JPH07225429A - 照明光学装置 - Google Patents
照明光学装置Info
- Publication number
- JPH07225429A JPH07225429A JP6016492A JP1649294A JPH07225429A JP H07225429 A JPH07225429 A JP H07225429A JP 6016492 A JP6016492 A JP 6016492A JP 1649294 A JP1649294 A JP 1649294A JP H07225429 A JPH07225429 A JP H07225429A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- illumination
- optical device
- mirror
- conversion plate
- illumination optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 59
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 72
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 168
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 69
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 7
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 6
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Projection Apparatus (AREA)
Abstract
等の大型の光学部品を交換することなく、照明対象領域
の大きさや縦横比の変化に応じて、必要な照明光束面積
を得ることができる照明光学装置を提供する。 【構成】 楕円鏡と、前記楕円鏡の第1焦点の位置に配
置した光源と、コリメータレンズからなる照明光学装置
において、光軸と直交する任意の直交座標系の各座標軸
方向に異なるNAを持つNA変換板を前記楕円鏡の第2
焦点に配置した照明光学装置。
Description
バルブ等の照明対象物を照明するのに有用な照明光学装
置に関する。
ハロゲンランプ,キセノンランプ,メタルハライドラン
プ等の光源と、放物面鏡や楕円鏡とコリメータレンズを
組み合わせた照明系が用いられていた(例えば、トリケ
ップス社出版「プロジェクションテレビの設計」第3章
第1節参照)。楕円鏡とコリメータレンズを組み合わせ
た従来例を図14に示す。
21に配置されており、発光した光のうち、楕円鏡2で
反射された光は、第2焦点22に収束した後発散し、コ
リメータレンズ4で平行光束またはやや収束する光束に
変換され、コンデンサレンズ5を介して、照明対象物6
上の照明対象領域61を照明していた。
形なので、照明光束は図16に示したように、照明対象
物6上で矩形の照明対象領域61に対して外接するか、
あるいは外接よりも若干大きくなるように設計されてい
た。
横比が9:16の場合は照明光束103の全体の面積の
54.4%以下の部分が、同じく3:4の場合のそれは
61.1%以下の部分が、照明対象領域61を照明して
いた。
照明するために、その周辺部を矩形に切断した放物面鏡
を用いることにより、照明光束の断面形状を矩形にする
方法も用いられていた。この例を図15に示す。
面鏡7の焦点71に配置されており、放物面鏡7の周辺
部は、光軸上の無限遠点からみて、照明対象物6の照明
対象領域61と同一の縦横比になるように切断されてい
る。このため、光源1で発光した光のうち、放物面鏡7
で反射された光は、ほぼ平行の照明光束になり、コンデ
ンサレンズ5を介して、照明対象物6上の照明対象領域
61を照明していた。
が、照明対象領域61とほぼ等しい大きさになるように
設計されている。したがって、照明光束103の面積の
ほぼ100%が、照明対象領域61を照明することにな
っていた(図18参照)。
縦横比が異なる場合は、放物面鏡7の切断の縦横比を変
えて、それぞれ専用の装置を設計製作していた。
例では、照明対象物6上の照明対象領域61の大きさと
縦横比は一定の場合がほとんどだったので、問題点は生
じていなかった。
るワイド画面の表示装置が多く出回るようになってき
た。このような場合、前記ワイド画面だけでなく、同じ
装置で縦横比が3:4の標準画面も表示できるようにす
る場合がある。
の場合について説明する。このような場合、液晶ライト
バルブは、その全面を使用した場合に縦横比9:16の
ワイド画面(以下、ワイド画面と呼ぶ)を表示するよう
な構造であり、その横方向を短縮した場合には縦横比
3:4の標準画面(以下、標準画面と呼ぶ)も表示する
ことができる、という使われ方が一般的である。
の遮光手段で液晶ライトバルブの横方向の両端部を遮光
して、照明対象領域の縦横比を合わせる必要があるた
め、その結果として、照明対象物6上の照明対象領域6
1の大きさと縦横比が、ともに変化することになる(図
17,図19参照)。
横比を3:4にすることによって、照明光束103の面
積に対する照明対象領域61の面積が、図17に示した
ように41%以下になってしまい、スクリーン光量が大
幅に低下する問題点があった。
4にすることによって、照明光束103の面積に対する
照明対象領域61の面積が、図19に示したように75
%以下になってしまい、同じくスクリーン光量が低下す
る問題点があった。
明光学装置において、照明対象領域61の大きさや縦横
比に合わせて、照明光束の面積やその縦横比を変えるこ
とを考えてみる。この場合、図14の装置では楕円鏡2
またはコリメータレンズ4を、図15の装置では放物面
鏡7をそれぞれ交換する必要があり、照明光学装置が大
型化するとともに交換部品が必要となるという問題点が
考えられる。
に限らず、例えばスライドプロジェクタなどの場合で
も、大きさの異なるスライドマスクを同一の照明光学装
置で照明する場合も同様である。
タレンズ4または放物面鏡7等の大型の光学部品を交換
することなく、照明対象領域61の大きさやその縦横比
の変化に応じて、必要な断面形状を持つ照明光束を得る
ことができる照明光学装置を提供することを目的とす
る。
軸をZ軸としたXYZ3次元直交座標系を用いて、以下
説明する。また、照明対象物はその長辺方向がX軸方向
に、短辺方向がY軸方向となるように配置されている。
図2を参照のこと。なおこの図2は、左手系で表されて
いる。
め、本発明では、(イ)楕円鏡(2),(ロ)前記楕円
鏡(2)の第1焦点(21)の位置に配置した光源
(1),(ハ)光源から前記楕円鏡(2)で反射して、
その第2焦点(22)の位置で収束した後発散する光束
を平行光束または収束する光束に変換するためのコリメ
ータレンズ(4),以上のすべての要素を備えた照明装
置において、前記楕円鏡の第2焦点(22)またはその
近傍にNA変換板(8)を配置し、前記NA変換板は、
前記照明装置の光軸(9)をZ軸としたときに、前記N
A変換板上の任意のXY直交座標系のX軸方向のNAと
Y軸方向のNAが、それぞれ異なる照明光学装置であ
る。
つかの実施例で示したように、光軸をZ軸としたXYZ
3次元直交座標系を考えた場合、X軸とY軸方向にそれ
ぞれ異なるNAを有する光学素子として機能するもので
あればよい。
および最小NAは、照明光束103の断面形状がNA変
換板8を通過することによって、照明対象物6上で任意
の照明対象領域61と同一の縦横比になるように選択さ
れていればよい。
板8を通過した照明光束のNAと同等か、または大きく
なるように選択すればよく、その焦点距離は、照明光束
103が照明対象物6上で、任意の照明対象領域61に
外接するように選択すればよい。
束のNAは、許容される照明光学装置の光路長の範囲
で、なるべく小さくすることが望ましい。
に、その板面上の直交する2方向のNAがそれぞれ異な
るNA変換板を用いることを特徴としている。このNA
変換板に入射する光束には、前記2方向のNAがそれぞ
れ加算されて、出射することになる。このため、このN
A変換板を通過する前後の光束の断面形状の縦横比を、
変化させることができる。
A変換板を用いて、NA変換板の作用について説明する
(図3参照)。図3において、レンチキュラーレンズ板
のある一つのレンチキュラーレンズの対称軸の方向は、
NAが変化しない方向である。これをY軸方向に配置し
ている。前記対称軸方向に対して垂直の方向は、最大の
NAを持つ方向であり、これをX軸方向に配置してい
る。以下、レンチキュラーレンズ板の方向を、このX軸
Y軸を用いて表すことにする。
レンズに入射する照明光束のNAを、NA=sinθと
すると、このレンチキュラーレンズに入射する照明光束
は、光束径がレンチキュラーレンズ幅と等しく、かつ光
軸とのなす角がθ以下の平行光束の集合とみなすことが
できる。
のNAをNAMAX =sinα、最小のNAをNAMIN =
sinβ(=0)と定義し、変換後のNAをNA’とす
ると、各平行光束はレンチキュラーレンズを通過するこ
とにより、 X軸方向には、NA'X=sin(θ+α) Y軸方向には、NA'Y=sin(θ+β)=sinθ のNAで発散する照明光束に変換される。つまり、この
NA変換板は、X軸方向とY軸方向に関して、それぞれ
異なるNAを有することになる。なお、レンチキュラー
レンズではβ=0となる。
過する前のNAに対して、X軸方向とY軸方向にそれぞ
れに異なるNAが加算されたことになり、その断面形状
はそれぞれの方向に異なった拡大率で拡大された形状と
なることになる。
比の変化に合わせて、NA変換板の前記X軸とY軸方向
のそれぞれのNAを適当に選択するだけで、照明光束の
断面形状を照明対象領域に適した形状に変形することが
可能となる。
イクロレンズアレイのレンズピッチは、入射する光束径
に対して大きいと、NA変換板としての効果が弱くなっ
てしまう。逆に、小さくなりすぎると、光の回折により
色収差をおこしてしまう。したがって、具体的には、入
射する光束径の1/10ないし1/20より小さく、入
射する光の波長の50ないし100倍より大きい範囲で
あることが望ましい。
施例を示す光学断面図である。この実施例では、照明光
束のある一方向のNAを変換する場合である。
21に配置されており、楕円鏡2の開口は楕円鏡2を装
置の光軸9に垂直な面で切断することにより形成されて
いる。また、NA変換板8にはレンチキュラーレンズ板
(図4参照)を用い、楕円鏡の第2焦点22の位置に配
置されている。コリメータレンズ4は、楕円鏡2から楕
円鏡の第2焦点22に収束する照明光束のNAに、NA
変換板8の最大NAを加算したNAと同等または若干大
きなNAを持つように設計されている。コンデンサレン
ズは、照明対物の光源側に配置されている。
到達した光線は、反射されて楕円鏡の第2焦点22に収
束する照明光束になる。第2焦点に収束した照明光束
は、光源1の大きさに楕円鏡の倍率を掛けた大きさを持
ち、NA変換板8を照射する。この照明光束の断面形状
は円形である。そして、NA変換板8を通過することに
よって、個々のレンチキュラーレンズにより、X軸方向
のNAだけが変換されることになる。このときの照明光
束の断面形状はX軸方向に拡大され、この軸方向に長軸
を持つ楕円形となる。
のNAは、tanθとtan(θ+α)の比率が、照明
対象物6の照明対象領域61の縦横比、すなわち、ワイ
ド画面では1:16/9に、標準画面では1:4/3と
なるように、それぞれ選択すればよい。
明対象物6上で照明光束が照明対象領域61に外接する
大きさになるように選択すればよい。
離f2=100mm,開口 半径=33.33mm コリメータレンズ4:焦点距離f=86.2mm,口
径=110mm コンデンサレンズ5:焦点距離f=100mm,口径
=110mm LCDパネル6:対角101.6mm(4インチ),
ワイド画面用パネル(縦=45.72mm,横=90.
73mm) (なお、標準画面を表示する場合は、対角76.2mm
(3インチ)(縦=45.72mm,横=60.96m
m)で使用) NA変換板:ワイド画面用;NAWX=0.147,N
AWY=0 標準画面用;NASX=0.062,NASY=0 以上のようである。
ず、楕円鏡2の第2焦点に収束する光束の角度は、 θ=tan-1(33.33/80)=22.62° である。これは、NA=0.395に相当する。
求める。 NA変換板を用いない場合の照明対象物6上の光束径
φ6は、LCDパネルの縦寸法の√2倍となる。
面上の光束径φ4は、 φ4=64.658×(100/90)=71.842
(mm) (コンデンサレンズ5の焦点距離は100mmであり、
コンデンサレンズ5とLCDパネル6との距離を10m
mとした。) 楕円鏡2の第2焦点とコリメータレンズ4の主面間距
離Lは、 L=φ4/(2tanθ)=86.21(mm) コリメータレンズ4の焦点距離fはLと同じとする。
したがって、f=86.21(mm)となる。
について説明する。 まず、NA変換板を用いたときの、ワイド画面と標準
画面を照明するのに必要な照明対象物6上の光束の光束
高さhを求める。
(92+162)/9)=46.628(mm) 標準画面の場合 :hS6=(45.72/2)×(5/3)=38.1
(mm) つぎに、ワイド画面と標準画面を照明するのに必要な
コリメータレンズ4の主面上における光束の光束高さh
を求める。
0)=51.809(mm) 標準画面の場合 :hS4=38.1×(100/90)=42.33
3(mm) 前記、それぞれのコリメータレンズ4の主面上の光束
高さhを得るのに必要なNA変換板のNAに対応する角
度αW,αSを求める。
キュラーレンズの一設計例を示す。このレンズの曲率半
径をr,焦点距離をf(空気中),レンズに用いるガラ
スの屈折率をn,レンズピッチを2hとすると、 r=(n−1)f,f=h/tanα となる。この式に、n=1.519(BK−7ガラスの
屈折率),αにαW=8.384°,αS=3.533°
を代入し、2h=0.1mmとすると、 fW=0.339mm fS=0.810mm rW=0.176mm rS=0.420mm が得られる。このレンチキュラーレンズは、上述したN
Aを有するNA変換板として作用する。
Aを持つ平凸のレンチキュラーレンズを持つNA変換板
を、設計製作することができる。製作方法としては、プ
レス法等を用いることができる。
W,fSを有するレンチキュラーレンズ板を製作すること
ができる(図5)。まず、例えばNaイオン等を含むア
ルカリガラス基板に、図6のように、平行に並んだ直線
開口を有するマスクを形成し、この基板を、前記アルカ
リイオンよりイオン半径の大きな1価のイオン(例え
ば、Tlイオン)を含む溶融金属塩中に浸漬し、イオン
交換処理することによって製作することができる。ま
た、必要に応じて電界を印加しながら、イオン交換処理
することもできる。
物6上で照明光束103は、その断面形状が照明対象領
域61に外接し、かつ照明対象領域61と同一の縦横比
をもつ楕円形になるため、ワイド画面表示のときも標準
画面表示のときも、図7のように光束断面積に対する照
明対象領域61の面積比率は63.7%となる。
施例1の光束断面積に対する照明対象領域の面積比率
は、ワイド画面の場合1.17倍、標準画面の場合1.
56倍となり、効率のよい照明が可能となる。
学装置の別の実施例を示す光学断面図である。図8にお
いて、光源1は楕円鏡2の第1焦点21に配置されてい
る。球面鏡3は半球形状を有し、その曲率中心が楕円鏡
2の第1焦点21に配置され、その開口部は、光源1の
発光光が漏れないように楕円鏡2の開口部23と光軸方
向に重なって配置されている。球面鏡3の孔部31は、
楕円鏡2で反射し楕円鏡の第2焦点22に収束する照明
光束がケラレない大きさに設計されている。
を用い、楕円鏡の第2焦点22の位置に配置している。
トバルブであり、その全面を使用したワイド画面と、横
幅を短縮した標準画面も表示することができ、これは実
施例1と同様のものである。
NA変換板を用いないときに、前記標準画面に合致した
照明対象領域を照明するように設計しておき、NA変換
板を用いたときに、前記ワイド画面を照明するように設
計すればよいことになる。
が変化する場合、楕円鏡の第2焦点に収束する照明光束
のNAが与えられているならば、まず、NA変換板8を
取り除いた状態で、照明対象物6上における照明光束
が、照明対象領域61の最小寸法と同一または小さくな
るように、コリメータレンズ4の焦点距離を選択する。
て、照明対象物6上で照明光束断面が外接するか、また
は若干大きくなるようにNA変換板8の最大NAおよび
最小NAを選択する。最後に、NA変換板8通過後の照
明光束のNAと同等または若干大きなNAを持つように
コリメータレンズのNAを選択すればよい。
鏡の第2焦点22に収束する照明光束のNAに、NA変
換板8のNAと、コリメータレンズ4から照明対象物6
上に収束する照明光束のNAとを加算したNAと同等ま
たは若干大きなNAを持ち、かつ照明対象物6全面を照
明するのに十分な直径を持っている。また、図1の実施
例のコンデンサレンズ5の機能をコリメータレンズ4に
持たせてコンデンサレンズを省略している。
る仮想の四角錐の側面との交線で形成されている。 (a)その中心が楕円鏡の第1焦点21にあり、かつそ
の形状が縦横比3:4の矩形であり、かつ前記楕円鏡の
楕円面と外接し、かつ光軸9と直交する矩形平面を仮想
し、(b)その底面が前記矩形平面であり、かつ前記底
面と対向する頂点が前記楕円鏡の第2焦点22近傍にあ
る仮想四角錐。
到達した光線101は反射されて光源1に戻り、楕円鏡
2で再反射されて第2焦点22に到達する。また光源1
から発光した光のうち、楕円鏡2に到達した光線102
は反射されて第2焦点22に到達する。したがって光源
1から発光した光の大部分は、前記仮想四角錐の表面お
よびその内部を伝搬し、楕円鏡の第2焦点22に収束す
る照明光束になる。このとき照明光束の断面形状は前記
仮想四角錐の底面と相似の形状、すなわち縦横比3:4
の矩形形状となる。
周辺部を上述のような形状にしてあるので、NA変換板
を用いない状態で、標準画面の照明対象領域の全域を照
明することができる。また、コリメータレンズ4の焦点
距離は、照明対象物6上における照明光束の大きさが、
標準画面表示時の照明対象領域61の形状と一致するよ
うに選択した。
離f2=100mm,開口径(最大)=84.7mm,
前記仮想の四角錐の頂点位置;第2焦点,深さ(最大)
=39.5mm,深さ(最小)=20.0mm 球面鏡:半径R=50.0mm,開口径=100.0
mm,孔部(31)開口寸法=34×45mm コリメータレンズ4:焦点距離f=66.7mm,口
径=160mm,楕円鏡第2焦点−コリメータレンズ主
面間距離=100mm LCDパネル6:対角83.8mm(3.3イン
チ),ワイド画面用パネル(縦=41.0mm,横=7
3.0mm) ワイド画面用NA変換板:NAX=0.129,NAY
=0 以上のようである。
について説明する。 まず、前記第2焦点に収束する光束の角度およびNA
は、 θX=29.1°,θY=22.6° NAX=0.486,NAY=0.385 である。 つぎに、標準画面を照明する場合のコリメータレンズ
4の主面上における光束のY軸方向の光束高さhY を求
める。楕円鏡第2焦点−コリメータレンズ主面間距離は
100mmなので、 標準画面:hY4=100×tan22.6°=41.2
6mm さらに、X軸方向の光束高さhは、hY4横寸法の16/
9倍となるので、 hX4=41.26×16/9=74.0mm となる。 前記hX4を得るのに必要なNA変換板のNAに対応す
る角度θを求める。
-1(74.0/100)=36.5° αX=36.5°−29.1°=7.4° NA変換板のNAXを求める。
変換板は、実施例1に示した方法で容易に製作すること
ができる。
物6に到達した照明光束は、図9のようにその断面形状
が、ワイド画面用の照明対象領域61と同一形状になる
ため、照明光束断面積に対する照明対象領域61の面積
比率は、ほとんど100%となる(図9参照)。
光束から取り除くことによって、照明光束の断面形状
が、標準画面用の照明領域61と同一形状となるため、
照明光束断面積に対する照明対象領域61の面積比率は
ほとんど100%となる。
の場合も、光源1の発光光の大部分で照明対象領域61
を照明することができ、きわめて高効率の照明光学装置
を実現できる。
レンズ板を用いた場合についての実施例を述べてきた。
以下に、このほかのNA変換板の例について述べる。
ュラーレンズ板を用いた場合の例を示す。図10は、レ
ンチキュラーレンズのピッチの異なる2枚のレンチキュ
ラーレンズ板を互いに直交させて配置した場合の正面図
である。この場合、それぞれのレンチキュラーレンズ板
のあるレンチキュラーレンズの対称軸方向を、それぞれ
X軸Y軸方向に配置している。
とによって、X軸Y軸方向にそれぞれ異なるNAが加算
されて、出射することになる。それぞれのレンチキュラ
ーレンズ板のNAは、出射された照明光束のX軸Y軸そ
れぞれ方向に目的とする縦横比を持つように、設計され
ていればよい。
ピッチの同じ2枚のレンチキュラーレンズ板を組み合わ
せた例である。この場合、2枚のレンチキュラーレンズ
板が交差してできる菱形の対角線の方向が、それぞれX
軸Y軸に一致するように配置されている。さらに、前記
2枚のレンズアレイはこの関係を保ちながら、相対的に
回転させられるようになっていてもよい。
板を通過した後の光束の断面形状の縦横比を、連続的に
変化させることも可能である。(a)の場合では、X軸
方向にこのレンチキュラーレンズの持つNAの2倍のN
AをNA変換板として作用する。(b)の場合では、X
軸,Y軸方向のそれぞれのNAは、前記レンズ板の交差
角度に応じて、合成されたNAとなる。(c)の場合で
は、X軸,Y軸方向のNAは同じである。
換板を交換しなくても、NAを変換することができるメ
リットがある。
ロレンズアレイを用いた場合の正面図である。この場
合、NA変換板はX軸Y軸に関して、図に示したような
位置に配置されている。
レンズの開口形状が矩形であり、さらに各マイクロレン
ズは四方稠密配列されている。
ばNaイオン等を含むアルカリガラス基板に、図13の
ように、多数の直線開口(あるいは円形の開口でもよ
い)が四方配列されたマスクを形成し、この基板を、前
記アルカリイオンよりイオン半径の大きな1価のイオン
(例えば、Tlイオン)を含む溶融金属塩中に浸漬し、
イオン交換処理することによって製作することができ
る。
レンズの拡散領域の先端縁の形状は、前記直線開口に対
応して、その当初トラック状の偏円形である。さらにイ
オン交換処理を続けると、その前記先端縁が周辺のマイ
クロレンズのそれと重なって四方稠密配列となり、隙間
のないレンズ面が形成される。
明装置の照明対象物上の照明対象領域の大きさや縦横比
を変更する場合に、リフレクタやコリメータレンズなど
の高価で大型の光学部品を交換することなく、前記NA
変換板のNAを適当に選択するだけ、あるいはNA変換
板の組み合わせを変更するだけで、前記照明対象物上に
おける照明光束の大きさを、前記照明対象領域に外接す
る大きさに制御することができる。このため、照明光利
用効率が高く、かつ安価で小型の照明光学装置を実現で
きる。
面図を示す図。
図。
動作原理を説明する図。
ズ板を用いたNA変換板。
作するときのマスク。
での照明光束と照明対象領域との関係を示す図。
面図を示す図。
での照明光束と照明対象領域との関係を示す図。
キュラーレンズ板を直交させた例の正面図。
ュラーレンズ板の交差角度を変化替させながら用いた例
を説明する図。
を用いた例の正面図。
明する斜視図。
明光学装置の光学断面図を示す図。
学装置の光学断面図を示す図。
照明光束と照明対象領域との関係を示す図。
4の照明光学装置を用いて、ワイド画面および標準画面
の照明対象領域を照明した場合の、照明対象物上での照
明光束と照明対象領域との関係を示す図。
照明光束と照明対象領域との関係を示す図。
6の照明光学装置を用いて、ワイド画面および標準画面
の照明対象領域を照明した場合の、照明対象物上での照
明光束と照明対象領域との関係を示す図。
で再反射されて楕円鏡の第2焦点に収束する光 102 発光光のうち、楕円鏡で反射されて楕円鏡の
第2焦点に収束する光 103 照明対象物上での照明光束
Claims (6)
- 【請求項1】(イ)楕円鏡(2),(ロ)前記楕円鏡
(2)の第1焦点(21)の位置に配置した光源
(1),(ハ)光源から前記楕円鏡(2)で反射して、
その第2焦点(22)の位置で収束した後発散する光束
を平行光束または収束する光束に変換するためのコリメ
ータレンズ(4),以上のすべての要素を備えた照明装
置において、 前記楕円鏡の第2焦点(22)またはその近傍にNA変
換板(8)を配置し、前記NA変換板は、前記照明装置
の光軸(9)をZ軸としたときに、前記NA変換板上の
任意のXY直交座標系のX軸方向のNAとY軸方向のN
Aが、それぞれ異なることを特徴とする照明光学装置。 - 【請求項2】請求項1に記載の照明光学装置において、
その曲率中心が前記第1焦点(21)の位置に球面鏡
(3)を配し、前記球面鏡はその中央部に孔部(31)
を有し、かつその曲率半径が前記楕円鏡(2)の第1焦
点(21)と第2焦点(22)の間隔以下である照明光
学装置。 - 【請求項3】請求項2に記載の照明光学装置において、
前記NA変換板(8)は、1枚または複数枚のレンチキ
ュラーレンズ板である照明光学装置。 - 【請求項4】請求項2に記載の照明光学装置において、
前記NA変換板(8)は、マイクロレンズアレイである
照明光学装置。 - 【請求項5】請求項4に記載の照明光学装置において、
前記NA変換板(8)は、各マイクロレンズが矩形形状
の開口を持ち稠密配列されたマイクロレンズアレイであ
る照明光学装置。 - 【請求項6】請求項2に記載の照明光学装置において、
前記楕円鏡(2)の開口の周辺部を、以下で規定する仮
想の四角錐の側面との交線で形成したことを特徴とする
照明光学装置。(a)その中心が前記楕円鏡(2)の第
1焦点(21)にあり、かつその形状が任意の矩形形状
を有し、かつ光軸(9)と直交する平面を仮想し、
(b)その底面が前記矩形平面であり、かつ前記底面と
対向する頂点が前記楕円鏡(2)の第2焦点(22)近
傍にある仮想四角錐。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6016492A JPH07225429A (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | 照明光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6016492A JPH07225429A (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | 照明光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07225429A true JPH07225429A (ja) | 1995-08-22 |
Family
ID=11917793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6016492A Pending JPH07225429A (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | 照明光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07225429A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007017571A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Victor Co Of Japan Ltd | 投射表示装置 |
| JP2019124732A (ja) * | 2018-01-12 | 2019-07-25 | セイコーエプソン株式会社 | 光射出装置及び画像表示システム |
-
1994
- 1994-02-10 JP JP6016492A patent/JPH07225429A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007017571A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Victor Co Of Japan Ltd | 投射表示装置 |
| JP2019124732A (ja) * | 2018-01-12 | 2019-07-25 | セイコーエプソン株式会社 | 光射出装置及び画像表示システム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0343729B1 (en) | Illumination system | |
| US5993010A (en) | Two-dimensional illumination optical system and liquid crystal projector using same | |
| CN1774675B (zh) | 用于照明系统的光学元件 | |
| TWI396865B (zh) | 照明光學系統及包含其之曝光設備 | |
| JP2022051831A (ja) | 光ビームフォーマ | |
| KR20030097784A (ko) | 마이크로리소그래피를 위한 조명 시스템 | |
| JP3686887B2 (ja) | 照明光学系及び拡大投写型ディスプレイ装置 | |
| JP2002514007A (ja) | 特にeuv(極紫外線)リソグラフィーに用いる照射機構 | |
| JPS597359A (ja) | 照明装置 | |
| JP2003280094A (ja) | 照明装置 | |
| US6545812B2 (en) | Array lens, lighting optical system, optical unit and imaging apparatus | |
| US6142659A (en) | Optical illumination device | |
| JPH032284B2 (ja) | ||
| JP5036102B2 (ja) | 照明装置 | |
| JPH07225429A (ja) | 照明光学装置 | |
| TWI905419B (zh) | 照明光學系統及曝光裝置 | |
| JP2010026260A (ja) | 照明光学装置及びそれを用いた投写型表示装置 | |
| JPH11143388A5 (ja) | ||
| JP4801269B2 (ja) | 球面鏡を用いた照明装置、照明システム、及び照明方法 | |
| JP2000122178A (ja) | 照明装置 | |
| JPH11260705A (ja) | 露光装置 | |
| JP3367569B2 (ja) | 照明光学装置、露光装置、及び該露光装置を用いた転写方法 | |
| KR100456436B1 (ko) | 조명장치 | |
| JP4257440B2 (ja) | プリズム型変形照明装置 | |
| JP3823363B2 (ja) | 光源装置及び投影装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071020 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081020 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081020 Year of fee payment: 8 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081020 Year of fee payment: 8 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081020 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091020 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |