JPH07210903A

JPH07210903A - ピックアップ装置及び情報記憶装置

Info

Publication number: JPH07210903A
Application number: JP6005757A
Authority: JP
Inventors: Michihito Ueda; 路人上田; Tatsuo Ito; 達男伊藤; Shinichi Mizuguchi; 信一水口
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1994-01-24
Filing date: 1994-01-24
Publication date: 1995-08-11

Abstract

(57)【要約】【目的】構造が簡単で、製作及び制御が容易であり、
各電極間の電磁気的相互作用による影響の少ないピック
アップ装置及びそれを用いた超高密度記録可能な情報記
憶装置を得る。【構成】同一基板７上において、複数の探針からなる
探針群８をそれぞれカンチレバー９上に設け、基板７全
体をＸ方向駆動ピエゾ素子６により記録媒体１の半径方
向に微動させ、探針のトラッキングを行う。各探針に接
続された信号電極に近接して接地されたシールド電極を
設け、各信号電極間の電磁気的相互作用による影響を遮
断する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、走査プローブ顕微鏡の
マルチプローブヘッドや記録再生装置のピックアップヘ
ッドとして用いられるピックアップ装置及びそのピック
アップ装置を用いた超高密度記録可能な情報記憶装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、情報記憶装置の大容量化及び装置
の小型化に伴い、記録の高密度化が要求されている。情
報記憶装置における高密度記録方法の中でも、特に探針
を用いたピックアップ装置は、例えばエッチングやリソ
グラフィなどのＩＣ製造方法を用いて作製する研究が数
多くなされている。

【０００３】従来の情報記憶装置について、その構成を
示す図８及び図９を参照しつつ説明する。図８におい
て、従来の情報記憶装置は、所定速度で回転されるディ
スク状の記録媒体１０３と、記録媒体１０３に対して所
定の距離を隔てて対向するように設けられたピックアッ
プ装置２００と、ピックアップ装置２００を記録媒体１
０３の記録面に対し垂直な方向（以下Ｚ方向と称する）
に駆動するためのＺ方向粗動用駆動回路１０６、Ｚ方向
サーボ回路１０７、トラックサーボ回路１０８等で構成
された駆動装置と、探針と記録媒体１０３との間に所定
のパルス電圧を印加し、記録媒体１０３に情報を記録し
又は情報を読み出すためのトンネル電流検出回路１０
９、パルス印加回路１１０、バイアス回路１１１等で構
成された信号制御装置と制御装置１１２等で構成されて
いる。

【０００４】記録媒体１０３の記録面に対向するように
シリコン基板１０１が設けられている。シリコン基板１
０１の記録媒体１０３の半径方向に平行な一辺には、先
端に探針（詳細は図９に示す）を有する複数のカンチレ
バー１０２が配列されている。また、シリコン基板１０
１の記録媒体１０３とは対向しない側には、Ｚ方向に粗
動可能なように圧電素子１０５が設けられている。この
圧電素子１０５は、Ｚ方向においてカンチレバー１０２
を記録媒体１０３に対して所定の距離範囲内に接近させ
るために使用する。一方、カンチレバー１０２自体もＺ
方向に微小距離だけ湾曲可能であり、探針による情報記
録を行う際、カンチレバー１０２をＺ方向に微小距離湾
曲させ、探針を記録媒体１０３の記録面に接近もしくは
接触させる。この状態で、探針と記録媒体１０３との間
にパルス電圧を印加することにより、記録媒体１０３に
情報が記録される。一方、探針による情報読み出しの際
には、記録媒体１０３に書き込まれたビットデータ列１
０４に沿って探針を走査させ、情報を読み出す。

【０００５】次に、カンチレバー１０２の詳細な構成を
図９に示す。なお、図９におけるカンチレバー１０２は
図８に示す状態とは天地が逆転しているものとする。図
９に示すように、カンチレバー１０２は、基本的には圧
電体１１７ａ及び１１７ｂからなるバイモルフ構造であ
る。図９中、圧電体１１７ａの上には電極１１９ａ及び
１１９ｂが設けられ、また、圧電体１１７ｂの下には電
極１１８ａ及び１１８ｂが設けられている。圧電体１１
７ａと１１７ｂとの間には電極１２０が設けられてい
る。電極１１９ａ及び１１９ｂの上には絶縁層１１６を
介してシールド電極１１５が設けられており、さらに、
シールド電極１１５の上には絶縁層１１６を介して引出
し電極１１３が設けられている。そして、引き出し電極
１１３上には探針１１４が設けられている。各電極１１
８ａ、１１８ｂ、１１９ａ、１１９ｂ、１２０には、そ
れぞれパッド部１２１から任意に電圧を印加することが
できる。各電極に所定の電圧を印加することにより、圧
電体１１７ａ及び１１７ｂが変形し、カンチレバー１０
２に伸縮やねじり等複雑な動きをさせることができる。
カンチレバー１０２を１本ずつこのように駆動すること
により、１つの探針１１４により複数のトラックの読み
書きを行うことができる。

【０００６】次に、別の従来の情報記憶装置を、その構
成を示す図１０及び図１１を参照しつつ説明する。図１
０において、ディスク状の記録媒体１２２は、その下方
に設けられた回転装置１２３のシャフトに連結され、所
定速度で回転される。記録媒体１２２と回転装置１２３
との間にはピックアップ装置１２４が配置され、各カン
チレバー部１２７に設けられた探針を記録媒体１２２の
記録面に接近又は接触させることにより情報の記録・再
生を行う。このカンチレバー部１２７の一部分を拡大し
たものを図１１に示す。図１１において、個々のカンチ
レバー１３２ａ、１３２ｂ・・・上には多数の（例えば
１００個程度）の探針１２８が設けられている。各探針
１２８間のピッチは０．３５μｍで、１つのカンチレバ
ー１３２ａ、１３２ｂ・・・の幅はそれぞれ約３５μｍ
である。なお、各カンチレバー１３２ａ、１３２ｂ・・
・上には前述のように探針１２８が１００個程度設けら
れているが、図にはその一部のみを示している。各探針
１２８は情報処理回路（図示せず）に接続されている。
また、各カンチレバー１３２ａ、１３２ｂ・・・にはそ
れぞれ電極１２９ａ、１２９ｂ・・・及び１３１ａ、１
３１ｂ・・・が接続されており、電極１２９ａと１３１
ａとの間及び電極１２９ｂと１３１ｂとの間にそれぞれ
静電力を働らかすことにより、各カンチレバー１３２
ａ、１３２ｂ・・・を駆動する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】図８及び図９に示した
従来の情報記憶装置の構成では、全てのカンチレバーに
複雑な動作をさせる必要があり、その構造や制御が複雑
なものとならざるを得ないという問題点を有していた。
また、図１０及び図１１に示した従来の情報記憶装置の
構成では、各カンチレバーの駆動構造は簡略化されてい
るが、各トラックに対し１本の探針が割り当てられてい
るため、各探針間の距離が非常に狭くなり、そのため信
号電極も非常に細かいピッチで配線しなければならず、
製作が非常に困難であるという問題点を有していた。さ
らに、複数の信号電極を並列して配置しているため、各
電極間の電磁気的相互作用により再生信号にノイズが乗
ってしまうという問題点も有していた。

【０００８】本発明は上記従来の情報記憶装置の問題点
を解決するためになされたものであり、構造が簡単で、
製作及び制御が容易であり、各電極間の電磁気的相互作
用による影響の少ないピックアップ装置及びそれを用い
た超高密度記録可能な情報記憶装置を提供することを目
的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のピックアップ装置は、複数の探針を具備す
る複数の探針群と、前記各探針群ごとに各探針と試料と
の距離を変化させる駆動手段と、前記各探針群ごとに少
なくとも２つの探針と試料との距離を検出する手段と、
前記各探針群のそれぞれの探針に接続された信号電極
と、前記各信号電極に近接して配置され接地されたシー
ルド電極とを同一基板上に設けるように構成されてい
る。上記構成において、複数の探針群はそれぞれ異なっ
たカンチレバー上に設けられていることが好ましい。ま
た、上記構成において、信号電極及びシールド電極はそ
れぞれ同一基板上において交互に配置されていることが
好ましい。また、上記構成において、信号電極は基板上
に直接設けられ、絶縁層を介してシールド電極は探針部
を除いて前期信号電極の全体を覆うように設けられてい
ることが好ましい。また、上記構成において、信号電極
は探針部を除いてほぼ全体が絶縁層で覆われ、シールド
電極は信号電極を包み込むように設けられていることが
好ましい。

【００１０】また、本発明のピックアップ装置を用いた
情報記憶装置は、ディスク状の記録媒体と、前記記録媒
体を所定速度で回転させる回転手段と、前記記録媒体の
記録面に対して所定距離だけ隔てて設けられたピックア
ップ装置とを具備し、前期ピックアップ装置は、複数の
探針を具備する複数の探針群と、前記各探針群ごとに各
探針と試料との距離を変化させる駆動手段と、前記各探
針群ごとに少なくとも２つの探針と試料との距離を検出
する手段と、前記各探針群のそれぞれの探針に接続され
た信号電極と、前記各信号電極に近接して配置され接地
されたシールド電極とを同一基板上に設けるように構成
されている。また、本発明のピックアップ装置を用いた
別の情報記憶装置は、ディスク状の記録媒体と、前記記
録媒体を所定速度で回転させる回転手段と、前記記録媒
体の記録面に対して所定距離だけ隔てて設けられたピッ
クアップ装置と、前記記録媒体の半径方向に前記ピック
アップ装置を駆動する手段とを具備し、前期ピックアッ
プ装置は、複数の探針を具備する複数の探針群と、前記
各探針群ごとに各探針と試料との距離を変化させる駆動
手段と、前記各探針群ごとに少なくとも２つの探針と試
料との距離を検出する手段とを同一基板上に設けるよう
に構成されている。上記構成において、ピックアップ装
置を駆動する手段を制御する回路を探針群と同一基板上
に設けることが好ましい。また、上記構成において、複
数の探針群はそれぞれ異なったカンチレバー上に設けら
れていることが好ましい。また、上記構成において、カ
ンチレバーはその探針群により記録・再生が行われるデ
ィスク状の記録媒体の部分が実質的に平面とみなせる程
度の幅を有することが好ましい。また、上記構成におい
て、信号電極及びシールド電極はそれぞれ同一基板上に
おいて交互に配置されていることが好ましい。また、上
記構成において、信号電極は基板上に直接設けられ、絶
縁層を介してシールド電極は探針部を除いて前期信号電
極の全体を覆うように設けられていることが好ましい。
また、上記構成において、信号電極は探針部を除いてほ
ぼ全体が絶縁層で覆われ、シールド電極は信号電極を包
み込むように設けられていることが好ましい。

【００１１】

【作用】以上のように、本発明のピックアップ装置及び
情報記憶装置によれば、複数の探針を１つの探針群と
し、各探針群ごとに各探針と試料との距離を変化させる
ので、個々の探針をそれぞれ独立して駆動させる必要が
なく、駆動機構が簡略化される。また、各探針群ごとに
少なくとも２つの探針と試料との距離を検出するので、
仮に探針群が設けられているカンチレバー等が傾斜して
いたとしても探針群を構成する一部の探針が試料と衝突
して破損するという危険がきわめて少なくなる。さら
に、各探針群のそれぞれの探針に接続された信号電極と
各信号電極に近接して接地されたシールド電極を設けた
ので、各信号電極間に生じる電磁気的影響が低減され
る。さらに、信号電極を基板上に直接設け、絶縁層を介
してシールド電極は探針部を除いて信号電極の全体を覆
うように設けることにより、各信号電極間に生じる電磁
気的影響がさらに低減される。さらに、信号電極を探針
部を除いてほぼ全体を絶縁層で覆い、シールド電極で信
号電極を包み込むことにより、信号電極間に生じる電磁
気的影響がほぼ完全に遮断される。さらに、複数の探針
群をそれぞれ異なったカンチレバー上に設けることによ
り、個々のカンチレバーの幅を小さくすることができ、
各カンチレバー上に設けられているそれぞれの探針と試
料表面との距離がほぼ同一に保たれる。さらに、カンチ
レバーはその探針群により記録・再生が行われるディス
ク状の記録媒体の部分が実質的に平面とみなせる程度の
幅とすることにより、各探針と試料表面との距離がほぼ
同一に保たれる。また、本発明の情報記憶装置は、ピッ
クアップ装置全体を駆動してトラッキングを行うため、
各カンチレバーを直接伸縮させたりひねったりする必要
がなくなり、その結果カンチレバーの構造が簡略化され
るとともに、各カンチレバーに設けられる探針及び電極
の数が削減でき、その制御及び製作が容易になる。

【００１２】

【実施例】本発明のピックアップ装置及びそれを用いた
情報記憶装置の好適な一実施例を、図面を参照しつつ説
明する。図１は本発明のピックアップ装置及びそれを用
いた情報記憶装置の構成を示す斜視図である。図１にお
いて、ディスク状の記録媒体１は、例えば導電性支持体
上に形成された誘電体層により構成されている。本実施
例の場合、導電性支持体として単結晶Ｓｉを用い、その
直径は約１０ｍｍである。回転記録媒体１は、例えばサ
ーボモーター等で構成された回転機構２のシャフトに連
結されており、所定速度で回転される。ピックアップ装
置３は記録媒体１と回転機構２との間において、記録媒
体１の記録面に対して所定距離を隔てて設けられてい
る。これら記録媒体１、回転機構２及びピックアップ装
置３等は筺体４の内部に設けられており、回転機構２は
筐体４の底面に固定されている。また、ピックアップ装
置支持部５は筺体４の壁面に固定されている。ピックア
ップ装置３は、Ｘ方向駆動ピエゾ６を介して、その一端
はピックアップ装置支持部５に固定されている。Ｘ方向
駆動ピエゾ６に電圧を印加し、Ｘ方向駆動ピエゾ６を伸
縮させることにより、ピックアップ装置３をＸ方向に微
動させる。ピックアップ装置３は同一の基板７上に複数
のカンチレバー９及び各カンチレバー９の一端に設けら
れた複数の探針からなる複数の探針群８を有している。

【００１３】次に、図２にピックアップ装置３の詳細な
構成を示す。基板７は、例えば単結晶Ｓｉ等で構成され
ている。探針群８（８ａ〜８ｄ）は複数の探針からな
り、各探針群８ａ〜８ｄにおける個々の探針間のピッチ
は約３．５μｍである。各探針群８ａ〜８ｄはそれぞれ
カンチレバー９（９ａ〜９ｄ）の上面に設けられてい
る。各カンチレバー９ａ〜９ｄの幅は約３５μｍであ
り、各カンチレバー９ａ〜９ｄ上にはそれぞれ１０個の
探針が設けられている（なお、図２にはその一部のみを
示す）。記録媒体１の面精度は、単結晶Ｓｉを用いた場
合１．５ｎｍ程度であるため、各カンチレバー９ａ〜９
ｄの幅を３５μｍとすると、この間は実質的に平坦であ
ると見なすことができる。そのため、カンチレバー９ａ
〜９ｄと記録媒体１とを平行にすると、各カンチレバー
９ａ〜９ｄ上の各探針群８ａ〜８ｄにおける１０本の探
針のそれぞれと記録媒体１の記録面との距離は全て等し
くなる。

【００１４】各カンチレバー９ａ〜９ｄはそれぞれ駆動
装置（図示せず）により駆動され、それにより各カンチ
レバー９ａ〜９ｄの上面に設けられている各探針群８ａ
〜８ｄは記録媒体１の記録面に対して鉛直方向に移動さ
れる。各カンチレバー９ａ〜９ｄはそれぞれカンチレバ
ー制御及び信号処理のためのカンチレバー制御回路１０
に接続されており、カンチレバー制御回路１０は各探針
からの信号処理やトラッキング情報信号処理、及び各探
針と記録媒体１と間のギャップ制御等を行う。Ｘ方向駆
動ピエゾ制御回路１１は、カンチレバー制御回路１０か
ら送られたトラッキング情報信号に対応してＸ方向駆動
ピエゾ６を駆動する。

【００１５】次に、カンチレバー９ａ〜９ｄの第１例の
構成を図３に示す。図３は、例えばカンチレバー９ｂの
一部分の上面図である。なお、図３において図２と同一
の番号を付した部材は実質的に同一であるため、その説
明を省略する。探針１２は、図２において示した探針群
８ｂを構成する探針の一つである。先に述べたように、
各カンチレバー９ａ〜９ｄ上にはそれぞれ１０個の探針
が設けられているが、図３においてはその探針の一部の
みを示している。探針１３ａ及び１３ｂも探針１２と同
様に探針群８ｂを構成する探針であるが、探針１２とは
ギャップ検出回路（図示せず）に接続され、図１に示す
記録媒体１との間隔を検出するためにも用いられる点に
おいて異なる。信号電極１４はそれぞれ探針１２、１３
ａ、１３ｂ・・・に接続され、各探針により読み出され
た情報や各探針により記録する情報を伝達する。図示し
ない配線により接地されたシールド電極１５を各信号電
極１４と交互に配置することにより、各信号電極１４間
の電磁気的相互作用を低減することができる。

【００１６】次に、カンチレバー９ａ〜９ｄの第２例の
構成を図４及び図５に示す。図４は、例えばカンチレバ
ー９ｂの一部分の上面図である。また、図５は図４にお
けるＡ−Ａ断面図である。なお、図４及び図５において
図２及び図３と同一の番号を付した部材は実質的に同一
であるため、その説明を省略する。図４に示す第２例
は、図３に示した第１例とは、探針部以外はシールド電
極１５により信号電極１４を覆うような構造にしている
点において異なる。図５において、シールド電極１５は
例えばＡｌ等で構成され、図示しない配線により接地さ
れている。カンチレバー９ｂの上に設けられた各信号電
極１４は、例えばＳｉＯ₂等で構成された絶縁層１６で
覆われ、その上からシールド電極１５により探針部を除
く全体が覆われるように構成されている。その結果、図
５に示すように各信号電極１４の間にシールド電極１５
の一部が入り込んだ構造となる。

【００１７】さらに、カンチレバー９ａ〜９ｄの第３例
の構成を図６に示す。第３例に係るカンチレバー９ｂの
一部分の上面図は図４と実質的に同一であるため、図示
を省略する。図６は、図４におけるＡ−Ａ断面の別の実
施例である。なお、図６において図２から図５までと同
一の番号を付した部材は実質的に同一であるため、その
説明を省略する。図６に示す第３例は、図５に示す第２
例とは、シールド電極１５により各信号電極１４を完全
に包み込んでしまっている点において異なる。すなわ
ち、図６に示す第３例では、カンチレバー９ｂ上にシー
ルド電極１５の一部分が形成され、このシールド電極１
５上に絶縁層１６により覆われた信号電極１４が設けら
れ、さらにその上からシールド電極１５が信号電極１４
を覆うように形成されている。このように構成すること
により、構造はやや複雑になるが、信号電極１４間の電
磁的相互作用をほぼ完全に遮断することができる。

【００１８】次に、本発明のピックアップ装置の記録・
再生の動作を図７を用いて説明する。図７はカンチレバ
ー９ｂの一部分を示す斜視図であり、図３に示したもの
と天地が逆転しているものとする。また、図７において
図３と同一の番号を付した部材は実質的に同一であるた
め、その説明を省略する。図７において、トラック１７
は、ディスク状の記録媒体１の記録面上に記録された同
心円状の情報ピット列である。探針１２、１３ａ、１３
ｂ・・・の間隔は３．５μｍであり、各トラック１７の
間隔は０．３５μｍとしている。すなわち、１本の探針
で１０本のトラックに情報の読み書きを行うように構成
されている。探針１２、１３ａ、１３ｂ・・・のトラッ
キングは、従来のようにカンチレバー９ｂを伸縮やねじ
り等を組合わせて複雑に駆動させて行うのではなく、ピ
ックアップ装置３全体をＸ方向駆動ピエゾ６により微動
させることにより行う。この時、探針１２、１３ａ、１
３ｂ・・・のトラッキングを確実に行うために、例えば
探針１２から得られる信号の強度をモニターしつつＸ方
向駆動ピエゾ６を微動させ、最大の強度が得られる位置
に絶えず探針１２を移動させる。このような制御はピッ
クアップ装置３上のピエゾ制御回路１１により行う。

【００１９】

【発明の効果】以上のように、本発明のピックアップ装
置及び情報記憶装置によれば、複数の探針を１つの探針
群とし、各探針群ごとに各探針と試料との距離を変化さ
せるように構成したので、個々の探針をそれぞれ独立し
て駆動させる必要がなく、駆動機構を簡略化することが
できる。また、各探針群ごとに少なくとも２つの探針と
試料との距離を検出するように構成したので、仮に探針
群が設けられているカンチレバー等が傾斜していたとし
ても探針群を構成する一部の探針が試料と衝突して破損
するという危険がきわめて少なくなるという効果を有す
る。さらに、各探針群のそれぞれの探針に接続された信
号電極と各信号電極に近接して接地されたシールド電極
を設けたので、各信号電極間に生じる電磁気的影響を低
減することができる。さらに、信号電極を基板上に直接
設け、絶縁層を介してシールド電極は探針部を除いて信
号電極の全体を覆うように設けるたので、各信号電極間
に生じる電磁気的影響をさらに低減することができる。
さらに、信号電極を探針部を除いてほぼ全体を絶縁層で
覆い、シールド電極で信号電極を包み込むように構成し
たので、信号電極間に生じる電磁気的影響をほぼ完全に
遮断することができる。さらに、複数の探針群をそれぞ
れ異なったカンチレバー上に設けたので、個々のカンチ
レバーの幅を小さくすることができ、各カンチレバー上
に設けられているそれぞれの探針と試料表面との距離を
ほぼ同一に保つことができる。さらに、カンチレバーは
その探針群により記録・再生が行われるディスク状の記
録媒体の部分を実質的に平面とみなせる程度の幅とする
ことにより、各探針と試料表面との距離をほぼ同一に保
つことができる。また、本発明の情報記憶装置は、ピッ
クアップ装置全体を駆動してトラッキングを行うように
構成したので、各カンチレバーを直接伸縮させたりひね
ったりする必要がなくなり、その結果カンチレバーの構
造を簡略化することができるとともに、各カンチレバー
に設けられる探針及び電極の数を削減することができ、
その制御及び製作を容易にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のピックアップ装置及び情報記憶装置の
一実施例の構成を示す斜視図

【図２】図１に示す実施例におけるピックアップ装置の
詳細な構成を示す斜視図

【図３】本発明のピックアップ装置の第１の実施例の一
部分構成を示す上面図

【図４】本発明のピックアップ装置の第２の実施例の一
部分の構成を示す上面図

【図５】本発明のピックアップ装置の第２の実施例の一
部分の構成を示す断面図

【図６】本発明のピックアップ装置の第３の実施例の一
部分の構成を示す断面図

【図７】本発明のピックアップ装置の一実施例の動作説
明図

【図８】従来の情報記憶装置の構成を示す斜視図

【図９】図８に示す従来のピックアップ装置の構成を示
す斜視図

【図１０】従来の別の情報記憶装置の構成を示す斜視図

【図１１】図１０に示す従来のピックアップ装置の構成
を示す平面図

【符号の説明】

１：ディスク状の記録媒体２：回転機構３：ピックアップ装置４：筐体５：ピックアップ装置支持部６：Ｘ方向駆動ピエゾ７：基板８ａ〜８ｄ、１２、１３ａ、１３ｂ：探針９ａ〜９ｄ：カンチレバー１０：カンチレバー制御回路１１：ピエゾ制御回路１４：信号電極１５：シールド電極１６：絶縁層１７：トラック

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の探針を具備する複数の探針群と、
前記各探針群ごとに各探針と試料との距離を変化させる
駆動手段と、前記各探針群ごとに少なくとも２つの探針
と試料との距離を検出する手段と、前記各探針群のそれ
ぞれの探針に接続された信号電極と、前記各信号電極に
近接して配置され接地されたシールド電極とを同一基板
上に設けたピックアップ装置。
【請求項２】複数の探針群はそれぞれ異なったカンチ
レバー上に設けられている請求項１記載のピックアップ
装置。
【請求項３】信号電極及びシールド電極はそれぞれ同
一基板上において交互に配置されている請求項１記載の
ピックアップ装置。
【請求項４】信号電極は基板上に直接設けられ、絶縁
層を介してシールド電極は探針部を除いて前期信号電極
の全体を覆うように設けられている請求項１記載のピッ
クアップ装置。
【請求項５】信号電極は探針部を除いてほぼ全体が絶
縁層で覆われ、シールド電極は信号電極を包み込むよう
に設けられている請求項１記載のピックアップ装置。
【請求項６】ディスク状の記録媒体と、前記記録媒体
を所定速度で回転させる回転手段と、前記記録媒体の記
録面に対して所定距離だけ隔てて設けられたピックアッ
プ装置とを具備し、前期ピックアップ装置は、複数の探
針を具備する複数の探針群と、前記各探針群ごとに各探
針と試料との距離を変化させる駆動手段と、前記各探針
群ごとに少なくとも２つの探針と試料との距離を検出す
る手段と、前記各探針群のそれぞれの探針に接続された
信号電極と、前記各信号電極に近接して配置され接地さ
れたシールド電極とを同一基板上に設けた情報記憶装
置。
【請求項７】ディスク状の記録媒体と、前記記録媒体
を所定速度で回転させる回転手段と、前記記録媒体の記
録面に対して所定距離だけ隔てて設けられたピックアッ
プ装置と、前記記録媒体の半径方向に前記ピックアップ
装置を駆動する手段とを具備し、前期ピックアップ装置
は、複数の探針を具備する複数の探針群と、前記各探針
群ごとに各探針と試料との距離を変化させる駆動手段
と、前記各探針群ごとに少なくとも２つの探針と試料と
の距離を検出する手段とを同一基板上に設けた情報記憶
装置。
【請求項８】ピックアップ装置を駆動する手段を制御
する回路を探針群と同一基板上に設けた請求項７記載の
情報記憶装置。
【請求項９】複数の探針群はそれぞれ異なったカンチ
レバー上に設けられている請求項６又は７記載の情報記
憶装置。
【請求項１０】カンチレバーはその探針群により記録
・再生が行われるディスク状の記録媒体の部分が実質的
に平面とみなせる程度の幅を有する請求項９記載の情報
記憶装置。
【請求項１１】信号電極及びシールド電極はそれぞれ
同一基板上において交互に配置されている請求項６記載
の情報記憶装置。
【請求項１２】信号電極は基板上に直接設けられ、絶
縁層を介してシールド電極は探針部を除いて前期信号電
極の全体を覆うように設けられている請求項６記載の情
報記憶装置。
【請求項１３】信号電極は探針部を除いてほぼ全体が
絶縁層で覆われ、シールド電極は信号電極を包み込むよ
うに設けられている請求項６記載の情報記憶装置。