JPH07214793A

JPH07214793A - 液体噴射記録ヘッド、液体噴射記録ヘッドカートリッジ、および液体噴射記録装置

Info

Publication number: JPH07214793A
Application number: JP30611794A
Authority: JP
Inventors: Ryoichi Koizumi; 亮一小泉; Ikutomo Watabe; 育朋渡部
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1993-12-10
Filing date: 1994-12-09
Publication date: 1995-08-15

Abstract

(57)【要約】【目的】記録ヘッドごとの温度検出素子の検出結果の
バラツキに共う吐出不良を防止する。【構成】液体噴射記録ヘッドに、温度検出素子の出力
を補正するための補正手段が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、噴射インクジェット記
録方式における記録ヘッド用素子基板、該素子基板を用
いたインクジェットヘッド、ヘッドカートリッジ、およ
びインクジェット記録装置に関し、特に電気熱変換素子
を用いたバブルジェット方式の記録ヘッド、ヘッドカー
トリッジ、およびインクジェット記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方式に用いられる記
録ヘッドとして、電気熱変換素子を用いたバブルジェッ
ト方式による液体噴射記録ヘッドが知られている。この
液体噴射記録ヘッドは、発熱抵抗体等の電気熱変換素子
による熱エネルギーを利用してインク等の液体を記録媒
体上に吐出するものである。

【０００３】上記液体噴射記録ヘッドでは、記録ヘッド
内で発生した熱エネルギーの一部が液体に蓄積されるた
め、記録動作が進むにつれて記録ヘッドの温度が徐々に
上昇するといったことが発生する。このような記録ヘッ
ドの温度上昇は、インクの粘度等に影響を及ぼす。すな
わち、記録ヘッドから吐出されるインクの量が温度上昇
に伴って変化していまい、結果的に記録媒体に吐出され
るインクのドット径にバラツキを生じて記録画像の画質
劣化を招いてしまう。そこで、記録ヘッドの温度を検出
し、検出した温度に応じて記録ヘッドの動作を制御する
ことによって、上述の記録ヘッドの温度上昇を防ぐ手段
が提案されている。以下に、記録ヘッドの温度検出回路
について説明する。

【０００４】図９は、インクジェット記録ヘッドの温度
検出回路基板の概略構成図である。

【０００５】この基板は、発熱抵抗体３４が設けられた
発熱基板３１上に温度センサとしてＡｌ配線温度センサ
３３が形成されたものである。

【０００６】上記素子基板３１では、素子基板の温度が
上昇するとＡｌ配線温度センサ３３の抵抗値が大きくな
り、反対に基板の温度が下がるとＡｌ配線温度センサ３
３の抵抗値が小さくなる。よって、Ａｌ配線温度センサ
３３の抵抗値の変化を検出することにより記録ヘッドの
温度検出が可能となる。

【０００７】このように記録ヘッドの温度を素子基板に
設けられた温度センサで検出することで、ヘッドの温度
が上昇し過ぎた場合には、駆動を抑制する等の処理を行
い温度上昇の問題を解決していた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上述のようにして記録
ヘッドの温度検出を行なう場合、Ａｌ配線温度センサ３
３が基板上に形成される際の、配線の膜厚および配線を
エッチングするときの条件等による抵抗率のバラツキが
問題となる。つまり、記録ヘッドに実装されるＡｌ配線
温度センサ３３の抵抗率にバラツキが生じると、同じ温
度環境下においても、温度検出回路は記録ヘッドごとに
異なった値を検出してしまい、安定した記録画像が得ら
れなくなってしまうといって解決すべき課題があった。

【０００９】本発明の目的は、上述の素子基板やヘッド
ごとの温度検出用センサの検出温度のばらつきを抑制
し、正確な温度検出を行うことで安定した記録を行うこ
とができる素子基板、インクジェットヘッドを提供する
ことを目的とする。

【００１０】又、このような補正が成されることで高画
質な記録を行うことができるインクジェット記録装置を
提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上述の様な目的を達成す
るための液体噴射記録ヘッドの主たる要件は次のような
ものである；熱エネルギーを液体に加えることで該液体
に気泡を生じさせ、この気泡の発生によって液体を吐出
する複数の電気熱変換体が配された素子基板と、該素子
基板に上に配され該素子基板の温度を検出するための温
度検出素子と、前記電気熱変換体に対応して設けられ、
その一端部に液体を吐出するための開口を有する液流路
と、前記温度検出素子の出力を補正するための補正手段
と、を有するヘッドであり、もしくは、；熱エネルギー
を液体に加えることで該液体に気泡を生じさせ、この気
泡の発生によって液体を吐出する複数の電気熱変換体が
配された素子基板と、該素子基板上に配され該素子基板
の温度を検出するための温度検出素子と、該素子基板上
に配され前記温度検出素子の出力を補正するための補正
手段と、前記電気熱変換体に対応して設けられ、その一
端部に液体を吐出するための開口を有する液流路と，を
有するヘッドである。

【００１２】又、液体噴射ヘッドカートリッジは上述の
ヘッドとこのヘッドに供給されるインクを保持するイン
ク容器を有するものである。

【００１３】又、液体噴射装置は、上述のヘッドと該ヘ
ッドを駆動するための駆動手段を有する装置、もしく
は、被記録媒体搬送手段を有する装置である。

【００１４】

【実施例】以下、図面に基づいて、本発明の各実施例を
説明する。

【００１５】尚、以下の実施例においては、温度センサ
として、特に、製造上の誤差が生じやすいＡｌ配線温度
センサを用いて説明するが、ダイオードやトランジスタ
の温度センサの場合であってもよい。

【００１６】又、以下の実施例においては、液体として
インクを用いるが、液体としてはこれに限らず、本発明
に用いることが可能な液体であればいかなる液体でもよ
い。

【００１７】又、本発明で用いる「記録」とは、紙やＯ
ＨＰシート等の被記録媒体への文字、画像の記録に限ら
ず、布、糸、プラスチック板、皮革等の被記録媒体への
文字、画像の記録をも含むものであり、記録画像に意味
の有無に関係なく、被記録媒体へのインクの付与を行う
ことを示すものである。

【００１８】又、以下の各実施例において、各要素が設
けられる「素子基板上」とは単に素子基板の上のことを
示すのではなく、素子基板の表面、表面内部側をも示す
ものである。そして、この素子基板上への「作り込み」
とは、別体の素子を基板上の配置するのではなく、半導
体回路の製造工程等によって、形成製造されることを示
すものである。

【００１９】この基板は、熱エネルギーを発生する電気
熱変換体２が設けられた素子基板１と該素子基板に信号
を伝達するための配線が配された配線（ＰＣＢ）基板２
１とで構成されたものであり、素子基板１上には温度検
出手段としてのＡｌ配線温度センサ６が形成され、配線
基板２１上には補正手段としてのトリミング抵抗３０お
よび固定抵抗２２、２３が形成されている。

【００２０】上記基板では、素子基板１上に形成された
Ａｌ配線温度センサ６と、配線基板２１上に形成された
トリミング抵抗３０および固定抵抗２２、２３とでブリ
ッジ回路が形成されており、Ａｌ配線温度センサ４３の
抵抗率が所定値内に入るようトリミング抵抗３０の抵抗
値が設定（トリミング加工）される。以下に、トリミン
グ抵抗３０のトリミング加工について説明する。

【００２１】図２は、図１の温度検出回路基板の等価回
路図である。

【００２２】上記回路は、抵抗Ｒ_Alと抵抗Ｒ１が直列に
接続されたものと、抵抗Ｒ_Tと抵抗Ｒ２が直列に接続さ
れたものとが並列に接続されたブリッジ回路である。こ
のブリッジ回路には、抵抗Ｒ_Alと抵抗Ｒ１との接点およ
び抵抗Ｒ_Tと抵抗Ｒ２（２３）との接点間に電流計Ａが
挿入されている。該ブリッジ回路では、抵抗Ｒ_AlはＡｌ
配線温度センサ６の抵抗、抵抗Ｒ_Tはトリミング抵抗３
０、抵抗Ｒ１は固定抵抗２２、抵抗Ｒ２は固定抵抗２３
に相当する。

【００２３】トリミング抵抗３０のトリミング加工は、
上記ブリッジ回路を構成する基板、すなわち素子基板１
および配線基板２１を記録ヘッドに実装し、抵抗Ｒ
_Tが、所定温度における抵抗Ｒ_Alの抵抗値に応じて以下
の式を満たす値に設定されることにより行なわれる。

【００２４】Ｒ_T／Ｒ１＝Ｒ_Al／Ｒ２（１）以上のようにして、トリミング抵抗３０が形成されれ
ば、記録ヘッドの温度検出は、トリミング抵抗Ｒ_T（３
０）の抵抗値を基準として、Ａｌ配線温度センサＲ
_Al（６）の温度変化に対する抵抗値の変化を検出するこ
とによって行なわれる。結果、Ａｌ配線温度センサＲ_Al
（６）の抵抗率のバラツキが補正された温度検出回路を
形成することができ、安定した記録画像が得られる。

【００２５】＜実施例２＞上述の実施例では、温度補正
手段を温度検出手段が設けられた素子基板と別の基板
（配線基板）に設けた例である。

【００２６】以下の実施例は、上述の実施例のヘッドを
更に製造工程の簡略化、低コスト化の観点から改良した
例である。

【００２７】図３は、本発明の第２実施例の液体噴射記
録ヘッド用の素子基板と液体噴射記録ヘッドの概略構成
図で、図４は、図３におけるトリミング抵抗の拡大図で
ある。

【００２８】上記ヘッドは、電気熱変換体４が作り込ま
れた素子基板１と配線基板２０とで構成されたもので、
素子基板１上には温度検出素子であるＡｌ配線温度セン
サ６および補正手段としてのトリミング抵抗４０が作り
込まれており、配線基板２０上には固定抵抗２２、２３
が設けられている。また、Ａｌ配線温度センサ６には、
配線基板上の固定抵抗２２、２３がそれぞれ接続されて
いる。上記のようにＡｌ配線温度センサ６、トリミング
抵抗４０および固定抵抗２２、２３が接続された場合
も、その等価回路は図２に示すブリッジ回路と同様のも
のとなる。

【００２９】上記基板において、トリミング抵抗４０
は、発熱基板１が作製されるウェーハ工程中に形成さ
れ、図４に示すように略四角形状であって、１組の対向
する２辺がＡｌ配線温度センサ６の電圧が印加される２
つの入力線にそれぞれ接続されている。また、トリミン
グ抵抗４０には、図２における抵抗Ｒ_Tの値を決定する
スリット４１が設けられている。

【００３０】トリミング抵抗４０をトリミング加工する
場合、まず、所定温度におけるＡｌ配線温度センサ６の
抵抗値、ここでは図２における抵抗Ｒ_Alが求められる。
次に、この求めた抵抗Ｒ_Alから、式１の関係を満たす抵
抗Ｒ_Tが求められる。このとき、抵抗Ｒ１およびＲ２は
同じ抵抗値のものが用いられるため、抵抗Ｒ_Tは抵抗Ｒ
_Alと同じ抵抗値となる。ここで、抵抗Ｒ_Tの抵抗値は、
トリミング抵抗４０上に形成されるスリット４１の大き
さで決まる。そのため、トリミング抵抗４０のトリミン
グ加工は、抵抗値が抵抗Ｒ_Alとなる大きさのスリット９
を形成することによって行なわれる。上記スリット４１
の形成は、素子基板１のウェーハチェック工程時に行な
われる。

【００３１】ここで、上述のウェーハチェック工程時に
おける基板の温度が２５℃で、この基板のブリッジ回路
における電流計が「０」を示している場合、Ａｌ配線温
度センサ６の抵抗温度係数（温度変化率）ＴＣＲは、ＴＣＲ≒４．１５×１０^-3／℃ となる。また、トリミング抵抗５にＨｆＢ₂を用いる
と、このトリミング抵抗５の抵抗温度係数（温度変化
率）ＴＣＲ’はＴＣＲ≒５×１０^-3／℃ となる。つまり、抵抗Ｒ_Alの温度変化に対する抵抗値の
変化量は、抵抗Ｒ_Tのそれより２ケタ大きいオーダで変
化し、結果的に抵抗Ｒ_Tの変化量は無視でき得るものと
なる。このように補正用抵抗４０の抵抗値の温度変化率
を温度センサ６の抵抗値（Ｒ_Al）の温度変化率より小さ
くすることで補正用抵抗自体の温度変化による影響を小
さくすることができる。このような抵抗の温度変化率の
比は１０倍より大きければよく１００倍より大きいとさ
らによい。

【００３２】上述のようにトリミング抵抗４０としてＨ
ｆＢ₂を用いれば、抵抗Ｒ_Al、すなわちＡｌ配線温度セ
ンサ６の温度変化に依存されたブリッジ回路を形成する
ことが可能となる。

【００３３】なお、上述のトリミング抵抗４０として液
体吐出用の電気熱変換体（発熱抵抗体）２と同じ材質の
物を用いれば、ウェーハ作製時に電気熱変換体２と同時
にトリミング抵抗４０を形成することができる。

【００３４】本実施例のように補正用抵抗を素子基板上
に作り込むことで、素子基板を製造する場合の半導体工
程中に補正用抵抗をも作ることができ、製造工程の簡略
化、補正用抵抗および記録ヘッドの小型化を達成するこ
とができる。

【００３５】又、さらに、温度検知素子の温度変化にお
ける抵抗値のバラツキを所定範囲内に抑える補正手段
（基準用抵抗）のトリミング加工も、ウェーハチェック
工程中に行なわれるためさらに工程の簡略化、低コスト
化を図ることができる。

【００３６】また、基準用抵抗の抵抗値は、該基準用抵
抗上に形成されるスリットの大きさで決定される。上記
スリットが、所定温度における温度検知用抵抗の抵抗値
に対して、式１の条件を満たすよう設定されれば、温度
検知用抵抗の抵抗値の変化は、基準用抵抗の抵抗値を基
準にして求められる。

【００３７】＜実施例３＞図５は、本発明の第３実施例
のインクジェット記録ヘッド用の素子基板の概略構成図
である。図６は、図５におけるトリミング抵抗および各
固定抵抗の拡大図である。

【００３８】上記基板は、電気熱変換体２が設けられた
素子基板１上にＡｌ配線温度センサ６が作り込まれ、該
Ａｌ配線温度センサ６の配線中にトリミング抵抗５０お
よび固定抵抗５１、５２が作り込まれたものである。

【００３９】上記基板において、Ａｌ配線温度センサ６
は、図６に示すように、直流電源が接続された入力側の
ライン５５と帰還側のライン５７、および電流計が接続
されたライン５６、５８を有しいる。トリミング抵抗５
０および固定抵抗５１、５２はいずれも略四角形状のも
のであって、トリミング抵抗５０はライン５５と５６の
間に、固定抵抗５１はライン５６と５７の間に、固定抵
抗５２はライン５７と５８の間にそれぞれ挿入される。

【００４０】上述の温度検出回路も図２のブリッジ回路
と同様の等価回路となり、第２実施例の場合と同様にト
リミング抵抗５０上にスリット４１を形成することによ
り、Ａｌ配線温度センサ６の温度変化に依存されたブリ
ッジ回路を形成するとが可能となる。

【００４１】本実施例においても先の実施例と同様に温
度センサ、補正抵抗および固定抵抗が素子基板上に形成
されるため、これらの抵抗は、素子基板を作製するウェ
ーハ工程中に全て形成される。また、補正抵抗のトリミ
ング加工も、ウェーハチェック工程中に行なわれるた
め、工程の簡略化、低コスト化を図ることができる。
又、素子基板上に固定抵抗も作り込まれるため、精度高
く補正することができる。

【００４２】＜実施例４＞以下に本発明を適用した液体
噴射ヘッドを説明する。

【００４３】図７はこの様なインクジェット記録ヘッド
の概略構成図であり、エッチング・蒸着・スパッタリン
グ等の半導体製造プロセス工程を経て、基板１１０２上
に成膜形成された電気熱変換体１１０３、電極１１０
４、液路壁１１０５、天板１１０６から構成されている
インクジェット記録ヘッドが示されている。記録用液体
１１１２は図示していない液体貯蔵室から液体供給管１
１０７を通して記録ヘッド１１０１の共通液室１１０８
内に供給される。図中１００９は液体供給管用コネクタ
である。共通液室１１０８内に供給された液体１１１２
は所謂毛管現象により液路１１１０内に供給され、液路
先端の吐出口面（オリフィス面）でメニスカスを形成す
ることにより安定に保持される。ここで電気熱変換体１
１０３に通電することにより、電気熱変換体面上の液体
が急峻に加熱され、液路中に気泡が生起され、その気泡
の膨張・収縮により吐出口１１１１から液体を吐出し液
滴が形成される。上述したような構成により、吐出口密
度１６ノズル／ｍｍといった高密度の吐出口配列で１２
８吐出口或いは２５６吐出口という、更には、記録幅内
全域にわたって吐出口が配置されたマルチノズルのイン
クジェット記録ヘッドが形成できる。

【００４４】次に、上述した温度検出回路基板が実装さ
れるインクジェット記録装置について説明する。

【００４５】図８は本発明により得られた記録ヘッドを
インクジェットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）として装
着し、紙や布等の被記録媒体を搬送する搬送手段を有す
るインクジェット記録装置（ＩＪＲＡ）の一例を示す外
観斜視図である。

【００４６】図８において、１２０はプラテン１２４上
に送紙されてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出
を行うノズル群（ヘッド）と該記録ヘッドに供給される
インクを保持するインク容器とを具えたインクジェット
ヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）である。１１６はＩＪＣ
１２０を保持するキャリッジＨＣであり、駆動モータ１
１７の駆動力を伝達する駆動ベルト１１８の一部と連結
し、互いに平行に配設された２本のガイドシャフト１１
９Ａおよび１１９Ｂと摺動可能とすることにより、ＩＪ
Ｃ１２０の記録紙の全幅にわたる往復移動が可能とな
る。

【００４７】又、この記録装置には、前記記録ヘッドに
駆動信号を与えて駆動するための駆動手段を有す。

【００４８】１２６はヘッド回復装置であり、ＩＪＣ１
２０の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向
する位置に配設される。伝動機構１２３を介したモータ
１２２の駆動力によって、ヘッド回復装置１２６を動作
せしめ、ＩＪＣ１２０のキャッピングを行う。このヘッ
ド回復装置１２６のキャップ部１２６ＡによるＩＪＣ１
２０へのキャッピングに関連させて、ヘッド回復装置１
２６内に設けた適宜の吸引手段によるインク吸引もしく
はＩＪＣ１２０へのインク供給経路に設けた適宜の加圧
手段によるインク圧送を行い、インクを吐出口より強制
的に排出させることによりノズル内の増粘インクを除去
する等の吐出回復処理を行う。また、記録終了時等にキ
ャッピングを施すことによりＩＪＣが保護される。

【００４９】１３０はヘッド回復装置１２６の側面に配
設され、シリコンゴムで形成されるワイピング部材とし
てのブレードである。ブレード１３０はブレード保持部
材１３０Ａにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復
装置１２６と同様、モータ１２２および伝動機構１２３
によって動作し、ＩＪＣ１２０の吐出面との係合が可能
となる。これにより、ＩＪＣ１２０の記録動作における
適切なタイミングで、あるいはヘッド回復装置１２６を
用いた吐出回復処理後に、ブレード１３０をＩＪＣ１２
０の移動経路中に突出させ、ＩＪＣ１２０の移動動作に
伴ってＩＪＣ１２０の吐出面における結露、濡れあるい
は塵埃等をふきとるものである。

【００５０】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも熱エネルギーを利用して飛翔的液滴を形成し、記
録を行うインクジェット方式の記録ヘッド、記録装置に
おいて優れた効果をもたらすものである。

【００５１】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも一つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。

【００５２】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。

【００５３】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に、熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を
開示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含ま
れるものである。

【００５４】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよいが、本発明は、上述した効果を
一層有効に発揮することができる。

【００５５】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも
本発明は有効である。

【００５６】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定できる
ので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、
記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニング
手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこ
れとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせによる
予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モード
を行うことも安定した記録を行うために有効である。

【００５７】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録モードだけではなく、記録ヘッ
ドを一体的に構成するか複数個を組み合わせによってで
もよいが、異なる色の複色カラー、または混色によるフ
ルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極
めて有効である。

【００５８】さらに加えて、本発明に係る記録装置の形
態としては、ワードプロセッサやコンピュータ等の情報
処理機器の画像出力端末として一体または別体に設けら
れるものの他、リーダ等と組み合わせた複写装置、さら
には送受信機能を有するファクシミリ装置の形態を採る
ものであっても良い。

【００５９】

【発明の効果】以上の実施例のように、本発明の液体噴
射ヘッドは温度検出手段の出力を補正するための補正手
段を有しているため、各記録ヘッドごとの検出温度のば
らつきを補正手段で補正することができる。したがっ
て、良好なインク吐出を行うことが可能なインクジェッ
トヘッド、ヘッドカートリッジ及び記録装置を得ること
ができる。

【００６０】また、電気熱変換体が配された素子基板上
に上述のような補正手段を作り込むことによって、部品
点数の削減、製造工程の簡略化を図ることができ、記録
ヘッド、記録ヘッドカートリッジ、記録装置のコストを
低減することができる。また、補正手段のトリミング工
程は、ウェーハチェック工程の際に行なわれるので、記
録ヘッド組み込み時のトリミング工程が不要となり、工
程の簡素化を図ることができる。

【００６１】又、補正手段の温度変化率を、温度検出素
子の温度変化率の１／１０以下にした場合には、補正手
段の温度による変化を無視することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の補正手段を有する液体噴射ヘッドの概
略構成図

【図２】温度検出回路の等価回路図

【図３】本発明の第２実施例のインクジェット記録ヘッ
ドの温度検出回路基板の概略構成図

【図４】図３におけるトリミング抵抗の拡大図

【図５】本発明の第３実施例のインクジェット記録ヘッ
ドの温度検出回路基板の概略構成図

【図６】図５における補正抵抗の拡大図

【図７】本発明の液体噴射ヘッドの模式破断図

【図８】本発明の温度検出回路が実装されるインクジェ
ット記録装置の概略構成図

【図９】従来のインクジェット記録ヘッドの素子基板の
概略構成図

【符号の説明】

１、２１、３１、１１０２素子基板２、３４、１１０３電気熱変換体６温度センサ３０、３３、４０、５０補正用抵抗２１配線基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｂ４１Ｊ 3/04 １０４Ｋ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】熱エネルギーを液体に加えることで該液
体に気泡を生じさせ、この気泡の発生によって液体を吐
出する複数の電気熱変換体が配された素子基板と、該素子基板に上に配され該素子基板の温度を検出するた
めの温度検出素子と、前記電気熱変換体に対応して設けられ、その一端部に液
体を吐出するための開口を有する液流路と、前記温度検出素子の出力を補正するための補正手段と、
を有する熱エネルギーを利用して液体を吐出することで
記録を行う液体噴射記録ヘッド。
【請求項２】熱エネルギーを液体に加えることで該液
体に気泡を生じさせ、この気泡の発生によって液体を吐
出する複数の電気熱変換体が配された素子基板と、該素子基板上に配され該素子基板の温度を検出するため
の温度検出素子と、該素子基板上に配され前記温度検出素子の出力を補正す
るための補正手段と、前記電気熱変換体に対応して設けられ、その一端部に液
体を吐出するための開口を有する液流路とを有する熱エ
ネルギーを利用して液体を吐出することで記録を行う液
体噴射記録ヘッド。
【請求項３】前記温度検出素子は金属の配線である請
求項１，２に記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項４】前記温度検出素子はダイオードもしくは
トランジスタである請求項１，２に記載の液体噴射記録
ヘッド。
【請求項５】前記補正手段は薄膜抵抗である請求項
１，２に記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項６】前記補正手段はトリミング抵抗である請
求項５に記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項７】前記補正手段の温度依存性は、前記温度
検出素子の温度依存性より小さい請求項５に記載の液体
噴射記録ヘッド。
【請求項８】前記補正手段の温度変化率は、前記温度
検出素子の温度変化率の１／１０以下である請求項７に
記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項９】前記温度検出用センサと、前記補正手段
とを含むブリッジ回路が形成されている請求項１，２に
記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項１０】前記液流路内には液体が充填されてい
る請求項１，２に記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項１１】前記液体はインクである請求項１，
２，１０に記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項１２】請求項１，２の液体噴射記録ヘッド
と、該記録ヘッドに供給される液体を保持するためのインク
容器と、を有する液体噴射記録ヘッドカートリッジ。
【請求項１３】前記温度検出素子はダイオードもしく
はトランジスタである請求項１２に記載の液体噴射記録
ヘッドカートリッジ。
【請求項１４】前記補正手段は薄膜抵抗である請求項
１２に記載の液体噴射記録ヘッドカートリッジ。
【請求項１５】前記補正手段はトリミング抵抗である
請求項１４に記載の液体噴射記録ヘッドカートリッジ。
【請求項１６】前記補正手段の温度依存性は、前記温
度検出素子の温度依存性より小さい請求項１２に記載の
液体噴射記録ヘッドカートリッジ。
【請求項１７】前記補正手段の温度変化率は、前記温
度検出素子の温度変化率の１／１０以下である請求項１
６に記載の液体噴射記録ヘッドカートリッジ。
【請求項１８】前記温度検出用センサと、前記補正手
段とを含むブリッジ回路が形成されている請求項１７に
記載の液体噴射記録ヘッドカートリッジ。
【請求項１９】前記インク容器内には液体が充填され
ている請求項１２に記載の液体噴射記録ヘッドカートリ
ッジ。
【請求項２０】前記液体はインクである請求項１２，
１９に記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項２１】請求項１，２の液体噴射記録ヘッド
と、該液体噴射記録ヘッド吐出された液体を受ける非記
録媒体を搬送する搬送手段とを有するインクを吐出して
記録を行う液体噴射記録装置。
【請求項２２】請求項１，２のインクの液体噴射記録
ヘッドと、該液体噴射記録ヘッドに該液体噴射ヘッドを
駆動するための信号を供給する駆動信号供給手段とを有
するインクを吐出して記録を行う液体噴射記録装置。
【請求項２３】前記温度検出素子はダイオードもしく
はトランジスタである請求項２２，２２に記載の液体噴
射記録装置。
【請求項２４】前記補正手段は薄膜抵抗である請求項
２１，２２に記載の液体噴射記録装置。
【請求項２５】前記補正手段はトリミング抵抗である
請求項２１，２２に記載の液体噴射記録装置。
【請求項２６】前記補正手段の温度依存性は、前記温
度検出素子の温度依存性より小さい請求項２１，２２に
記載の液体噴射記録装置。
【請求項２７】前記補正手段の温度変化率は、前記温
度検出素子の温度変化率の１／１０以下である請求項２
１，２２に記載の液体噴射記録装置。
【請求項２８】前記温度検出用センサと、前記補正手
段とを含むブリッジ回路が形成されている請求項２１，
２２に記載の液体噴射記録装置。
【請求項２９】前記液体はインクである請求項２１，
２２に記載の液体噴射記録装置。