JPH07218567A - 無振動交流式非接触表面電位計 - Google Patents
無振動交流式非接触表面電位計Info
- Publication number
- JPH07218567A JPH07218567A JP4462594A JP4462594A JPH07218567A JP H07218567 A JPH07218567 A JP H07218567A JP 4462594 A JP4462594 A JP 4462594A JP 4462594 A JP4462594 A JP 4462594A JP H07218567 A JPH07218567 A JP H07218567A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- measured
- surface potential
- detection
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 52
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 27
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 7
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 4
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】交流式の非接触表面電位測定計において、機械
的振動を使わずに被測定面の表面電位を測定出来るプロ
ーブを製作する事で機械的振動を使わない表面電位計が
製作出来る。 【構成】被測定物に対向して貫通した検出孔を持つ導電
性ケースに被測定物からの電気力線を検出するための基
準電極と、その後ろに容量結合された検出電極を固定し
て設置したプローブにおいて、電気的に基準電極を導電
性ケースと検出電極に連続的且つ、交互に切り換えるこ
とで被測定物の表面電位に比例した交流電圧を検出し、
増幅器や同期検波の信号処理回路を経てを電圧計もしく
は電流計に被測定物の表面電位として表示する。
的振動を使わずに被測定面の表面電位を測定出来るプロ
ーブを製作する事で機械的振動を使わない表面電位計が
製作出来る。 【構成】被測定物に対向して貫通した検出孔を持つ導電
性ケースに被測定物からの電気力線を検出するための基
準電極と、その後ろに容量結合された検出電極を固定し
て設置したプローブにおいて、電気的に基準電極を導電
性ケースと検出電極に連続的且つ、交互に切り換えるこ
とで被測定物の表面電位に比例した交流電圧を検出し、
増幅器や同期検波の信号処理回路を経てを電圧計もしく
は電流計に被測定物の表面電位として表示する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、物質の表面電位を非接
触で測定する為の物で、静電気等の電位を測定する事に
関する。
触で測定する為の物で、静電気等の電位を測定する事に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の表面電位測定は、静止型と呼ばれ
る物と、交流式と称される物がある。静止型の表面電位
測定の動作原理を図１に示す。この検出電極８を帯電し
ている物質４０に近づける時、静電誘導により電圧が誘
起される。但し、誘起された電圧は、検出電極の時定数
３と４により放電される。よって、被測定電圧が直流で
ある場合には、連続してその表面電位を測定する事が出
来ない。この方式に対して交流式の場合は、検出電極と
被測定物間の電気的結合、もしくは、検出電極が受ける
電界強度を変化させることにより検出電極に発生する電
圧を被測定物の表面電位に比例した交流電圧として得る
事が出来る。この検出電極と被測定物間の結合を変化さ
せる手段としては、振動子やスピーカーなどが使われ
る。これらは、機械的に振動するものである。
る物と、交流式と称される物がある。静止型の表面電位
測定の動作原理を図１に示す。この検出電極８を帯電し
ている物質４０に近づける時、静電誘導により電圧が誘
起される。但し、誘起された電圧は、検出電極の時定数
３と４により放電される。よって、被測定電圧が直流で
ある場合には、連続してその表面電位を測定する事が出
来ない。この方式に対して交流式の場合は、検出電極と
被測定物間の電気的結合、もしくは、検出電極が受ける
電界強度を変化させることにより検出電極に発生する電
圧を被測定物の表面電位に比例した交流電圧として得る
事が出来る。この検出電極と被測定物間の結合を変化さ
せる手段としては、振動子やスピーカーなどが使われ
る。これらは、機械的に振動するものである。
【０００３】一例として音叉を使用したセクター式の動
作原理を図２、図３に示す。これは、被測定物より放射
される電気力線が入射するための検出孔２を持つ導電牲
のケース１と、ケース１内に入って来る電気力線を切る
チョッパー部７と、この電気力線を受けて交流信号を取
り出すための検出電極８とから構成され、またチョッパ
ー部７には、駆動用の圧電セラミック９を接着した音叉
１０を使用しており、音叉１０の先端にあるチョッパー
部７で電気力線が切られる。検出電極８は、基板１１に
固定され、チョッパー部７及び基板１１は、検出孔２を
有するケース１に収納されている。さらに基板１１には
音叉１０の駆動用端子１２、出力端子１３及び接地端子
１４が取付けられ、駆動用端子１２と圧電セラミック９
との間は配線１５が施されている。
作原理を図２、図３に示す。これは、被測定物より放射
される電気力線が入射するための検出孔２を持つ導電牲
のケース１と、ケース１内に入って来る電気力線を切る
チョッパー部７と、この電気力線を受けて交流信号を取
り出すための検出電極８とから構成され、またチョッパ
ー部７には、駆動用の圧電セラミック９を接着した音叉
１０を使用しており、音叉１０の先端にあるチョッパー
部７で電気力線が切られる。検出電極８は、基板１１に
固定され、チョッパー部７及び基板１１は、検出孔２を
有するケース１に収納されている。さらに基板１１には
音叉１０の駆動用端子１２、出力端子１３及び接地端子
１４が取付けられ、駆動用端子１２と圧電セラミック９
との間は配線１５が施されている。
【０００４】次に音叉を使用した振動容量式の動作原理
を図４、図５に示す。これは、被測定物より放射される
電気力線が入射するための検出孔２を持つ導電性のケー
ス１と、被測定物との結合容量を変化させる為の振動子
と、この電気力線を受けて交流信号を取り出すための検
出電極８とから構成され、また振動子には、駆動用の圧
電セラミック９を接着した音叉１０を使用しており、音
叉１０の先端で検出孔に対向した位置に検出電極８が固
定され、振動子及び基板１１は、検出孔２を有するケー
ス１に収納されている。さらに基板１１には音叉１０の
駆動用端子１２、出力端子１３及び接地端子１４が取付
けられ、駆動用端子１２と圧電セラミック９との間は配
線１５が施され、検出電極と出力端子１３との間は配線
１６が施されている。
を図４、図５に示す。これは、被測定物より放射される
電気力線が入射するための検出孔２を持つ導電性のケー
ス１と、被測定物との結合容量を変化させる為の振動子
と、この電気力線を受けて交流信号を取り出すための検
出電極８とから構成され、また振動子には、駆動用の圧
電セラミック９を接着した音叉１０を使用しており、音
叉１０の先端で検出孔に対向した位置に検出電極８が固
定され、振動子及び基板１１は、検出孔２を有するケー
ス１に収納されている。さらに基板１１には音叉１０の
駆動用端子１２、出力端子１３及び接地端子１４が取付
けられ、駆動用端子１２と圧電セラミック９との間は配
線１５が施され、検出電極と出力端子１３との間は配線
１６が施されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来のプローブでは、機械的な振動を用いて、電気力線の
変化を作り交流信号を得ていた。これによれば、圧電セ
ラミックや振動容量式の場合の検出電極等を接着する作
業や、音叉の取付けを検出電極に対して正確に固定する
作業等、機械的製作の作業が難しいため均一性の誤差が
大きく、検出できる交流信号に個別の差が発生するため
処理回路に於て個別の調整を行っていた。
来のプローブでは、機械的な振動を用いて、電気力線の
変化を作り交流信号を得ていた。これによれば、圧電セ
ラミックや振動容量式の場合の検出電極等を接着する作
業や、音叉の取付けを検出電極に対して正確に固定する
作業等、機械的製作の作業が難しいため均一性の誤差が
大きく、検出できる交流信号に個別の差が発生するため
処理回路に於て個別の調整を行っていた。
【０００６】また、音叉等を使用するために、構造上の
制約が大きかった。
制約が大きかった。
【０００７】本発明は、電気力線を検出し、交流信号に
変換する為の手段として機械的な振動によらない手段に
て、これらの問題点を解決する事を目的とするものであ
る。
変換する為の手段として機械的な振動によらない手段に
て、これらの問題点を解決する事を目的とするものであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の表面電位計は、
以下の構成からなる。すなわち、導電性ケースの内部に
検出電極を内蔵し、対向する対向壁面部に検出孔をあ
け、検出孔と検出電極の間に、基準電極を固定し、電気
的に且つ連続的に基準電極をケースと検出電極に交互に
接続する回路を設けたプローブと、交流信号の処理回路
からなる表面電位計である。
以下の構成からなる。すなわち、導電性ケースの内部に
検出電極を内蔵し、対向する対向壁面部に検出孔をあ
け、検出孔と検出電極の間に、基準電極を固定し、電気
的に且つ連続的に基準電極をケースと検出電極に交互に
接続する回路を設けたプローブと、交流信号の処理回路
からなる表面電位計である。
【０００９】
【作用】本発明の作用を図面に基づいて説明すれば、図
６は本発明によるプローブと信号処理回路から成る表面
電位計の動作原理図である。被測定物４０からプローブ
の検出孔２に向かう電気力線は、基準電極１７に到達す
る。ここで、基準電極１７を達続的に且つ交互に検出電
極と導電性ケースに接続する切り換え器２０を作動させ
る時、検出電極には被測定物４０の持つ表面電位に比例
した交流信号が得られる。この交流信号はインピーダン
ス変換回路２４を経て、増幅回路３５にて必要な電圧に
増幅し、同期検波回路３６にて検波をし、平滑回路３８
で直流に変換した後、表示回路３９に表示する事で被測
定物の表面電位が測定出来る。発振回路３７は切り換え
器２０を駆動するための信号発生回路である。
６は本発明によるプローブと信号処理回路から成る表面
電位計の動作原理図である。被測定物４０からプローブ
の検出孔２に向かう電気力線は、基準電極１７に到達す
る。ここで、基準電極１７を達続的に且つ交互に検出電
極と導電性ケースに接続する切り換え器２０を作動させ
る時、検出電極には被測定物４０の持つ表面電位に比例
した交流信号が得られる。この交流信号はインピーダン
ス変換回路２４を経て、増幅回路３５にて必要な電圧に
増幅し、同期検波回路３６にて検波をし、平滑回路３８
で直流に変換した後、表示回路３９に表示する事で被測
定物の表面電位が測定出来る。発振回路３７は切り換え
器２０を駆動するための信号発生回路である。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例を図面に基ずいて以下説明す
る。図７は、本発明によるプローブＡの上面図である。
また、図８は、プローブＡの側面から見た断面図であ
る。図９は、プローブＡの等価図である。１は導電性ケ
ースであり、金属により形成されている。このケース１
の形状は、図示した物に限らず、例えば細長いものと
か、円筒状のものでもよい。２は検出孔であり、導電性
ケース１内の対抗壁面部に設けられ、静電気を検出する
ためのものである。１７は基準電極であり、検出孔から
入る電気力線を検出する。１８は検出電極で、切り換え
回路２０が基準電極１７を接地電位である導電性ケース
１に接続される時、静電誘導により接地電位を検出し、
切り換え回路２０が基準電極１７を検出電極１８に接続
される時、被測定物４０からの電気力線を検出する事に
なる。１９は絶縁材料で作られおり、基準電極１７と検
出電極１８を固定するために設ける。２０は基準電極１
７をコモンとした切り換え回路であり、達続的に検出電
極１８と導電性ケース１に交互に接続する事を行う。２
４は高入力インピーダンス、低出力インピーダンスの回
路である。２１は検出した交流信号を取り出す端子であ
る。２２は切り換え回路を連続的に作動させる電気信号
である。２３は導電性ケースに接続された端子である。
る。図７は、本発明によるプローブＡの上面図である。
また、図８は、プローブＡの側面から見た断面図であ
る。図９は、プローブＡの等価図である。１は導電性ケ
ースであり、金属により形成されている。このケース１
の形状は、図示した物に限らず、例えば細長いものと
か、円筒状のものでもよい。２は検出孔であり、導電性
ケース１内の対抗壁面部に設けられ、静電気を検出する
ためのものである。１７は基準電極であり、検出孔から
入る電気力線を検出する。１８は検出電極で、切り換え
回路２０が基準電極１７を接地電位である導電性ケース
１に接続される時、静電誘導により接地電位を検出し、
切り換え回路２０が基準電極１７を検出電極１８に接続
される時、被測定物４０からの電気力線を検出する事に
なる。１９は絶縁材料で作られおり、基準電極１７と検
出電極１８を固定するために設ける。２０は基準電極１
７をコモンとした切り換え回路であり、達続的に検出電
極１８と導電性ケース１に交互に接続する事を行う。２
４は高入力インピーダンス、低出力インピーダンスの回
路である。２１は検出した交流信号を取り出す端子であ
る。２２は切り換え回路を連続的に作動させる電気信号
である。２３は導電性ケースに接続された端子である。
【００１１】図１０と図１１は、この機構によるプロー
ブが表面電位を検出し、交流に変換出来る事を証明する
ための実験装置と等価回路である。この実験は、静電気
における電気力線の電位分布の測定に使われている。２
５は水を溜めた絶縁性の水槽であり、２６はプローブの
導電性ケースに相当する電極板であり、２７は基準電極
に相当する電極板であり、２８は検出電極に相当する電
極板であり、２９は被測定物を想定した電極板である。
３０は検出電極の持つ抵抗分に相当する抵抗器を取付
け、切り換えスイッチ３２は手動にて基準電極を検出電
極もしくは導電性ケースに接続されるように配線がされ
る。３１は極めて高い入力インピーダンスの電圧計であ
り、検出電極の電位を測定する。３３は電圧発生器であ
り、被測定物の持つ電位相当の電位を加える。この水槽
による実験では静電気の持つ電気力線の電位分布を電位
の等電位線として測定する事が出来るが、簡単にスイッ
チ３２を切り換える事によって電圧計３１の測定値が変
化する事を確認した。図１２はこの実験による測定結果
である。
ブが表面電位を検出し、交流に変換出来る事を証明する
ための実験装置と等価回路である。この実験は、静電気
における電気力線の電位分布の測定に使われている。２
５は水を溜めた絶縁性の水槽であり、２６はプローブの
導電性ケースに相当する電極板であり、２７は基準電極
に相当する電極板であり、２８は検出電極に相当する電
極板であり、２９は被測定物を想定した電極板である。
３０は検出電極の持つ抵抗分に相当する抵抗器を取付
け、切り換えスイッチ３２は手動にて基準電極を検出電
極もしくは導電性ケースに接続されるように配線がされ
る。３１は極めて高い入力インピーダンスの電圧計であ
り、検出電極の電位を測定する。３３は電圧発生器であ
り、被測定物の持つ電位相当の電位を加える。この水槽
による実験では静電気の持つ電気力線の電位分布を電位
の等電位線として測定する事が出来るが、簡単にスイッ
チ３２を切り換える事によって電圧計３１の測定値が変
化する事を確認した。図１２はこの実験による測定結果
である。
【００１２】図１３は実際の回路を示す。４１は高入力
インピーダンスのＦＥＴでありソースフォロワ回路であ
る。３４と４２はＦＥＴのバイアス回路でありＦＥＴの
動作を安定にする。４６は演算増幅器であり、その増幅
率は抵抗４４と４５で決定され、検出した交流信号を増
幅する。コンデンサ４３はプローブにて検出した交流信
号のみを伝えるために挿入されており、直流成分の排除
を行う。抵抗４７とＦＥＴ４８は同期検波回路であり、
演算増幅器５６はバッファー回路である。抵抗５７とコ
ンデンサ５８は積分回路であり、同期検波を行った後の
脈流信号を平滑する。演算増幅器５９はバッファー回路
である。６１は方形波発振器である。ＦＥＴスイッチ回
路５４と５５は光結合されたものであり、駆動側のＬＥ
Ｄに電流を流すとＦＥＴがＯＮし、ＬＥＤの電流を止め
るとＦＥＴがＯＦＦする機能を持つ。この機能を使い、
交互に電流をＬＥＤに流すことによって、基準電極を検
出電極とケースに交互に接続する事が出来る。５１は反
転論理回路でありＦＥＴスイッチ回路５４と５５の制御
を交互に実行する。
インピーダンスのＦＥＴでありソースフォロワ回路であ
る。３４と４２はＦＥＴのバイアス回路でありＦＥＴの
動作を安定にする。４６は演算増幅器であり、その増幅
率は抵抗４４と４５で決定され、検出した交流信号を増
幅する。コンデンサ４３はプローブにて検出した交流信
号のみを伝えるために挿入されており、直流成分の排除
を行う。抵抗４７とＦＥＴ４８は同期検波回路であり、
演算増幅器５６はバッファー回路である。抵抗５７とコ
ンデンサ５８は積分回路であり、同期検波を行った後の
脈流信号を平滑する。演算増幅器５９はバッファー回路
である。６１は方形波発振器である。ＦＥＴスイッチ回
路５４と５５は光結合されたものであり、駆動側のＬＥ
Ｄに電流を流すとＦＥＴがＯＮし、ＬＥＤの電流を止め
るとＦＥＴがＯＦＦする機能を持つ。この機能を使い、
交互に電流をＬＥＤに流すことによって、基準電極を検
出電極とケースに交互に接続する事が出来る。５１は反
転論理回路でありＦＥＴスイッチ回路５４と５５の制御
を交互に実行する。
【００１３】この回路では、検出した交流信号の位相を
同期検波を行う事でその極性を検出しているが、極性の
表示が必要なければ単純に整流を行い電圧を表示する事
も出来る。
同期検波を行う事でその極性を検出しているが、極性の
表示が必要なければ単純に整流を行い電圧を表示する事
も出来る。
【００１４】また、検出電極に電圧のフィードバックを
行い検出電圧が常に零電位を示すように回路を構成する
ことで、フィードバック電圧は被測定物の電位に等しく
なる。よって、このフィードバック電圧を測定して表示
する事で被測定物の表面電位を測定する事も出来る。こ
の場合フィードバック量が充分に大きいなら、被測定物
とプローブの距離に依存しない表面電位計が製作出来
る。
行い検出電圧が常に零電位を示すように回路を構成する
ことで、フィードバック電圧は被測定物の電位に等しく
なる。よって、このフィードバック電圧を測定して表示
する事で被測定物の表面電位を測定する事も出来る。こ
の場合フィードバック量が充分に大きいなら、被測定物
とプローブの距離に依存しない表面電位計が製作出来
る。
【００１５】
【発明の効果】本発明は、上述の通り、被測定物の表面
電位を測定する時、機械的な振動を使わずに非接触でそ
の表面電位を測定出来る事から、プローブの生産性が高
く、また形状が自由に製作出来るため、目的に合った形
と大きさの物が製作出来る。また機械的振動を使用して
いないので信頼性の高いものが製作できるという効果が
ある。
電位を測定する時、機械的な振動を使わずに非接触でそ
の表面電位を測定出来る事から、プローブの生産性が高
く、また形状が自由に製作出来るため、目的に合った形
と大きさの物が製作出来る。また機械的振動を使用して
いないので信頼性の高いものが製作できるという効果が
ある。
【図１】静止型表面電位計の動作原理図である。
【図２】従来のセクター式プローブの横断面図である。
【図３】従来のセクター式プローブの縦断面図である。
【図４】従来の振動容量式プローブの横断面図である。
【図５】従来の振動容量式プローブの縦断面図である。
【図６】本発明による表面電位計の動作原理図である。
【図７】本発明によるプローブＡの上面図である。
【図８】本発明によるプローブＡの側面から見た断面図
である。
である。
【図９】本発明によるプローブＡの等価回路図である。
【図１０】本発明によるプローブが被測定物の表面電位
を測定出来る事を証明するための水槽による等電位線の
測定装置を示す図である。
を測定出来る事を証明するための水槽による等電位線の
測定装置を示す図である。
【図１１】本発明によるプローブが被測定物の表面電位
を測定出来る事を証明するための水槽による等電位線の
測定装置の等価回路図である。
を測定出来る事を証明するための水槽による等電位線の
測定装置の等価回路図である。
【図１２】本発明によるプローブが被測定物の表面電位
を測定出来る事を証明するための水槽による等電位線の
測定装置による実験結果である。
を測定出来る事を証明するための水槽による等電位線の
測定装置による実験結果である。
【図１３】プローブＡによる表面電位計の実際の回路例
を示す。
を示す。
１ 導電性ケース ２ 検出孔 ３ 入力抵抗 ４ 入力容量 ５ ＦＥＴ ６ バイアス抵抗 ７ チョッパ部 ８ 検出電極 ９ 圧電セラミック １０ 音叉 １１ 基板 １２ 駆動用端子 １３ 出力端子 １４ 接地端子 １５ 配線 １６ 配線 １７ 基準電極 １８ 検出電極 １９ 絶縁材 ２０ 切り換え回路 ２１ 出力端子 ２２ 駆動用端子 ２３ 接地端子 ２４ インピーダンス変換回路 ２５ 水を溜めた水槽 ２６ 導電性ケース相当の電極板 ２７ 基準電極相当の電極板 ２９ 被測定物相当の電極板 ３０ 入力抵抗相当の抵抗器 ３１ 電圧計 ３２ 切り換え回路 ３３ 電圧発生器 ３４ 入力抵抗 ３５ 増幅器 ３６ 同期検波回路 ３７ 信号発生回路 ３８ 平滑回路 ３９ 表示回路 ４０ 被測定物 ４１ ＦＥＴ ４２ 抵抗器 ４３ コンデンサ ４４ 抵抗器 ４５ 抵抗器 ４６ 演算増幅器 ４７ 抵抗器 ４８ ＦＥＴ ４９ 保護ダイオード ５０ 抵抗器 ５１ 論理反転回路 ５２ 電流制限用抵抗器 ５３ 電流制限用抵抗器 ５４ ＬＥＤ−ＦＥＴフォトカップラ ５５ ＬＥＤ−ＦＥＴフォトカップラ ５６ 演算増幅器 ５７ 平滑用抵抗器 ５８ 平滑用コンデンサー ５９ 演算増幅器 ６０ 電圧計 ６１ 発振器 ６２ 異常発振防止用コンデンサー ６３ 発振周波数決定の為のコンデンサ ６４ 発振周波数決定の為の抵抗器 ６５ 発振周波数決定の為の抵抗器
Claims (1)
- 【請求項１】 検出電極の前面に基準電極を固定し容量
結合をさせ、対向する被測定面からの電気力線が基準電
極に達するように構成された表面電位プローブに於て基
準電極を周期的且つ交互に検出電極と接地電位に接続す
る切り換え回路を設ける事により表面電位プローブに入
力される電気力線を交流化する事によって、被測定面の
表面電位を測定する非接触型表面電位計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4462594A JPH07218567A (ja) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | 無振動交流式非接触表面電位計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4462594A JPH07218567A (ja) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | 無振動交流式非接触表面電位計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07218567A true JPH07218567A (ja) | 1995-08-18 |
Family
ID=12696619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4462594A Pending JPH07218567A (ja) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | 無振動交流式非接触表面電位計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07218567A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018173347A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 表面電位センサ、表面電位測定方法及び画像形成装置 |
| CN114167153A (zh) * | 2020-09-10 | 2022-03-11 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 用于测量环境静电的装置及方法与环境静电监控系统 |
-
1994
- 1994-02-07 JP JP4462594A patent/JPH07218567A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018173347A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 表面電位センサ、表面電位測定方法及び画像形成装置 |
| CN114167153A (zh) * | 2020-09-10 | 2022-03-11 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 用于测量环境静电的装置及方法与环境静电监控系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105527480B (zh) | 电压检测装置 | |
| EP3567380B1 (en) | Non-contact dc voltage measurement device with oscillating sensor | |
| CN102353855B (zh) | 一种便携式静电检测装置及其静电检测方法 | |
| JPH0750167B2 (ja) | 表面の背後に隠れた物体の検知装置 | |
| JP4607753B2 (ja) | 電圧測定装置および電力測定装置 | |
| CN108534887A (zh) | 一种基于石墨烯薄膜位移传感的振动测量装置 | |
| JP6474588B2 (ja) | 物理量検出装置および物理量検出方法 | |
| CN113514710B (zh) | 一种静电检测装置 | |
| JPH09211046A (ja) | 非接触電位検出方法とその装置 | |
| CN106771676A (zh) | 基于电致伸缩材料和驻极体材料构造的电场传感器探头 | |
| JPH07218567A (ja) | 無振動交流式非接触表面電位計 | |
| JPH07218566A (ja) | 無振動交流式非接触表面電位計 | |
| JP6486644B2 (ja) | 電圧検出方法 | |
| JP6502072B2 (ja) | 電圧検出装置 | |
| Ferrari et al. | Compact DDS-based system for contactless interrogation of resonant sensors based on time-gated technique | |
| JP3204066B2 (ja) | 容量式電磁流量計 | |
| JP2884846B2 (ja) | タッチプローブ | |
| JPH07325118A (ja) | 表面電位計ゼロ基準校正方式 | |
| JP2010256125A (ja) | 電圧検出装置および線間電圧検出装置 | |
| JPH028755A (ja) | 電位センサ | |
| SU1002821A1 (ru) | Устройство дл бесконтактного измерени рассто ний | |
| JPH0523151U (ja) | 静電電圧計 | |
| JPH10115646A (ja) | 表面電位センサ | |
| JPS6290564A (ja) | 表面電位検出装置 | |
| JP2007327919A (ja) | 表面電位測定装置 |