JPH07218340A - 測光回路及び電流電圧変換回路 - Google Patents

測光回路及び電流電圧変換回路

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JPH07218340A
JPH07218340A JP6010883A JP1088394A JPH07218340A JP H07218340 A JPH07218340 A JP H07218340A JP 6010883 A JP6010883 A JP 6010883A JP 1088394 A JP1088394 A JP 1088394A JP H07218340 A JPH07218340 A JP H07218340A
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junction
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右二 今井
Atsushi Maruyama
淳 丸山
Katsutoshi Nishiuchi
勝敏 西内
Hiromi Sasaki
浩美 佐々木
Yuichi Memita
裕一 目見田
Shunichi Kato
俊一 加藤
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Abstract

(57)【要約】 【目的】測光精度を向上させるために集積回路に発生す
るJFETのゲートリーク電流の影響を大幅に低減させ
る。 【構成】半導体プロセスで作成されたモノリシックIC
1の内部には、測光のためのオペアンプ2が配設されて
いる。該オペアンプ2は入力部がJFETで構成されて
おり、入力された電流を該電流値に関連した電圧値に変
換にする。上記オペアンプ2の入力部には入射光を電流
に変換する光電変換部3の出力部が接続されている。P
N接合部4は上記モノリシックIC1の内部の他のPN
接合部に電流が流れることにより発生する光を受光し、
光電流に変換し出力する。このPN接合部4の出力部は
上記オペアンプ2の入力部に接続され、寄生ダイオード
で発生した光電流を相殺する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、集積回路内に使用され
高入力インピーダンスであり極めて微小なゲートリーク
電流の要求される接合型電界効果トランジスタを用いた
測光回路及び電流電圧変換回路に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、接合型電界効果トランジスタ
(JFET)は、バイポーラ型半導体集積回路上に特に
新規なマスクや、不純物注入、拡散等の工程なくして構
成することができ、他のバイポーラ型半導体と共存でき
る素子である。従って、当該JFETには、MOS型電
界効果トランジスタ(MOSFET)に比べて低コスト
で製造できるといった利点があると言える。かかる点に
着目され、従来より高入力インピーダンスを必要とされ
る回路においては頻繁に採用されている。
【0003】ここで、図10にはJFETを使用した従
来の測光回路の回路例を示し説明する。同示される如
く、従来の測光回路はモノリシックIC204の内部に
形成されている。そして、当該測光回路は、負帰還型の
オペアンプ202と、該オペアンプ202の反転入力端
子及び非反転入力端子にアノード及びカソードが接続さ
れたフォトダイオード200を備えている。
【0004】さらに、該オペアンプ202は該反転入力
端子及び非反転入力端子が各々ゲートに接続されている
JFET210,211(図11参照)を有している。
そして、該オペアンプ202の負帰還路にはダイオード
203が接続され、ダイオード203のアノードはオペ
アンプ202の反転入力端子に接続されている。さら
に、上記フォトダイオード200のカソードには基準電
圧源201による電源電圧V0 の正極が接続されてい
る。
【0005】このように構成された測光回路は、フォト
ダイオード200で光電変換されて出力された出力電流
P を集積回路内で処理し易いように対数圧縮する回路
である。このような測光回路は、例えば自動露出機能を
有するカメラに用いられ、露出値を演算出力するような
集積回路に使用される。
【0006】当該測光回路において、フォトダイオード
200に入射した光は光電変換され、フォトダイオード
200から出力電流IP が出力される。前記出力電流I
P はフォトダイオード200に入射する光の強さに従っ
て、数pA乃至数μA程度まで変化する。この出力電流
P はオペアンプ202によって対数圧縮され、オペア
ンプ202から次式(1)で定義される測光出力電圧V
OUT が出力される。
【0007】但し、次式(1)において、kはボルツマ
ン定数、Tは絶対温度、qは電子の電荷、IS はダイオ
ード203の逆方向飽和電流、IP'はダイオード203
の順方向電流、IG はJFETのゲートリーク電流をそ
れぞれ示している。
【0008】 VOUT =VO −(kT/q)×ln(IP'/IS ) =V0 −(kT/q)×ln((IP −IG )/IS )…(1) 上記(1)式において、最小値である場合の出力電流I
P よりもゲートリーク電流IG が十分に小さい条件、即
ちIP >>IG が成立するとき、前記測光出力電圧V
OUT は次式により近似することができる。
【0009】 VOUT =V0 −(kT/q)×ln(IP /IS ) …(2) ところが、数pAの最小値である出力電流IP とほぼ等
しい値を前記ゲートリーク電流IG が有し、しかも該ゲ
ートリーク電流IG が前記JFETのゲート付近の構造
に依存して発生するとき、上記(2)式は、このような
微小電流領域で成立しなくなる。即ち、前記入射光の光
量が小さくなると、前記測光回路の正確な測光が困難に
なる。
【0010】かかるJFETにおけるゲートリーク電流
G が発生する原因としては後述する2点がある。即
ち、第1の原因はJFETの構造上存在するPN接合に
おける逆方向リーク電流IGAであり、第2の原因は集積
回路におけるJFETの周囲の回路のPN接合部から発
生する数100nm〜数1000nmの波長帯域の極微
弱な発光によるゲートリーク電流IGBである。
【0011】この第1の原因であるPN接合における逆
方向リーク電流IGAはJFETのサイズや製造プロセス
などによって変化する。例えば、JFETにおけるPN
接合面積が大きいほど逆方向リーク電流IGAは増大す
る。尚、逆方向リーク電流IGAは常温(約25°C)に
おいて1pA以下である。
【0012】一方、第2の原因である集積回路の微弱発
光の影響によるリーク電流IGBは、集積回路の規模や各
構成要素の配置や製造プロセスなどによって、その発生
の有無、電流レベルは種々であり、定量的には言及し難
いが、最大で数pAになる場合がある。以下、この第2
の原因である集積回路の微弱発光の影響によるリーク電
流IGBの発生する原理について説明する。
【0013】即ち、図12に示されるように、P型のサ
ブストレート(基板)220の上にはチャネルとなるN
- のエピタキシャル層221がエピタキシャル法により
成長され、その上にはゲート部の為のN+ のゲート領域
225と、ソース部及びドレイン部のためのP+ のソー
ス領域223、ドレインン領域224がそれぞれ拡散法
によって形成されている。
【0014】そして、上記ソース領域223、ドレイン
領域224、ゲート領域225の上部には、電極22
7,228,229が配設されている。さらに、サブス
トレート220及びエピタキシャル層221の間にはN
+ の埋め込み層222が配設されている。
【0015】また、上記エピタキシャル層221は上記
ゲート領域225と電気的に接触しており、ゲート領域
225と同電位になっている。この他、ゲート領域22
5とエピタキシャル層221(バックゲート領域)との
間にはチャンネル領域226が挟まれており、上記N-
のエピタキシャル層221の周面にはP+ によるアイソ
レーション(分離領域)230が配設されている。
【0016】上記エピタキシャル層221(バックゲー
ト領域)とサブストレート220の間には構造的に寄生
のダイオード231が発生する。同様に、ゲート領域2
25及びバックゲート領域とチャンネルの間にも不図示
の寄生のダイオードが発生する。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】図10に示したよう
に、上記オペアンプ202の反転入力端子には、前述の
寄生ダイオードを一体と考えた寄生ダイオード205が
接続されることになる。一方、モノリシックIC204
の内部には、例えば基準の電流源などの測光回路以外の
回路206がある。
【0018】これらの回路の中には、必然的にPN接合
部ができるが、これらのPN接合部に電流が流れると等
価的に発光ダイオードになり、微弱な光が発生する。そ
して、この微弱な光は先に述べた寄生ダイオード205
に吸収され、この寄生ダイオード205で発生した光電
流が上記(1)式で示すところのゲートリーク電流IG
を形成することになる。
【0019】このため、対数圧縮出力VOUT の直線性は
微小な光電流領域において損なわれる。従って、測光回
路以外の回路16は本来ならば測光に関係する回路につ
いても含めて考えるべきであり、これらの回路において
PN接合部に電流が流れることを避けることは不可能で
ある。
【0020】本発明は上記問題に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、測光精度を向上させるた
めに、集積回路に発生するJFETのゲートリーク電流
の影響を大幅に低減させる手段を、特に新規なマスク
や、不純物注入、拡散等の工程を必要とせず、コストア
ップを伴わずに提供することにある。
【0021】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第1の態様による測光回路は、入射光を電
流に変換するための光電変換手段と、半導体プロセスで
作成されるモノリシックICと、このモノリシックIC
内に設けられ、上記光電変換手段の出力に接続されると
共にジャンクションFETで構成された入力部を有し、
入力電流をこの入力電流値の関数である電圧値に変換す
るオペアンプと、上記モノリシックIC内部の寄生ダイ
オードに電流が流れることによって発生する光を受光
し、光電流に変換すると共に、上記オペアンプの上記入
力部に接続されたPN接合部と、を具備したことを特徴
とする。
【0022】そして、第2の態様による測光回路は、上
記PN接合部は、N型エピタキシャル層の内部に設けら
れたP型拡散領域によって形成され、上記N型エピタキ
シャル層は上記P型拡散領域よりも高い電位にバイアス
されており、さらにP型拡散領域は上記オペアンプの上
記入力部に接続されていることを特徴とする。
【0023】さらに、第3の態様による測光回路は、上
記PN接合部はP型サブストレートの上部に設けられた
N型エピタキシャル層によって形成され、このN型エピ
タキシャル層はPNPカレントミラー回路を介して上記
オペアンプの上記入力部に接続されていることを特徴と
する。
【0024】また、第4の態様による測光回路は、入射
光を電流に変換するための光電変換手段と、半導体プロ
セスで作成されるモノリシックICと、このモノリシッ
クIC内に設けられ、上記光電変換手段の出力に接続さ
れると共に第1のジャンクションFETで構成された入
力部を有し、入力電流をこの入力電流値の関数である電
圧値に変換するオペアンプと、上記モノリシックIC内
に設けられた第2のジャンクションFETと、入力部が
上記第2のジャンクションFETのゲートに接続され、
出力部が上記オペアンプの上記入力部に接続されたPN
Pトランジスタによって形成されるカレントミラー回路
とを具備したことを特徴とする。
【0025】そして、第5の態様による測光回路は、入
射光を電流に変換するための光電変換手段と、半導体プ
ロセスで作成され、二層構造の配線領域を持つモノリシ
ックICと、このモノリシックIC内に設けられ、上記
光電変換手段の出力に接続されると共にジャンクション
FETで構成された入力部を有し、入力電流をこの入力
電流値の関数である電圧値に変換するオペアンプと、上
記モノリシックIC内部の寄生ダイオードに電流が流れ
ることによって発生する光を受光し、光電流に変換する
と共に、上記オペアンプの上記入力部に接続されたPN
接合部と、上記オペアンプの入力部に設けられた上記ジ
ャンクションFET及び上記PN接合部を囲うように上
層配線層と下層配線層を接続する領域で形成された配線
接続領域と、この配線接続領域に囲まれた領域に設けら
れた上層配線層により構成される遮光領域とを具備した
ことを特徴とする。
【0026】さらに、第6の態様による電流電圧変換回
路は、電流を出力するための電流発生手段と、半導体プ
ロセスで作成されるモノリシックICと、このモノリシ
ックICの内部に設けられ、反転入力端子が上記電流発
生手段の出力部に接続されると共にジャンクションFE
Tで構成された入力部を有し、入力電流をこの入力電流
値の関数である電圧値に変換するオペアンプと、上記モ
ノリシックIC内部の寄生ダイオードに電流が流れるこ
とによって発生する光を受光し、光電流に変換すると共
に、上記オペアンプの上記反転入力端子に接続されたP
N接合部とを具備したことを特徴とする。
【0027】また、第7の態様による電流電圧変換回路
は、上記オペアンプは、上記電流発生回路からの出力電
流を、この出力電流の対数に比例した電圧値に変換する
ことを特徴とする。
【0028】そして、第8の態様による電流電圧変換回
路は、電流を出力するための電流発生手段と、半導体プ
ロセスで作成されるモノリシックICと、このモノリシ
ックIC内に設けられ、上記電流発生手段の出力に接続
されると共にジャンクションFETで構成された入力部
を有し、入力電流をこの入力電流値の関数である電圧値
に変換する電流電圧変換手段と、上記モノリシックIC
内部の寄生ダイオードに電流が流れることによって発生
する光を受光し、光電流に変換すると共に、上記オペア
ンプの上記入力部に接続されたPN接合部とを具備した
ことを特徴とする。
【0029】さらに、第9の態様による測光回路もしく
は電流電圧変換回路は、上記PN接合部は、上記寄生ダ
イオードによって発生した光を受光する寄生フォトダイ
オードによって出力される光電流を打ち消す電流を発生
するように、その接合部の大きさを決定したことを特徴
とする。
【0030】
【作用】即ち、本発明の第1の態様による測光回路で
は、光電変換手段により入射光が電流に変換される。そ
して、半導体プロセスで作成されるモノリシックIC内
においては、上記光電変換手段の出力に接続されると共
にジャンクションFETで構成された入力部を有するオ
ペアンプにより入力電流が該入力電流値の関数である電
圧値に変換される。さらに、このオペアンプの入力部に
接続されたPN接合部により上記モノリシックIC内部
の寄生ダイオードに電流が流れることによって発生する
光が受光され光電流に変換される。
【0031】そして、第2の態様による測光回路では、
上記PN接合部がN型エピタキシャル層の内部に設けら
れたP型拡散領域によって形成され、上記N型エピタキ
シャル層は上記P型拡散領域よりも高い電位にバイアス
されており、さらにP型拡散領域は上記オペアンプの上
記入力部に接続されている。
【0032】さらに、第3の態様による測光回路では、
上記PN接合部がP型サブストレートの上部に設けられ
たN型エピタキシャル層によって形成され、該N型エピ
タキシャル層はPNPカレントミラー回路を介して上記
オペアンプの上記入力部に接続されている。
【0033】また、第4の態様による測光回路では、光
電変換手段により入射光が電流に変換される。そして、
半導体プロセスで作成されるモノリシックIC内におい
て、上記光電変換手段の出力に接続されると共に第1の
ジャンクションFETで構成された入力部を有するオペ
アンプにより入力電流が該入力電流値の関数である電圧
値に変換される。さらに、カレントミラー回路は、その
入力部が第2のジャンクションFETのゲートに接続さ
れ、出力部が上記オペアンプの入力部に接続されたPN
Pトランジスタによって形成されている。
【0034】そして、第5の態様による測光回路では、
光電変換手段により入射光が電流に変換される。そし
て、半導体プロセスで作成され二層構造の配線領域を持
つモノリシックIC内においては、上記光電変換手段の
出力に接続されると共にジャンクションFETで構成さ
れた入力部を有するオペアンプにより、入力電流が該入
力電流値の関数である電圧値に変換される。さらに、上
記オペアンプの上記入力部に接続されたPN接合部によ
り上記モノリシックIC内部の寄生ダイオードに電流が
流れることによって発生する光が受光され光電流に変換
される。そして、配線接続領域は、上記オペアンプの入
力部に設けられた上記ジャンクションFET及び上記P
N接合部を囲うように上層配線層と下層配線層を接続す
る領域で形成されている。さらに、遮光領域は、この配
線接続領域に囲まれた領域に設けられた上層配線層によ
り構成されている。
【0035】さらに、第6の態様による電流電圧変換回
路では、電流発生手段により電流が出力される。そし
て、半導体プロセスで作成されるモノリシックICの内
部において反転入力端子が上記電流発生手段の出力部に
接続されると共にジャンクションFETで構成された入
力部を有するオペアンプにより、入力電流が該入力電流
値の関数である電圧値に変換される。さらに、上記オペ
アンプの上記反転入力端子に接続されたPN接合部によ
り、上記モノリシックIC内部の寄生ダイオードに電流
が流れることによって発生する光を受光され光電流に変
換される。
【0036】また、第7の態様による電流電圧変換回路
では、上記オペアンプにより上記電流発生回路からの出
力電流が該出力電流の対数に比例した電圧値に変換され
る。そして、第8の態様による電流電圧変換回路では、
電流発生手段により電流が出力される。そして、半導体
プロセスで作成されるモノリシックICの内部におい
て、上記電流発生手段の出力に接続されると共にジャン
クションFETで構成された入力部を有する電流電圧変
換手段により入力電流が該入力電流値の関数である電圧
値に変換される。さらに、上記オペアンプの上記入力部
に接続されたPN接合部により上記モノリシックIC内
部の寄生ダイオードに電流が流れることによって発生す
る光が受光され、光電流に変換される。
【0037】さらに、第9の態様による測光回路もしく
は電流電圧変換回路では、上記PN接合部は、上記寄生
ダイオードによって発生した光を受光する寄生フォトダ
イオードによって出力される光電流を打ち消す電流を発
生するように、その接合部の大きさが決定されている。
【0038】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。図1には本発明の測光回路の概念図を示し
説明する。この図1に示されるように、半導体プロセス
で作成されたモノリシック集積回路(IC)1の内部に
は、測光のためのオペアンプ2が配設されている。該オ
ペアンプ2は入力部がジャンクションFET(以下、J
FETと称す)5で構成されており、入力された電流を
該電流値に関連した電圧値に変換にする。そして、入射
光を電流に変換するための光電変換部3の出力部はJF
ET5を介して上記オペアンプ2の入力部に接続されて
いる。さらに、PN接合部4は上記モノリシックIC1
の内部の他のPN接合部(不図示)に電流が流れること
により発生する光を受光し、光電流に変換し出力する。
このPN接合部4の出力部はJFET5を介して上記オ
ペアンプ2の入力部に接続されている。該PN接合部4
は先に図10に示した寄生ダイオード205で発生した
光電流ICを相殺するものである。
【0039】次に図2には第1の実施例に係る測光回路
の構成を示し説明する。この図2に示すように、測光を
行うモノリシックIC10の内部において、基準の電流
源11はダイオード12のアノードに接続されており、
該ダイオード12のカソードはGNDに接続されてい
る。そして、この電流源11とダイオード12の接続端
はバッファアンプ13の非反転入力に接続されている。
さらに、該バッファアンプ13の出力は、その入力部が
JFETで構成されたヘッドアンプ15の非反転入力に
接続されている。
【0040】このヘッドアンプ15の反転入力は対数圧
縮のためのダイオード16を介して該ヘッドアンプ15
の出力に接続されている。そして、このヘッドアンプ1
5の出力はオペアンプ17の非反転入力に接続されてお
り、該オペアンプの出力はカメラのシーケンス制御のた
めのCPU21のA/D変換入力端子に接続されると共
に、抵抗18,19を介してGNDにも接続されてい
る。さらに、この抵抗18,19の接続端はオペアンプ
17の反転入力に接続されている。尚、このオペアンプ
17,抵抗18,19は非反転増幅器を構成している。
【0041】上記JFETのゲート部に発生する寄生ダ
イオードで発生した光電流IGを相殺するための補償回
路20は、上記ヘッドアンプ15の反転入力に接続され
ると共にSPD14のアノードにも接続されている。そ
して、このSPD14のカソードは、ヘッドアンプ15
の非反転入力に接続されている。当該SPD14は、モ
ノリシックIC10の外部で、特にカメラの前面パネル
の付近に配置され、被写体からの光を受光するものであ
る。
【0042】以下、第1の実施例に係る測光回路の動作
について説明する。先ず基準の電流源11の電流値をI
ref とすると、ダイオード12のアノードの電位V1
は、 V1 =VT ・ln(Iref /IS ) となる。ここで、 VT =kT/q である。但し、k;ボルツマン定数、T;絶対温度、
q;単位電荷量、IS ;トランジスタ(ダイオード)の
逆方向飽和電流である。
【0043】次いで、バッファアンプ13の出力電圧を
2 とすると、 V2 =V1 となる。
【0044】圧縮ダイオード16にはSPD14から出
力される光電流IP が流れる為、圧縮ダイオード16の
両側に発生する電圧は、 VT ・In(IP /IS ) となる。
【0045】従って、ヘッドアンプ15の出力電圧V3
は、 V3 =V2 −VT ・ln(IP /IS )=VT ・ln(Iref /IP ) となる。さらに、非反転増幅器17の出力電圧VOUT
は、 VOUT =n・VT ・ln(Iref /IP ) =n・VT ・ln2・log2 (Iref /IP ) となる、ここで、nは非判定増幅器17の増幅率であ
り、抵抗18,19の抵抗値によって決定される。即
ち、光電流IP がIref と等しい明るさの時に出力電圧
OUT は0Vとなり、この時の被写体の明るさに対して
1EVだけ暗くなるにつれて、即ち、光電流IP が半分
になるにつれて、出力電圧VOUT はn・VT ×ln2だ
け増加する。即ち、出力電圧VOUT は対数圧縮された出
力となる。
【0046】次に図3を参照して、第1実施例における
補償回路20及びその周辺回路について説明する。この
図3において、符号30はヘッドアンプ15の反転入力
端子のJFETである。このJFET30のゲート部に
は、寄生のフォトダイオード31が存在している。符号
32,33はPNPトランジスタによるカレントミラー
回路である。このカレントミラー回路の入力側には、補
償のためのJFET34のゲート端子が接続されてい
る。
【0047】そして、このJFET34のゲート部にも
JFET30と同様に寄生のフォトダイオード35が接
続されている。PNPトランジスタ32,33のベース
(N型エピタキシャル層)とP型サブストレート(基
板)との間にも寄生のフォトダイオード36が存在す
る。また、圧縮ダイオード36のアノード側(N型エピ
タキシャル層)にもP型サブストレートとの間に寄生の
フォトダイオード37が存在する。
【0048】第1の実施例に係る測光回路では、上記寄
生ダイオード31,35乃至37に発生する光電流(I
C内部に発生する微弱光による)を、それぞれIG1,I
G2,IB ,ID とした場合に、 IG1+ID =IG2+IB となるように、JFET34(寄生のフォトダイオード
35)の大きさが決定される。これにより、上記ゲート
リーク電流を相殺する。尚、この図3では、JFET3
4のドレイン側がオープン状態となっているが、定電流
源39と同電位の定電流源に接続すれば更に良い。
【0049】次に図4は第2の実施例に係る測光回路の
構成を示す図である。第2実施例は第1実施例と比べて
補償回路40の構成が異なるものである。以下、図4及
び図5を参照して第2の実施例における補償回路40の
構成を説明する。各図に示されるように、該補償回路4
0はP型拡散領域により構成されている。即ち、P型サ
ブストレート50の上部には、N型エピタキシャル層5
1がエピタキシャル法により形成されており、さらに、
このN型エピタキシャル層51の上方にはP型拡散領域
52が形成されている。そして、このP型拡散領域52
は電極55に接続されており、該電極55はJFET3
0のゲートに接続されている。また、N型エピタキシャ
ル層51は、N+ 型の拡散領域53を介して電極54に
も接続されており、該電極54はモノリシックIC10
の電源電位VCCに接続されている。尚、この構造は通常
のバイポーラプロセスのベース拡散抵抗と同じ構造であ
る。
【0050】このような第2の実施例では、N型エピタ
キシャル層51及びP型拡散領域52の間に発生するダ
イオード31はフォトダイオードとして機能し、集積回
路内部で発生する微弱光により光電流IPPを発生する。
この光電流IPPはJFET30のゲートに流れ込み寄生
ダイオード31,37でそれぞれ発生する光電流IG1
びID を相殺する。即ち、 IG1+ID =IPP となるように、P型拡散領域52の大きさが決定され
る。尚、上記電極54は電源電位VCCに接続されている
が、電極55の電位よりも高い電位であれば、いかなる
中間電位に接続しても構わないことは勿論である。
【0051】次に図6は本発明の第3の実施例に係る測
光回路の構成を示す図である。この第3実施例も第1の
実施例と比べて補償回路の構成が異なるものである。こ
の図6において、符号60は補償回路である。当該補償
回路60の中で61はN型エピタキシャル層と、P型サ
ブストレートの間に構成されたダイオードであり、その
詳細については図7を参照して説明する。尚、符号3
2,33,36で示される構成要素は第1実施例と同じ
であるので、ここでは説明を省略する。
【0052】かかる図7において、P型サブストレート
70の上部には、N型エピタキシャル層71がエピタキ
シャル法等により形成されており、その上部にはN+
拡散領域72が設けられている、そして、このN+ 型拡
散領域72の上部には、電極73が配設されている。さ
らに、上記P型サブストレート70は回路上の最低電位
(GND)にバイアスされており、上記電極73はトラ
ンジスタ32のベースに接続されている。
【0053】このような第3の実施例では、P型サブス
トレート70とN型エピタキシャル層71の間に発生す
るダイオード61はフォトダイオードとして機能し、集
積回路内部で発生する微弱光により光電流IESを発生す
る。この光電流IESはトランジスタ32、33で構成さ
れるカレントミラー回路を経てJFET30のゲートに
流れ込み、寄生ダイオード31,37でそれぞれが発生
する光電流IG1及びID を相殺する。即ち、 IG1+ID =IES が成立するように、N型エピタキシャル層71の大きさ
が決定される。
【0054】次に図8は第4実施例に係る測光回路の構
成を示す図である。第4実施例は第1実施例で示すとこ
ろのJFET30,38及び補償用のJFET34(図
2参照)の上部にアルミ配線による遮光膜を設けたもの
である。
【0055】上記集積回路内部で発生した微弱光は、一
部はバルクの内部を伝播して寄生ダイオード31,37
等に吸収されるが、二層アルミ配線を使用した場合、微
弱光の一部は上層アルミと下層アルミの間のガラス層
(Si02 )の中を伝播して寄生ダイオード31,37
等に吸収される。従って、JFET30,38及び補償
用のJFET34の上方にアルミ配線による遮光膜を設
ければ、ガラス層(SiO2 )の中を伝播してくる光に
対しては遮光することができる。
【0056】図8(a)において、符号30,38及び
34は、第1実施例に示すJFETに相当する。ここ
で、符号80,83及び86はそれぞれのJFETのゲ
ート電極である。また、符号81,84及び87は、そ
れぞれのJFETのソース電極である。符号89は上層
アルミと下層アルミを接続するための配線接続領域であ
る。符号90は配線接続領域89に囲まれた領域の中か
ら引き出された各電極に対応したアルミ配線である。
【0057】この図8(a)中のA−A´の断面構造は
図8(b)に示す通りである。即ち、この図8(b)に
おいて、下層のアルミ配線91と上層のアルミ配線92
は配線接続領域89により接続されている。また、上層
アルミ配線92と下層アルミ配線91の間にはガラス層
93が配設されている。
【0058】このように、第4の実施例では、かかる構
成によって、ガラス層93の中を伝播してくる光を下層
のアルミ配線91、上層のアルミ配線92及び配線接続
領域89によって遮光することができる。
【0059】次に図9は第5実施例に係る測光回路の構
成を示す図である。この第5の実施例は本発明を積分型
の測光回路に適用したものである。図9に示すように、
モノリシックの積分型測光IC100において、外部か
らの光を受光して光電流に変換するためのフォトダイオ
ード102のカソードはオペアンプ101の反転入力に
接続されており、アノードは光電流を積分するための積
分コンデンサ107を介してGNDに接続されている。
上記フォトダイオード102は、例えばカメラ内のミラ
ーボックス付近に配置され、フィルム面やシャッタ幕面
からの反射光を受光する。
【0060】一方、端子RESETはベース抵抗103
を介して、上記積分コンデンサ107の電荷をリセット
する為のリセット・トランジスタ104のベースに接続
されており、該リセット・トランジスタ104のコレク
タは上記フォトダイオード102のアノードに接続され
ている。そして、このリセット・トランジスタ104の
エミッタは接地されている。
【0061】さらに、上記フォトダイオード102のア
ノードはオペアンプ101の非反転入力にも接続されて
おり、該オペアンプ101の出力はコンパレータ106
の非反転入力に接続されると共に、オペアンプ101の
反転入力端子にフィードバックされている。さらに、上
記コンパレータ106の反転入力には判定電圧が印加さ
れている。この他、上記フォトダイオード102のアノ
ードには補償回路108も接続されている。
【0062】かかる構成の第5の実施例は、主として1
眼レフレックスカメラに於けるフォーカルプレーン・シ
ャッタの後幕の走行のタイミング制御や、ストロボの発
光制御に使用される。以下、その動作について詳細に説
明する。
【0063】通常、端子RESETからの信号は“H”
レベルになっており、積分コンデンサ107はリセット
状態にある。シャッタ先膜の走行タイミング又はストロ
ボの発光タイミングにおいて端子RESETからの信号
を“L”レベルにすると、フォトダイオード102から
の、光電流による積分コンデンサ107への積分が開始
される。
【0064】オペアンプ101の出力電圧は光電流によ
る積分コンデンサ107の積分電圧と等しいが、この出
力電圧が判定電圧レベルに達するとコンパレータ106
の出力が反転し端子OUTへの信号が“L”レベルから
“H”レベルに反転する。
【0065】この結果、集積回路外部の制御回路(不図
示)により、シャッタ後幕の走行或いはストロボの発光
の停止が行われる。ここで、オペアンプ101の入力部
はJFETで構成されており、非反転入力端子には、寄
生フォトダイオード105が発生しているが、この寄生
フォトダイオード105で発生する誤差電流は、補償回
路108からの補償電流により相殺されるようになって
いる。尚、補償回路108は第1乃至第3実施例で述べ
たPN接合部で構成されている。このように、本発明は
積分型の測光回路においても効果的に適用することがで
きる。
【0066】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明はこれに限定されることなく種々の改良・変
更が可能であることは勿論である。例えば上記各実施例
では、本発明を測光回路に適用した場合について述べて
きたが、測光回路に限られることなく、微小な電流を入
力してその電流値に関連した電圧値に変換する為の電流
電圧変換回路であり、入力部にはJFETを有する回路
には本発明を適用することができる。
【0067】さらに、補償電流を発生するための、PN
接続部の例として、実施例中にJFETのゲート(バッ
クゲート)・チャンネル間に発生するもの、JFETの
バックゲート・サブストレート間に発生するもの、P型
拡散領域・N型エピタキシャル層の間に発生するもの、
N型エピタキシャル層・サブストレート間に発生するも
の等について述べてきたが、これらに限定されることな
く、他の構造によるPN接合部を使用しても問題はな
い。
【0068】また、先に示した第4実施例において、遮
光領域の中にオペアンプの入力部の2つのJFETと、
補償用のJFETを入れているが、補償用のJFETの
代わりに第2及び第3実施例で示したような、PN接合
領域を入れても構わない。そして、オペアンプの入力部
の2つのJFETは必ずしも両者が必要なわけではな
く、入力電流が入力される方のJFET(反転入力側)
だけあれば良い。
【0069】
【発明の効果】本発明によれば、特に新規なマスク、不
純物注入、拡散などの工程を必要とせず、コストのアッ
プを伴わずに、測光精度を向上させるために集積回路に
発生するJFETのゲートリーク電流の影響を大幅に低
減させる手段を有する測光回路及び電流電圧変換回路を
提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の測光回路の構成を示す概念図である。
【図2】第1の実施例に係る測光回路の構成を示す図で
ある。
【図3】第1実施例における補償回路20及び周辺回路
の詳細な構成を示す図である。
【図4】第2の実施例に係る測光回路の構成を示す図で
ある。
【図5】第2の実施例における補償回路40の詳細な構
成を示す図である。
【図6】第3の実施例に係る測光回路の構成を示す図で
ある。
【図7】第3の実施例における補償回路60の詳細な構
成を示す図である。
【図8】第4実施例に係る測光回路の構成を示す図であ
る。
【図9】第5実施例に係る測光回路の構成を示す図であ
る。
【図10】JFETを使用した従来の測光回路の回路例
を示す図である。
【図11】従来の測光回路を更に詳細に示す図である。
【図12】図11におけるJFET210,211の断
面構造を詳細に示す図である。
【符号の説明】 1…モノリシックIC、2…オペアンプ、3…光電変換
部、4…PN接合部、5…JFET。
フロントページの続き (72)発明者 西内 勝敏 東京都渋谷区幡ヶ谷2丁目43番2号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 佐々木 浩美 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 目見田 裕一 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 加藤 俊一 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入射光を電流に変換するための光電変換
    手段と、 半導体プロセスで作成されるモノリシックICと、 このモノリシックIC内に設けられ、上記光電変換手段
    の出力に接続されると共にジャンクションFETで構成
    された入力部を有し、入力電流をこの入力電流値の関数
    である電圧値に変換するオペアンプと、 上記モノリシックIC内部の寄生ダイオードに電流が流
    れることによって発生する光を受光し、光電流に変換す
    ると共に、上記オペアンプの上記入力部に接続されたP
    N接合部と、を具備したことを特徴とする測光回路。
  2. 【請求項2】 上記PN接合部は、N型エピタキシャル
    層の内部に設けられたP型拡散領域によって形成され、
    上記N型エピタキシャル層は上記P型拡散領域よりも高
    い電位にバイアスされており、さらにP型拡散領域は上
    記オペアンプの上記入力部に接続されていることを特徴
    とする請求項1に記載の測光回路。
  3. 【請求項3】 上記PN接合部はP型サブストレートの
    上部に設けられたN型エピタキシャル層によって形成さ
    れ、このN型エピタキシャル層はPNPカレントミラー
    回路を介して上記オペアンプの上記入力部に接続されて
    いることを特徴とする請求項1に記載の測光回路。
  4. 【請求項4】 入射光を電流に変換するための光電変換
    手段と、 半導体プロセスで作成されるモノリシックICと、 このモノリシックIC内に設けられ、上記光電変換手段
    の出力に接続されると共に第1のジャンクションFET
    で構成された入力部を有し、入力電流をこの入力電流値
    の関数である電圧値に変換するオペアンプと、 上記モノリシックIC内に設けられた第2のジャンクシ
    ョンFETと、 入力部が上記第2のジャンクションFETのゲートに接
    続され、出力部が上記オペアンプの上記入力部に接続さ
    れたPNPトランジスタによって形成されるカレントミ
    ラー回路と、を具備したことを特徴とする測光回路。
  5. 【請求項5】 入射光を電流に変換するための光電変換
    手段と、 半導体プロセスで作成され、二層構造の配線領域を持つ
    モノリシックICと、 このモノリシックIC内に設けられ、上記光電変換手段
    の出力に接続されると共にジャンクションFETで構成
    された入力部を有し、入力電流をこの入力電流値の関数
    である電圧値に変換するオペアンプと、 上記モノリシックIC内部の寄生ダイオードに電流が流
    れることによって発生する光を受光し、光電流に変換す
    ると共に、上記オペアンプの上記入力部に接続されたP
    N接合部と、 上記オペアンプの入力部に設けられた上記ジャンクショ
    ンFET及び上記PN接合部を囲うように上層配線層と
    下層配線層を接続する領域で形成された配線接続領域
    と、この配線接続領域に囲まれた領域に設けられた上層
    配線層により構成される遮光領域と、を具備したことを
    特徴とする測光回路。
  6. 【請求項6】 電流を出力するための電流発生手段と、 半導体プロセスで作成されるモノリシックICと、 このモノリシックICの内部に設けられ、反転入力端子
    が上記電流発生手段の出力部に接続されると共にジャン
    クションFETで構成された入力部を有し、入力電流を
    この入力電流値の関数である電圧値に変換するオペアン
    プと、 上記モノリシックIC内部の寄生ダイオードに電流が流
    れることによって発生する光を受光し、光電流に変換す
    ると共に、上記オペアンプの上記反転入力端子に接続さ
    れたPN接合部と、を具備したことを特徴とする電流電
    圧変換回路。
  7. 【請求項7】 上記オペアンプは、上記電流発生回路か
    らの出力電流を、この出力電流の対数に比例した電圧値
    に変換することを特徴とする請求項6に記載の電流電圧
    変換回路。
  8. 【請求項8】 電流を出力するための電流発生手段と、 半導体プロセスで作成されるモノリシックICと、 このモノリシックIC内に設けられ、上記電流発生手段
    の出力に接続されると共にジャンクションFETで構成
    された入力部を有し、入力電流をこの入力電流値の関数
    である電圧値に変換する電流電圧変換手段と、 上記モノリシックIC内部の寄生ダイオードに電流が流
    れることによって発生する光を受光し、光電流に変換す
    ると共に、上記オペアンプの上記入力部に接続されたP
    N接合部と、を具備したことを特徴とする電流電圧変換
    回路。
  9. 【請求項9】 上記PN接合部は、上記寄生ダイオード
    によって発生した光を受光する寄生フォトダイオードに
    よって出力される光電流を打ち消す電流を発生するよう
    に、その接合部の大きさを決定したことを特徴とする請
    求項1乃至請求項3又は請求項5乃至請求項8に記載の
    測光回路もしくは電流電圧変換回路。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1318210C (zh) * 1999-10-27 2007-05-30 电气化学工业株式会社 树脂组合物、其成形产品和导电片
JP2016058370A (ja) * 2014-09-04 2016-04-21 株式会社小糸製作所 車両用灯具およびその光源の異常検出器

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1318210C (zh) * 1999-10-27 2007-05-30 电气化学工业株式会社 树脂组合物、其成形产品和导电片
JP2016058370A (ja) * 2014-09-04 2016-04-21 株式会社小糸製作所 車両用灯具およびその光源の異常検出器

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