JPH0720552U - 蛍光x線分析装置における試料の装填装置 - Google Patents

蛍光x線分析装置における試料の装填装置

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JPH0720552U
JPH0720552U JP5607993U JP5607993U JPH0720552U JP H0720552 U JPH0720552 U JP H0720552U JP 5607993 U JP5607993 U JP 5607993U JP 5607993 U JP5607993 U JP 5607993U JP H0720552 U JPH0720552 U JP H0720552U
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 蛍光X線分析に用いる試料ホルダから試料を
排出し、次の試料を供給する装填装置において、搬送の
サイクルタイムを短縮することにより分析のサイクルタ
イムを短縮する。 【構成】 試料ホルダ50を分析装置に投入する投入口
Aaにおいて、試料ホルダ50を試料56に装填できる
ようにすることで、試料56を装填位置から投入位置P
1まで搬送しなくてもよいようにする。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
この考案は、蛍光X線分析装置における試料の装填装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
蛍光X線分析装置は、試料に一次X線(放射線)を照射し、試料から発生する 蛍光X線を検出して、試料の組成などを分析する装置である。この種の蛍光X線 分析装置では、試料が装填される試料ホルダを交換することなく、試料を装填し 得る装填装置を備えたものがある。この一例を図7および図8に示す。
【0003】 図7において、試料ホルダ50は、ホルダベース51と上板52との間に4本 の支柱53を有しており、ホルダベース51と試料台54との間に設けたコイル スプリング(ばね)55のばね力で試料台54と上板52との間で試料56を挟 むものである。つまり、ホルダベース51と試料台54との間には、コイルスプ リング55が設けられており、試料台54が上下動可能になっている。上記4本 の支柱53は、試料台54を案内するもので、図8(a),(b)のように、一 方からのみ試料56を挿入・排出できるような位置に立設されている。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】
上記試料ホルダ50は、図7の試料56の装填位置P1と、試料ホルダ50を 分析装置に投入する投入位置との間を図示しない第1搬送装置により搬送される 。さらに、上記試料ホルダ50は、上記投入位置と、蛍光X線を試料56に照射 する分析位置との間を、図示しない第2搬送装置により搬送される。分析が終わ ると、第2および第1搬送装置により投入位置を経由して装填位置P1まで搬送 されて、図8(b)のように、試料56が排出された後、試料ホルダ50を18 0°回転させて、図7(a)のように、次に分析する別の試料56が供給される 。
【0005】 上記のように、試料56の装填位置P1と試料ホルダ50の投入位置とを別の 位置にしたのでは、搬送装置全体が複数になるなどコストアップを招いているば かりでなく、搬送のサイクルタイムが長くなるので、分析のサイクルタイムも長 くなる。 この考案は、上記従来の問題に鑑みてなされたもので、蛍光X線分析装置にお いて、搬送装置全体を簡素化するとともに、分析のサイクルタイムを短縮するこ とを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この考案は、試料ホルダにおける試料台と上板と の間隔を広げて試料の装填スペースを作らせる装填スペース形成装置と、上記装 填スペースに入り込んで試料を試料ホルダから排出するとともに、次の別の試料 を上記装填スペースに供給する供給排出装置とを備え、上記試料ホルダの支柱間 に形成され試料を供給するための第1の間口と、上記支柱間に形成され試料を排 出するための第2の間口とが互いに対向する位置に形成され、上記試料ホルダを 分析装置に投入する投入位置と、上記試料の装填・排出を行う装填位置とが同一 の位置に設定されている。
【0007】
【作用】
この考案では、供給排出装置が第2の間口から試料を排出し、つづいて、第2 の間口に対向する第1の間口から試料を試料ホルダに供給する。ここで、第1の 間口は、第2の間口に対向した位置に設けられているから、試料を回転させる必 要がないので、装置の構造が簡単になる。そのため、投入位置と装填位置とを同 一の位置にすることができ、これにより、搬送のサイクルタイムを短くすること ができる。
【0008】
【実施例】
以下、この考案の一実施例を図面にしたがって説明する。 図1は装填装置の平面レイアウトを示す。この図において、試料ホルダ50を 分析装置Aに投入する投入口Aa(投入位置P1)の近傍には、試料搬送コンベ ア15、供給排出装置20、装填スペース形成装置11および試料排出シュート 16が設けられている。上記投入口Aaには、図示しない移載機構により、図2 のように、試料ホルダ50が投入される。試料ホルダ50は、試料56と共に、 搬送装置1によって、図4に示すように、試料56に一次X線B1を照射して分 析する分析位置P2まで搬送される。なお、搬送装置1は、この図に示す昇降台 2の他に、図示しない走行装置および昇降装置を有している。
【0009】 X線管(放射線源)57は、下方の試料ホルダ50に装填された試料56に一 次X線(放射線)B1を照射する。照射された一次X線B1は、試料56の原子 を励起して蛍光X線B2を発生させる。発生した蛍光X線B2は、分光結晶58 を介してX線検出器59に入射し、そのX線強度が測定される。この測定強度に 基づき、周知の蛍光X線分析がなされる。
【0010】 上記昇降台2には、下部にパルスモータ3が取り付けられている。このパルス モータ3には、回転位置検出器が設けられており、パルスモータ3が1回転する 毎に、回転位置検出器がこれを検出し、所定の回数を検出すると、直ちにパルス モータ3を停止させる。このパルスモータ3の出力軸3aは、カップリング4な どを介して、回転テーブル5に連結されている。この回転テーブル5は、試料ホ ルダ50を載置するもので、圧縮コイルスプリング60により上記昇降台2に上 下動自在に取り付けられ、一方、第1ベアリング7により昇降台2に回転自在に 取り付けられている。
【0011】 上記回転テーブル5の上部および試料ホルダ50の底部には、それぞれ、係合 孔5aおよび被係合ピン50aが、一対設けられている。これらの係合孔5aお よび被係合ピン50aは、互いに係合して、回転テーブル5と試料ホルダ50と が相対回転するのを防止するものである。したがって、パルスモータ3が回転駆 動することにより、試料ホルダ50が回転する。
【0012】 分析位置P2では、分析装置の本体8に第2ベアリング9を介してホルダ押え 10が回転自在に取り付けられている。したがって、試料ホルダ50は、分析位 置P2において、ホルダ押え10に押し当てられて位置決めできるとともに、回 転可能になっている。
【0013】 図2の投入位置P1には、試料56(図3(a))の排出・供給を可能にする 装填スペース形成装置11が設けられている。この装填スペース形成装置11は 、図3(b)のように、試料台54を下方に押し下げることにより、試料ホルダ 50における試料台54と上板52との間隔を広げて試料56の装填スペースS を作らせるもので、駆動ラック12、ピニオン13およびフック14などからな る。上記装填スペース形成装置11は、図2の駆動ラック12が下方に駆動する のに伴い、まず、ピニオン13およびフック14が二点鎖線の位置まで回転し、 その後、ピニオン13およびフック14が、図3(b)のように下降することに より、フック14が試料台54に係合して試料台54を押し下げる構造になって いる。
【0014】 上記試料ホルダ50の支柱53は、図3(a)のように、第1の間口50bか ら試料56の供給を許容し、第2の間口50cから試料56の排出を許容するよ うに立設されている。上記第1の間口50bと第2の間口50cとは、互いに対 向する位置に形成されている。上記試料56は、後述する供給排出装置20(図 1)により、試料ホルダ50に供給され、試料ホルダ50から排出される。なお 、試料ホルダ50のその他の構造は、図7の従来例と同様であり、同一部分また は相当部分に同一符号を付して、その説明を省略する。
【0015】 つぎに、この考案の要部について説明する。 前述の図1の試料搬送コンベア15は、ベルトコンベアからなり試料56を載 せて、試料56を方向転換位置P3またはNGボックス17まで搬送するもので ある。この試料搬送コンベア15の近傍には、試料56が所定の寸法であるか否 かなどをチェックする検査装置が設けてある。また、試料搬送コンベア15の上 方には、試料搬送コンベア15の搬送方向Xと直交する方向Yに試料56を搬送 する上記供給排出装置20が設けてある。
【0016】 上記供給排出装置20は、減速機付駆動モータ21に、以下に説明するように 、ストッパ22およびプッシャ23が連結されている。上記減速機付駆動モータ 21の出力軸21aには、図5(a)に示すように、第1アーム24が固定され ており、この第1アーム24の先端部には、第1のピン24aを介して、第2ア ーム25が回転自在に取り付けられている。上記第2アーム25の先端には、第 2のピン25aが取り付けられており、この第2のピン25aにはスライダ26 Aが取り付けられている。
【0017】 上記出力軸21aには、大径の歯付プーリ27Lが回転自在に取り付けられて おり、一方、上記第1のピン24aには、小径の歯付プーリ27Sが固定されて いる。両プーリ27L,27Sには、無端状のベルト27Bが巻き付けられてお り、両プーリ27L,27Sの直径比は2:1に設定さている。また、上記出力 軸21aと第1のピン24aとの軸間距離L1は、上記第1のピン24aと第2 のピン25aとの軸間距離L2に等しく設定されている。したがって、周知のよ うに、減速機付駆動モータ21(図1)の回転で、図6の第1アーム24が回転 するのに伴い、第2のピン25aがY方向に直線運動する。
【0018】 一方、上記スライダ26Aは、スライドベース26Bに対して、矢印Y方向に 移動可能に取り付けられているとともに、上記スライドベース26BがY方向に 延びる案内レール28に移動自在に取り付けられている。したがって、上記第2 のピン25aに取り付けたスライダ26Aは、矢印Y方向に直線運動する。なお 、上記スライダ26Aはスライドベース26Bに対してY方向と逆のY1方向に スプリング力で付勢されている。
【0019】 このスライダ26Aの下端の先端部には、上記プッシャ23が固定されている 。そのため、プッシャ23は、二点鎖線で示す供給位置P10まで矢印Y方向に 直線運動して、試料56を分析装置A上の搬送面29の上を滑らせて装填スペー スSに供給する。また、上記スライダ26Aは、矢印Y方向に直線運動して、装 填スペースSに入り込み更に第2の間口50cを通り抜けて排出位置P11まで 進み、試料56を試料ホルダ50から排出する。なお、排出された試料56は、 図1の試料排出シュート16を介して、分析済試料ボックス18に落下する。
【0020】 このように、この分析装置Aは、試料ホルダ50を分析装置Aに投入する投入 位置P1と、試料56の装填・排出を行う装填位置とが同一の位置に設定されて いる。つまり、試料ホルダ50の投入位置P1において、試料56の装填・排出 を行う。
【0021】 上記第2アーム25における第1のピン24aの近傍には、上記ストッパ22 が固定されている。したがって、ストッパ22は、図5(b)および図6のよう に、水平な出力軸21aのまわりに回転する。なお、図1のストッパ22および プッシャ23における試料56との当接面は、谷形に形成されている。
【0022】 つぎに、上記構成の動作について説明する。 図4の分析位置P2に、試料56が供給されると、パルスモータ3を回転させ るとともに、X線管57から一次X線B1を試料56に照射する。パルスモータ 3が1回転する毎に、図示しない回転位置検出器がこれを検出し、所定の回数検 出する間、X線検出器59が蛍光X線B2を検出する。その後、パルスモータ3 が更に回転を続け、回転位置検出器が回転位置を検出すると、直ちにパルスモー タ3が停止する。
【0023】 この検出後、搬送装置1が試料ホルダ50を図2の投入口Aaまで搬送する。 この搬送後、装填スペース形成装置11が作動して、試料台54を図3(b)の ように下方に押し下げた後、後述するように、供給排出装置20(図1)が図3 (a)の二点鎖線で示す試料56を第2の間口50cから排出するとともに、次 の試料56を第1の間口50bから供給する。供給された試料56は、図4の分 析位置P2まで搬送される。こうして、試料56が連続的に分析される。
【0024】 つぎに、上記試料56の供給・排出方法について説明する。 図1の減速機付駆動モータ21が駆動すると、図5(b)および図6のように 、プッシャ23が試料ホルダ50内の装填スペースSに入り込み排出位置P11 まで前進する。これにより、試料56が図1の試料ホルダ50から押し出され、 試料排出シュート16に沿って分析済試料ボックス18に落下して、試料56が 試料ホルダ50から排出される。その後、減速機付駆動モータ21が逆回転し、 供給排出装置20が図1の状態に復帰する。
【0025】 つづいて、試料56が試料搬送コンベア15によって方向転換位置P3まで搬 送されると、試料56がストッパ22に当接して位置決めされ、その後、試料搬 送コンベア15が静止して試料56が方向転換位置P3で停止する。この停止後 、減速機付駆動モータ21が駆動し、図5(b)のストッパ22が矢印Rのよう に、反時計回りに回転するとともに、プッシャ23がY方向に極めて小さい速度 で移動し始める。その後、図6のように、ストッパ22が上方に退避するととも に、プッシャ23が徐々に速度を上げながら試料56をY方向に押し始める。さ らに、プッシャ23は、Y方向に前進して、供給位置P10まで進んで停止する 。これにより、試料56が試料ホルダ50の試料台54上に乗り移る。つづいて 、減速機付駆動モータ21(図1)が逆回転して、供給排出装置20が図1の状 態に復帰する。一方、図3の駆動ラック12が上昇して、フック14およびピニ オン13が実線の状態に復帰するとともに、試料56が上板52と試料台54と の間にコイルスプリング55のばね力により挟まれて保持される。
【0026】 つぎに、図1の試料搬送コンベア15上の試料56が不良品である場合の動作 について説明する。 この場合は、試料56が方向転換位置P3に到達する以前に、減速機付駆動モ ータ21が駆動し、図6(b)のように、ストッパ22が上方へ退避する。これ により、図1の試料搬送コンベア15上の試料56は、試料搬送コンベア15に より矢印X方向に搬送されて、NGボックス17に落下する。
【0027】 上記構成において、この装填装置は、図3(a)のように、第1の間口50b と第2の間口50cとが互いに対向した位置に設けられている。そのため、試料 56を試料ホルダ50から排出した後、試料ホルダ50を回転させることなく、 次の試料56を試料ホルダ50に供給することができる。したがって、図1の投 入位置P1において試料ホルダ50を回転させる必要がないので、投入位置P1 において、試料ホルダ50を装填することができる。その結果、装填位置から、 投入位置P1まで試料ホルダ50を搬送する必要がなくなって、搬送のサイクル タイムが短縮されるので、分析のサイクルタイムが短縮される。また、装填装置 の構造も簡単になる。
【0028】 ところで、図1のストッパ22を矢印X方向に退避させると、ストッパ22と プッシャ23の駆動系が2つになるので、供給排出装置20の構造が複雑になる 。これに対し、この実施例では、ストッパ22を上方に退避させることとしたの で、供給排出装置20は1つの減速機付駆動モータ21により、ストッパ22お よびプッシャ23を駆動させることができる。したがって、供給排出装置20の 構造が簡単になる。
【0029】 また、図6のスライダ26Aがスライドベース26Bにスライド自在に取り付 けられ、更に、スライドベース26Bが案内レール28にスライド自在に取り付 けられている。したがって、案内レール28の長さを短くすることができるから 、供給排出装置20が小型になる。
【0030】
【考案の効果】
以上説明したように、この考案によれば、供給排出装置が試料を排出する第2 の間口と、試料を供給する第1の間口とを互いに対向させて設けているので、試 料の排出・装填時に、試料ホルダを回転させる必要がないから、試料ホルダの投 入位置において試料の装填を行うことができる。したがって、試料ホルダを装填 位置から投入位置まで搬送する必要がないので、搬送のサイクルタイムが短くな って、分析のサイクルタイムが短くなる。また、装填装置の構造も簡単になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この考案の一実施例にかかる蛍光X線分析装置
における試料の装填装置の概略平面図である。
【図2】投入位置における蛍光X線分析装置の概略断面
図である。
【図3】試料の供給・排出方法を示す平面断面図および
縦断面図である。
【図4】分析位置における蛍光X線分析装置の概略断面
図である。
【図5】供給排出装置の平面図および側面図である。
【図6】供給排出装置の動作を示す側面図である。
【図7】従来の試料ホルダを示す側面図である。
【図8】従来の試料の供給・排出方法を示す平面断面図
である。
【符号の説明】
11…装填スペース形成装置、20…供給排出装置、5
0…試料ホルダ、50b…第1の間口、50c…第2の
間口、51…ホルダベース、52…上板、53…支柱、
54…試料台、55…コイルスプリング(ばね)、56
…試料、P1…投入位置、

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 上板とホルダベースとの間に立設された
    複数本の支柱を有し、上記ホルダベースと試料台との間
    に設けたばねのばね力で上記試料台と上板との間で試料
    を挟む試料ホルダと、 上記試料ホルダにおける試料台と上板との間隔を広げて
    試料の装填スペースを作らせる装填スペース形成装置
    と、 上記装填スペースに入り込んで試料を試料ホルダから排
    出するとともに、次の別の試料を上記装填スペースに供
    給する供給排出装置とを備え、 上記支柱間に形成され試料を供給するための第1の間口
    と、上記支柱間に形成され試料を排出するための第2の
    間口とが互いに対向する位置に形成されて、 上記試料ホルダを分析装置に投入する投入位置と、上記
    試料の装填・排出を行う装填位置とが同一の位置に設定
    されている蛍光X線分析装置における試料の装填装置。
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