JPH07213077A - 光制御型静電気駆動アクチュエータ - Google Patents
光制御型静電気駆動アクチュエータInfo
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- JPH07213077A JPH07213077A JP354094A JP354094A JPH07213077A JP H07213077 A JPH07213077 A JP H07213077A JP 354094 A JP354094 A JP 354094A JP 354094 A JP354094 A JP 354094A JP H07213077 A JPH07213077 A JP H07213077A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】光の照射のみ、もしくは光と静電場の組み合わ
せという比較的簡単な構成で駆動力を得ることができる
とともに、光を制御することで静電気駆動アクチュエー
タの動きを、一次元もしくは二次元的に容易に制御する
ことのできる光制御型静電気駆動アクチュエータを提供
することにある。 【構成】光源からの光照射によって、可動子中に生じる
周期的電荷分布と、前記可動子に対向する固定子の周期
的電荷分布との静電気的相互作用によって前記可動子を
移動させる光制御型静電気駆動アクチュエータにおい
て、少なくとも前記可動子に、光照射させて電流を発生
するフォトヴォルタイック結晶材料を用いてなることを
特徴とする光制御型静電気駆動アクチュエータ。
せという比較的簡単な構成で駆動力を得ることができる
とともに、光を制御することで静電気駆動アクチュエー
タの動きを、一次元もしくは二次元的に容易に制御する
ことのできる光制御型静電気駆動アクチュエータを提供
することにある。 【構成】光源からの光照射によって、可動子中に生じる
周期的電荷分布と、前記可動子に対向する固定子の周期
的電荷分布との静電気的相互作用によって前記可動子を
移動させる光制御型静電気駆動アクチュエータにおい
て、少なくとも前記可動子に、光照射させて電流を発生
するフォトヴォルタイック結晶材料を用いてなることを
特徴とする光制御型静電気駆動アクチュエータ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、マイクロマシン等の
微小部品を駆動するアクチュエータ、例えば電気や光の
スイッチが必要となる電気、光学機器、遠隔操作を必要
とする医療機器、ロボット分野等に適用され、電場と光
で駆動する光制御型静電気駆動アクチュエータに関する
ものである。
微小部品を駆動するアクチュエータ、例えば電気や光の
スイッチが必要となる電気、光学機器、遠隔操作を必要
とする医療機器、ロボット分野等に適用され、電場と光
で駆動する光制御型静電気駆動アクチュエータに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】静電力を利用したアクチュエータはこれ
までにも種々提案されている。例えばNIKKEI MECHANICA
L 43頁 1989.3.20号やPROCEEDINGS IEEE CATALOG NUMBE
R 91CH2957-9(1991) 9頁等がある。図７は回転タイプの
静電気アクチュエータの概略を示すである。
までにも種々提案されている。例えばNIKKEI MECHANICA
L 43頁 1989.3.20号やPROCEEDINGS IEEE CATALOG NUMBE
R 91CH2957-9(1991) 9頁等がある。図７は回転タイプの
静電気アクチュエータの概略を示すである。
【０００３】この図７において、基板１０上に１２個の
固定子電極１１を円形状に配置して固定子電極群を形成
する。この固定子電極群の内部には可動子１２を配置す
る。この可動子１２の４本の突起部分には、固定子電極
１１に対向するロータ電極１３が形成されている。前記
１２個の固定子電極１１を４種類のグループに分け、そ
れぞれ異なる位相（Φ1 ，Φ2 ，Φ3 ）で電圧が印加さ
れる。一つのグループの固定子電極１１に電圧を印加す
ると、この固定子電極１１とロータ電極１３との間に静
電気引力が働き、前記可動子１２に偶力が生じて回転を
始める。電圧を加える固定子電極１１のグループを順次
切り換えることにより、可動子１２が連続的に回転す
る。
固定子電極１１を円形状に配置して固定子電極群を形成
する。この固定子電極群の内部には可動子１２を配置す
る。この可動子１２の４本の突起部分には、固定子電極
１１に対向するロータ電極１３が形成されている。前記
１２個の固定子電極１１を４種類のグループに分け、そ
れぞれ異なる位相（Φ1 ，Φ2 ，Φ3 ）で電圧が印加さ
れる。一つのグループの固定子電極１１に電圧を印加す
ると、この固定子電極１１とロータ電極１３との間に静
電気引力が働き、前記可動子１２に偶力が生じて回転を
始める。電圧を加える固定子電極１１のグループを順次
切り換えることにより、可動子１２が連続的に回転す
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
ような従来の静電気駆動アクチュエータの場合、固定子
電極１１に加える電圧を切り替えることによって連続運
動を実現しているので、固定子電極１１に電圧を与える
電気回路を形成する必要があり、さらには、前記可動子
１２の軸受を形成する必要がある。これは、アクチュエ
ータ素子が小さくなればなるほど困難な作業となり、実
現可能なアクチュエータ素子の大きさの下限が加工精度
に依存してしまうという欠点があった。また、この場合
は、可能な運動が回転運動であり、一つの自由度の運動
しか実現されない、という欠点もある。
ような従来の静電気駆動アクチュエータの場合、固定子
電極１１に加える電圧を切り替えることによって連続運
動を実現しているので、固定子電極１１に電圧を与える
電気回路を形成する必要があり、さらには、前記可動子
１２の軸受を形成する必要がある。これは、アクチュエ
ータ素子が小さくなればなるほど困難な作業となり、実
現可能なアクチュエータ素子の大きさの下限が加工精度
に依存してしまうという欠点があった。また、この場合
は、可能な運動が回転運動であり、一つの自由度の運動
しか実現されない、という欠点もある。
【０００５】この発明は、前述のような従来の静電気駆
動アクチュエータの欠点を解消すべくなされたもので、
その目的は、光の照射のみ、もしくは光と静電場の組み
合わせという比較的簡単な構成で駆動力を得ることがで
きるとともに、光を制御することで静電気駆動アクチュ
エータの動きを、一次元もしくは二次元的に容易に制御
することのできる光制御型静電気駆動アクチュエータを
提供することにある。
動アクチュエータの欠点を解消すべくなされたもので、
その目的は、光の照射のみ、もしくは光と静電場の組み
合わせという比較的簡単な構成で駆動力を得ることがで
きるとともに、光を制御することで静電気駆動アクチュ
エータの動きを、一次元もしくは二次元的に容易に制御
することのできる光制御型静電気駆動アクチュエータを
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記目的を
達成するために、可動子としてフォトヴォルタイック結
晶材料を用い、可干渉な二光束照射による光の干渉縞の
濃淡に由来する可動子中の電荷分布と、固定子の電場と
の静電気相互作用によって駆動力が得られる構成とし
た。ここで、固定子として、電極を予め形成しておく場
合には、一次元運動を行い、一方、固定子としてフォト
ヴォルタイック結晶材料を用いる場合には、二次元的運
動が可能となる。図１に可動子と固定子の双方にフォト
ヴォルタイック結晶材料を用いる場合のこの発明の構成
を示す。
達成するために、可動子としてフォトヴォルタイック結
晶材料を用い、可干渉な二光束照射による光の干渉縞の
濃淡に由来する可動子中の電荷分布と、固定子の電場と
の静電気相互作用によって駆動力が得られる構成とし
た。ここで、固定子として、電極を予め形成しておく場
合には、一次元運動を行い、一方、固定子としてフォト
ヴォルタイック結晶材料を用いる場合には、二次元的運
動が可能となる。図１に可動子と固定子の双方にフォト
ヴォルタイック結晶材料を用いる場合のこの発明の構成
を示す。
【０００７】固定子２２の上に可動子２１を配置し、そ
れぞれのフォトヴォルタイック結晶での電流の流れる材
料固有の方向２３，２４が、お互いに反対を向いている
構成とする。可動子２１に当たるように、お互いに可干
渉な光２５，２６を照射し、可動子２１内に光の干渉縞
を形成する。同時に可動子２１を透過した光は、固定子
２２内にも光の干渉縞を形成する構成とする。
れぞれのフォトヴォルタイック結晶での電流の流れる材
料固有の方向２３，２４が、お互いに反対を向いている
構成とする。可動子２１に当たるように、お互いに可干
渉な光２５，２６を照射し、可動子２１内に光の干渉縞
を形成する。同時に可動子２１を透過した光は、固定子
２２内にも光の干渉縞を形成する構成とする。
【０００８】図３には可動子４４にフォトヴォルタイッ
ク結晶材料を、固定子４１にはストライプ状の電極を表
面に形成した場合の構成を示す。すなわち、固定子４１
上に櫛形電極４２，４３を形成し、それぞれ異なる電圧
を印加し、その上にフォトヴォルタイック結晶材料でで
きた可動子４４を乗せ、光が照射される構成とする。
ク結晶材料を、固定子４１にはストライプ状の電極を表
面に形成した場合の構成を示す。すなわち、固定子４１
上に櫛形電極４２，４３を形成し、それぞれ異なる電圧
を印加し、その上にフォトヴォルタイック結晶材料でで
きた可動子４４を乗せ、光が照射される構成とする。
【０００９】
【作用】図２は、図１の可動子２１と固定子２２の双方
にフォトヴォルタイック結晶材料を使用した場合の構成
を説明するためのもので、可動子の移動原理を示したも
のである。図２中、可動子３１と固定子３２の双方にお
いて光の干渉縞が形成され、光強度の強い部分３３，３
５と光強度の弱い部分３４，３６ができる。さて、フォ
トヴォルタイック結晶材料において、光を照射したとき
の電流の流れる方向はフォトヴォルタイック結晶の方位
によって決まっており、また、電流密度は光強度に比例
する。従って、光強度の強い部分３３，３５で、フォト
ヴォルタイック結晶中で電荷分布が生じるが、可動子３
１と固定子３２でフォトヴォルタイック結晶の方向すな
わち電流の方向が反転していることから、可動子３１と
固定子３２の界面で同種の電荷が発生する。従って、両
者は静電気的に反発する。
にフォトヴォルタイック結晶材料を使用した場合の構成
を説明するためのもので、可動子の移動原理を示したも
のである。図２中、可動子３１と固定子３２の双方にお
いて光の干渉縞が形成され、光強度の強い部分３３，３
５と光強度の弱い部分３４，３６ができる。さて、フォ
トヴォルタイック結晶材料において、光を照射したとき
の電流の流れる方向はフォトヴォルタイック結晶の方位
によって決まっており、また、電流密度は光強度に比例
する。従って、光強度の強い部分３３，３５で、フォト
ヴォルタイック結晶中で電荷分布が生じるが、可動子３
１と固定子３２でフォトヴォルタイック結晶の方向すな
わち電流の方向が反転していることから、可動子３１と
固定子３２の界面で同種の電荷が発生する。従って、両
者は静電気的に反発する。
【００１０】ここで、光の干渉縞が図２のように斜めに
なっている時は、電荷発生位置が、固定子３２と可動子
３１とでずれており、可動子３１に対する力はベクトル
３７の方向に発生する。これをベクトル３９とベクトル
３８に分解すると、ベクトル３８は可動子３１を移動さ
せる力の成分を表し、可動子３１の移動方向を示す。可
動子３１の移動方向を変えるには、光の入射角度あるい
は方向を変えて、干渉縞の方向を変えれば良い。従っ
て、可動子３１は固定子３２上を二次元的に自由に移動
することが可能となる。可動子３１が移動すると、電荷
分布と干渉縞の位置がずれるが、光照射によって、電荷
分布は図２のように再配列しよううとするので、結局、
光照射を空間的に固定しておいたとしても、可動子３１
に光が当たっている限り、可動子３１は運動を続ける。
なっている時は、電荷発生位置が、固定子３２と可動子
３１とでずれており、可動子３１に対する力はベクトル
３７の方向に発生する。これをベクトル３９とベクトル
３８に分解すると、ベクトル３８は可動子３１を移動さ
せる力の成分を表し、可動子３１の移動方向を示す。可
動子３１の移動方向を変えるには、光の入射角度あるい
は方向を変えて、干渉縞の方向を変えれば良い。従っ
て、可動子３１は固定子３２上を二次元的に自由に移動
することが可能となる。可動子３１が移動すると、電荷
分布と干渉縞の位置がずれるが、光照射によって、電荷
分布は図２のように再配列しよううとするので、結局、
光照射を空間的に固定しておいたとしても、可動子３１
に光が当たっている限り、可動子３１は運動を続ける。
【００１１】図４には図３の可動子４４としてはフォト
ヴォルタイック結晶材料を、固定子４１としては櫛形電
極４２，４３を備えた構成に対応するもので、可動子５
４の移動原理を示したものである。固定子５１上には、
各々極性の異なる櫛形電極５２，５３が交互に配置さ
れ、固定子５１上に周期電場を形成している。一方、フ
ォトヴォルタイック結晶薄片でできた可動子５４の結晶
の向き、すなわち、光電流の流れる方向５７は、固定子
面内にあって、櫛形電極５２，５３に直交している。可
動子５４に照射する互いに可干渉な光５５，５６の作る
干渉縞は櫛形電極５２，５３に平行で、ピッチは櫛形電
極ペアの倍周期である。図４に示したように、光の照射
によって、光強度の強い部分に電荷の偏りが生じるが、
ここで、干渉縞と櫛形電極５２，５３の位相をずらして
おくことによって、ずらした方向に静電気反発力が生じ
て可動子５４が動かされる。この場合、可動子５４の移
動は櫛形電極５２，５３に垂直な方向のみで、一次元的
自由度を持つ。
ヴォルタイック結晶材料を、固定子４１としては櫛形電
極４２，４３を備えた構成に対応するもので、可動子５
４の移動原理を示したものである。固定子５１上には、
各々極性の異なる櫛形電極５２，５３が交互に配置さ
れ、固定子５１上に周期電場を形成している。一方、フ
ォトヴォルタイック結晶薄片でできた可動子５４の結晶
の向き、すなわち、光電流の流れる方向５７は、固定子
面内にあって、櫛形電極５２，５３に直交している。可
動子５４に照射する互いに可干渉な光５５，５６の作る
干渉縞は櫛形電極５２，５３に平行で、ピッチは櫛形電
極ペアの倍周期である。図４に示したように、光の照射
によって、光強度の強い部分に電荷の偏りが生じるが、
ここで、干渉縞と櫛形電極５２，５３の位相をずらして
おくことによって、ずらした方向に静電気反発力が生じ
て可動子５４が動かされる。この場合、可動子５４の移
動は櫛形電極５２，５３に垂直な方向のみで、一次元的
自由度を持つ。
【００１２】
実施例．１図５はこの発明の第一実施例を示す。可動子
６３と固定子６２共に、フォトヴォルタイック結晶材料
であるストロンチウム・バリウムニオブ酸（Ｓｒ0.6 Ｂ
ａ0.4 Ｎｂ2 Ｏ6 ：以後ＳＢＮと記す）を用いる。使用
環境は室温（約２０℃）である。固定子６２として、１
０ｍｍ×１０ｍｍ×３ｍｍのＳＢＮ単結晶を用いるが、
ここで、電流の流れる方向は３ｍｍの辺に沿う方向（結
晶のＣ軸方向）で、１０ｍｍ×１０ｍｍの片方の面を光
学研磨してある。
６３と固定子６２共に、フォトヴォルタイック結晶材料
であるストロンチウム・バリウムニオブ酸（Ｓｒ0.6 Ｂ
ａ0.4 Ｎｂ2 Ｏ6 ：以後ＳＢＮと記す）を用いる。使用
環境は室温（約２０℃）である。固定子６２として、１
０ｍｍ×１０ｍｍ×３ｍｍのＳＢＮ単結晶を用いるが、
ここで、電流の流れる方向は３ｍｍの辺に沿う方向（結
晶のＣ軸方向）で、１０ｍｍ×１０ｍｍの片方の面を光
学研磨してある。
【００１３】一方、可動子６３としては、同じくＳＢＮ
単結晶の１ｍｍ×１ｍｍ×０．０５ｍｍの薄片を用い
る。ここで、電流の流れる方向は、０．０５ｍｍの辺に
沿う方向である。ここでも、１ｍｍ×１ｍｍの片方の面
を光学研磨する。次に、可動子６３と固定子６２共に光
学研磨した面を０Ｖ、反対側の面に４ＫＶ／ｃｍの電場
になるように正電圧を加えて１００℃に加熱する。その
後、電圧を加えたままで、約１時間かけて室温まで徐冷
し、最後に電圧を落とす。以上が固定子６２と可動子６
３の準備である。
単結晶の１ｍｍ×１ｍｍ×０．０５ｍｍの薄片を用い
る。ここで、電流の流れる方向は、０．０５ｍｍの辺に
沿う方向である。ここでも、１ｍｍ×１ｍｍの片方の面
を光学研磨する。次に、可動子６３と固定子６２共に光
学研磨した面を０Ｖ、反対側の面に４ＫＶ／ｃｍの電場
になるように正電圧を加えて１００℃に加熱する。その
後、電圧を加えたままで、約１時間かけて室温まで徐冷
し、最後に電圧を落とす。以上が固定子６２と可動子６
３の準備である。
【００１４】次に、固定子６２と可動子６３の光学研磨
面が接着するようにして、固定子６２を下に、可動子６
３を上に配置し、全体を屈折率１．５のマッチングオイ
ル６１に浸す。これはＳＢＮ結晶表面での光の反射を極
力小さくするためである。
面が接着するようにして、固定子６２を下に、可動子６
３を上に配置し、全体を屈折率１．５のマッチングオイ
ル６１に浸す。これはＳＢＮ結晶表面での光の反射を極
力小さくするためである。
【００１５】照射する光は、波長４８８ｎｍ、強度２０
Ｗ／ｃｍ2 のレーザー光６４をウェッジをもつガラスプ
レート６５を通して、微小な角度差をもつ二つのレーザ
ービーム６６，６７に分けたものである。ここで干渉縞
の間隔は約５０μｍである。なお、ガラスプレート６５
は、表面の平坦度が２０ｎｍ以下で、かつ、回転機構を
有しており、干渉縞の向きを変えることができる。
Ｗ／ｃｍ2 のレーザー光６４をウェッジをもつガラスプ
レート６５を通して、微小な角度差をもつ二つのレーザ
ービーム６６，６７に分けたものである。ここで干渉縞
の間隔は約５０μｍである。なお、ガラスプレート６５
は、表面の平坦度が２０ｎｍ以下で、かつ、回転機構を
有しており、干渉縞の向きを変えることができる。
【００１６】この条件では、約０．１秒の光照射で重力
に打ち勝つだけの電荷が溜まり、移動を始める。毎秒約
０．２ｍｍの速度で移動した。ウェッジをもつたガラス
プレート６５を回転させて、干渉縞の向きを変えること
によって、固定子６２上を可動子６３が前後左右のいか
なる方向へも移動することが確認できた。
に打ち勝つだけの電荷が溜まり、移動を始める。毎秒約
０．２ｍｍの速度で移動した。ウェッジをもつたガラス
プレート６５を回転させて、干渉縞の向きを変えること
によって、固定子６２上を可動子６３が前後左右のいか
なる方向へも移動することが確認できた。
【００１７】実施例．２図６はこの発明の第二実施例を
示す。固定子７１として櫛形電極７２，７３を形成した
ものを用い、可動子７４として、フォトヴォルタイック
結晶材料であるＫＮｂＯ3 単結晶薄片（２ｍｍ×２ｍｍ
×０，１ｍｍ）を用いた例を示す。ここで、結晶のｃ軸
（電流の流れる方向）は、２ｍｍの辺に沿った方向で、
櫛形電極７２，７３に垂直な方向を向いている。ここ
で、ＫＮｂＯ3 単結晶薄片は、２ｍｍ×２ｍｍの一方の
面を光学研磨し、ｃ軸方向に５ＫＶ／ｃｍの電圧をかけ
て予めポーリングしておいたものであり、光学研磨した
面が櫛形電極７２，７３と接するように配置する。
示す。固定子７１として櫛形電極７２，７３を形成した
ものを用い、可動子７４として、フォトヴォルタイック
結晶材料であるＫＮｂＯ3 単結晶薄片（２ｍｍ×２ｍｍ
×０，１ｍｍ）を用いた例を示す。ここで、結晶のｃ軸
（電流の流れる方向）は、２ｍｍの辺に沿った方向で、
櫛形電極７２，７３に垂直な方向を向いている。ここ
で、ＫＮｂＯ3 単結晶薄片は、２ｍｍ×２ｍｍの一方の
面を光学研磨し、ｃ軸方向に５ＫＶ／ｃｍの電圧をかけ
て予めポーリングしておいたものであり、光学研磨した
面が櫛形電極７２，７３と接するように配置する。
【００１８】ここで、櫛形電極７２，７３は２５μｍお
きに形成され、櫛形電極７２には＋２０Ｖ、櫛形電極７
３には−２０Ｖの電圧を印加する。可動子７４に照射す
る光は波長４８８ｎｍ、強度２０Ｗ／ｃｍ2 のレーザー
光７８をウェッジをもつガラスプレート７７を通して、
微小な角度差を持つ二本のレーザービーム７５，７６に
分けたもので、干渉縞の間隔は１００μｍである。干渉
縞は櫛形電極７２，７３に平行で、その位相は最も可動
子７４が移動し易い条件を、ガラスプレート７７を櫛形
電極７２，７３に垂直な方向に平行移動することで探し
出す。この条件では、可動子７４は光照射後約５ミリ秒
で動き出し、毎秒２．５ｍｍの速度で移動する。この
時、櫛形電極７２，７３を交互にまたぐ方向に、可動子
７４が移動することを確認できた。
きに形成され、櫛形電極７２には＋２０Ｖ、櫛形電極７
３には−２０Ｖの電圧を印加する。可動子７４に照射す
る光は波長４８８ｎｍ、強度２０Ｗ／ｃｍ2 のレーザー
光７８をウェッジをもつガラスプレート７７を通して、
微小な角度差を持つ二本のレーザービーム７５，７６に
分けたもので、干渉縞の間隔は１００μｍである。干渉
縞は櫛形電極７２，７３に平行で、その位相は最も可動
子７４が移動し易い条件を、ガラスプレート７７を櫛形
電極７２，７３に垂直な方向に平行移動することで探し
出す。この条件では、可動子７４は光照射後約５ミリ秒
で動き出し、毎秒２．５ｍｍの速度で移動する。この
時、櫛形電極７２，７３を交互にまたぐ方向に、可動子
７４が移動することを確認できた。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の光制御
型静電気駆動アクチュエータは、可動子と固定子の双
方、もしくは可動子にフォトヴォルタイック結晶材料を
用いることで、光のみ、あるいは光と静電場の組み合わ
せという、比較的に簡単な構成で、可動子を移動させる
ことができた。また、可動子と移動子双方をフォトヴォ
ルタイック結晶材料で作った場合は、二次元的運動が可
能となった。
型静電気駆動アクチュエータは、可動子と固定子の双
方、もしくは可動子にフォトヴォルタイック結晶材料を
用いることで、光のみ、あるいは光と静電場の組み合わ
せという、比較的に簡単な構成で、可動子を移動させる
ことができた。また、可動子と移動子双方をフォトヴォ
ルタイック結晶材料で作った場合は、二次元的運動が可
能となった。
【図１】可動子と固定子双方にフォトヴォルタイック結
晶材料を用いたこの発明の一構成例を示す図である。
晶材料を用いたこの発明の一構成例を示す図である。
【図２】可動子と固定子双方にフォトヴォルタイック結
晶材料を用いたこの発明の一構成例において、可動子の
移動原理を説明するための図である。
晶材料を用いたこの発明の一構成例において、可動子の
移動原理を説明するための図である。
【図３】固定子にストライプ状電極を形成したこの発明
の他の構成例を示す図である。
の他の構成例を示す図である。
【図４】固定子にストライプ状電極を形成したこの発明
の他の構成例において、可動子の移動原理を説明するた
めの図である。
の他の構成例において、可動子の移動原理を説明するた
めの図である。
【図５】この発明の実施例１の構成を説明するための図
である。
である。
【図６】この発明の実施例２の構成を説明するための図
である。
である。
【図７】従来の静電気駆動アクチュエータの概略を示す
図である。
図である。
１０ 基板 １１ 固定子電極 １２ 可動子 １３ ロータ電極 ２１ 可動子 ２２ 固定子 ２３ 固定子中で電流の流れる方向 ２４ 可動子中で電流の流れる方向 ２５，２６ 可干渉な光 ３１ 可動子 ３２ 固定子 ３３ 可動子中の光強度の強い部分 ３４ 可動子中の光強度の弱い部分 ３５ 固定子中の光強度の強い部分 ３６ 固定子中の光強度の弱い部分 ３７ 可動子に発生する力のベクトル方向 ３８ 可動子を移動させる力のベクトル方向 ３９ 可動子を固定子から遠ざけようとする力のベク
トル方向 ４１ 固定子 ４２，４３ 櫛形電極 ４４ 可動子 ５１ 固定子 ５２，５３ 櫛形電極 ５４ 可動子 ５５，５６ 可干渉な光 ５７ 光電流の流れる方向 ５８ 可動子中の光強度の強い部分 ５９ 可動子中の光強度の弱い部分 ６１ マッチングオイル ６２ 固定子 ６３ 可動子 ６４ レーザー光 ６５ ガラスプレート ６６，６７ レーザービーム ７１ 固定子 ７２，７３ 櫛形電極 ７４ 可動子 ７５，７６ レーザービーム ７７ ガラスプレート ７８ レーザー光
トル方向 ４１ 固定子 ４２，４３ 櫛形電極 ４４ 可動子 ５１ 固定子 ５２，５３ 櫛形電極 ５４ 可動子 ５５，５６ 可干渉な光 ５７ 光電流の流れる方向 ５８ 可動子中の光強度の強い部分 ５９ 可動子中の光強度の弱い部分 ６１ マッチングオイル ６２ 固定子 ６３ 可動子 ６４ レーザー光 ６５ ガラスプレート ６６，６７ レーザービーム ７１ 固定子 ７２，７３ 櫛形電極 ７４ 可動子 ７５，７６ レーザービーム ７７ ガラスプレート ７８ レーザー光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 畠山 巌 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】光源からの光照射によって、可動子中に生
じる周期的電荷分布と、前記可動子に対向する固定子の
周期的電荷分布との静電気的相互作用によって前記可動
子を移動させる光制御型静電気駆動アクチュエータにお
いて、 少なくとも前記可動子に、光照射させて電流を発生する
フォトヴォルタイック結晶材料を用いてなることを特徴
とする光制御型静電気駆動アクチュエータ。 - 【請求項２】前記光源からの光が二分され、この二分さ
れた光の双方が可干渉な光路差で、同時に前記可動子に
照射される光学系を有してなることを特徴とする請求項
１に記載の光制御型静電気駆動アクチュエータ。 - 【請求項３】前記可動子に照射される、前記二分された
光の少なくとも一つの照射方向が可変である光学系を有
してなることを特徴とする請求項２に記載の光制御型静
電気駆動アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP354094A JPH07213077A (ja) | 1994-01-18 | 1994-01-18 | 光制御型静電気駆動アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP354094A JPH07213077A (ja) | 1994-01-18 | 1994-01-18 | 光制御型静電気駆動アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07213077A true JPH07213077A (ja) | 1995-08-11 |
Family
ID=11560251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP354094A Pending JPH07213077A (ja) | 1994-01-18 | 1994-01-18 | 光制御型静電気駆動アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07213077A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6342671B1 (en) * | 1999-11-15 | 2002-01-29 | Agency Of Industrial Science And Technology | Optical actuator |
| JP2015142901A (ja) * | 2013-09-19 | 2015-08-06 | パロ・アルト・リサーチ・センター・インコーポレーテッドＰａｌｏ Ａｌｔｏ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｃｅｎｔｅｒ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 静電結合した電極を有する直接静電組立体 |
| WO2021239970A3 (de) * | 2020-05-28 | 2022-01-27 | Schott Ag | Abbildungssystem umfassend strahlführungselement mit hoher solarisationsbeständigkeit im blauen spektralbereich |
| US20220340478A1 (en) * | 2021-04-27 | 2022-10-27 | Schott Ag | Color stability under irradiation with blue light |
| US11698577B2 (en) | 2020-05-28 | 2023-07-11 | Schott Ag | Imaging system comprising beam guidance element with high solarization resistance in the visible spectral range |
| US12453287B2 (en) | 2019-06-03 | 2025-10-21 | Gregory Scott Fischer | Optical actuator |
-
1994
- 1994-01-18 JP JP354094A patent/JPH07213077A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2015142901A (ja) * | 2013-09-19 | 2015-08-06 | パロ・アルト・リサーチ・センター・インコーポレーテッドＰａｌｏ Ａｌｔｏ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｃｅｎｔｅｒ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 静電結合した電極を有する直接静電組立体 |
| US12453287B2 (en) | 2019-06-03 | 2025-10-21 | Gregory Scott Fischer | Optical actuator |
| WO2021239970A3 (de) * | 2020-05-28 | 2022-01-27 | Schott Ag | Abbildungssystem umfassend strahlführungselement mit hoher solarisationsbeständigkeit im blauen spektralbereich |
| CN115667163A (zh) * | 2020-05-28 | 2023-01-31 | 肖特股份有限公司 | 包含在蓝色光谱范围内具有高耐曝晒性的光束导向元件的成像系统 |
| US11698577B2 (en) | 2020-05-28 | 2023-07-11 | Schott Ag | Imaging system comprising beam guidance element with high solarization resistance in the visible spectral range |
| US20220340478A1 (en) * | 2021-04-27 | 2022-10-27 | Schott Ag | Color stability under irradiation with blue light |
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