JPH0720620Y2 - テストフィクスチュアの校正治具 - Google Patents
テストフィクスチュアの校正治具Info
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- JPH0720620Y2 JPH0720620Y2 JP10083987U JP10083987U JPH0720620Y2 JP H0720620 Y2 JPH0720620 Y2 JP H0720620Y2 JP 10083987 U JP10083987 U JP 10083987U JP 10083987 U JP10083987 U JP 10083987U JP H0720620 Y2 JPH0720620 Y2 JP H0720620Y2
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- test fixture
- test
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- impedance
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims description 93
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 7
- 238000002847 impedance measurement Methods 0.000 claims description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
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- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
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- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、一般に、被測定素子のインピーダンス測定の
ためのピンセット型等のテストフィクスチュアに関し、
特にそれ自身が有するインピーダンス成分を予じめ測定
器側でキャリブレーションを行なうための校正治具に関
する。
ためのピンセット型等のテストフィクスチュアに関し、
特にそれ自身が有するインピーダンス成分を予じめ測定
器側でキャリブレーションを行なうための校正治具に関
する。
従来より、チップコンデンサ等の被測定素子のインピー
ダンスを測定する際、例えば、ピンセット型等のテスト
フィクスチュアを備え、四端子対等、周知の測定方法で
行なっていた。更に、テストフィクスチュア自身が有す
るインピーダンス成分（Ｌ、Ｃ、Ｒ）は、被測定素子の
インピーダンス測定の誤差要因となるため、従来では、
以下に述べるような方法でキャリブレーションを行なっ
ていた。
ダンスを測定する際、例えば、ピンセット型等のテスト
フィクスチュアを備え、四端子対等、周知の測定方法で
行なっていた。更に、テストフィクスチュア自身が有す
るインピーダンス成分（Ｌ、Ｃ、Ｒ）は、被測定素子の
インピーダンス測定の誤差要因となるため、従来では、
以下に述べるような方法でキャリブレーションを行なっ
ていた。
第３図にピンセット型テストフィクスチュア30を示す。
このようなテストフィクスチュア30が有するインピーダ
ンス成分を校正するため、テストフィクスチュア30をオ
ープン及びショート状態にさせてキャリブレーションを
行なう。まず、被測定素子（図示せず）と接触するテス
トフィクスチュア30の接触部31,31′を直接接触させ、
ショート状態でテストフィクスチュア30の抵抗成分Ｒと
インダクタンス成分Ｌを測定する（以下、ショート・キ
ャリブレーションという）。次に、接触部31,31′を離
し、オープン状態で、テストフィクスチュア30の容量成
分Ｃを測定する（以下、オープン・キャリブレーション
という）。これらの測定値を被測定素子のインピーダン
ス測定結果より周知の方法で演算処理することによりテ
ストフィクスチュア30が有するインピーダンス成分を補
正していた。
このようなテストフィクスチュア30が有するインピーダ
ンス成分を校正するため、テストフィクスチュア30をオ
ープン及びショート状態にさせてキャリブレーションを
行なう。まず、被測定素子（図示せず）と接触するテス
トフィクスチュア30の接触部31,31′を直接接触させ、
ショート状態でテストフィクスチュア30の抵抗成分Ｒと
インダクタンス成分Ｌを測定する（以下、ショート・キ
ャリブレーションという）。次に、接触部31,31′を離
し、オープン状態で、テストフィクスチュア30の容量成
分Ｃを測定する（以下、オープン・キャリブレーション
という）。これらの測定値を被測定素子のインピーダン
ス測定結果より周知の方法で演算処理することによりテ
ストフィクスチュア30が有するインピーダンス成分を補
正していた。
しかしながら、これらのキャリブレーションは、実際の
被測定素子の寸法はバラツキがあり、その長さは1.6〜1
0.0mm等の範囲に及ぶことがあるので、異なる被測定素
子の寸法に対して適切でなかった。つまり、被測定素子
の長さｄがｄ＋Δｄに変化した場合、テストフィクスチ
ュア30が有するインピーダンス成分も、各々、ＬからＬ
＋ΔＬ、ＣからＣ＋ΔＣへ変化し、被測定素子の長さ変
化分Δｄに対応するテストフィクスチュア30のインピー
ダンス変化分ΔL,ΔＣの校正を行なうことは不可能であ
った。加えて、15MHz等の高周波数でインピーダンス測
定を行う場合、上述したテストフィクスチュア30のイン
ダクタンス変化分ΔＬ及び容量変化分ΔＣは重大な誤差
要因となってしまう。例えば、周波数10MHzで1,000pFの
被測定素子のインピーダンスを、16nHのインダクタンス
（Ｌ＝16nH）を有するテストフィクスチュア30で測定し
た場合、被測定素子のインピーダンス値Ｚは本来ならば
15Ωとなるはずだが、実際には、テストフィクスチュア
30が有するインダクタンスのため、被測定素子のインピ
ーダンス値は16Ωとなり、真のインピーダンス値Ｚに比
べ、見かけ上６％以上もの誤差が生じてしまう。これ
は、被測定素子のインピーダンスが上述のように低い場
合、テストフィクスチュアのインダクタンス成分が、ま
た高い場合、テストフィクスチュアの容量成分Ｃがイン
ピーダンス測定に悪影響を及ぼす。
被測定素子の寸法はバラツキがあり、その長さは1.6〜1
0.0mm等の範囲に及ぶことがあるので、異なる被測定素
子の寸法に対して適切でなかった。つまり、被測定素子
の長さｄがｄ＋Δｄに変化した場合、テストフィクスチ
ュア30が有するインピーダンス成分も、各々、ＬからＬ
＋ΔＬ、ＣからＣ＋ΔＣへ変化し、被測定素子の長さ変
化分Δｄに対応するテストフィクスチュア30のインピー
ダンス変化分ΔL,ΔＣの校正を行なうことは不可能であ
った。加えて、15MHz等の高周波数でインピーダンス測
定を行う場合、上述したテストフィクスチュア30のイン
ダクタンス変化分ΔＬ及び容量変化分ΔＣは重大な誤差
要因となってしまう。例えば、周波数10MHzで1,000pFの
被測定素子のインピーダンスを、16nHのインダクタンス
（Ｌ＝16nH）を有するテストフィクスチュア30で測定し
た場合、被測定素子のインピーダンス値Ｚは本来ならば
15Ωとなるはずだが、実際には、テストフィクスチュア
30が有するインダクタンスのため、被測定素子のインピ
ーダンス値は16Ωとなり、真のインピーダンス値Ｚに比
べ、見かけ上６％以上もの誤差が生じてしまう。これ
は、被測定素子のインピーダンスが上述のように低い場
合、テストフィクスチュアのインダクタンス成分が、ま
た高い場合、テストフィクスチュアの容量成分Ｃがイン
ピーダンス測定に悪影響を及ぼす。
したがって、本考案の目的は、上述の問題である被測定
素子の長さで変化するテストフィクスチュアが有するイ
ンピーダンス成分を容易に校正することのできるテスト
フィクスチュアの校正治具を提供することにある。
素子の長さで変化するテストフィクスチュアが有するイ
ンピーダンス成分を容易に校正することのできるテスト
フィクスチュアの校正治具を提供することにある。
本考案に係るテストフィクスチュアの校正治具の一実施
例は、被測定素子の寸法範囲の幅を有し、金属等の導電
性物質から成るテーパー状のインダクタンスを校正する
手段と該インダクタンスを校正する手段と同様な形状構
成でプラスチック等の絶縁性物質から成る容量を校正す
る手段を有する。本治具を用いて、ピンセット型等のテ
ストフィクスチュアの接触部対でインダクタンス校正手
段上の被測定素子の長さと同じ幅を有する位置を挾持
し、ショート・キャリブレーションを行なう。また、テ
ストフィクスチュアのガード部対で容量校正手段上の接
触部対が被測定素子の長さだけ離れるような位置を挾持
し、オープン・キャリブレーションを行なう。
例は、被測定素子の寸法範囲の幅を有し、金属等の導電
性物質から成るテーパー状のインダクタンスを校正する
手段と該インダクタンスを校正する手段と同様な形状構
成でプラスチック等の絶縁性物質から成る容量を校正す
る手段を有する。本治具を用いて、ピンセット型等のテ
ストフィクスチュアの接触部対でインダクタンス校正手
段上の被測定素子の長さと同じ幅を有する位置を挾持
し、ショート・キャリブレーションを行なう。また、テ
ストフィクスチュアのガード部対で容量校正手段上の接
触部対が被測定素子の長さだけ離れるような位置を挾持
し、オープン・キャリブレーションを行なう。
本考案に係る好適な一実施例を第１図に示す。以下、こ
の図に基づいて本考案を詳述する。校正治具10は、第３
図に示すようなテストフィクスチュアが有するインダク
タンス成分、特に、さまざまな被測定素子の長さで変化
するインダクタンス成分の校正を行なうためのインダク
タンス校正部材11を有する。これは、金属等の導電性物
質より作製され、被測定素子の寸法範囲、例えば、1.6m
mから10.0mm、の幅を有したテーパー状に形成される。
さらに、インダクタンス校正部材11の表面に、被測定素
子の寸法に対応した幅の部分に目盛をつけることによっ
て、容易に所望の長さで以下の補正を行なうことができ
る。したがって、インダクタンス校正部材11上の被測定
素子の長さと同じ幅を有する位置をテストフィクスチュ
ア30の接触部31,31′で挾持することによって被測定素
子の寸法に対応したインダクタンス成分を予め測定する
ことができる。つまり、テストフィクスチュアが有する
インダクタンス成分のキャリブレーションを行なうこと
ができる。また、校正治具10は、被測定素子の寸法で変
化するテストフィクスチュアが有する容量成分の校正を
行なうため、容量校正部材12をも有する。容量校正部材
12は、プラスチック等の絶縁性物質より成り、インダク
タンス校正部材11と同様に被測定素子の寸法範囲の幅を
有し、テーパー状に形成される。この容量校正部材12を
テストフィクスチュアのガード部32,32′で挾持し、接
触部31,31′を被測定素子の長さと同じ距離でオープン
状態にさせ、テストフィクスチュアの有する容量成分を
測定することができる。テストフィクスチュアのガード
部間の幅と接触部間の幅に差がある場合がある。例え
ば、第３図のように、ガード部32,32′間の幅は、接触
部31,31′間の幅より広いので、容量校正部材12の幅を
インダクタンス校正部材11の幅よりもその分だけ広くな
るように作製されている。このようにして、被測定素子
の寸法で変化するテストフィクスチュアが有する容量成
分のキャリブレーションを行なうことができる。
の図に基づいて本考案を詳述する。校正治具10は、第３
図に示すようなテストフィクスチュアが有するインダク
タンス成分、特に、さまざまな被測定素子の長さで変化
するインダクタンス成分の校正を行なうためのインダク
タンス校正部材11を有する。これは、金属等の導電性物
質より作製され、被測定素子の寸法範囲、例えば、1.6m
mから10.0mm、の幅を有したテーパー状に形成される。
さらに、インダクタンス校正部材11の表面に、被測定素
子の寸法に対応した幅の部分に目盛をつけることによっ
て、容易に所望の長さで以下の補正を行なうことができ
る。したがって、インダクタンス校正部材11上の被測定
素子の長さと同じ幅を有する位置をテストフィクスチュ
ア30の接触部31,31′で挾持することによって被測定素
子の寸法に対応したインダクタンス成分を予め測定する
ことができる。つまり、テストフィクスチュアが有する
インダクタンス成分のキャリブレーションを行なうこと
ができる。また、校正治具10は、被測定素子の寸法で変
化するテストフィクスチュアが有する容量成分の校正を
行なうため、容量校正部材12をも有する。容量校正部材
12は、プラスチック等の絶縁性物質より成り、インダク
タンス校正部材11と同様に被測定素子の寸法範囲の幅を
有し、テーパー状に形成される。この容量校正部材12を
テストフィクスチュアのガード部32,32′で挾持し、接
触部31,31′を被測定素子の長さと同じ距離でオープン
状態にさせ、テストフィクスチュアの有する容量成分を
測定することができる。テストフィクスチュアのガード
部間の幅と接触部間の幅に差がある場合がある。例え
ば、第３図のように、ガード部32,32′間の幅は、接触
部31,31′間の幅より広いので、容量校正部材12の幅を
インダクタンス校正部材11の幅よりもその分だけ広くな
るように作製されている。このようにして、被測定素子
の寸法で変化するテストフィクスチュアが有する容量成
分のキャリブレーションを行なうことができる。
第２図に本考案の他の実施例を示す、21はテストフィク
スチュア30が有するインダクタンス成分を校正する治具
で第１図のインダクタンス校正部材11と同様な物質で構
成される。校正治具21はさまざまな被測定素子の寸法の
幅を有し、階段状に形成される。第２図には、また、第
３図のテストフィクスチュア30のインダクタンス成分を
測定する動作も示す。図示するように、被測定素子の長
さと同じ幅を有する段をテストフィクスチュアの接触部
31,31′で挾持し、ショート状態で、テストフィクスチ
ュア30が有するインダクタンス成分の測定を行なう。図
示しないが、テストフィクスチュアが有する容量成分を
校正するための校正治具も第１図の容量校正部材12と同
様な物質から成り、校正治具21のように階段状で構成す
ることができる。この場合も、テストフィクスチュア30
のガード部32,32′で接触部31,31′が被測定素子の長さ
と同じ距離だけオープン状態となる幅を有する段を挾持
し、オープン状態でテストフィクスチュア30が有する容
量成分を測定する。
スチュア30が有するインダクタンス成分を校正する治具
で第１図のインダクタンス校正部材11と同様な物質で構
成される。校正治具21はさまざまな被測定素子の寸法の
幅を有し、階段状に形成される。第２図には、また、第
３図のテストフィクスチュア30のインダクタンス成分を
測定する動作も示す。図示するように、被測定素子の長
さと同じ幅を有する段をテストフィクスチュアの接触部
31,31′で挾持し、ショート状態で、テストフィクスチ
ュア30が有するインダクタンス成分の測定を行なう。図
示しないが、テストフィクスチュアが有する容量成分を
校正するための校正治具も第１図の容量校正部材12と同
様な物質から成り、校正治具21のように階段状で構成す
ることができる。この場合も、テストフィクスチュア30
のガード部32,32′で接触部31,31′が被測定素子の長さ
と同じ距離だけオープン状態となる幅を有する段を挾持
し、オープン状態でテストフィクスチュア30が有する容
量成分を測定する。
なお、これらの校正手段は、一体化してもよいし、別個
に作製してもよいことは以上の説明より明らかである。
に作製してもよいことは以上の説明より明らかである。
また、容量補正は、目盛のついた定規のようなものでも
よい。すなわち、テストフィクスチュアの接続部をこの
目盛にあてて両者を所望の距離だけ離すことにより、被
測定素子の寸法と同じ長さで接続部間をオープン状態に
させ、オープン・キャリブレーションを実施することも
可能である。
よい。すなわち、テストフィクスチュアの接続部をこの
目盛にあてて両者を所望の距離だけ離すことにより、被
測定素子の寸法と同じ長さで接続部間をオープン状態に
させ、オープン・キャリブレーションを実施することも
可能である。
上述の実施例の代わりに、例えば、さまざまな寸法の被
測定素子と同じ形状の導電性部材や絶縁性部材で構成す
ることもできる。そして、これら複数個の部材を１セッ
トのテストフィクスチュアの校正治具として用いる。
測定素子と同じ形状の導電性部材や絶縁性部材で構成す
ることもできる。そして、これら複数個の部材を１セッ
トのテストフィクスチュアの校正治具として用いる。
以上説明したように、本考案に係るテストフィクスチュ
アの校正治具は、簡単な構成で、被測定素子の寸法で変
化するテストフィクスチュアのインピーダンス成分の校
正を容易に実施でき、したがって、高周波数測定におい
て、より正確な測定を可能にする。
アの校正治具は、簡単な構成で、被測定素子の寸法で変
化するテストフィクスチュアのインピーダンス成分の校
正を容易に実施でき、したがって、高周波数測定におい
て、より正確な測定を可能にする。
第１図は、本考案の一実施例であるテストフィクスチュ
アの校正治具の概略図。第２図は、本考案の他の実施例
であるテストフィクスチュアの校正治具を用い、キャリ
ブレーションの操作を説明する図。第３図は、ピンセッ
ト型テストフィクスチュアの概略図。 10,21:校正治具、11:インダクタンス校正部材、12:容量
校正部材、30:テストフィクスチュア、31,31′：接触
部、32,32′：ガード部、33:ケーブル。
アの校正治具の概略図。第２図は、本考案の他の実施例
であるテストフィクスチュアの校正治具を用い、キャリ
ブレーションの操作を説明する図。第３図は、ピンセッ
ト型テストフィクスチュアの概略図。 10,21:校正治具、11:インダクタンス校正部材、12:容量
校正部材、30:テストフィクスチュア、31,31′：接触
部、32,32′：ガード部、33:ケーブル。
Claims (6)
- 【請求項１】被測定素子のインピーダンス測定に用いら
れるテストフィクスチュアが有するインピーダンスを予
め測定し、前記インピーダンス測定に対して校正をおこ
なうためのテストフィクスチュアの校正治具において、 前記テストフィクスチュアに挟持される各種被測定素子
の寸法と等しい複数の幅を有し、前記テストフィクスチ
ュアのインピーダンスのうち、インダクタンス成分を校
正する場合、導電体より成り、前記テストフィクスチュ
アのインピーダンスのうち、容量成分を校正する場合、
絶縁体より成り、前記被測定素子の寸法で変化する前記
テストフィクスチュアの前記容量成分や前記インダクタ
ンス成分の校正をおこなうためのテストフィクスチュア
の校正治具。 - 【請求項２】実用新案登録請求の範囲第１項記載のテス
トフィクスチュアの校正治具の前記幅がテーパー状であ
ることを特徴とするテストフィクスチュアの校正治具。 - 【請求項３】実用新案登録請求の範囲第１項記載のテス
トフィクスチュアの校正治具の前記幅が階段状であるこ
とを特徴とするテストフィクスチュアの校正治具。 - 【請求項４】前記テストフィクスチュアの前記インダク
タンス成分を校正するための複数の幅を有する導電体部
分と、前記導電体部分と同じ形状の、前記テストフィク
スチュアの前記容量成分を校正するための複数の幅を有
する絶縁体部分が一体に形成してなることを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第１項記載のテストフィクスチ
ュアの校正治具。 - 【請求項５】実用新案登録請求の範囲第４項記載のテス
トフィクスチュアの校正治具において、前記導電体部分
と前記絶縁体部分の幅はテーパー状に形成されることを
特徴とするテストフィクスチュアの校正治具。 - 【請求項６】実用新案登録請求の範囲第４項記載のテス
トフィクスチュアの校正治具において、前記導体部分と
前記絶縁体部分の幅は階段状に形成されていることを特
徴とするテストフィクスチュアの校正治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10083987U JPH0720620Y2 (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 | テストフィクスチュアの校正治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10083987U JPH0720620Y2 (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 | テストフィクスチュアの校正治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS646568U JPS646568U (ja) | 1989-01-13 |
| JPH0720620Y2 true JPH0720620Y2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=31329282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10083987U Expired - Lifetime JPH0720620Y2 (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 | テストフィクスチュアの校正治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0720620Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6144984B2 (ja) * | 2013-07-16 | 2017-06-07 | 日置電機株式会社 | 補正用治具 |
| WO2023119417A1 (ja) * | 2021-12-21 | 2023-06-29 | 株式会社Fuji | 電気的特性取得装置 |
-
1987
- 1987-06-30 JP JP10083987U patent/JPH0720620Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS646568U (ja) | 1989-01-13 |
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