JPH072038Y2 - 真空槽の物品出し入れ装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、密閉容器の内部に対して物品を搬入、搬出す
る搬送装置の技術分野で利用され、特に、真空槽の物品
出し入れ装置に関するものである。

（従来の技術） 真空容器に対して、この容器内部の真空圧を破ることな
く物品を出し入れするための搬送装置は、種々提案され
ている。従来の真空槽の物品出し入れ装置ａの一例を第
５図によって説明すると、真空槽ｂの一端に予備室ｃを
連設してこの両者間にゲートバルブｄが設けられるとと
もに、予備室ｃには、物品ｅを真空槽ｂに搬入、搬出す
る搬送用受盤ｆが収容されている。更に、予備室ｃの一
端には、搬送用受盤ｆの外端を保持して伸縮するベロー
ズｇと、このベローズｇの外端を保持するシリンダｈと
が連設されている。予備室ｃに設けた導管ｉは、真空ポ
ンプ（図示省略）と外気吸入管（図示省略）とに切換可
能に接続される。そして、真空槽ｂに対して物品ｅを搬
入、搬出する際は、予備室ｃ内を真空圧に維持してシリ
ンダｈにより搬送用受盤ｆを進退させ、また、予備室ｃ
に対して物品ｅを搬入、搬出する際は、ゲートバルブｄ
を閉じたのち、予備室ｃを外気と連通させ、蓋ｊを開放
して搬出入を行なうものである。

（考案が解決しようとする課題） ところが、上述の物品出し入れ装置ａは、予備室ｃと、
この予備室ｃの一端側に位置するシリンダｈおよびベロ
ーズｇと、ベローズｇの伸長ストロークを許容するため
の間隔Ｋとを合せたきわめて長い突出部分が真空槽ｂの
外側に形成されることになるので、据付け用地が狭いと
ころでは、使用できないという不具合があった。

本考案は、かかる従来の上記問題点にかんがみ、真空槽
から外側に突出する部分を短かくして、組合せ構造の小
形化を図った真空槽の物品出し入れ装置を提供すること
にある。

（課題を解決しようとする手段） 本考案の上記課題を解決するための手段は、物品出入口
を有するとともに該物品出入口を開閉する開閉手段を有
する真空槽と、該真空槽の物品出入口に連設され、かつ
物品を搬出入するための搬出入口を有するとともに該搬
出入口を開閉する密閉蓋を有する予備室と、物品を載置
せしめて該物品を上記真空槽内に搬入する搬入位置と物
品を上記予備室内に搬出する搬出位置との間で往復移動
する搬送用受盤と、上記予備室内に配設され、上記受盤
を上記搬入位置と搬出位置とに進退移動させる進退手段
とを備える。そして、上記進退手段は、上記予備室内に
上記受盤移動方向に平行に延びるように配設された非磁
性材料よりなるシリンダと、該シリンダ内に上記受盤移
動方向に摺動自在に嵌挿され、該シリンダ内を上記受盤
移動方向に２つの作動室に区画する磁石よりなるピスト
ンと、上記シリンダの外周に上記受盤移動方向に移動可
能に嵌装され、上記受盤を保持するとともに上記ピスト
ンの外周位置において該ピストンに磁気吸引されて上記
受盤を上記搬入位置と搬出位置とに位置付けるよう該ピ
ストンと一緒に移動する磁性材料よりなるスライダと、
上記シリンダ内の２つの作動室に作動流体を給排して上
記ピストン及び該ピストンに磁気吸引されたスライダを
移動させる給排手段とを備えてなるものとする。

（作用） これにより、本考案では、物品を載置せしめて真空槽内
と予備室内とを往復移動する搬出用受盤は、予備室内に
配設された進退手段によって往復動作が与えられる。

この場合、上記進退手段は、上記予備室内に配設された
非磁性材料よりなるシリンダと、該シリンダ内に摺動自
在に嵌挿された磁石よりなるピストンと、上記シリンダ
の外周に移動可能に嵌装され、上記受盤を保持するとと
もに上記ピストンの外周位置において該ピストンに磁気
吸引されて該ピストンと一緒に移動する磁性材料よりな
るスライダと、上記シリンダ内に作動流体を給排して上
記ピストン及び該ピストンに磁気吸引されたスライダを
移動させる給排手段とを備えてなり、上記搬送用受盤を
保持するスライダがピストンの外周に対応位置して該ピ
ストンと一緒にシリンダ外周上を移動するので、従来の
進退手段としてのシリンダ装置のようにシリンダの前方
でその軸方向に移動するピストンロッドのストロークに
相当する分だけ、真空槽から外側に突出する部分の長さ
が短くなる。また、上記スライダはピストンに磁気吸引
されて該ピストンと一緒に移動する構造であるので、構
造が簡単である。

（実施例） 以下、本考案の実施例につき図面に基づいて説明する。
なお、この説明においては第１図および第２図における
右方を外、左方を内を呼ぶ。

第１図および第２図は、真空槽Ｔの物品出し入れ装置１
を示している。該物品出し入れ装置１は、物品出入口Ｈ
を有するとともに該物品出入口Ｈを開閉するゲートバル
ブ等によりなる開閉手段３を有する真空槽Ｔと、該真空
槽Ｔの物品出入口Ｈに連設され、かつ物品Ｗを搬出入す
るための搬出入口2bを有するとともに該搬出入口2bを開
閉する密閉蓋４を有する予備室２と、物品Ｗを載置せし
めて該物品Ｗを上記真空槽Ｔ内に搬入する搬入位置と物
品を上記予備室２内に搬出する搬出位置との間で往復移
動する搬送用受盤６と、上記予備室２内に配設され、上
記受盤６を上記搬入位置と搬出位置とに進退移動させる
進退手段５とを備えてなる。

すなわち、上記予備室２は、その外側開口部2aに盲フラ
ンジ７が着脱可能に取付けられ、かつ上側の内側端部に
形成された搬出入口2bに上記密閉蓋４が気密構造の締付
け手段（図示省略）によって取付けられるとともに、予
備室２の上側の外側端部に突設された呼吸導管８の先端
が、真空ポンプ（図示省略）と外気吸入管（図示省略）
とに切換弁（図示省略）を介して接続されている。

上記進退手段５は、シリンダ９、内管10、筒形ピストン
11およびスライダ12を主要部として構成される。すなわ
ち、シリンダ９は合成樹脂およびアルミニウム等の非磁
性材料を適用して形成されたもので、筒体9aおよび該筒
体9aと同心に配置された内管10を具備している。上記筒
体9aは、外端部と内端部とがそれぞれ外側作動室用導管
13を設けた取付けフランジ9bと盲フランジ9cとで密閉さ
れた状態で、盲フランジ７の取付け口7aに挿通されてい
る。上記取付けフランジ9bは、盲フランジ７との間に適
切なシール手段（図示省略）を介在せしめて、盲フラン
ジ７に固定されている。筒体9aの盲フランジ9cは、支持
具14によって予備室２内に固定されている。一方、内管
10は、その内端部にエア孔10aを有し、外端部に内側作
動室用導管15が連結されており、外端部が取付けフラン
ジ9bに該取付けフランジ9bを貫通して気密構造で支承さ
れているとともに、内端部が筒体9aの盲フランジ9cによ
って密閉されている。上記エア孔10aを有する内管10、
内側作動室用導管15及び外側作動室用導管13により、シ
リンダ９内の２つの作動室に作動用空気を給排する給排
手段を構成している。

上記筒体9aおよび内管10で形成される断面環状の空所9d
には、磁石よりなる筒形ピストン11が、その外周部およ
び内周部にそれぞれＯリング等のシール材11a,11bを具
備して、シリンダ９内を摺動可能に嵌挿されている。筒
体9aの外周には、筒形ピストン11に磁気吸引されて該ピ
ストン11と一緒に移動するスライダ12が、上記搬送用受
盤６の外端部6aを保持して嵌装されており、側搬送用受
盤６の内端部6bに物品Ｗが載置される。

すなわち、スライダ12は鉄鋼材等の磁性材料が適用され
ており、その本体12aは外周形状がほぼ三角形（第３図
参照）で、上記シリンダ９の筒体9aの外径よりも大径に
穿設された中心孔12bを有する筒状に形成され、かつ上
側水平面12cに設けたねじ孔12dに、上記搬送用受盤６の
外端部6aが取付けボルト16によって締結されるととも
に、その両側面にそれぞれ３個のブラケット17が突設さ
れている。該ブラケット17には、上記筒体9a外周面の三
等分位置に設けた凹溝9e（第２図および第４図参照）内
を転動するガイドローラ18が支軸18aによって枢支さ
れ、該各ガイドローラ18により、スライダ12はシリンダ
９の軸方向（受盤移動方向）に沿って移動する。また、
スライダ12がシリンダ９の外周に沿って回動しようとす
る横揺れは、たとえば、Ｖ形溝を有するガイドシュー
（図示省略）をシリンダ９に沿って予備室２の内部に配
置し、該Ｖ形溝にスライダ本体12aのＶ形傾斜面12eを摺
動可能に支承せしめることによって防止することもでき
る。

なお、本実施例における進退手段５は、シリンダ９を空
圧で駆動する場合について述べているが、必要により油
圧駆動に代えることもできる。

次に、本実施例の作用について説明する。

（１）物品Ｗの搬出 第１図に示すように、筒形ピストン11は内側端位置に位
置して物品Ｗが真空槽Ｔ内にあるとき（受盤６の搬入位
置のとき）、シリンダ９の内側作動室用導管15に作動用
空気を供給すると、エア口10aから内側作動室に流入し
た作動用空気によって、筒形ピストン11及び筒形ピスト
ンに磁気吸引されているスライダ12は、同時に一緒に移
動して外側端位置（第１図鎖線位置）に到達する。そし
て、開閉手段３を全閉にして真空槽Ｔとの連通を遮断し
たのち、呼吸導管８と外気吸入管（図示省略）とを切換
弁（図示省略）で連通させて予備室２の内部を大気圧に
維持しておき、密閉蓋４を開放して搬送用受盤６の内端
部6b上に載置されている物品Ｗを予備室２の搬出入口2b
から取出す。

（２）物品Ｗの搬入 開閉手段３は全閉状態でスライダ12は上述の外側位置に
位置し、予備室２の密閉蓋４が開放されている。このと
き、まず、予備室２の搬出入口2bから搬送用受盤６の内
端部6bに物品Ｗを載置する。次に、密閉蓋４を密閉して
呼吸導管８と真空ポンプ（図示省略）とを切換弁（図示
省略）で連通させて予備室２内部を真空圧まで減圧す
る。そして、開閉手段３を全開にして予備室２を真空槽
Ｔに連通させたのち、シリンダ９の外側作動室用導管13
から作動用空気を供給すると、筒形ピストン11及びスラ
イダ12は同時に一緒に移動して内側端位置に到達し、物
品Ｗは真空槽Ｔ内に搬入される。

（考案の効果） 以上のように、本考案の真空槽の物品出し入れ装置によ
れば、物品搬送用の受盤を進退させる進退手段を、予備
室内に配設された非磁性材料よりなるシリンダと、該シ
リンダ内に摺動自在に嵌挿された磁石よりなるピストン
と、上記シリンダの外周に嵌装され、上記受盤を保持す
るとともに上記ピストンの外周位置において該ピストン
に磁気吸引されて該ピストンと一緒に移動する磁性材料
よりなるスライダと、上記シリンダ内に作動流体を給排
して上記ピストン及び該ピストンに磁気吸引されたスラ
イダを移動させる給排手段とによって構成したことによ
り、簡単な構造でありながら、従来のベローズを作動さ
せるシリンダのピストンロッドのストロークに相当する
分だけ、真空槽の外側に突出する構造物が短縮されて、
極めて小形の外形に形成することができるので、狭いス
ペースにも容易に適用し得るという実用上の優れた効果
を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第４図は本考案の実施例を示し、第１図は真空
槽に取り付けた物品出し入れ装置の中央縦断面図、第２
図は物品出し入れ装置を拡大した縦断面図、第３図は物
品出し入れ装置のスライダを拡大して示す斜視図、第４
図は第２図のIV−IV線における拡大断面図である。第５
図は従来の物品出し入れ装置を示す縦断面図である。 １……物品出し入れ装置、２……予備室、３……開閉手
段、４……密閉蓋、５……進退手段、６……搬送用受
盤、９……シリンダ、9a……筒体、9d……空所、10……
内管、11……筒形ピストン、12……スライダ、Ｔ……真
空槽、Ｈ……物品出入口、Ｗ……物品。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/203 Ｚ 8122−4Ｍ 21/31

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】物品出入口を有するとともに該物品出入口
   を開閉する開閉手段を有する真空槽と、該真空槽の物品
   出入口に連設され、かつ物品を搬出入するための搬出入
   口を有するとともに該搬出入口を開閉する密閉蓋を有す
   る予備室と、物品を載置せしめて該物品を上記真空槽内
   に搬入する搬入位置と物品を上記予備室内に搬出する搬
   出位置との間で往復移動する搬送用受盤と、上記予備室
   内に配設され、上記受盤を上記搬入位置と搬出位置とに
   進退移動させる進退手段とを備え、 上記進退手段は、上記予備室内に上記受盤移動方向に平
   行に延びるように配設された非磁性材料よりなるシリン
   ダと、該シリンダ内に上記受盤移動方向に摺動自在に嵌
   挿され、該シリンダ内を上記受盤移動方向に２つの作動
   室に区画する磁石よりなるピストンと、上記シリンダの
   外周に上記受盤移動方向に移動可能に嵌装され、上記受
   盤を保持するとともに上記ピストンの外周位置において
   該ピストンに磁気吸引されて上記受盤を上記搬入位置と
   搬出位置とに位置付けるよう該ピストンと一緒に移動す
   る磁性材料よりなるスライダと、上記シリンダ内の２つ
   の作動室に作動流体を給排して上記ピストン及び該ピス
   トンに磁気吸引されたスライダを移動させる給排手段と
   を備えてなることを特徴とする真空槽の物品出し入れ装
   置。