JPH07208963A - 複合型顕微鏡 - Google Patents
複合型顕微鏡Info
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- JPH07208963A JPH07208963A JP6004717A JP471794A JPH07208963A JP H07208963 A JPH07208963 A JP H07208963A JP 6004717 A JP6004717 A JP 6004717A JP 471794 A JP471794 A JP 471794A JP H07208963 A JPH07208963 A JP H07208963A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】光を用いて試料の特徴を検出する２以上の顕微
鏡の機能を備えた複合型顕微鏡であって、２以上の機能
で同時に観察を行うことができる複合型顕微鏡を提供す
る。 【構成】第１の顕微鏡に装着された照明光学系１と試料
９との間の光路上に、第２の顕微鏡に装着される検出光
学系１０、１１が検出可能な波長の光の通過を妨げるフ
ィルタ３を配置する。または、第２の顕微鏡に装着され
た検出光学系１１と試料９との間の光路上に、第１の顕
微鏡に装着された照明光学系１、３が照射する波長の光
の通過を妨げるフィルタ１０を配置する。
鏡の機能を備えた複合型顕微鏡であって、２以上の機能
で同時に観察を行うことができる複合型顕微鏡を提供す
る。 【構成】第１の顕微鏡に装着された照明光学系１と試料
９との間の光路上に、第２の顕微鏡に装着される検出光
学系１０、１１が検出可能な波長の光の通過を妨げるフ
ィルタ３を配置する。または、第２の顕微鏡に装着され
た検出光学系１１と試料９との間の光路上に、第１の顕
微鏡に装着された照明光学系１、３が照射する波長の光
の通過を妨げるフィルタ１０を配置する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光を用いて試料の特徴
を検出し、それを観察するための顕微鏡、例えば、光学
顕微鏡、レーザ顕微鏡、原子間力顕微鏡、静電気力顕微
鏡、近視野顕微鏡等のうち、少なくとも２つの顕微鏡の
機能を備えた複合型顕微鏡に関する。
を検出し、それを観察するための顕微鏡、例えば、光学
顕微鏡、レーザ顕微鏡、原子間力顕微鏡、静電気力顕微
鏡、近視野顕微鏡等のうち、少なくとも２つの顕微鏡の
機能を備えた複合型顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、試料に近接させたカンチレバーの
変位を光を用いて検出することにより、試料とカンチレ
バーとのあいだの原子間力、磁気力、静電気力等を検出
する顕微鏡が開発されている。また、出射端を試料に近
接させた光ファイバーから照明光を試料に出射させ、試
料での反射光を再び光ファイバの出射端から入射させて
光ファイバを伝搬させて入射端から取り出し、この反射
光の強度によって、出射端と試料との距離を検出する近
視野顕微鏡が知られている。
変位を光を用いて検出することにより、試料とカンチレ
バーとのあいだの原子間力、磁気力、静電気力等を検出
する顕微鏡が開発されている。また、出射端を試料に近
接させた光ファイバーから照明光を試料に出射させ、試
料での反射光を再び光ファイバの出射端から入射させて
光ファイバを伝搬させて入射端から取り出し、この反射
光の強度によって、出射端と試料との距離を検出する近
視野顕微鏡が知られている。
【０００３】これらの顕微鏡は、カンチレバーや光ファ
イバーを、観察したい試料の特定部位に正確に位置させ
る必要がある。そのため、例えば特開平５−４００３４
号公報では、原子間力顕微鏡と光学顕微鏡とを組み合わ
せて、原子間力顕微鏡のカンチレバーの先端部と試料と
を光学顕微鏡で観察できるようにした複合型顕微鏡が提
案されている。
イバーを、観察したい試料の特定部位に正確に位置させ
る必要がある。そのため、例えば特開平５−４００３４
号公報では、原子間力顕微鏡と光学顕微鏡とを組み合わ
せて、原子間力顕微鏡のカンチレバーの先端部と試料と
を光学顕微鏡で観察できるようにした複合型顕微鏡が提
案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
特開平５−４００３４号公報に記載されているような複
合型顕微鏡では、光学顕微鏡の照明光が、試料やカンチ
レバーなどの様々な場所で反射し、その一部が原子間力
顕微鏡の検出光学系に入射してしまう。そのため、光学
顕微鏡を観察しながら、同時に原子間力顕微鏡を使用す
ると、光学顕微鏡の照明光の反射光の一部を原子間力顕
微鏡が検出し、原子間力顕微鏡が使用不能となったり、
検出能力が劣化してしまうという問題があった。したが
って、従来の複合型顕微鏡では、まず、光学顕微鏡でカ
ンチレバーの位置を確認した後、光学顕微鏡での観察を
中止し、その上で原子間力顕微鏡で試料を観察するとい
う手順をとる必要があった。
特開平５−４００３４号公報に記載されているような複
合型顕微鏡では、光学顕微鏡の照明光が、試料やカンチ
レバーなどの様々な場所で反射し、その一部が原子間力
顕微鏡の検出光学系に入射してしまう。そのため、光学
顕微鏡を観察しながら、同時に原子間力顕微鏡を使用す
ると、光学顕微鏡の照明光の反射光の一部を原子間力顕
微鏡が検出し、原子間力顕微鏡が使用不能となったり、
検出能力が劣化してしまうという問題があった。したが
って、従来の複合型顕微鏡では、まず、光学顕微鏡でカ
ンチレバーの位置を確認した後、光学顕微鏡での観察を
中止し、その上で原子間力顕微鏡で試料を観察するとい
う手順をとる必要があった。
【０００５】本発明は、光を用いて試料の特徴を検出す
る２以上の顕微鏡の機能を備えた複合型顕微鏡であっ
て、２以上の機能で同時に観察を行うことができる複合
型顕微鏡を提供することを目的とする。
る２以上の顕微鏡の機能を備えた複合型顕微鏡であっ
て、２以上の機能で同時に観察を行うことができる複合
型顕微鏡を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第１の態様では、１の試料の特徴を、光を
用いて検出するための第１および第２の顕微鏡を備えた
複合型顕微鏡において、第１の顕微鏡に装着された照明
光学系と試料との間の光路上に、第２の顕微鏡に装着さ
れる検出光学系が検出可能な波長の光の通過を妨げるフ
ィルタを配置した。
に、本発明の第１の態様では、１の試料の特徴を、光を
用いて検出するための第１および第２の顕微鏡を備えた
複合型顕微鏡において、第１の顕微鏡に装着された照明
光学系と試料との間の光路上に、第２の顕微鏡に装着さ
れる検出光学系が検出可能な波長の光の通過を妨げるフ
ィルタを配置した。
【０００７】また、本発明の第２の態様では、１の試料
の特徴を、光を用いて検出するための第１および第２の
顕微鏡を備えた複合型顕微鏡において、前記第２の顕微
鏡に装着された検出光学系と試料との間の光路上に、第
１の顕微鏡に装着される検出光学系が検出可能な波長の
光の通過を妨げるフィルタを配置した。
の特徴を、光を用いて検出するための第１および第２の
顕微鏡を備えた複合型顕微鏡において、前記第２の顕微
鏡に装着された検出光学系と試料との間の光路上に、第
１の顕微鏡に装着される検出光学系が検出可能な波長の
光の通過を妨げるフィルタを配置した。
【０００８】
【作用】本発明の第１の態様の複合型顕微鏡では、第１
の顕微鏡の光路のうち、装着された光源と試料との間
に、第２の顕微鏡に装着される検出光学系が検出可能な
波長の光の通過を妨げるフィルタが配置されている。し
たがって、第１の顕微鏡の照明光は、第２の顕微鏡で検
出可能な波長の光を含まない。よって、第１の顕微鏡の
照明光の反射光が、第２の顕微鏡に装着される検出光学
系に入射した場合でも検出されることがないため、第２
の顕微鏡を用いた試料の特徴の検出には影響を及ぼさな
い。よって、第１の顕微鏡と第２の顕微鏡を同時に使用
して、試料の特徴を両機能で検出することが可能であ
る。
の顕微鏡の光路のうち、装着された光源と試料との間
に、第２の顕微鏡に装着される検出光学系が検出可能な
波長の光の通過を妨げるフィルタが配置されている。し
たがって、第１の顕微鏡の照明光は、第２の顕微鏡で検
出可能な波長の光を含まない。よって、第１の顕微鏡の
照明光の反射光が、第２の顕微鏡に装着される検出光学
系に入射した場合でも検出されることがないため、第２
の顕微鏡を用いた試料の特徴の検出には影響を及ぼさな
い。よって、第１の顕微鏡と第２の顕微鏡を同時に使用
して、試料の特徴を両機能で検出することが可能であ
る。
【０００９】また、本発明の第２の態様の複合型顕微鏡
では、第２の顕微鏡の光路のうち、装着された検出光学
系と試料との間の光路上に、第１の顕微鏡に装着された
照明光学系が照射する波長の光の通過を妨げるフィルタ
が配置されている。したがって、第１の顕微鏡の照明光
の反射光の一部が、第２の顕微鏡に装着された検出光学
系に入射しようとした場合、フィルタによって通過を妨
げられるため、検出光学系には入射しない。よって、第
２の顕微鏡を用いた試料の特徴の検出には、影響を及ぼ
さない。したがって、第１の顕微鏡と第２の顕微鏡を、
同時に使用して両機能で試料の特徴を検出することがで
きる。
では、第２の顕微鏡の光路のうち、装着された検出光学
系と試料との間の光路上に、第１の顕微鏡に装着された
照明光学系が照射する波長の光の通過を妨げるフィルタ
が配置されている。したがって、第１の顕微鏡の照明光
の反射光の一部が、第２の顕微鏡に装着された検出光学
系に入射しようとした場合、フィルタによって通過を妨
げられるため、検出光学系には入射しない。よって、第
２の顕微鏡を用いた試料の特徴の検出には、影響を及ぼ
さない。したがって、第１の顕微鏡と第２の顕微鏡を、
同時に使用して両機能で試料の特徴を検出することがで
きる。
【００１０】
【実施例】本発明の一実施例の複合型顕微鏡を図１を用
いて説明する。
いて説明する。
【００１１】本実施例の複合型顕微鏡は、光学顕微鏡の
機能と原子間力顕微鏡の機能とを備えたものである。そ
の構成を図１を用いて説明する。
機能と原子間力顕微鏡の機能とを備えたものである。そ
の構成を図１を用いて説明する。
【００１２】本実施例の複合型顕微鏡には、２つの光軸
２１、２２が設けられている。光軸２１上には、光源
１、コリメートレンズ２、フィルタ３、レンズ４、ハー
フミラー５、対物レンズ６、試料９、レンズ１２、検出
素子１３が順に配置され、光学顕微鏡の光学系を構成し
ている。また、光軸２２上には、光源７、カンチレバー
８、フィルタ１０、検出素子１１が順に配置され、原子
間力顕微鏡のカンチレバー８の変位を検出する光学系を
構成している。
２１、２２が設けられている。光軸２１上には、光源
１、コリメートレンズ２、フィルタ３、レンズ４、ハー
フミラー５、対物レンズ６、試料９、レンズ１２、検出
素子１３が順に配置され、光学顕微鏡の光学系を構成し
ている。また、光軸２２上には、光源７、カンチレバー
８、フィルタ１０、検出素子１１が順に配置され、原子
間力顕微鏡のカンチレバー８の変位を検出する光学系を
構成している。
【００１３】カンチレバー８は、針状部８ａと、針状部
８ａが一端に取り付けられた可撓性のプレート８ｂと、
プレート８ｂの他端を片持ち支持する不図示の支持部と
を備えている。支持部は、針状部８ａの先端部を、試料
から原子間力を受ける位置に支持し、プレート８ｂは、
針状部８ｂの受けた原子間力によって撓みを生じる。こ
の撓みを検出光学系で検出する。
８ａが一端に取り付けられた可撓性のプレート８ｂと、
プレート８ｂの他端を片持ち支持する不図示の支持部と
を備えている。支持部は、針状部８ａの先端部を、試料
から原子間力を受ける位置に支持し、プレート８ｂは、
針状部８ｂの受けた原子間力によって撓みを生じる。こ
の撓みを検出光学系で検出する。
【００１４】本実施例では、光学顕微鏡の光学系の光源
１として白色光を出射するランプを用い、検出素子１３
は、ＣＣＤ（電荷結合素子）で構成している。一方、原
子間力顕微鏡のカンチレバー８の変位を検出する光学系
の光源７として波長６７０〜６８０ｎｍの半導体レーザ
ダイオードを用い、検出素子１１として波長６７０〜６
８０ｎｍを含む波長領域に検出感度を有する半導体受光
素子を用いている。
１として白色光を出射するランプを用い、検出素子１３
は、ＣＣＤ（電荷結合素子）で構成している。一方、原
子間力顕微鏡のカンチレバー８の変位を検出する光学系
の光源７として波長６７０〜６８０ｎｍの半導体レーザ
ダイオードを用い、検出素子１１として波長６７０〜６
８０ｎｍを含む波長領域に検出感度を有する半導体受光
素子を用いている。
【００１５】また、フィルタ３、フィルタ１０の波長透
過特性を図２（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。フィル
タ３およびフィルタ１０は、干渉フィルタで構成されて
いる。光学顕微鏡の光学系において、試料９と光源１と
の間に配置されているフィルタ３は、図２（ａ）に示す
ように、波長６７０〜６８０ｎｍの光をカットし、他の
波長の光を透過させる特性である。したがって、光学顕
微鏡の光学系において、試料９に照射される照明光は、
波長６７０〜６８０ｎｍの光を含まない白色光となる。
過特性を図２（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。フィル
タ３およびフィルタ１０は、干渉フィルタで構成されて
いる。光学顕微鏡の光学系において、試料９と光源１と
の間に配置されているフィルタ３は、図２（ａ）に示す
ように、波長６７０〜６８０ｎｍの光をカットし、他の
波長の光を透過させる特性である。したがって、光学顕
微鏡の光学系において、試料９に照射される照明光は、
波長６７０〜６８０ｎｍの光を含まない白色光となる。
【００１６】フィルタ１０は、原子間力顕微鏡の検出光
学系において、試料９と検出素子１１との間に配置され
る。フィルタ１０の波長透過特性は、図２（ｂ）に示す
ように、波長６７０〜６８０ｎｍの光のみを透過させ、
他の波長の光を透過させない。したがって、原子間力顕
微鏡の検出光学系において、検出素子１１に入射する光
は、波長６７０〜６８０ｎｍの光のみである。
学系において、試料９と検出素子１１との間に配置され
る。フィルタ１０の波長透過特性は、図２（ｂ）に示す
ように、波長６７０〜６８０ｎｍの光のみを透過させ、
他の波長の光を透過させない。したがって、原子間力顕
微鏡の検出光学系において、検出素子１１に入射する光
は、波長６７０〜６８０ｎｍの光のみである。
【００１７】つぎに、本実施例の複合型顕微鏡を用いて
試料を光学顕微鏡機能と原子間力顕微鏡機能で観察する
場合の各部の動作について説明する。
試料を光学顕微鏡機能と原子間力顕微鏡機能で観察する
場合の各部の動作について説明する。
【００１８】まず、試料９を試料台２３の上に搭載す
る。光源１を点灯すると、光源１から出射された白色光
は、コリメートレンズ２でコリメートされ、フィルター
３を通過する。この時、白色光のうち波長６７０〜６８
０ｎｍの光は、フィルター３でカットされ、波長６７０
〜６８０ｎｍの光を含まない白色光となる。その後、光
は、レンズ４を通過し、ハーフミラー５で偏向され、対
物レンズ６で集光されて、カンチレバー８および試料９
に照射される。カンチレバー８および試料９で反射、散
乱された光の大部分は、再び対物レンズ６を通過し、ハ
ーフミラー５、レンズ１２を通過し、検出素子１３上に
結像する。検出素子１３上に結像した波長６７０〜６８
０ｎｍの光を含まない白色光は、検出素子１３で検出さ
れ、観察者は、検出素子１３に接続された図示しないモ
ニターによって、試料９及びカンチレバー８の像を観察
することができる。
る。光源１を点灯すると、光源１から出射された白色光
は、コリメートレンズ２でコリメートされ、フィルター
３を通過する。この時、白色光のうち波長６７０〜６８
０ｎｍの光は、フィルター３でカットされ、波長６７０
〜６８０ｎｍの光を含まない白色光となる。その後、光
は、レンズ４を通過し、ハーフミラー５で偏向され、対
物レンズ６で集光されて、カンチレバー８および試料９
に照射される。カンチレバー８および試料９で反射、散
乱された光の大部分は、再び対物レンズ６を通過し、ハ
ーフミラー５、レンズ１２を通過し、検出素子１３上に
結像する。検出素子１３上に結像した波長６７０〜６８
０ｎｍの光を含まない白色光は、検出素子１３で検出さ
れ、観察者は、検出素子１３に接続された図示しないモ
ニターによって、試料９及びカンチレバー８の像を観察
することができる。
【００１９】ここで観察者は、試料９及びカンチレバー
８の像を観察しながら、試料９を移動させ、カンチレバ
ー８の針状部８ａの先端を原子間力顕微鏡で観察したい
試料９の部位に持っていき、原子間力が検出可能な距離
まで針状部８ａの先端を試料９の表面に接近させる。こ
れで原子間力顕微鏡の機能で試料９を観察することが可
能になる。
８の像を観察しながら、試料９を移動させ、カンチレバ
ー８の針状部８ａの先端を原子間力顕微鏡で観察したい
試料９の部位に持っていき、原子間力が検出可能な距離
まで針状部８ａの先端を試料９の表面に接近させる。こ
れで原子間力顕微鏡の機能で試料９を観察することが可
能になる。
【００２０】つぎに、観察者は、光源７を発光させる。
この時、従来のように光学顕微鏡の光源１を消灯する必
要はない。光源７からは、波長６７０〜６８０ｎｍの光
のみが出射され、カンチレバー８のプレート８ｂで反射
される。反射光は波長６７０〜６８０ｎｍの光のみであ
るので、フィルタ１０を通過し、検出素子１１で検出さ
れる。検出素子１１は、反射光が検出素子１１に入射す
る位置によって、プレート８ｂの撓みを検出する。検出
素子１１に接続されている不図示の処理回路で、原子間
力の大きさを検出する。そして、試料９を走査すること
により、原子間力顕微鏡の機能で試料９の表面像を得る
ことが可能になる。
この時、従来のように光学顕微鏡の光源１を消灯する必
要はない。光源７からは、波長６７０〜６８０ｎｍの光
のみが出射され、カンチレバー８のプレート８ｂで反射
される。反射光は波長６７０〜６８０ｎｍの光のみであ
るので、フィルタ１０を通過し、検出素子１１で検出さ
れる。検出素子１１は、反射光が検出素子１１に入射す
る位置によって、プレート８ｂの撓みを検出する。検出
素子１１に接続されている不図示の処理回路で、原子間
力の大きさを検出する。そして、試料９を走査すること
により、原子間力顕微鏡の機能で試料９の表面像を得る
ことが可能になる。
【００２１】光学顕微鏡の光学系によって、試料９およ
びカンチレバー８に照射された光の反射光および散乱光
の一部は、フィルター１０に入射する。しかしながら、
フィルター１０は、波長６７０〜６８０ｎｍの光のみを
通過させる特性であるのに対し、光学顕微鏡の光学系に
よって照射された光は、上述のように波長６７０〜６８
０ｎｍの光を含まない。よって、光学顕微鏡の光学系に
よって照射された光は、フィルター１０を通過すること
ができないので、検出素子１１に検出されることはな
く、カンチレバー８の変位の検出に影響を及ぼすことは
ない。
びカンチレバー８に照射された光の反射光および散乱光
の一部は、フィルター１０に入射する。しかしながら、
フィルター１０は、波長６７０〜６８０ｎｍの光のみを
通過させる特性であるのに対し、光学顕微鏡の光学系に
よって照射された光は、上述のように波長６７０〜６８
０ｎｍの光を含まない。よって、光学顕微鏡の光学系に
よって照射された光は、フィルター１０を通過すること
ができないので、検出素子１１に検出されることはな
く、カンチレバー８の変位の検出に影響を及ぼすことは
ない。
【００２２】したがって、光学顕微鏡の光源１と、原子
間力顕微鏡の光源７を同時に点灯しても、両顕微鏡機能
に差し支えることがなく、原子間力顕微鏡で観察しなが
ら、同時に、光学顕微鏡の機能で試料１９の画像を観察
することができる。よって、試料９の経時変化や観察部
位の特定等を容易に行うことが可能になる。
間力顕微鏡の光源７を同時に点灯しても、両顕微鏡機能
に差し支えることがなく、原子間力顕微鏡で観察しなが
ら、同時に、光学顕微鏡の機能で試料１９の画像を観察
することができる。よって、試料９の経時変化や観察部
位の特定等を容易に行うことが可能になる。
【００２３】また、従来のように、光学顕微鏡で、カン
チレバー８の位置を定めた後、光源１を消灯する必要が
なくなるので、カンチレバー８の位置を定めた後すぐに
原子間力顕微鏡での観察を開始することができ、使い勝
手がよくなる。
チレバー８の位置を定めた後、光源１を消灯する必要が
なくなるので、カンチレバー８の位置を定めた後すぐに
原子間力顕微鏡での観察を開始することができ、使い勝
手がよくなる。
【００２４】上述の実施例では、光学顕微鏡の光軸２１
上にフィルタ３を、原子間力顕微鏡の光軸２２上にフィ
ルタ１０を置く構成にしたが、どちらか一方のフィルタ
を配置することによっても、同様の効果が得られる。例
えば、フィルタ３のみを用い、フィルタ１０を用いない
場合には、検出素子１１が検出可能な波長をすべてカッ
トする透過特性のフィルタをフィルタ３として用いて、
光学顕微鏡の照明光が検出素子３が検出可能な波長の光
を含まないようにする。また、例えば、フィルタ１０の
みを用い、フィルタ３を用いない場合には、光源１が発
光する白色光に含まれる波長をすべて透過させない透過
特性のフィルタをフィルタ１０として用いる。そして、
フィルタ１０を透過可能な波長の光（例えば赤外光）を
発光する半導体レーザを光源７として用いる。
上にフィルタ３を、原子間力顕微鏡の光軸２２上にフィ
ルタ１０を置く構成にしたが、どちらか一方のフィルタ
を配置することによっても、同様の効果が得られる。例
えば、フィルタ３のみを用い、フィルタ１０を用いない
場合には、検出素子１１が検出可能な波長をすべてカッ
トする透過特性のフィルタをフィルタ３として用いて、
光学顕微鏡の照明光が検出素子３が検出可能な波長の光
を含まないようにする。また、例えば、フィルタ１０の
みを用い、フィルタ３を用いない場合には、光源１が発
光する白色光に含まれる波長をすべて透過させない透過
特性のフィルタをフィルタ１０として用いる。そして、
フィルタ１０を透過可能な波長の光（例えば赤外光）を
発光する半導体レーザを光源７として用いる。
【００２５】また、本実施例では、光学顕微鏡機能と原
子間力顕微鏡機能とを備えた複合型顕微鏡について説明
したが、この組合せに限らず、光を用いる顕微鏡機能を
２以上備えた複合型顕微鏡であれば、本実施例と同様に
フィルタを用いることにより両機能を同時に用いること
が可能になる。例えば、本実施例の原子間力顕微鏡機能
を磁気力顕微鏡、静電気力顕微鏡、近視野顕微鏡、レー
ザ顕微鏡と置き換えることが可能である。
子間力顕微鏡機能とを備えた複合型顕微鏡について説明
したが、この組合せに限らず、光を用いる顕微鏡機能を
２以上備えた複合型顕微鏡であれば、本実施例と同様に
フィルタを用いることにより両機能を同時に用いること
が可能になる。例えば、本実施例の原子間力顕微鏡機能
を磁気力顕微鏡、静電気力顕微鏡、近視野顕微鏡、レー
ザ顕微鏡と置き換えることが可能である。
【００２６】
【発明の効果】上述のように、本発明によれば、光を用
いて試料の特徴を検出する２以上の顕微鏡の機能を備え
た複合型顕微鏡で、２以上の顕微鏡機能で同時に観察を
行うことが可能になる。
いて試料の特徴を検出する２以上の顕微鏡の機能を備え
た複合型顕微鏡で、２以上の顕微鏡機能で同時に観察を
行うことが可能になる。
【図１】本発明の第１の実施例の複合型顕微鏡の構成を
示すブロック図。
示すブロック図。
【図２】（ａ）図１の複合型顕微鏡のフィルタ３の光透
過特性を示すグラフ。 （ｂ）図１の複合型顕微鏡のフィルタ１０の光透過特性
を示すグラフ。
過特性を示すグラフ。 （ｂ）図１の複合型顕微鏡のフィルタ１０の光透過特性
を示すグラフ。
１…光学顕微鏡光学系の光源、２…コリメートレンズ、
３…フィルタ、４…レンズ、５…ハーフミラー、６…レ
ンズ、７…原子間力顕微鏡の検出光学系の光源、８…カ
ンチレバー、９…試料、１０…フィルター、１１…検出
素子、１２…レンズ、１３…検出素子、２１、２２…光
軸、２３…試料台。
３…フィルタ、４…レンズ、５…ハーフミラー、６…レ
ンズ、７…原子間力顕微鏡の検出光学系の光源、８…カ
ンチレバー、９…試料、１０…フィルター、１１…検出
素子、１２…レンズ、１３…検出素子、２１、２２…光
軸、２３…試料台。
Claims (6)
- 【請求項１】１の試料の特徴を、光を用いて検出するた
めの第１および第２の顕微鏡を備えた複合型顕微鏡にお
いて、 前記第１の顕微鏡に装着された照明光学系と前記試料と
の間の光路上には、第２の顕微鏡に装着される検出光学
系が検出可能な波長の光の透過を妨げるフィルタが配置
されていることを特徴とする複合型顕微鏡。 - 【請求項２】１の試料の特徴を、光を用いて検出するた
めの第１および第２の顕微鏡を備えた複合型顕微鏡にお
いて、 前記第２の顕微鏡に装着された検出光学系と前記試料と
の間の光路上には、第１の顕微鏡に装着された照明光学
系が照射する波長の光の通過を妨げるフィルタが配置さ
れていることを特徴とする複合型顕微鏡。 - 【請求項３】請求項１または２において、前記第１の顕
微鏡は、光学顕微鏡であることを特徴とする複合型顕微
鏡。 - 【請求項４】請求項３において、前記第２の顕微鏡は、
カンチレバーと、前記カンチレバーの変位を光を用いて
用いて検出する顕微鏡であることを特徴とする複合型顕
微鏡。 - 【請求項５】１の試料の特徴を、光を用いて検出するた
めの第１および第２の顕微鏡を備えた複合型顕微鏡の第
１の顕微鏡用照明装置であって、 第２の顕微鏡で用いられる波長の光の通過を妨げるフィ
ルタを有することを特徴とする複合型顕微鏡の第１の顕
微鏡用照明装置。 - 【請求項６】１の試料の特徴を、光を用いて検出するた
めの第１および第２の顕微鏡を備えた複合型顕微鏡の第
１の顕微鏡用光検出装置であって、 第２の顕微鏡で用いられる波長の光の通過を妨げるフィ
ルタを有することを特徴とする複合型顕微鏡の第１の顕
微鏡用光検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6004717A JPH07208963A (ja) | 1994-01-20 | 1994-01-20 | 複合型顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6004717A JPH07208963A (ja) | 1994-01-20 | 1994-01-20 | 複合型顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07208963A true JPH07208963A (ja) | 1995-08-11 |
Family
ID=11591641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6004717A Withdrawn JPH07208963A (ja) | 1994-01-20 | 1994-01-20 | 複合型顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07208963A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010157393A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Topcon Corp | 電子顕微鏡装置 |
| JP2012009247A (ja) * | 2010-06-24 | 2012-01-12 | Topcon Corp | 電子顕微鏡装置 |
| JP2013191576A (ja) * | 2013-05-13 | 2013-09-26 | Horiba Ltd | 電子顕微鏡装置 |
| CN112309808A (zh) * | 2020-11-13 | 2021-02-02 | 中国科学院物理研究所 | 光学聚焦和焦斑连续扫描的透射电子显微镜样品杆系统 |
-
1994
- 1994-01-20 JP JP6004717A patent/JPH07208963A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010157393A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Topcon Corp | 電子顕微鏡装置 |
| JP2012009247A (ja) * | 2010-06-24 | 2012-01-12 | Topcon Corp | 電子顕微鏡装置 |
| JP2013191576A (ja) * | 2013-05-13 | 2013-09-26 | Horiba Ltd | 電子顕微鏡装置 |
| CN112309808A (zh) * | 2020-11-13 | 2021-02-02 | 中国科学院物理研究所 | 光学聚焦和焦斑连续扫描的透射电子显微镜样品杆系统 |
| CN112309808B (zh) * | 2020-11-13 | 2021-12-28 | 中国科学院物理研究所 | 光学聚焦和焦斑连续扫描的透射电子显微镜样品杆系统 |
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|---|---|---|---|
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