酸素ラジカルが多い酸
素プラズマを発生でき、従来法よりも速い除去速度でＰ
ＰＳフィルム１ａを除去することができ処理時間を従来
の４５分間から３０分間に短縮することができる。パル
ス条件は１周期が１００〜１０００ｍｓで１周期中の放
電時間が５０％以上の範囲がよい。図５は本発明の第三
の実施例における誘電体の電極取り出し端面側部分の選
択的除去工程での、処理時間とフィルムコンデンサ素体
１の上昇温度及びＰＰＳフィルム除去量の関係を示した
ものである。
【００２５】第三の実施例では、有機材料からなる誘電
体であるＰＰＳフィルム１ａの電極取り出し端面側部分
を酸素プラズマに接触させることにより、ＰＰＳフィル
ム１ａの電極取り出し端面側部分を選択的に除去する工
程において、前記酸素プラズマの発生エネルギー源であ
る高周波電源２の電力実効値を一定時間間隔で変化さ
せ、さらに一定の周期で放電をオン・オフさせるパルス
放電によりフィルムコンデンサ素体１と高周波電力が印
加される電極４間を１５ｍｍとし高密度低温酸素プラズ
マを発生させ、ＰＰＳフィルム１ａの電極取り出し端面
側部分を選択的に除去する。
体であるＰＰＳフィルム１ａの電極取り出し端面側部分
を酸素プラズマに接触させることにより、ＰＰＳフィル
ム１ａの電極取り出し端面側部分を選択的に除去する工
程において、前記酸素プラズマの発生エネルギー源であ
る高周波電源２の電力実効値を一定時間間隔で変化さ
せ、さらに一定の周期で放電をオン・オフさせるパルス
放電によりフィルムコンデンサ素体１と高周波電力が印
加される電極４間を１５ｍｍとし高密度低温酸素プラズ
マを発生させ、ＰＰＳフィルム１ａの電極取り出し端面
側部分を選択的に除去する。
【００２６】以上のように第三の実施例によれば、フィ
ルムコンデンサ素体１と高周波電力が印加される電極４
間を１５ｍｍとし高密度低温酸素プラズマを発生させる
ことにより、酸素プラズマ中にＰＰＳフィルム１ａと反
応性の成分を多量に生成しＰＰＳフィルム１ａの除去速
度を速め処理時間の短縮を図るとともに、フィルムコン
デンサ素体１の温度を短時間で耐熱温度付近である２７
０度まで上昇させる。さらにプラズマの発生エネルギー
源である高周波電力２の電力実効値を一定時間間隔で変
化させ、一定の周期で放電をオン・オフさせるパルス放
電によりフィルムコンデンサ素体１ａの温度を耐熱温度
である２８５度以上に上昇させず、２７０度で一定温度
を保ちながら処理を行い５００Ｗの高周波電力を印可す
ることで従来法よりも速い除去速度でＰＰＳフィルム１
ａを除去することができ処理時間を２５分間に短縮する
ことができる。酸素プラズマの発生エネルギー源である
高周波電源２の電力実効値を一定時間間隔で変化させ、
さらに一定の周期で放電をオン・オフさせるパルス放電
によりフィルムコンデンサ素体１と高周波電力が印加さ
れる電極４間を１５ｍｍとし高密度低温酸素プラズマを
発生させることにより、従来法による処理を行う処理時
間４５分よりも２０分間処理時間を短縮できる。パルス
条件は１周期が１００〜１０００ｍｓで１周期中中の放
電時間が５０％以上の範囲がよい。尚、実施例において
誘電体にＰＰＳフィルムを用いたが、ＰＥＴフィルム
（ポリエチレンテレフタレート）あるいはＰＥＮフィル
ム（ポリエチレンナフタレート）あるいはＰＰフィルム
（ポリプロピレン）あるいはＰＣフィルム（ポリカーボ
ネート）等を用いてもよい。
ルムコンデンサ素体１と高周波電力が印加される電極４
間を１５ｍｍとし高密度低温酸素プラズマを発生させる
ことにより、酸素プラズマ中にＰＰＳフィルム１ａと反
応性の成分を多量に生成しＰＰＳフィルム１ａの除去速
度を速め処理時間の短縮を図るとともに、フィルムコン
デンサ素体１の温度を短時間で耐熱温度付近である２７
０度まで上昇させる。さらにプラズマの発生エネルギー
源である高周波電力２の電力実効値を一定時間間隔で変
化させ、一定の周期で放電をオン・オフさせるパルス放
電によりフィルムコンデンサ素体１ａの温度を耐熱温度
である２８５度以上に上昇させず、２７０度で一定温度
を保ちながら処理を行い５００Ｗの高周波電力を印可す
ることで従来法よりも速い除去速度でＰＰＳフィルム１
ａを除去することができ処理時間を２５分間に短縮する
ことができる。酸素プラズマの発生エネルギー源である
高周波電源２の電力実効値を一定時間間隔で変化させ、
さらに一定の周期で放電をオン・オフさせるパルス放電
によりフィルムコンデンサ素体１と高周波電力が印加さ
れる電極４間を１５ｍｍとし高密度低温酸素プラズマを
発生させることにより、従来法による処理を行う処理時
間４５分よりも２０分間処理時間を短縮できる。パルス
条件は１周期が１００〜１０００ｍｓで１周期中中の放
電時間が５０％以上の範囲がよい。尚、実施例において
誘電体にＰＰＳフィルムを用いたが、ＰＥＴフィルム
（ポリエチレンテレフタレート）あるいはＰＥＮフィル
ム（ポリエチレンナフタレート）あるいはＰＰフィルム
（ポリプロピレン）あるいはＰＣフィルム（ポリカーボ
ネート）等を用いてもよい。
【００２７】
【発明の効果】以上のように本発明は、有機材料と反応
性を有する生成に高周波電力によるプラズマを利用し前
記高周波電力が印加される電極と、前記積層物あるいは
巻回物の誘電体間の距離を１５ｍｍ以下の狭間隔に配置
することにより、プラズマ密度を従来法より増加させる
ことで有機材利を反応性の成分を多量に生成し、誘電体
の除去速度を速め処理時間を短縮することができる。
性を有する生成に高周波電力によるプラズマを利用し前
記高周波電力が印加される電極と、前記積層物あるいは
巻回物の誘電体間の距離を１５ｍｍ以下の狭間隔に配置
することにより、プラズマ密度を従来法より増加させる
ことで有機材利を反応性の成分を多量に生成し、誘電体
の除去速度を速め処理時間を短縮することができる。
【００２８】また本発明は、高周波電力が印加される電
極に高周波電源から実効電力を変化させながら一定周期
で間欠的に発生させたプラズマを用いて処理すること
で、従来印加していたのと同じ電力で積層物あるいは巻
回物の誘電体の除去が前記誘電体の耐熱温度以上になる
ことがなく処理でき、誘電体の除去速度を速め処理時間
を短縮することができる。
極に高周波電源から実効電力を変化させながら一定周期
で間欠的に発生させたプラズマを用いて処理すること
で、従来印加していたのと同じ電力で積層物あるいは巻
回物の誘電体の除去が前記誘電体の耐熱温度以上になる
ことがなく処理でき、誘電体の除去速度を速め処理時間
を短縮することができる。
【００２９】さらに本発明では、前記高周波電力が印加
される電極と前記積層物あるいは巻回物の誘電体間の距
離を１５ｍｍ以下の狭間隔に配置し、かつ前記高周波電
力が印加される電極に高周波電源から実効電力を変化さ
せながら一定周期で間欠的に発生させたプラズマを用い
て処理することで、プラズマ密度を従来法より増加させ
有機材料と反応性の成分を多量に生成し、かつ従来印加
していたのと同じ電力で積層物あるいは巻回物の誘電体
の除去が前記誘電体の耐熱温度以上になることがなく処
理でき、誘電体の除去速度を速め処理時間を短縮するこ
とができる。
される電極と前記積層物あるいは巻回物の誘電体間の距
離を１５ｍｍ以下の狭間隔に配置し、かつ前記高周波電
力が印加される電極に高周波電源から実効電力を変化さ
せながら一定周期で間欠的に発生させたプラズマを用い
て処理することで、プラズマ密度を従来法より増加させ
有機材料と反応性の成分を多量に生成し、かつ従来印加
していたのと同じ電力で積層物あるいは巻回物の誘電体
の除去が前記誘電体の耐熱温度以上になることがなく処
理でき、誘電体の除去速度を速め処理時間を短縮するこ
とができる。
【図１】本発明の誘電体の選択除去処理装置の概略構成
図
図
【図２】本発明の実施例におけるフィルムコンデンサの
誘電体の選択除去工程の電極間距離とフィルムコンデン
サの除去速度の関係を示す図
誘電体の選択除去工程の電極間距離とフィルムコンデン
サの除去速度の関係を示す図
【図３】本発明の第一の実施例におけるフィルムコンデ
ンサの誘電体の選択除去工程の処理時間と温度上昇、誘
電体の除去量の関係を示す図
ンサの誘電体の選択除去工程の処理時間と温度上昇、誘
電体の除去量の関係を示す図
【図４】本発明の第二の実施例におけるフィルムコンデ
ンサの誘電体の選択除去工程の処理時間と温度上昇、誘
電体の除去量の関係を示す図
ンサの誘電体の選択除去工程の処理時間と温度上昇、誘
電体の除去量の関係を示す図
【図５】本発明の第三の実施例におけるフィルムコンデ
ンサの誘電体の選択除去工程の処理時間と温度上昇、誘
電体の除去量の関係を示す図
ンサの誘電体の選択除去工程の処理時間と温度上昇、誘
電体の除去量の関係を示す図
【図６】従来法における処理時間と温度上昇誘電体の除
去量の関係を示した図
去量の関係を示した図
【図７】誘電体の選択除去処理装置の概略構成図
１ フィルムコンデンサ素体 １ａ 誘電体 １ｂ 電極 ２ 高周波電源 ３ 真空容器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田辺 浩 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 複数の電極と前記電極間に配置されてい
る少なくとも１層の有機材料からなる誘電体との積層物
あるいは巻回物の電極引き出し端面側部分を、前記誘電
体の耐熱温度以下で前記有機材料と反応性の成分を少な
くとも含むガスに接触させ、前記積層物あるいは巻回物
の誘電体の電極引き出し端面側部分を選択的に除去した
後、端面電極を形成するフィルムコンデンサの製造方法
において、有機材料と反応性を有する成分の生成に高周
波電力によるプラズマを利用し前記高周波電力が印加さ
れる電極と、前記積層物あるいは巻回物の誘電体間の距
離を１５ｍｍ以下の狭間隔に配置したことを特徴とする
フィルムコンデンサの製造方法。 - 【請求項２】 請求項１記載のフィルムコンデンサの製
造方法において、有機材料と反応性を有する成分の生成
に高周波電力によるプラズマを利用し、前記高周波電力
が印加される電極に高周波電源から実効電力を変化させ
ながら一定周期で間欠的に発生させたプラズマを用いる
ことを特徴とするフィルムコンデンサの製造方法。 - 【請求項３】 真空保持可能な反応容器と、複数の電極
と前記電極間に配置されている少なくとも１層の有機材
料からなる誘電体との積層物あるいは巻回物からなるフ
ィルムコンデンサを保持する手段と、前記フィルムコン
デンサに対向する位置に高周波電力が印加される反応ガ
ス吹き出し電極と、前記反応ガス吹き出し電極表面から
供給された反応ガスに実効電力を変化させながら一定周
期で間欠的に放電を発生させる高周波電源を有し、前記
積層物あるいは巻回物の誘電体の電極引き出し端面側部
分を選択的に除去することを特徴とするフィルムコンデ
ンサの製造方法。 - 【請求項４】 真空保持可能な反応容器と、複数の電極
と前記電極間に配置されている少なくとも１層の有機材
料からなる誘電体との積層物あるいは巻回物からなるフ
ィルムコンデンサを保持する手段と、前記フィルムコン
デンサに対向する位置に高周波電力が印加される反応ガ
ス吹き出し電極を有し、前記誘電体との積層物あるいは
巻回物と高周波電極間の距離を１５ｍｍ以下の狭間隔に
し、前記積層物あるいは巻回物の誘電体の電極引き出し
端面側部分を選択的に除去することを特徴とするフィル
ムコンデンサの製造装置。 - 【請求項５】 真空保持可能な反応容器と、複数の電極
と前記電極間に配置されている少なくとも１層の有機材
料からなる誘電体との積層物あるいは巻回物からなるフ
ィルムコンデンサを保持する手段と、前記フィルムコン
デンサに対向する位置に高周波電力が印加される反応ガ
ス吹き出し電極と、前記誘電体との積層物あるいは巻回
物と高周波電極間の距離を１５ｍｍ以下の狭間隔にし、
前記反応ガス吹き出し電極表面から供給された反応ガス
に実効電力を変化させながら一定周期で間欠的に放電を
発生させる高周波電源を有し、前記積層物あるいは巻回
物の誘電体の電極引き出し端面側部分を選択的に除去す
ることを特徴とするフィルムコンデンサの製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5336374A JPH07201647A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | フィルムコンデンサの製造方法及び製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5336374A JPH07201647A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | フィルムコンデンサの製造方法及び製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07201647A true JPH07201647A (ja) | 1995-08-04 |
Family
ID=18298480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5336374A Pending JPH07201647A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | フィルムコンデンサの製造方法及び製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07201647A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009113298A1 (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-17 | ダイキン工業株式会社 | 電力変換装置 |
| JP2009219267A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Daikin Ind Ltd | 電力変換装置 |
| JP2016121330A (ja) * | 2014-12-24 | 2016-07-07 | 株式会社ジェイテクト | 樹脂製部材の製造方法 |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP5336374A patent/JPH07201647A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009113298A1 (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-17 | ダイキン工業株式会社 | 電力変換装置 |
| JP2009219268A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Daikin Ind Ltd | 電力変換装置 |
| JP2009219267A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Daikin Ind Ltd | 電力変換装置 |
| JP2016121330A (ja) * | 2014-12-24 | 2016-07-07 | 株式会社ジェイテクト | 樹脂製部材の製造方法 |
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