JPH0721307A - 文字認識装置 - Google Patents
文字認識装置Info
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- JPH0721307A JPH0721307A JP5163712A JP16371293A JPH0721307A JP H0721307 A JPH0721307 A JP H0721307A JP 5163712 A JP5163712 A JP 5163712A JP 16371293 A JP16371293 A JP 16371293A JP H0721307 A JPH0721307 A JP H0721307A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 abstract description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000284 extract Substances 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000013528 artificial neural network Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ウェーハ基板やパッケージ上の文字を認識する
装置で、文字背景の画像変化によらず、常に一定に文字
情報を抽出し誤認識を防ぎ、認識率を向上させる。 【構成】ウェーハ基板等の文字部からの反射光量を検出
するセンサ１１と、この信号により照明部１の明るさを
制御する制御部１３とを備える。これにより、文字部の
明るさを常に一定に保つことにより、常に定まった文字
情報を２値化することができる。
装置で、文字背景の画像変化によらず、常に一定に文字
情報を抽出し誤認識を防ぎ、認識率を向上させる。 【構成】ウェーハ基板等の文字部からの反射光量を検出
するセンサ１１と、この信号により照明部１の明るさを
制御する制御部１３とを備える。これにより、文字部の
明るさを常に一定に保つことにより、常に定まった文字
情報を２値化することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は文字認識装置に関し、特
にＣＣＤカメラ等により得られる画像信号において、２
値化するまでの信号処理方法を自動的に最適化する手段
に関する。
にＣＣＤカメラ等により得られる画像信号において、２
値化するまでの信号処理方法を自動的に最適化する手段
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の文字認識装置において、特に半導
体製造用ウェーハ基板上に描画された文字を認識する装
置のブロック図を示す図９を参照すると、まず照明部１
からの照明光を半導体ウェーハ９へ照射する光学系が、
レンズ４，及びハーフミラー４により構成される。
体製造用ウェーハ基板上に描画された文字を認識する装
置のブロック図を示す図９を参照すると、まず照明部１
からの照明光を半導体ウェーハ９へ照射する光学系が、
レンズ４，及びハーフミラー４により構成される。
【０００３】次に、ウェーハ９上の文字１０の情報をレ
ンズ４を介してとらえるＣＣＤカメラ５と、このＣＣＤ
カメラ５で得られた画像信号からバックグラウンドノイ
ズを除去する除去回路１７と、前記バックグラウンドノ
イズを除去するしきい値であるスレッシュホールドレベ
ルを手動設定する回路２２と、２値化回路１９と、文字
認識部６と、画像制御部７と、モニタ８とを備える。
ンズ４を介してとらえるＣＣＤカメラ５と、このＣＣＤ
カメラ５で得られた画像信号からバックグラウンドノイ
ズを除去する除去回路１７と、前記バックグラウンドノ
イズを除去するしきい値であるスレッシュホールドレベ
ルを手動設定する回路２２と、２値化回路１９と、文字
認識部６と、画像制御部７と、モニタ８とを備える。
【０００４】２値化回路１９により、例えば図８に示す
各文字毎の各ピクセル群に対する文字情報を“０”，
“１”という有・無の形で決定し、文字認識部６にて、
ニューラルネットワークを用いた特徴抽出法や、パター
ンマッチング法等にりより、７という文字を認識する。
各文字毎の各ピクセル群に対する文字情報を“０”，
“１”という有・無の形で決定し、文字認識部６にて、
ニューラルネットワークを用いた特徴抽出法や、パター
ンマッチング法等にりより、７という文字を認識する。
【０００５】尚、ピクセル群は単一ピクセル８３の集ま
りであり、文字成分８２はどの位置の単一ピクセルから
なるかにより認識される。ここにも、ノイズ成分８１が
混在する。
りであり、文字成分８２はどの位置の単一ピクセルから
なるかにより認識される。ここにも、ノイズ成分８１が
混在する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この従来の文字認識装
置では、照明部１の明るさが、使用されているランプの
寿命時間により変化したり、ウェーハ９の表面の薄膜の
種類や厚さにより反射率が変化することにより変動する
為、ＣＣＤカメラで撮像される文字部の明るさが一定に
ならなかった。
置では、照明部１の明るさが、使用されているランプの
寿命時間により変化したり、ウェーハ９の表面の薄膜の
種類や厚さにより反射率が変化することにより変動する
為、ＣＣＤカメラで撮像される文字部の明るさが一定に
ならなかった。
【０００７】さらに、バックグラウンドノイズを除去す
るスレッシュホールドレベル値を一度設定すると、固定
値として機能する為、ＣＣＤカメラ５で得られる画像信
号の輝度は、照明部１の明るさの変化に合わせて変動
し、本来必要な文字情報が、ノイズと共に消去されてし
まうという問題点があった。
るスレッシュホールドレベル値を一度設定すると、固定
値として機能する為、ＣＣＤカメラ５で得られる画像信
号の輝度は、照明部１の明るさの変化に合わせて変動
し、本来必要な文字情報が、ノイズと共に消去されてし
まうという問題点があった。
【０００８】その様子を示す図６，図７を参照すると、
図６では照明部１の明るさが低下した場合や、ウェーハ
表面の反射率が低く、光量が少ない場合の画像信号を示
し、文字情報６２はスレッシュホールドレベル６１に達
していない。
図６では照明部１の明るさが低下した場合や、ウェーハ
表面の反射率が低く、光量が少ない場合の画像信号を示
し、文字情報６２はスレッシュホールドレベル６１に達
していない。
【０００９】図７では文字情報６３が正常な場合を示し
てある。画像処理における２値化処理は、スレッシュホ
ールドレベル以上の出力信号に対して実施される為、図
６では文字情報が無く、認識が不能となってしまう大き
な問題点があった。
てある。画像処理における２値化処理は、スレッシュホ
ールドレベル以上の出力信号に対して実施される為、図
６では文字情報が無く、認識が不能となってしまう大き
な問題点があった。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の構成は、
半導体ウェーハの表面に光を照射して、反射した光をＣ
ＣＤカメラで受けて、前記表面の文字・記号を認識する
文字認識装置において、前記反射した光の光量が一定に
なるように前記照射する光を制御する手段を備えること
を特徴とする。
半導体ウェーハの表面に光を照射して、反射した光をＣ
ＣＤカメラで受けて、前記表面の文字・記号を認識する
文字認識装置において、前記反射した光の光量が一定に
なるように前記照射する光を制御する手段を備えること
を特徴とする。
【００１１】本発明の第２の構成は、前記ＣＣＤカメラ
で受けた光量に応じて、２値化のスレッシュホールドレ
ベルを自動調整する手段を備えることを特徴とする。
で受けた光量に応じて、２値化のスレッシュホールドレ
ベルを自動調整する手段を備えることを特徴とする。
【００１２】本発明の第３の構成は、前記ＣＣＤカメラ
の出力の増幅度を自動制御する手段を備えることを特徴
とする。
の出力の増幅度を自動制御する手段を備えることを特徴
とする。
【００１３】
【実施例】次に、本発明の第１の実施例を示すブロック
図を参照すると、この実施例は、反射光量測定センサ１
１，信号処理部１２，照度制御部１３，照度調整部２を
有する以外は、図９と共通するため、同図と共通する部
分の説明を省略する。
図を参照すると、この実施例は、反射光量測定センサ１
１，信号処理部１２，照度制御部１３，照度調整部２を
有する以外は、図９と共通するため、同図と共通する部
分の説明を省略する。
【００１４】この実施例の文字認識装置は、照明部１よ
り照射された光は、ハーフミラー３，レンズ４を介し
て、ウェーハ９の表面上の文字部１０で反射し、ハーフ
ミラー３，レンズ４を経て、ＣＣＤカメラ５と反射光量
測定センサ１１に入射する。
り照射された光は、ハーフミラー３，レンズ４を介し
て、ウェーハ９の表面上の文字部１０で反射し、ハーフ
ミラー３，レンズ４を経て、ＣＣＤカメラ５と反射光量
測定センサ１１に入射する。
【００１５】この時、文字部の反射率の差や、照明部１
の光量変化による文字部の光量変化は、反射光量測定セ
ンサ１１で検出され、光量変化量が信号処理部１２で算
出され、照度制御部１３で光量補正量が決定されて、照
度調整部２により、照明部１の光量が常に一定になるよ
う制御される。
の光量変化による文字部の光量変化は、反射光量測定セ
ンサ１１で検出され、光量変化量が信号処理部１２で算
出され、照度制御部１３で光量補正量が決定されて、照
度調整部２により、照明部１の光量が常に一定になるよ
う制御される。
【００１６】従って、ＣＣＤカメラ５で撮像される画像
信号を常に一定のレベルに保つことが可能となる。
信号を常に一定のレベルに保つことが可能となる。
【００１７】この実施例においては、画像信号のＳ／Ｎ
比が良好な場合、特に有効である。
比が良好な場合、特に有効である。
【００１８】本発明の第２の実施例を示す図２を参照す
ると、この実施例は、Ａ／Ｄコンバータ１４，画像メモ
リ１８，ピークホールド回路１５，スレッシュホールド
レベル自動設定回路１６を備えている以外は、図１と共
通するため、同図と共通する部分は図示するに留め、詳
述しない。
ると、この実施例は、Ａ／Ｄコンバータ１４，画像メモ
リ１８，ピークホールド回路１５，スレッシュホールド
レベル自動設定回路１６を備えている以外は、図１と共
通するため、同図と共通する部分は図示するに留め、詳
述しない。
【００１９】この実施例は、画像処理回路にて対応する
場合を示すものである。
場合を示すものである。
【００２０】ＣＣＤカメラ５で得られた画像信号は、Ａ
／Ｄコンバータ１４にて、デジタル化処理され、画像メ
モリ１８に貯えられる。同時に、デジタル化された信号
は、ピークホールド回路１５により信号全体からピーク
レベル・ボトムレベルが算出される。
／Ｄコンバータ１４にて、デジタル化処理され、画像メ
モリ１８に貯えられる。同時に、デジタル化された信号
は、ピークホールド回路１５により信号全体からピーク
レベル・ボトムレベルが算出される。
【００２１】次に、スレッシュホールド自動設定回路１
６により、ピークとボトム間の任意に定められるパーセ
ントレベル、例えば３０％のようにスレッシュホールド
レベルが自動的に設定される為、照明部１の光量変化
や、文字部の反射光量が変化しても、スレッシュホール
ドレベルが自動的に変化し、バックグラウンドノイズを
最適条件で、除去することが可能となる。図４，図５に
このモデルの一例を示す。
６により、ピークとボトム間の任意に定められるパーセ
ントレベル、例えば３０％のようにスレッシュホールド
レベルが自動的に設定される為、照明部１の光量変化
や、文字部の反射光量が変化しても、スレッシュホール
ドレベルが自動的に変化し、バックグラウンドノイズを
最適条件で、除去することが可能となる。図４，図５に
このモデルの一例を示す。
【００２２】図４において、縦軸はグレースケールレベ
ルであり、上方に行くに従い濃いレベルとなる。シグナ
ルレベルボタム値Ｂは、バックグラウンドノイズであ
り、シグナルレベルピーク値Ａからボトム値Ｂを差し引
いた値に、ここでは０．４（４０％）をかけた値がスレ
ッシュホールドレベルＳＬとなる。即ち、ボトム値Ｂ，
ピーク値Ａの値により、スレッシュホールドレベルＳＬ
が変化する。
ルであり、上方に行くに従い濃いレベルとなる。シグナ
ルレベルボタム値Ｂは、バックグラウンドノイズであ
り、シグナルレベルピーク値Ａからボトム値Ｂを差し引
いた値に、ここでは０．４（４０％）をかけた値がスレ
ッシュホールドレベルＳＬとなる。即ち、ボトム値Ｂ，
ピーク値Ａの値により、スレッシュホールドレベルＳＬ
が変化する。
【００２３】図４におけるノイズ（レベルＳＬ以下）を
除去した図５を参照すると、レベルＳＬ以下がカットさ
れ、良好な出力が得られている。このように、Ｓ／Ｎ比
が悪い場合に有効である。
除去した図５を参照すると、レベルＳＬ以下がカットさ
れ、良好な出力が得られている。このように、Ｓ／Ｎ比
が悪い場合に有効である。
【００２４】本発明の第３の実施例を示す図３を参照す
ると、この実施例は、ゲインレベル設定回路２０，ＡＧ
Ｃ処理部２１以外は、図９と共通するため、この部分以
外の説明を省く。
ると、この実施例は、ゲインレベル設定回路２０，ＡＧ
Ｃ処理部２１以外は、図９と共通するため、この部分以
外の説明を省く。
【００２５】この実施例は、光量調整を行なわずに、Ｃ
ＣＤカメラ５の画像信号自体をゲインレベル設定回路２
０と、ＡＧＣ処理部２１とにより、適正レベルに自動調
節する。特にＳ／Ｎが悪い場合に有効である。
ＣＤカメラ５の画像信号自体をゲインレベル設定回路２
０と、ＡＧＣ処理部２１とにより、適正レベルに自動調
節する。特にＳ／Ｎが悪い場合に有効である。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、反射光
量または画像信号レベルを一定に保つことが可能とな
り、固定スレッシュホールドレベル設定の場合でもバッ
クグラウンドノイズを最適に除去でき、また、光量変化
が生じても、画像信号強度レベルに合わせてスレッシュ
ホールドレベルを自動的に可変することが可能となり、
同様の効果を有する。
量または画像信号レベルを一定に保つことが可能とな
り、固定スレッシュホールドレベル設定の場合でもバッ
クグラウンドノイズを最適に除去でき、また、光量変化
が生じても、画像信号強度レベルに合わせてスレッシュ
ホールドレベルを自動的に可変することが可能となり、
同様の効果を有する。
【００２７】このように、バックグラウンドノイズを最
適条件で除去できる為、いかなる場合でも文字情報を確
実に２値化に変換できるので、文字認識率を大幅に向上
させることができる。
適条件で除去できる為、いかなる場合でも文字情報を確
実に２値化に変換できるので、文字認識率を大幅に向上
させることができる。
【図１】本発明の第１の実施例のブロック図である。
【図２】本発明の第２の実施例のブロック図である。
【図３】本発明の第３の実施例のブロック図である。
【図４】第２の実施例の特性図である。
【図５】第２の実施例の処理後の特性図である。
【図６】従来の文字認識装置の第１の特性図である。
【図７】従来の第２の特性図である。
【図８】文字とピクセルの平面図である。
【図９】従来の文字認識装置のブロック図である。
１ 照明部 ２ 照度調整部 ３ ハーフミラー ４ レンズ ５ ＣＣＤカメラ ６ 文字認識部 ７ 画像制御部 ８ モニタ ９ ウェーハ １０ 文字 １１ 反射光量測定センサ １２ 信号処理部 １３ 照度制御部 １４ Ａ／Ｄコンバータ １５ ピークホールド回路 １６ スレッシュホールド自動設定回路 １７ ノイズ除去回路 １８ 画像メモリ １９ ２値化回路 ２０ ゲインレベル設定回路 ２１ ＡＧＣ処理部 ２２ スレッシュ・ホールドレベル手動設定部 Ａ シグナルレベルのピーク値 Ｂ シグナルレベルのボトム値 ６０，６１ スレッシュホールドレベル ６２，６３ 文字情報 ８１ ノイズ成分 ８２ 文字成分 ８ 単一ピクセル
Claims (3)
- 【請求項１】 半導体ウェーハの表面に光を照射して、
反射した光をＣＣＤカメラで受けて、前記表面の文字・
記号を認識する文字認識装置において、前記反射した光
の光量が一定になるように前記照射する光を制御する手
段を備えることを特徴とする文字認識装置。 - 【請求項２】 半導体ウェーハの表面に光を照射して、
反射した光をＣＣＤカメラで受けて、前記表面の文字・
記号を認識する文字認識装置において、前記ＣＣＤカメ
ラで受けた光量に応じて、２値化のスレッシュホールド
レベルを自動調整する手段を備えることを特徴とする文
字認識装置。 - 【請求項３】 半導体ウェーハの表面に光を照射して、
反射した光をＣＣＤカメラで受けて、前記表面の文字・
記号を認識する文字認識装置において、前記ＣＣＤカメ
ラの出力の増幅度を自動制御する手段を備えることを特
徴とする文字認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5163712A JPH0721307A (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | 文字認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5163712A JPH0721307A (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | 文字認識装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0721307A true JPH0721307A (ja) | 1995-01-24 |
Family
ID=15779211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5163712A Pending JPH0721307A (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | 文字認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0721307A (ja) |
-
1993
- 1993-07-02 JP JP5163712A patent/JPH0721307A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19991130 |